JPH0458563B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明はタービン翼車の吐出量を測定するトラ
ンスデユーサに関し、より具体的には低価格でガ
ス流量を測定する流量計に関する。

（先行技術の説明） 従来のチユーブ型ガス流量計はガラス管を垂直
方向に取り付け、該管に球面状のボールフロート
を収容し、ガラス管を流れるガスの流量に比例し
て管内の前記フロートを上下させるものである。
この種のチユーブ型流量計は、種々のガス分析
計、ガス測定装置、ガスクロマトグラフ装置等に
古くから用いられている。ガラス管式の流量計に
代わるものとして経済的に適正な価格の流量セン
サーを用い、流量に比例した電気的信号を発生さ
せることが有利であることは考えられるが、本発
明者の知る限りに於てそのような装置は現在のと
ころ採用されておらず、これは電子流量センサー
の市場価格が高すぎるためによるものと思われ
る。

ガス流量の測定用装置の大部分は、測定用とし
て極く微量のガス流量を必要とする。必要とする
ガス量は大抵は100〜1000ミリリツトルの範囲内
であり、殆んど全てが20〜10000ミリリツトル／
分の流量の範囲内にある。従つて、ガス流量計と
して次の様な特性を備えていることが望ましい。
即ち、安価に製造できること。デザインがシンプ
ルで信頼性のあること。20〜10000ml／分の範囲
内の流量を測定できること。トランスデユーサを
通る際の圧力降下が非常に少ないこと。電気的出
力は流量と直線的な比例関係にあること。サイズ
が小さいこと。

現在、測定器産業で普及し限定された意味で用
いられている市販のガス流量トランスデユーサと
して、熱センサー及び軸流タービンセンサーの２
種類が代表的である。数量が少ないとこれらセン
サーのコストは高くなるため、ガス計測器の製造
者は大部分の用途に従来のチユーブ型流量計を継
続して使用することになる。

熱センサーを用いる方法はかなり古く、ジヤー
ナル オブ ザ フランクリン インステイチユ
ートのシー．シー．トーマス氏による1911年の米
国特許第172411号に初めて記載されている。その
後、サーミスタの組合せによつて熱的に流量を検
出する方法の改良が、アール．エス．グツドイヤ
ー氏によつて1956年10月発行の「エレクトリカル
マニユフアクチユアリング」の第90頁に記載され
ている。このようにサーミスタを組み合せて対構
造にしたものは、現在でも熱検出式流量トランス
デユーサの製造業者が用いているところである。
然し乍ら、正しい結果を得るためにはサーミスタ
を手で組み合せねばならず費用が高くつく。

軸流タービン型の流量トランスデユーサ（ノー
トン著、1969年初版発行、ハンドブツク オブ
トランスデユーサーズ フオア エレクトロニツ
ク メジヤリング システムズ）は元来、気圏の
流量測定用として開発されたものであるが、その
後、その他多くの分野に於て普及している。代表
的なタービンロータは管の内部にプロペラ羽根を
吊るし、ガスの流れが管を通過するとき流量に比
例してタービンロータが回転するものである。測
定するガス流量が1000ml／分以下であるときはい
つもベアリング摩擦の面で重要な問題が生じる。

それ故、この種のタービン型ガス流量計の感度
が良くなるにつれて、ロータブレードは手作業で
時間をかけてバランスをとらねばならず、摩擦の
問題を解消するための製造費用もそれに伴つて増
加する。

その他、従来の流量計は衝撃面の面積が大きい
ペルトン水車タービンのかき車の形状をしてい
る。このような衝撃面積の大きなタービン翼車に
ついては米国特許第4030357号、第3866469号、第
3021170号、第4011757号、第3867840号、第
400331号、第4172381号、第3792610号、第
3949606号、第4023410号及び第3701277号に開示
されている。この先行技術によれば、液体の流量
を測定対象とするタービン翼車或は水かき車の構
造について多くの注意が払われていることが判
る。これら水かき車の代表的な構造は感度の点か
ら、測定する液体の密度に略等しいプラスチツク
を用いて形成している。これは仮令タービン翼車
が可成り重くても流量計は測定中の液体に浮くか
ら、タービン翼車の重みはベアリングから取り除
かれ摩擦問題を殆んど減少させることができると
いう利点がある。全ての液体は通常状態のガスに
比較して可成り粘度が高い為、ベルトン水車ター
ビンは非常にたくさんの水かき部を設けねばなら
ず、或は又測定する液体の粘度が高いために流量
が多くなるとタービン翼車の抵抗は許容できない
程度にまで増大し、センサーは非直線的な電気的
出力を生じさせることになる。

