JPH0459194A - レーザ加工用トーチの冷却方法及びその冷却構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレーザビームを集光して切断、溶接表面改質等
のレーザ加工を行うためのレーザ加工用トーチの冷却方
法及びその冷却構造に関する。

（従来の技術） 一般に、レーザ加工用トーチには、ノ１ウジング内ニレ
ーザビーム集光用のレンズや凹面鏡等よりなる集光用光
学系が内装されており、ビーム導入口から導入されたレ
ーザビームを集光用光学系で集光させながらノズル内を
通過させ、ノズル先端口側より加工物に照射して加工処
理を行う方式とされていた。

そしてレーザ加工時に、レーザビームはレンズや凹面鏡
等の光学部品ではとんと通過ないし反射されるが、わず
かにこれら光学部品に吸収されて光学部品が発熱し、光
学部品に熱歪みや損傷か発生するおそれがあり、特に、
レーザビームか高出力（ＩＫＷ以上）の場合には顕著と
なっていた。

またレーザ加工時（特にレーザ溶接時）に加工処理部分
からの輻射熱によりノズル部分か高温となり、溶けるお
それもあった。

そこで、特開昭５０−４５７５２号公報に開示のトーチ
によれば、平面鏡や凹面鏡からなる集光用光学系の各光
学部品に対して夫々冷却路を設け、各冷却路に冷却流体
を供給することによって各光学部品の冷却を図っていた
。またレーザビームか導入されるビーム導入口にトーチ
内外を仕切る仕切窓が設けられた密閉形構造とされ、ト
ーチ内を加工補助ガスで充満させた状態でノズル先端口
側から加工補助ガスを噴出させ、仕切窓や、前記平面鏡
や凹面鏡及びノズルを加工補助ガスにさらすことによっ
てこれら光学部品やノズルの冷却を図っていた。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来構造によれば、各光学部品に対
して夫々設けられた各冷却路毎に、別個独立した冷却流
体供給管及び冷却流体排出管を夫々設け、個別に冷却す
る方式であり、多数の配管が必要とされ、トーチ回りの
配管の複雑化を招き、トーチの作業性を低下させる欠点
があツｔユ。

そこで、本発明は上記問題点に鑑み、冷媒供給源からの
配管量を少なくすると共にトーチ周りの配管を簡素化し
てトーチの作業性向上を図ると共に効果的な冷却作用か
発揮できるレーザ加工用トーチの冷却方法及びその冷却
構造を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するための本発明の冷却方法は、ハウジ
ングに備えられたビーム導入口に、１１ウジング内外を
仕切るレーザビーム透過性の仕切窓が設けられ、ビーム
導入口か、ら導入されたレーザビームをハウジング内に
設けられた反射鏡て反射させ、仕切窓と反射鏡からなる
集光用光学系の集光作用により集光させながらノズル内
を通過させてノズル先端口側より照射させるレーザ加工
用トーチの冷却方法において、仕切窓側に設けられた窓
冷却路に冷媒を供給して仕切窓を冷却する第１冷却工程
と、その後、前記冷媒を反射鏡側に設けられたミラー冷
却路に案内して反射鏡を冷却する第２冷却工程と、さら
にその後、前記冷媒をノズル側に設けられたノズル冷却
路に案内してノズルを冷却する第３冷却工程とを備えて
なる点にある。

また、上記目的を達成するための本発明の冷却構造は、
ハウジングに備えられたビーム導入口に、ハウジング内
外を仕切るレーザビーム透過性の仕切窓が設けられ、ビ
ーム導入口から導入されたレーザビームをハウジング内
に設けられた反射鏡で反射させ、仕切窓と反射鏡からな
る集光用光学系の集光作用により集光させながらノズル
内を通過させてノズル先端口側より照射させるレーザ加
工用トーチの冷却構造において、仕切窓側に位置して仕
切急冷却用の窓冷却路か設けられ、反射鏡側に位置して
反射鏡冷却用のミラー冷却路が設けられ、ノズル側に位
置してノズル冷却用のノズル冷却路が設けられ、窓冷却
路の流入部側に冷媒供給用の冷媒供給管が連通状に接続
され、窓冷却路の流出部側とミラー冷却路の流入部側と
が連通状に接続され、ミラー冷却路の流出部側とノズル
冷却路の流入部側とか連通状に接続され、ノズル冷却路
の流出部側に冷媒排出用の冷媒排出管が連通状に接続さ
れてなる点にある。

