JPH0457326A - エッチング終点判定装置 - Google Patents
エッチング終点判定装置Info
- Publication number
- JPH0457326A JPH0457326A JP16666990A JP16666990A JPH0457326A JP H0457326 A JPH0457326 A JP H0457326A JP 16666990 A JP16666990 A JP 16666990A JP 16666990 A JP16666990 A JP 16666990A JP H0457326 A JPH0457326 A JP H0457326A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric signal
- output electric
- etching
- sensitivity
- end point
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 22
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、エブチング終点判」定装置に係り、特にエッ
チング時の発光量を電気信号に変換し該電気信号の変化
によりエツチングの終点を判定するのに好適なエツチン
グ終点判定装置に関するものである。
チング時の発光量を電気信号に変換し該電気信号の変化
によりエツチングの終点を判定するのに好適なエツチン
グ終点判定装置に関するものである。
エツチング吋の発光量を電気信号に変換し該電気信号の
変化によりエツチングの終点を判定する技術としては、
例えば、特開昭６２−２５４７３２号公報や特開昭６２
−１６５４２０号公報に記載のものが知られている。
変化によりエツチングの終点を判定する技術としては、
例えば、特開昭６２−２５４７３２号公報や特開昭６２
−１６５４２０号公報に記載のものが知られている。
ここで、特開昭６３−２５４７３２号公報では、入力電
気信号のオフセプト、ゲイン調整で光電変換素子の信号
を加工し、また、特開昭６２−１６５９２０号公報では
、光電変換素子のｇ度を調整して光電変換素子の信号を
変化させるようになっている。
気信号のオフセプト、ゲイン調整で光電変換素子の信号
を加工し、また、特開昭６２−１６５９２０号公報では
、光電変換素子のｇ度を調整して光電変換素子の信号を
変化させるようになっている。
上記前者の従来技術では、光電変換素子の信号が小さく
なると外部からのノイズに対して弱くなり、ゲインを上
げるとノイズも増幅してしまい、また、上記後者の従来
技術では、感度調整回路の設定精度および設定値と光電
変換素子出力との間に直線性がなく、かつ、安定してい
ないと信号波形に差が発生し、安定したエツチング終点
判定ができなくなるといった問題がある。
なると外部からのノイズに対して弱くなり、ゲインを上
げるとノイズも増幅してしまい、また、上記後者の従来
技術では、感度調整回路の設定精度および設定値と光電
変換素子出力との間に直線性がなく、かつ、安定してい
ないと信号波形に差が発生し、安定したエツチング終点
判定ができなくなるといった問題がある。
本発明の目的は、終点手足用信号波形を安定したものと
し、エツチング終点−」定をより安定に行なうことがで
きるエツチング終点判定装置を提供することにある。
し、エツチング終点−」定をより安定に行なうことがで
きるエツチング終点判定装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、エツチング終点判定装置を
、光電変換器からの出力電気信号のオフセプトを行なう
手段と、光電変換器の感度を該光電変換器からの出力電
気信号に応じて変化させる手段とを備えたものとしたも
のである。
、光電変換器からの出力電気信号のオフセプトを行なう
手段と、光電変換器の感度を該光電変換器からの出力電
気信号に応じて変化させる手段とを備えたものとしたも
のである。
入力信号波形を終点町定し易いようにするため、エツチ
ング開始後のある設定されたタイミングでオートオフセ
ット、コートゲイン機能によりエツチング終点判定時の
波形を、エツチングの繰り返しにより発光取出し窓のく
もり等により発光量が変化しても、一定とするが、発光
蓋の取込み量が大幅に減少すると信号が小さくなり、逆
に、ノイズ等の割合いが大きくなり、誤動作の原因とな
る。
ング開始後のある設定されたタイミングでオートオフセ
ット、コートゲイン機能によりエツチング終点判定時の
波形を、エツチングの繰り返しにより発光取出し窓のく
もり等により発光量が変化しても、一定とするが、発光
蓋の取込み量が大幅に減少すると信号が小さくなり、逆
に、ノイズ等の割合いが大きくなり、誤動作の原因とな
る。
これに対し、本発明では、発光量の取込み量が小さくな
り充電変換器からの出力電気信号が小さくなると、それ
に応じて光電変換器の感度を上げ、また、感度調整は、
発光量のレベルが一定範囲内に入るようにする。
り充電変換器からの出力電気信号が小さくなると、それ
に応じて光電変換器の感度を上げ、また、感度調整は、
発光量のレベルが一定範囲内に入るようにする。
このため、光電変換器からの出力電気信号が大幅に低下
することなく、ノイズ等に対して影響のない出力電気信
号が得られ、安定したエツチング終点判定が可能となる
。
することなく、ノイズ等に対して影響のない出力電気信
号が得られ、安定したエツチング終点判定が可能となる
。
以下、本発明の一実施例を第１図〜第３図により説明す
る。
る。
第１図で、試料（図示省ｌＥ！ｌｉ）のプラズマエツチ
ング処理時に生じ発光取出し窓（図示省略）を通して取
り出されるプラズマ発光の内で特定波長の発光が選択さ
れて光電変換器ｌに取り込まれる。
ング処理時に生じ発光取出し窓（図示省略）を通して取
り出されるプラズマ発光の内で特定波長の発光が選択さ
れて光電変換器ｌに取り込まれる。
該取り込まれた特定波長の発光は光電変換器ｌで電気信
号に変換されて出力される。出力電気信号は、アンプ２
を通りＤ／Ａ変換器３からの信号分を減算し、その結果