従来のタービン翼車は測定する液体中で浮く傾
向にあつたため、タービン翼車の重みの少なくと
も幾らかはベアリングから取り除かれ、前述した
如く、摩擦問題を減少させる傾向にあつた。然し
乍ら、特に低速度のガスの場合、水かき車の摩擦
抵抗によつてガス流量の測定には不適当なものと
帰してしまつていた。更に又、ガスの比重は非常
に小さいためガス量計の場合、液体流量計の場合
に於けるような浮力効果は得ることができない。

米国特許第3788285号及び第3217539号は、流量
センサーに於て水かき車ではなくプロペラ型のロ
ータを開示している。ロータの回転に基づいて流
量を検出するために光電回路が用いられ、反射光
の遮断によつて検知するのである。然し乍ら形状
的な理由から、使用に供されるこれらロータの光
反射面の面積は限られており、更には流速が非常
に小さいガスの測定用としては不適なものであつ
た。

（発明の要約） 本発明は流速の小さなガスを測定する装置を包
含するものである。非常に肉薄で小径の円板をハ
ウジング内のチヤンバーに回転可能に取り付け、
その中に測定するべきガスを通すのである。デイ
スクの周囲には小さな複数個のタービンブレード
（reaction turbine blades）、即ち歯が形成され、
略一定の衝撃でチヤンバーに入つてくるガスを受
ける。ハウジングに配備されたノズル入口手段に
よつてチヤンバーに入るガスはデイスクの歯に当
たり、デイスクは回転させられるのである。光電
回路によつて光がデイスクの側部に当たり、デイ
スクのタービンブレードに加えられるガスの衝撃
に応答したデイスクの相対的な動きを測定するの
である。デイスクの側部には光電回路から発せら
れた光を反射する反射面が形成されているから、
反射光は光電子的に検出されてガス流量を電気的
に測定することができる。

本発明は空気に対する流量が例えば20ml／分、
或はそれより以下のガス流量でも回転することが
できるタービン翼車を明らかにするものである。
本発明に於て、ガスによつてタービン翼車に加え
られる衝撃トルクは、測定するガスの流量レベル
がこのように低い場合、シヤフトベアリング支持
体に支えられているタービン翼車の重みによつて
反対方向に生じる摩擦トルクを超えねばならない
ことが判つた。

流量の少ないガスを流量センサーによつて測定
する際、種々の要因の中で測定流量の最も少ない
ときにガスの流れによつてタービンブレードに加
えられる最大の衝撃力を決めることが重要である
ことを見出し、翼車の大きな外側半径にタービン
ブレードを配置し、ガスの流れによつて発生する
衝撃力の最大トルクをタービン翼車に与え、それ
と同時にタービン翼車の重量を最小に抑え、ベア
リング摩擦による反対方向のトルクを最小にする
のである。更に、タービン翼車の精密なバランス
とりを必要最小限なものとするために翼車を垂直
軸の周りで水平に回転させるのが望ましいことが
判つた。

（望ましい実施例の記載） 序 図面に於て、本発明の装置は符号Ａで表わして
いる。本発明の装置Ａは少ない流量、例えば20
ml／分オーダのガス流量の測定用として特に用い
られるものである。

装置Ａは又、ガス流量が少なく、圧力降下が水
柱10乃至20インチ程度から１又は２インチ程度と
小さいガスの流量測定にも用いることができる。
装置Ａを用いてガス流量をモニターすることので
きる一例として、環境上の目的から例えば汚染物
質の測定或は排出物の制御に関連したものが挙げ
られる。装置ＡはハウジングＨを備えており、該
ハウジングのチヤンバーＣの中を測定用のガスが
通過している。デイスクＤはチヤンバーＣに回転
可能に配備され、デイスクＤの周囲には複数個の
タービンブレードすなわち歯Ｔが形成され、入口
ＩのノズルＮを通じてガスがチヤンバーＣに入つ
てくる衝撃を受ける。光電回路Ｐによつてデイス
クＤの側部に光が当たるから、デイスクＤの反射
面は光を反射してガス流量を表わした電気信号を
形成することができる。