（作用） 本発明の冷却方法によれば、冷媒を比較的低温の仕切窓
側の窓冷却路、次に温度の高い反射鏡側のミラー冷却路
、さらに高温のノズル側のノズル冷却路の順に供給して
、低温側の仕切窓から順次温度か高くなる反射鏡、ノズ
ルの順に冷却する方式であり、冷媒の冷却作用が失われ
ず、効率のよい効果的な冷却か行える。また仕切窓や反
射鏡に熱歪みが生じるとレーザビームの照射位置精度に
影響を与えるが、ノズルが高温となっても照射位置精度
にあまり影響せず、従って、照射位置精度に対して重要
度の高い仕切窓や反射鏡側から冷却する方式であり、効
果的な冷却作用が発揮される。

さらに、トーチに設けられた複数の冷却路を所謂、直列
状に接続する方式であり、冷媒供給源からの冷媒供給用
配管も窓冷却路に対してのみ配管すればよく、配管量を
少くてき、トーチ周りの配管も簡素化され、トーチの作
業性が向上する。

また、本発明の冷却構造によれば、窓冷却路とミラー冷
却路及びノズル冷却路か所謂、直列状に接続されており
、冷媒供給管から供給された冷媒を窓冷却路からミラー
冷却路を通ってノズル冷却路に案内し、冷媒排出管から
排出する方式であり、冷媒供給源からの冷媒供給用配管
も窓冷却路に対して冷媒供給管を接続するたけでよく、
配管量が少くてき、トーチ周りの配管も簡素化され、ト
ーチの作業性か向上する。

そして、冷媒供給管から冷媒を供給すれば、仕切窓１反
射鏡、ノズルの順に冷却でき、上記と同様に、効率のよ
い効果的な冷却作用が発揮される。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、第
１１図はレーザ溶接用ロボットＲＢの外観斜視図を示し
、１はベースであり、その上部には、中空の旋回柱２が
上下方向の軸心回りに旋回自在に支持されている。

旋回柱２には中空の昇降体３が支持されており、昇降体
３は旋回柱２の旋回軸心Ｚ上を上下動自在とされている
。

昇降体３には中空の水平腕４が支持されており、水平腕
４は旋回軸心Ｚと直交する水平軸心Ｙ上を移動自在とさ
れている。

水平腕４一端には水平軸心７回りに回動自在に、中空の
第１ハウジング５が支博され、この第１ハウジング５に
は水平軸心Ｙと直交する軸心■回りに回動自在に、中空
の第２ハウジング６か支持されている。また第２ハウジ
ング６には回動軸心Ｖと直交する軸心Ｗ方向のノズル７
が取付けられており、第２ハウジング６及びノズル７に
よってレーザ加工用トーチ８が構成されている。

９はＣＯ２レーザ発振装置であり、これより出力された
レーザビームは屈折部１０により下向きに反射され、そ
の反射光は旋回軸心Ｚに一致されている。

第１２図はレーザ溶接用ロボットＲＢにおける光学系模
式図を示し、レーザ発振装置９から射出されたレーザビ
ームＬＢは屈折部１０内に設けられた平面鏡１２て旋回
軸心Ｚに沿って反射され、その後、昇降体３内に設けら
れた平面鏡１３で水平軸心Ｙに沿って反射され、さらに
第１ハウジング５内に設けられた平面鏡１４で軸心Ｖに
沿って反射された後、第２ハウジング６内に設けられた
反射鏡としての放物面鏡１５によって集光されながら軸
心Ｗに沿って反射され、加工物に照射される。なお、放
物面鏡１５は鋼材より主構成され、反射面はモリブデン
で形成された金属反射鏡とさレテイル。また放物面鏡１
５がアルミニウム材より主構成され、反射面が金で形成
された金属反射鏡であってもよい。

