JPH0455336A - Production of glass particulate deposit - Google Patents

Production of glass particulate deposit

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JPH0455336A
JPH0455336A JP16218190A JP16218190A JPH0455336A JP H0455336 A JPH0455336 A JP H0455336A JP 16218190 A JP16218190 A JP 16218190A JP 16218190 A JP16218190 A JP 16218190A JP H0455336 A JPH0455336 A JP H0455336A
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JP
Japan
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target
glass
flame
burner
particulates
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JP16218190A
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Japanese (ja)
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Ryozo Yamauchi
良三 山内
Akira Wada
朗 和田
Taiichiro Tanaka
大一郎 田中
Tetsuro Nozawa
野沢 哲朗
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/46Comprising performance enhancing means, e.g. electrostatic charge or built-in heater

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Abstract

PURPOSE:To improve the deposition efficiency by forcedly cooling the surface of a rotating target out of direct contact with a flame during the deposition of glass particulates. CONSTITUTION:A metal halide such as SiCl4 forming a glass and a carrier gas of Ar, etc., are introduced into the oxygen flame of a burner 3 and oxidized in the flame to form oxide quartz glass particulates 31. The particulates 31 are blown against the side surface of a target 1 horizontally held and rotating around the center axis at about 40 r.p.m. In this case, a water current 41 is injected against the side surface of the target out of direct contact with the flame from a water cooling nozzle 4 arranged close to the target 1 and moving along with the reciprocation of the burner 3 to forcedly cool the surface. Since the burner 3 is reciprocated in the longitudinal direction of the target 1, the particulates 31 are deposited on the entire side surface of the target 1, and the deposit 5 of glass particulates is obtained with good efficiency.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

この発明は、ガラスよりなる光フアイバ母材を製造する
方法に関し、とくに、気相反応を利用してガラス微粒子
を発生させ、これをターゲ・ント上に堆積させてガラス
微粒子堆積体を作る方法の改良に関する。
The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber base material made of glass, and in particular to a method of producing a glass particle deposit by generating glass particles using a gas phase reaction and depositing them on a target. Regarding improvements.

【従来の技術】[Conventional technology]

従来より、気相反応を利用してガラス微粒子を発生させ
、これをターゲット上に堆積させてガラス微粒子堆積体
を作り、このガラス微粒子堆積体を高温で加熱して透明
なガラス塊(光フアイバ母材)を得て、このガラス塊を
線引紡糸することによって光ファイバを作成することが
行われている。 この場合、光フアイバ母材を得るための、ガラス微粒子
堆積体を製造する方法として、種々の製造方法が従来よ
り知られている。そのうち、いわゆるVAD法(軸付は
気相堆積法)及びOVD法(外付は気相堆積法)が、大
型の光フアイバ母材の作製ができ、大量生産に向いたガ
ラス微粒子堆積体の製造方法として知られている。 前者のVAD法では、第6図に示すように、複数のバー
ナ3に四塩化珪素などのガラス原料となる金属ハロゲン
化物を導入し、その火炎中にガラス微粒子を生成し、こ
のガラス微粒子を、ターゲット1すなわち出発部材2(
及びその上のガラス微粒子堆積体5)の下端に付着させ
てガラス微粒子堆積体5を形成する。このガラス微粒子
堆積体5は、その後加熱炉6により加熱されることによ
り透明化され、光フアイバ母材7とされる。 後者のOVD法では、第7図に示すように、バーナ3に
四塩化珪素などのガラス原料となる金属ハロゲン化物を
導入し、その火炎中にガラス微粒子を生成し、このガラ
ス微粒子を、ターゲット1すなわち出発部材2(及びそ
の上のガラス微粒子堆積体5)の側面に付着させてガラ
ス微粒子堆積体5を形成する。このガラス微粒子堆積体
5は、出発部材2をくり抜かれた状態で、その後加熱炉
6により加熱されることにより透明化され、光フアイバ
母材7とされる。出発部材2が後にコアとなるガラスで
形成されているときは出発部材2はくり抜かず出発部材
2を含んだ状態で加熱・透明化される。 これらのガラス微粒子堆積体の製造方法は、基本的に、 ■酸水素火炎のような火炎中に四塩化珪素のような金属
ハロゲン化物を導入し、熱酸化反応もしくは火炎加水分
解反応により、酸化物ガラス微粒子を発生させ、 ■回転するターゲットの側面もしくは下端面付近に上記
の火炎を吹き付けて、 ■そのターゲラ)・の側面または下端面に、発生したガ
ラス微粒子を連続的に堆積させる、というものである。 このようなガラス微粒子堆積工程において、微粒子堆積
のメカニズムはいわゆる温度勾配による物質め移動にと
もなう堆積(Thermophorhesi、s)が支
配的であると言われている。すなわち、ガラス微粒子が
効率よくターゲット上に堆積するためには、火炎の温度
は十分に高く、一方ターゲッ1〜面は冷えていてそのあ
いだの温度勾配が高いことが必要となる。VAD法とO
VD法とでは、上記のようにターゲットと火炎(バーナ
〉との位置関係が異なるが、このThergnopho
rhesisの観点からは、これらの位置関係は本質的
に同じと考えられる。
Conventionally, glass particles are generated using a gas phase reaction, deposited on a target to create a glass particle deposit, and this glass particle deposit is heated at high temperature to create a transparent glass lump (optical fiber matrix). Optical fibers are produced by drawing and spinning this glass block. In this case, various manufacturing methods are conventionally known as methods for manufacturing a glass particle deposit for obtaining an optical fiber base material. Among them, the so-called VAD method (vapor phase deposition method for shaft attachment) and OVD method (vapor phase deposition method for external attachment) are capable of producing large optical fiber base materials, and are suitable for manufacturing glass particle deposits suitable for mass production. known as the method. In the former VAD method, as shown in FIG. 6, a metal halide such as silicon tetrachloride, which is a raw material for glass, is introduced into a plurality of burners 3, glass fine particles are generated in the flame, and the glass fine particles are Target 1 or starting member 2 (
and the lower end of the glass fine particle deposit 5) thereon to form the glass fine particle deposit 5. This glass particle deposit 5 is then heated in a heating furnace 6 to become transparent, and is used as an optical fiber base material 7. In the latter OVD method, as shown in FIG. 7, a metal halide such as silicon tetrachloride, which is a raw material for glass, is introduced into the burner 3, glass fine particles are generated in the flame, and the glass fine particles are transferred to the target 1. That is, the glass fine particle deposit 5 is formed by adhering to the side surface of the starting member 2 (and the glass fine particle deposit 5 thereon). This glass particle deposit 5 is hollowed out from the starting member 2 and is then heated in a heating furnace 6 to be made transparent and used as an optical fiber base material 7. When the starting member 2 is made of glass that will later become the core, the starting member 2 is heated and made transparent without being hollowed out and containing the starting member 2. The manufacturing method of these glass fine particle deposits basically consists of: ■ Introducing a metal halide such as silicon tetrachloride into a flame such as an oxyhydrogen flame, and converting the oxide into an oxide through a thermal oxidation reaction or flame hydrolysis reaction. The method involves generating glass particles, then spraying the above-mentioned flame onto the side or bottom surface of a rotating target, and continuously depositing the generated glass particles on the side or bottom surface of the rotating target. be. In such a glass particle deposition process, the mechanism of particle deposition is said to be dominated by deposition accompanied by material transfer due to a so-called temperature gradient (thermophorhesi, s). That is, in order for the glass particles to be efficiently deposited on the target, it is necessary that the temperature of the flame is sufficiently high, while the target 1 to surface is cold and the temperature gradient therebetween is high. VAD method and O
The VD method differs in the positional relationship between the target and the flame (burner) as described above, but this Thergnopho
From the viewpoint of rhesis, these positional relationships are considered to be essentially the same.