デイスク及びノズル 前述した如く、装置Ａはガス流量が小さく更に
流量トランスデユーサを通る圧力降下が小さいガ
ス流量の測定に用いるものである。ガス流量が少
なく圧力降下が小さい場合には、デイスクＤ及び
デイスクの歯Ｔの構造、ハウジングＨへのデイス
クＤの取付け、デイスクＤに対するノズルＮの配
置が重要であることを本発明者は見出した。実験
結果によつて、ノズルから排出するガス噴出口の
形状はノズルを通るときのガス圧力の降下が臨界
値より上であるか下であるかによつて異なること
が明らかになつた。

本発明に係る流量トランスデユーサは必然的に
圧力降下が非常に小さい用途（例えば水柱10乃至
20インチ）に用いられるから、背圧が水柱で20イ
ンチより小さいときの噴出口の形状についてのみ
記載する。この場合、噴出口は通常、円筒状の平
行な流れとなつて流出し、その表面は周囲のガス
によつて徐々に速度が減じられ、混合ゾーンが形
成されてそのゾーン内では噴出口の速度は最終的
に周囲ガスの速度まで低下する。然し乍ら本発明
の場合、そのようなことが起こらないようにデイ
スクＤ及びノズルＮを構成して配置している。小
さくて丸いノズルから出ていく噴出口出口の速度
は、本発明の場合、５〜20フイート／秒の速度範
囲内にあり、第１図はノズルＮがデイスクＤのタ
ービンブレードのバケツトから離間する際に衝撃
力はどのように衰えていくかを示している。

第２図から明らかな如く、ガスのノズル噴出口
からタービン翼車ブレードに加えられる衝撃力の
利点が実質的に失われない様にするために、本発
明にあつてはデイスクＤのタービン翼車ブレード
Ｔは0.10インチより小さい間隔にしなければなら
ないことが判つた。本発明にあつては、ブレード
ＴはデイスクＤの周囲に10度乃至20度の角度を有
するセグメントが互いに一定の間隔をあけて配備
される。このように本発明の代表的なデイスクＤ
が直径は0.64インチ、タービンブレードＴの数は
24個という比較的大きなデイスクの場合、ブレー
ドの望ましい間隔は0.084インチであり、このと
きノズルＮからの衝撃力に殆んど損失がなかつた
（約４％）。然し乍ら前記の寸法は単なる例示に過
ぎず、他の寸法も同じ様に用いることができるこ
とは理解されるべきである。第２図に示す如く、
デイスクＤの周囲に設けた歯Ｔの間隔が離れすぎ
ているとデイスクＤの軸ベアリングの回転摩擦抵
抗を小さくし回転状態を維持するためにはノズル
Ｎから出てくるガスのノズル速度を必然的に大き
くせねばならないことを本発明者は見出した。然
し乍ら、ガスノズル速度の増加によつてガス流量
は増大するから望ましいことではない。

デイスクＤの外周に一定の間隔をあけて複数個
の歯Ｔ（第１図）を対称的に配備しており、各々
の歯には衝撃面１６、頂面１８、及びたれ下がつ
た背面２０が形成されている。衝撃面１６はデイ
スクD′の中心軸２２から伸びる半径線に沿つて
形成している。衝撃面１６の表面積は、最大径の
ノズルを用いた場合の予想される最低圧力及び最
少流量のガスがチヤンバーに入つたときに、次な
る衝撃面が現われるようにデイスクＤが移動でき
るような大きさとする。更に、衝撃面１６はデイ
スクＤの半径の10％程度の比較的小さな部分を突
出させておくものとする。

ノズルＮからはその長軸に沿い、線２４で示す
如く、衝撃面１６に対して直交方向ではなく鋭角
にてガスが入ることは注目すべきことである。ノ
ズルＮと衝撃面１６とを鋭角の関係にすることは
互いに直交させるよりも有利であることを本発明
者は見出した。入口とパドル部とが直交している
従来のパドル翼車と本発明を比較した場合、パド
ルの衝撃面に加えられるガスの流れの部分は衝撃
面に沿つて下向きに流れ、ベルヌーイ効果が生
じ、パドル翼車には吸引力が作用して所定の回転
方向とは逆方向にパドル翼車を引く傾向となる。
然し乍ら本発明のノズルＮは、第１図に示す衝撃
面１６に対して15度程度の鋭角にしているから、
ポテンシヤルトルクの損失は殆んど認められな
い。