第１図は前記トーチ８の拡大断面図を示し、第２ハウシ
ンクロは、軸心Ｖ方向−側にビーム導入口１７を有し、
他側にミラー装着口１８を有したハウジング本体１９と
、ミラー装着口１８を閉塞状としてハウジング本体１９
に装着されるミラーホルダー２０とを備えてなる。２１
は０リングである。また、ミラーホルダー２０の内面側
には放物面鏡１５が位置決めピン２２で位置決めされた
状態でボルト２３締結されており、ミラーホルダー２０
は第６図及び第９図に示される如く、３個所で調整機構
２４によりハウジング本体１つ側に調整可能に固定され
ている。各調整機構２４はミラーホルダー２０に螺挿さ
れた押しボルト２５と、該押しボルト２５内を挿通状と
してハウジング本体１９に螺合された締結ボルト２６と
、ロックナツト２７とからなり、ロックナツト２７を緩
め、押しボルト２５及び締結ボルト２６を進退調整して
放物面鏡１５の軸合せを行った後、ロックナツト２７及
び締結ボルト２６を締結すればよい。

また、ハウジング本体１つのビーム導入口１７側には第
１図に示される如く、第２ハ”ウジレグ６内外を気体的
に仕切る光学部品としての仕切窓２９が設けられており
、該仕切窓２９は使用レーザビームに対して透過率の高
い材質、例えばＺｎ５ｅやＫＣｆｌ等により円板状に形
成されている。そして仕切窓２９は第２図にも示される
如く、円筒状窓ホルダー３０と、窓ホルダー３０の内周
雌ネジ部３０ａに螺合される雄ネジ部３１ａを有する円
筒状窓ホルダー押え３１とによって両凹部３０ｂ、３１
ｂ内に挟持状に収納保持され、この保持状態で窓ホルダ
ー３０の外周雄ネジ部３０ｃをビーム導入口１７の雌ネ
ジ部１７ａに螺合させることによって着脱自在に装着さ
れている。

放物面鏡１５の反射側に対応するハウシング本体１９の
軸心Ｗ方向−側にはノズル装着口３３が設けられており
、該ノズル装着口３３を閉塞状としてノズル７がボルト
等により着脱自在に装着されている。

ノズル７は軸心Ｗ方向に略同径の円筒ノズル部３４と、
円筒ノズル部３４先端側に螺合装着された軸心Ｗ方向に
対して漸次径小となる円錐ノズル部３５とを備えてなる
。また円錐ノズル部３５のノズル先端口３６の口径を絞
るべく、円錐ノズル部３５先端部にはチップ３７が螺合
装着されている。そして、ここにトーチ８はノズル先端
口３６側のみを開口する所謂、密閉形構造として構成さ
れている。

ハウジング本体１９のノズル装着口３３と対向する側に
は、ガス案内路３９が形成されており、ガス案内路３９
は途中で窓側案内路３９ａとミラー側案内路３ｂとに分
岐され、窓側案内路３９ａは仕切窓２９内面に指向して
開口され、窓側ガス供給吹出部４０を構成している。ま
たミラー側案内路３９ｂは放物面鏡１５の反射面に指向
して開口され、ミラー側ガス供給吹出部４１を構成して
いる。そして、両ガス供給吹出部４０．４１は仕切窓２
９と放物面鏡１５間に位置されると共に、ノズル７と反
射側のハウジング本体１つ内壁部に位置され、また両ガ
ス供給吹出部４０．４１は仕切窓２９及び放物面鏡１５
のノズル７と反対側半部側に指向されている。

なお、窓側案内路３９ａは第３図及び第４図に示される
如く、放射状に３通路形成されている。

またミラー側案内路３９ｂの開口端側は第１図及び第３
図に示される如く、放物面鏡１５と略対応する円弧状の
溝部３９ｃが形成され、該溝部３９Ｃの開口側を閉塞状
に円弧状の蓋体４２がボルト締結等により装着されてお
り、蓋体４２には多数のガス吹出孔４３か形成されてい
る。

４４はンールドカス（溶接時や表面改質時）やアシスト
ガス（切断時）等の加工補助ガス（例えば、Ｈｅ、Ａｒ
、Ｎ　　、Ｏ等）を供給するガス供給管で、ガス案内路
３つの接続部に接続されている。