をゲインアンプ４により増幅されてマイクロコンピュー
タ５に取り込まれる。
号に変換されて出力される。出力電気信号は、アンプ２
を通りＤ／Ａ変換器３からの信号分を減算し、その結果
をゲインアンプ４により増幅されてマイクロコンピュー
タ５に取り込まれる。
更に、アンプ２の信号は、そのままマイクロコンピュー
タ５にも入力される。また、光電変換器１の感度は、光
電変換器用電源回路６および感度調整回路７によりマイ
クロコンピュータ５より調整できる。
タ５にも入力される。また、光電変換器１の感度は、光
電変換器用電源回路６および感度調整回路７によりマイ
クロコンピュータ５より調整できる。
Ｄ／Ａ変換器３．ゲインアンプ４は、アンプ２の出力信
号によりデータを変更し、第２図の０点および０点以降
の波形を同一とする。また、第３図に第２図の■点、■
点の光電変換器ｌの出力電気信号のエツチングの繰り返
しによる変化（通常、発光取り出し窓のべもりにより減
少する）を示す。
号によりデータを変更し、第２図の０点および０点以降
の波形を同一とする。また、第３図に第２図の■点、■
点の光電変換器ｌの出力電気信号のエツチングの繰り返
しによる変化（通常、発光取り出し窓のべもりにより減
少する）を示す。
光電変換器ｌの感度調整は、発光量のレベルが一定範囲
内に入るようにされる。つまり、光電変換器ｌの出力電
気信号が、第３図のＡ、 Ｂの範囲になるように感度
調整回路７へのマイクロコンピュータ５の信号を調整す
る。
内に入るようにされる。つまり、光電変換器ｌの出力電
気信号が、第３図のＡ、 Ｂの範囲になるように感度
調整回路７へのマイクロコンピュータ５の信号を調整す
る。
本実施例によれば、光電変換器の出力電気信号が、第２
図の０，０点で常に一定の範囲となることからＤ／Ａ変
換器、ゲインアンプの調整範囲で制限でき、Ｄ／Ａｆ換
器、ゲインアンプの分解能が同じで精度を同上すること
ができる。従って、終点判定波形の加工精度を向上でき
るので、より安定したエツチング終点判定を行なうこと
ができる。
図の０，０点で常に一定の範囲となることからＤ／Ａ変
換器、ゲインアンプの調整範囲で制限でき、Ｄ／Ａｆ換
器、ゲインアンプの分解能が同じで精度を同上すること
ができる。従って、終点判定波形の加工精度を向上でき
るので、より安定したエツチング終点判定を行なうこと
ができる。
なお、感度調整回路は、それほど精度が必要でない。
本発明によれば、終点判定波形の加工精度を向上できる
ので、より安定なエツチング終点判定を行なうことがで
きる効果がある。
ので、より安定なエツチング終点判定を行なうことがで
きる効果がある。
第１図は、本発明の一実施例のエツチング終点判定装置
の回路構成図、第２図は、第１図装置での入力信号波形
の模式図、第３図は、第２図の０゜０点の光電変換器の
出力信号のエツチングの繰り返しによる変化を示す模式
図である。 １・・・・・・光電変換器、２・・・・・・アンプ、３
・・・・・・Ｄ／Ａ変換器、４・・・・・・ゲインアン
プ、５・・・・・・マイクロコンピュータ、６・・・・
・・光電変換器用電源回路、７・・・・−・感度調整回
路 ” ） ４２図 第 図
の回路構成図、第２図は、第１図装置での入力信号波形
の模式図、第３図は、第２図の０゜０点の光電変換器の
出力信号のエツチングの繰り返しによる変化を示す模式
図である。 １・・・・・・光電変換器、２・・・・・・アンプ、３
・・・・・・Ｄ／Ａ変換器、４・・・・・・ゲインアン
プ、５・・・・・・マイクロコンピュータ、６・・・・
・・光電変換器用電源回路、７・・・・−・感度調整回
路 ” ） ４２図 第 図
Claims (1)
- １、光電変換器でエッチング時の発光量を電気信号に変
換し、該電気信号の変化によりエッチングの終点を判定
する装置において、前記光電変換器からの出力電気信号
のオフセットを行なう手段と、前記光電変換器の感度を
前記出力電気信号に応じて変化させる手段とを備えたこ
とを特徴とするエッチング終点判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16666990A JPH0457326A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | エッチング終点判定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16666990A JPH0457326A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | エッチング終点判定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0457326A true JPH0457326A (ja) | 1992-02-25 |
Family
ID=15835533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16666990A Pending JPH0457326A (ja) | 1990-06-27 | 1990-06-27 | エッチング終点判定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0457326A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62234330A (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-14 | Hitachi Ltd | 終点判定方法および装置 |
-
1990
- 1990-06-27 JP JP16666990A patent/JPH0457326A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62234330A (ja) * | 1986-04-04 | 1987-10-14 | Hitachi Ltd | 終点判定方法および装置 |
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