デイスクＤの歯Ｔのもう１つの特徴は、頂面１
８の接線に対して斜めに交わる背面２０を形成し
たことである。この傾斜角度は通常30度のオーダ
であるが、それより小さくても可く例えば25度と
することもできる。背面１８にこのように傾斜角
度を形成しているから、デイスクＤが回転し表面
１６の一部が曝されたリード位置（第１Ａ図）か
ら表面１６の全部が曝されたリード位置（第１Ｂ
図）、表面１６の一部が曝された後退位置へと移
動する際、衝撃面１６はノズルＮから送られるガ
スの力を連続的に受けることができる。

更に、第３図と第７図に示す如く、デイスクＤ
の両側面とノズルＮを装填したヨークＹとの間の
隙間は極く極く微小であるから、チヤンバーＣの
中へ入つてくるガスは殆んど側方へ逃げることは
なく入つてくるガスの殆んど全部の力がデイスク
Ｄの回転に作用し、入つてくるガスはデイスクＤ
に対して殆んど連続的にトルクを加えることがで
きる。これらの点を考慮して形成した本発明のデ
イスクＤとノズルＮの場合、ノズルＮからのガス
圧力或は歯Ｔの衝撃面１６に加えられる各々の連
続的な圧力は、連続した歯ＴがノズルＮの噴出口
からのブラントを受ける位置にくるまで、略一定
の状態に維持される。

デイスクＤは全体の重量を軽減するためにでき
る限り薄くするべきであり、これはデイスクＤの
回転中に於ける摩擦トルク発生の主な原因となる
からである。例えば、デイスクＤの厚さは0.03イ
ンチ（0.76mm）が例示されるが、他の寸法を採用
することができるのは勿論である。デイスクＤは
チヤンバーＣを流れるガスの種類に対して劣化し
難い合成樹脂等の軽量材料から形成することが望
ましい。かかる材料としてガラスが40％充填され
たポリフエニリンの硫化物が例示される。デイス
クＤの少なくとも一方の側部には適当数の反射面
２６を形成する。デイスクＤの残りの面２８につ
いては、デイスクＤを非反射材料から形成するか
又は非反射式のペイント若しくは同様なコーテイ
ングを施すことによつて反射しないようにするの
が一般的である。デイスクＤの回転中、光電回路
Ｐから光ビームが発せられ、反射面２６が光ビー
ムを通るたびに光ビームは反射し、反射した光ビ
ームのパルスを発生させることができる。この光
ビームは光電回路Ｐの中で用いられ、装置Ａを通
るガス流量を表わした電気信号を形成する。

デイスクＤの中央部には軸２２（第７図）が配
備され、ステンレス鋼等の適当に硬化した金属か
ら形成したチツプ３０を回動可能に備えており、
ガスがチヤンバーＣを通過するとともにそれに応
答してデイスクＤを回転運動させながら支持す
る。ヨーク即ち支持サドルＹはデイスクＤの各々
の側部にはアーム３２が形成され、チヤンバーＣ
（第３図）の中でデイスクＤを適所にて保持し、
又、前述の如く入つてくるガスが側方へ流れるこ
とを防いでいる。アーム３２には軸２２のチツプ
を受けるＶ字状のサフアイア支持面３３（第７
図）を形成している。サフアイアベアリング３３
とステンレス鋼から成る枢支チツプ３０の組合せ
によつてデイスクＤには回転運動が生じ、そのと
きの摩擦損失は非常に小さい。

ノズル装置 ノズル装置ＮはヨークＹに着脱可能に配備さ
れ、測定する装置に応じてノズルの直径を種々変
えて用いることができる。ノズル装置Ｎには、入
口Ｉに隣接しハウジングＨの本体部材４０に形成
された凹所３８の長さ方向の第１の部分に沿つて
取り付けられた円筒形のスリーブ３４が含まれて
いる。スリーブ３４のこの部分の周囲にはＯ−リ
ング或はその他適当なシール４２を配備し、該シ
ールは凹所３８に隣接し本体部材４０に形成され
た環状の空間４４の中に嵌められ、チヤンバーＣ
と入口Ｉを密封する。取付けスリーブ３４の残り
部分、即ち前部は凹所３８に隣接しヨークＹに形
成された凹所４６の中に収容される。ノズル装置
Ｎは又、入つてくるガスを歯Ｔに当てるノズル噴
出管４８を備えている。スリーブ３４は中央部に
ガスを通す中空部分を形成している。上記した如
く、サイズの異なる噴出管４８をスリーブ３４に
配備すれば、サイズ及び流量容量の異なるノズル
装置Ｎを提供することができる。