また第３図〜第５図に示される如く、ハウジング本体１
９のガス案内路３９両側方には、冷媒供給路４５．冷媒
案内路４６が夫々形成されており、冷媒供給路４５及び
冷媒案内路４６の各一端は第１図、第４図及び第５図に
示される如く、仕切窓２９外周側を囲繞する円弧状に形
成された窓冷却路４７の一端流入部４７ａ及び他端流出
部４７ｂに夫々連通されている。前記ミラーホルダー２
０にも第１図及び第６図に示される如く、円弧状のミラ
ー冷却路４８が形成され、円筒ノズル部３４にも第１図
、第７図及び第８図に示される如く、ノズル冷却路４９
か形成されている。ノズル冷却路４つは第７図に示され
る如く、基部側に形成された半円弧状の１対の供給側案
内路４９ａ及び戻り側室内路４９ｂと、先端側に形成さ
れた周方向環状の合流案内路４９ｃと、供給側案内路４
９ａ及び戻り側室内路４９ｂと合流案内路４９ｃとを互
いに連通させる軸心Ｗ方向に形成された周方向複数の供
給側及び戻り側連通路４９ｄ、４９ｅとから構成されて
いる。

そして、冷媒供給路４５の他端接続部４５ａに水や油等
の液体やガス等の気体よりなる冷媒を供給する冷媒供給
管５０が接続され、冷媒案内路４６の他端接続部４６ａ
とミラー冷却路４８の一端流入部４８ａとか第１連結管
５１て接続され、ミラー冷却路４８の他端流出部４８ｂ
とノズル冷却路４９の一端流入部４９５とか第２連結管
５２て接続され、ノズル冷却路４つの他端流出部４９ｇ
に冷媒排出管５３が接続されている。なお、各連結管５
１．５２等はリジッド管やフレキシブル管等で構成すれ
ばよい。また、冷媒供給管５０は図示省略のタンク等よ
りなる冷媒供給源に接続され、冷媒供給管５０に供給さ
れた冷媒は冷媒排出管５３によって冷媒供給源に回収さ
れ、適宜冷却後、循環使用される。

５４はトーチ８か接続されるビームガイドである。

本発明の実施例は以上のように構成されており、レーサ
発振装置９から射出されたレーザビームＬＢは各ミラー
１２，１３．１４で反射された後、トーチ８のビーム導
入口１７から仕切窓２９を透過してハウジング本体１つ
内に導入され、放物面鏡１５て反射され、放物面鏡１５
の集光作用によって集光されなからノズル７内を通過し
、ノズル先端口３６．チップ３７内を紅で加工物に照射
され、所定の加工処理か施される。

一方、ガス供給管４４側から供給された加工補助ガスは
、ガス案内路３９内を通って窓側案内路３９ａ及びミラ
ー側案内路３８ｂの各ガス供給吹出部４０．４１から仕
切窓２つ内面及び放物面鏡１５反射面に向けて吹出され
、その後、ノズル装着口３３側からノズル７内に流入し
、ノズル７内を通過してノズル先端口３６及びチップ３
７内を経て加工処理部分に噴出される。ここに、ハウシ
ング６内空間部からノズル先端口間部をとおってノズル
先端口３６側に至るガス案内流路５５か形成される。

そして、仕切窓２９内面及び放物面鏡１５反射面に対し
て吹付けられる加工補助ガスの吹付は作用によって、仕
切窓２つ内面及び放物面鏡１５反射面に付着するほこり
等の付着物を吹飛ばし除去でき、またその後の仕切窓２
９内面及び放物面鏡１５反射面に対するほこり等の付着
も有効に防止できる。さらにこの吹付は作用による加工
補助ガスの流れによってレーザビームＬＢの吸収により
発熱した仕切窓２つ内面及び放物面鏡１５反射面か強制
的に冷却でき、効率のよい冷却機能か発揮できる。

また、ガス案内流路５５に沿って加工補助ガスが案内さ
れる際、各ガス供給吹出部４０．４１かノズル７と対向
する反対側に位置したハウジング本体１９内壁部に設け
られているため、各ガス供給吹出部４０．４１から吹出
された加工補助ガスは仕切窓２９内面及び放物面鏡１５
反射面に吹付けられた後、反対側の対向するノズル７側
に案内される方式であり、加工補助ガスの流れをあまり
乱すことなく、ノズル７内に円滑に案内され、ここにガ
ス案内流路に沿って円滑な加工補助ガスの流れが得られ
る。そして、チップ３７側からの加工補助ガスの噴出作
用によって、加工処理時に発生する金属蒸気等の侵入が
防止できると共に、なおかつチップ３７開口から金属蒸
気等か侵入した場合であっても、ハウシンクロ内で吹出
された加工補助ガスがハウジング６内からノズル７内を
通ってノズル先端口３６側に向って案内される方式であ
り、侵入した金属蒸気等は加工補助ガスの円滑な流れに
巻込まれてノズル先端口３６側に吐出され、ここに金属
蒸気等のハウジング６内側への侵入が防止できる。