【発明が解決しようとする課題] しかしながら、上記のような従来のガラス微粒子堆積体
の製造方法では、ガラス微粒子の付着効率が悪いという
問題がある。すなわち、上記のような方法で実際にガラ
ス微粒子を堆積させていくとき、理論的に発生するガラ
ス微粒子の総量に対して、現実にターゲットに補集され
るガラス微粒子の割合は、平均的にせいぜい50%程度
であり、悪い状態では30%台も有り得るほど低いのが
現状である。これは、バーナで発生したガラス微粒子を
ある程度効率よく補集しようとすると、バーナをターゲ
ットに近づけなければならず、バーナを接近させるとタ
ーゲットの温度が高くなってガラス微粒子を効率よく補
集できるような温度勾配が得られない、というデイレン
マに陥るためである。 この発明は、上記に鑑み、ガラス微粒子の付着効率を向
上させるよう改善した、光ファイバの大量生産に向いた
、ガラス微粒子堆積体の製造方法を提供することを目的
とする。 【課題を解決するための手段】 上記の目的を達成するため、この発明によれば、火炎中
でガラス微粒子を発生させ、このガラス微粒子を回転す
るターゲットに向かって吹き付けて該ターゲット上にガ
ラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法
において、上記堆積中に、回転するターゲットの火炎が
直接当たらない面を強制冷却することを特徴とする。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional method for manufacturing a glass particle deposit as described above, there is a problem in that the adhesion efficiency of glass particles is poor. In other words, when glass particles are actually deposited using the method described above, the proportion of glass particles that are actually collected on the target compared to the total amount of glass particles that are theoretically generated is, on average, at most. Currently, it is about 50%, and in bad conditions it is so low that it can go as high as 30%. This is because in order to collect the glass particles generated by the burner with a certain degree of efficiency, the burner must be brought closer to the target, and when the burner is brought closer, the target temperature increases, making it possible to collect the glass particles more efficiently This is due to the dilemma that a suitable temperature gradient cannot be obtained. In view of the above, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a glass particle deposit body, which is improved so as to improve the adhesion efficiency of glass particles and is suitable for mass production of optical fibers. [Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, according to the present invention, glass fine particles are generated in a flame, and the glass fine particles are blown toward a rotating target so that the glass fine particles are blown onto the target. A method for manufacturing a glass particle deposit body in which a glass particle deposit is deposited is characterized in that during the deposition, a surface of the rotating target that is not directly hit by the flame is forcibly cooled.