ハウジング ハウジングＨは任意の形状に形成することがで
き、一般的には本体部材４０とキヤツプ即ちカバ
ー５２を備えている。入口Ｉ及びノズルＮを通り
チヤンバーＣに入つてくるガスはデイスクブレー
ドを衝撃した後、本体部材４０に形成されている
チヤンバーＣに沿つて移動する。

チヤンバーＣは、デイスクの周囲を半周する円
弧状の通路であつて、入口Ｉと同方向に出口Ｏを
有しているから、ガスは流動方向を180°変えて大
きな運動量をデイスクに与えることが出来る。

本体部材４０とカバー５２は図示する如く、ボ
ルト５４又はその他適当な締付け手段によつて連
結され空洞Ｃが形成される。シール５６が本体部
材４０とカバー５２の間に配備されチヤンバーＣ
を密封する。シール５６は図示の如く、本体部材
４０に形成された溝５８に配備されるが、溝はカ
バー５２に形成しても可く或は本体部材及びカバ
ーの両方に形成することもできる。

本体部材４０はヨークを受けるポケツト穴を備
え凹所３８に隣接し、面６０，６２，６４が形成
される。面６０，６２，６４は本体部材４０の中
でヨークＹを受けるためにヨークの互いに対応す
る面と適合させている。更に、本体部材のこの部
分に於けるチヤンバーＣの幅は矢印６６で示す如
く、ヨークＹの幅と略等しい。従つてヨークＹと
ノズル装置ＮはチヤンバーＣの適所にてしつかり
と保持される。

望ましい実施例に於て、デイスクＤが垂直軸の
周りを回転可能となるようにデイスクＤと装置Ａ
は配置されているが、デイスクＤが水平軸の周り
を回転できるように配置することもできる。後者
の場合、デイスクＤの回転をスタートさせるため
のノズルのガス速度は大きくなるが、これはデイ
スクを水平軸の周りで回転可能に取り付けたとき
のデイスクのバランス精度が前者の場合よりもよ
くないためによるものと思われる。第８図はデイ
スクの回転をスタートさせるのに必要とされるノ
ズルのガス速度をプロツトしたものであつて、こ
の現象はノズル内径の函数として示される。

光電回路 光電回路Ｐは第４図及び第５図に示している。
光電回路Ｐは例えば赤外線型の発光ダイオード
（LED）と、例えば光−ダーリントン、トランジ
タ対７０の如き受光増幅回路とを含んでおり、反
射光を受け、感知した光を電気的な出力信号に変
換するものである。

発光ダイオード６８とトランジスタ対７０はデ
イスクＤの共通した側（第４図）に互いに接近配
備している。発光ダイオード６８とトランジスタ
７０はデイスクＤの側面に於て非常に接近した位
置に配備し、光がチヤンバーＣの中を通過せねば
ならない距離を最小なものにしている。このよう
にして、幾分濁つた、即ち半透明のガスの流量を
測定することができる。これはチヤンバーの中を
光を通過させねばならない従来の構造では考えら
れないことであつた。発光ダイオード６８と光ト
ランジスタ７０を必要に応じてチヤンバーＣ内に
てデイスクＤの両側に配備しても可い。

トランジスタ対７０に形成された電気的信号は
幾つかの方法にて測定したりモニターすることが
できる。例えば、パルスカウンター７２に接続す
れば感知した光に応答し、トランジスタ対７０が
形成する電気的なパルス数が計数される。カウン
ター７２に形成された計数は観察及びモニターす
るためのデイスプレイ７４への入力として供給さ
れる。或は又、トランジスタ対７０からの出力信
号は第５図の仮想線で示される如く、パルスメー
タに接続しトランジスタ対７０が形成する電気パ
ルスの数量を測定しデイスプレイすることもでき
る。更にトランジスタ対７０からのデータパルス
は必要に応じてＤ−Ａコンバータ７８によつて直
流レベルに変換することもできる。