さらに、本発明の実施例による冷却方法によれば、第１
０図にも示される如く、冷媒供給管５０側から供給され
た冷媒は、冷媒供給路４５を通って急冷却路４７に案内
され、ハウジング本体１９の仕切窓２９周囲を冷却する
ことによって仕切窓２９を冷却する（第１冷却工程）。

その後、冷媒は冷媒案内路４６及び第１連結管５１を通
ってミラー冷却路４８に案内され、ミラーホルダー２０
を冷却することによって放物面鏡１５を冷却する（第２
冷却工程）。

さらにその後、冷媒は第２連結管５２を通ってノズル冷
却路４つに案内され、ノズル冷却路４つの供給側案内路
４９ａ、供給側連通路４９ｄ１合流案内路４９Ｃ１戻り
調速通路４９ｅ、戻り側室内路４９ｂを順次通過する際
、ノズル７を冷却する（第３冷却工程）。

その後、冷媒は冷媒排出管５３から排出され、冷媒供給
源に戻される。

以上の冷却過程において、冷媒か窓冷却路４７ミラー冷
却路４８．ノズル冷却路４９を順次通過するに従って冷
媒の温度が上昇するが、比較的低温の仕切窓２つ側から
次に温度の高い放物面鏡１５側、その後さらに高温のノ
ズル７側に順次案内される方式であり、冷媒の冷却作用
か失われず、効率のよい効果的な冷却作用が発揮できる
。

また仕切窓２９は体積的に熱容量か小さく従って熱歪み
が最も発生し易く、熱歪みか生した場合にはレーザビー
ムＬＢの照射位置精度に影響を与える。放物面鏡１５も
同様に熱歪みが発生し易く、熱歪みが生した場合にはレ
ーザビームＬＢの照射位置精度に影響を与える。・これ
に対し、ノズル部分は高温となっても照射位置精度にあ
まり影響しない。そして照射位置精度に対して重要度の
高い順番に、即ち仕切窓２つ、放物面鏡１５．ノズル７
の順に冷却するため、効果的な冷却作用か発揮できる。

さらに、トーチ８に設けられた窓冷却路４７゜ミラー冷
却路４８．ノズル冷却路４９を所謂直列状に接続してい
るため、冷媒供給源からの配管も窓・冷却路４７に対す
る単一の冷媒供給管５０と、ノズル冷却路４９に対する
単一の冷媒排出管５３を配管するたけてよく、各冷却路
４７，４８．４９に対して夫々冷媒供給管５０及び冷媒
排出管５３を配管する場合と比較して配管量か少なく、
トーチ８周りの配管が簡素化でき、トーチ８の可動範囲
か大きく確保でき作業性が向上できる。

なお、冷媒としては、使い勝手がよく安価である点から
水が好ましい。また集光用光学系として円板状の仕切窓
２つと反射鏡としての放物面鏡１５を使用した構造を示
しているが、仕切窓２つとして凸レンズを使用し、反射
鏡として平面鏡を使用する構造であってもよい。さらに
各冷却路４７４８．４９は実施例の形状に限られず、例
えば窓冷却路４７を複数列としてもよく、ミラー冷却路
４８を放物面鏡１５内に延設状としてもよい。またノズ
ル冷却路４９の周方向複数の供給側連通路４９ｄと戻り
側連通路４９ｅとが周方向交互に配設される構造として
もよい。さらにハウジング本体１つ冷却用の冷却路を別
途設け、この冷却路を適宜位置で直列状に接続してもよ
い。

また、第１固成ぜ線で示される如く、ミラー側案内路３
９ｂの溝部３９ｃをより大きくしてカスたまり部３９ｄ
を構成してもよい。このガスたまり部３９ｄによって各
ガス吹出孔４３からの加工補助ガスの吹出しの均等化が
図れる。また蓋体４２の各ガス吹出孔４３形成に際し、
ミラー側案内路３９ｂに近づく程孔径を小さく形成した
り、遠さかる程孔ピッチを細かくしたりすることによっ
て加工補助ガスの吹出しむらを防止してもよい。