光電回路Ｐに形成された電気的パルスの数はデ
イスクＤの回転数を示しており、チヤンバーＣを
通るガス流量を表わすものである。即ち、発光ダ
イオード６８から回転デイスクＤの側部に光が当
てられる。反射面２６が発光ダイオード６８を通
過すると、光はトランジスタ対７０に向けて反射
する。反射面２６がトランジスタ対７０に直面し
光をトランジスタ対に反射する時間はデイスクＤ
の相対的な回転速度に対して比例しており、従つ
てガス流量の測定をすることができる。第６図は
本発明に於て空気流量と反射面から送られる毎秒
あたりの光ビームパルス、すなわちトランジスタ
対７０からの出力信号との間に直線的関係が得ら
れることを示している。

本発明を用いてガスの流量を測定するには、測
定するべきガスを入口Ｉから入れて歯Ｔに当てて
デイスクＤを回転させる。デイスクＤが回転する
と、デイスクＤの側部に形成された反射面２６が
発光タイオード６８から発せられる光の中を通過
し、反射面２６から反射された光はトランジスタ
対７０に受けられ、装置Ａを通るガス流量を表わ
した電気的出力信号を形成する。

本発明の前述した開示及び記載は単に例示的に
説明したものであつて、回路要素接続及び例示し
た構造の詳細と同じ様に大きさ・形状及び材料に
ついて、本発明の精神から逸脱することなく種々
の変更をなすことはできる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第１Ａ図、第１Ｂ図及び第１Ｃ図は本
発明の装置に用いられるデイスクとノズル部分に
ついて、位置を互いに僅か変えた状態を示す図で
ある。第２図は本発明に係る第１図の構造につい
て衝撃力をノズル間隔の函数として表わしたグラ
フである。第３図は本発明に係る装置の一部を破
断した上面図である。第４図は第１図に示す装置
の側面図である。第５図は本発明に係る装置の電
気回路の略図である。第６図は本発明に係る装置
のノズルの直径を変え出力電圧を流量の函数とし
て表わしたグラフである。第７図は本発明に係る
第１図及び第４図の回転デイスクの取付けを示す
側面図である。第８図は本発明に係る装置に於て
ノズル内のガス速度をノズル径の函数として示し
たグラフである。 Ａ……ガス流量測定装置、Ｃ……チヤンバー、
Ｄ……デイスク、Ｈ……ハウジング、Ｔ……歯、
Ｎ……ノズル、Ｐ……光電回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 被測定ガスが通過するチヤンバーＣを備えた
   ハウジングと、ハウジングに取り付けられ、被測
   定ガスをチヤンバー内に導入するためのノズル手
   段Ｎと、チヤンバー内にて水平に且つ回転可能に
   配備された薄いデイスクＤと、デイスクの周囲に
   形成され、ノズル手段から導入された被測定ガス
   を受けるタービンブレードＴと、デイスクＤの上
   下面の何れか一方と対向してハウジングに取り付
   けられ、デイスクの相対的な移動を検出する光電
   回路手段Ｐとから構成されたガス流量測定装置に
   於て、 ハウジング内のチヤンバーは扁平に薄く形成さ
   れており、 タービンブレードＴはデイスクの周面に、10度
   乃至20度の間隔で密に形成され、 タービンブレードは導入されたガスを受ける歯
   が連続して構成され、各々の歯はガスを受ける衝
   撃面１６と、デイスクの接線方向に対して斜めに
   交わる背面２０を有しており、 ノズル手段Ｎは、導入されたガスがタービンブ
   レードの衝撃面に衝突するようにデイスクと同一
   平面内に配備されており、 光電回路手段は発光手段と、受光手段と、受け
   た光を電気的な出力信号に変換する変換手段を備
   えており、 デイスクＤは光電回路手段から発せられた光を
   反射させる少なくとも１つの反射面を光電回路手
   段に対向する側の表面に形成している ことを特徴とするガス流量測定装置。 ２ タービンブレードは、デイスクの周面に10〜
   20度の間隔で、且つ0.10インチ（2.5mm）より小
   さい間隔で密に形成されている特許請求の範囲第
   １項の装置。 ３ チヤンバーＣは、被測定ガスの入口Ｉからデ
   イスクの周囲を略半周して形成され、入口Ｉと同
   じ方向に出口を備えている特許請求の範囲第１項
   又は第２項の装置。