さらに、仕切窓２つの内面側にのみ指向する窓側案内路
３９ａを設けたものを開示しているが、仕切窓２９の内
外両面に夫々指向する窓側案内路３９ａを設ける構成と
してもよい。この際、仕切窓２９は内外両面から冷却さ
れ、仕切窓２つの冷却効果か向上する。

（発明の効果） 以上のように本発明のレーザ加工用トーチの冷却方法及
びその冷却構造によれば、冷媒を窓冷却路、ミラー冷却
路、ノズル冷却路の順に供給して、低温側の仕切窓から
順次温度が高くなる反射鏡ノズルの順に冷却する方式で
あり、冷媒の冷却作用か失われず、また照射位置精度に
対して重要度の高い仕切窓や反射鏡側から冷却する方式
であり、効率のよい効果的な冷却作用が発揮できる。

さらにトーチに設けられた複数の冷却路を所謂直列状に
接続する方式であり、配管量か少なくてき、トーチ周り
の配管が簡素化でき、トーチの作業性か向上できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は断面側面図、第
２図は仕切窓取付部の分解図、第３図はハウジング本体
の第１図ニー■線断面矢視図、第４図はハウジング本体
の第１図ＩＶ−ＩＶ線断面矢視図、第５図は第４図Ｖ−
ｖ線断面矢視図、第６図は第１図■−■線断面矢視図、
第７図は第１図■■線断面矢視図、第８図は第１図■〜
■線断面矢視図、第９図は第６図ＩＸ−ＩＸ線断面拡大
矢視図、第１０図は冷媒の流れを示す説明斜視図、第１
１図はレーザ加工用ロボットの全体外観図、第１２図は
レーザ加工用ロボットの光学系説明図である。 ６・・第２ハウジング、　　７．９．ノズル、８・・ト
ーチ、　　　　　　１５・・・放物面鏡、１７・・・ビ
ーム導入口、　　１９・・・ハウジング本体、２９・・
・仕切窓、　　　　３６・・・ノズル先端口、４７・・
急冷却路、　　　４８・　ミラー冷却路、４つ・・・ノ
ズル冷却路、 ５３・・・冷媒排出管 冷媒供給管、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ハウジングに備えられたビーム導入口に、ハウジ
   ング内外を仕切るレーザビーム透過性の仕切窓が設けら
   れ、ビーム導入口から導入されたレーザビームをハウジ
   ング内に設けられた反射鏡で反射させ、仕切窓と反射鏡
   からなる集光用光学系の集光作用により集光させながら
   ノズル内を通過させてノズル先端口側より照射させるレ
   ーザ加工用トーチの冷却方法において、 仕切窓側に設けられた窓冷却路に冷媒を供給して仕切窓
   を冷却する第１冷却工程と、 その後、前記冷媒を反射鏡側に設けられたミラー冷却路
   に案内して反射鏡を冷却する第２冷却工程と、 さらにその後、前記冷媒をノズル側に設けられたノズル
   冷却路に案内してノズルを冷却する第３冷却工程とを備
   えてなることを特徴とするレーザ加工用トーチの冷却方
   法。
2. （２）ハウジングに備えられたビーム導入口に、ハウジ
   ング内外を仕切るレーザビーム透過性の仕切窓が設けら
   れ、ビーム導入口から導入されたレーザビームをハウジ
   ング内に設けられた反射鏡で反射させ、仕切窓と反射鏡
   からなる集光用光学系の集光作用により集光させながら
   ノズル内を通過させてノズル先端口側より照射させるレ
   ーザ加工用トーチの冷却構造において、 仕切窓側に位置して仕切窓冷却用の窓冷却路が設けられ
   、反射鏡側に位置して反射鏡冷却用のミラー冷却路が設
   けられ、ノズル側に位置してノズル冷却用のノズル冷却
   路が設けられ、窓冷却路の流入部側に冷媒供給用の冷媒
   供給管が連通状に接続され、窓冷却路の流出部側とミラ
   ー冷却路の流入部側とが連通状に接続され、ミラー冷却
   路の流出部側とノズル冷却路の流入部側とが連通状に接
   続され、ノズル冷却路の流出部側に冷媒排出用の冷媒排
   出管が連通状に接続されてなることを特徴とするレーザ
   加工用トーチの冷却構造。