【作  用】[For production]

ガラス微粒子が火炎中で発生し、これが回転するターゲ
ットに向けて吹き付けられ、ガラス微粒子がターゲット
表面に付着する。 一方、回転するターゲットの、上記の火炎が直接当たら
ない側の面が、液体状の冷却水をかけられたり、霧状の
冷却水をかけられたりして、強制冷却される。 そのため、ターゲットの火炎が当たる部分には、つねに
強制的に冷却されて冷えた状態となっている面が連続的
に供給されることになる。 その結果、火炎とターゲットとの間の温度勾配が高めら
れ、このターゲットに吹き付けられたガラス微粒子がタ
ーゲット表面に付着する効率が向上する。
Glass particles are generated in the flame and blown toward a rotating target, causing the glass particles to adhere to the target surface. On the other hand, the surface of the rotating target on the side that is not directly hit by the flame is forcedly cooled by being sprayed with liquid cooling water or mist cooling water. Therefore, the part of the target that is hit by the flame is continuously supplied with a surface that is always forcibly cooled and in a cold state. As a result, the temperature gradient between the flame and the target is increased, and the efficiency with which the glass particles blown onto the target adhere to the target surface is improved.

【実 施 例】【Example】

以下、この発明の一実施例について図面を参照しながら
詳細に説明する。第1図はこの発明をOVD法に適用し
た一実施例を示すもので、この図において、バーナ3に
は酸素や水素などの燃焼用ガスが送り込まれて酸水素火
炎を生成しており、この火炎中に四塩化水素ガスなどの
ガラス原料となる金属ハロゲン化物がアルゴンガスなど
のキャリアガスとともに送り込まれる。この金属ハロゲ
ン化物〜は火炎中で酸化され、酸化物石英ガラス微粒子
が生成される。こうして火炎中に形成されるガラス微粒
子流31がターゲット1の側面に吹き付けられる。ター
ゲット1は水平に保持されてその中心軸の回りにたとえ
ば毎分40回転で回転させられており、また、バーナ3
がこのターゲット1の長さ方向に往復移動(トラバース
)させられている。そのため、ターゲット1の側面全周
にガラス微粒子が付着して堆積することになる。ここま
での構成は通常のOVD法と同じであるが、この発明に
よると、ターゲット1の一部を強制的に冷却する冷却装
置が付加されている。すなわち、何本かの水冷用ノズル
4がターゲット1の近傍に配置されてバーナ3のトラバ
ースとともにトラバースさせられており、この回転中の
ターゲット1の、火炎が直接当たらない側の面に水冷用
ノズル4から噴射される水流41が当てられ、その部分
が強制冷却されるようになっている。 ターゲット1は、最初出発部材2そのものであるが、そ
の側面にガラス微粒子が堆積してくると、このガラス微
粒子堆積体自体がターゲットとなる。 出発部材2は、この実施例では、第2図に断面を示すよ
うに、後に光ファイバのコアとなるコアガラス21を中
心に有し、その周囲に後に光ファイバのクラッドの一部
となるクラッドガラス22を有するものを使用している
。ここでは、コアガラス21はたとえば約5重量%の酸
化ゲルマニウムを含む石英ガラスからなり、クラッドガ
ラス22は実質的に純粋な石英ガラスからなる。 この実施例では、ターゲット1、バーナ3、水冷用ノズ
ル4の位置関係は第3図のようになっている。ここでは
出発部材2の周囲にすでにガラス微粒子堆積体5が形成
されているものとしている。 バーナ3からのガラス微粒子流31がターゲット1に当
たる側の面とは反対側の面に、水冷用ノズル4からの水
流41が当たるように水冷用ノズル4の位置が定められ
ている。これによりターゲット1において火炎が当たる
側の面とは反対側の約半面が強制冷却させられる。 これらバーナ3及び水冷用ノズル4の条件はたとえばつ
ぎの表のように定めることができる9(SLM=Sta
ndard Liter per Minite;標準
状態換算の毎分リットル) 上記の表に定める条件において、仮にすべてのガラス原
料がターゲット1に付着したとすると、26.8g/分
の速度でガラス微粒子堆積体5が成長するはずである。 そこで堆積中のターゲットlの重量を測定することによ
りその時間当りの増加率を求め、それから堆積効率を算
出したところ、第4図の○印でプロットしたようなデー
タが得られた。 参考例として、従来法、つまり水冷用ノズル4を用いな
い状態で、上記と同じ条件で堆積を行って同様に堆積効
率のデータを求めたところ、第4図のX印でプロットし
たようなものとなった。 この第4図から、従来法では、ターゲット1へのガラス
微粒子の堆積が進んである程度の太さになっても堆積効
率は60%どまりとなっており、出発部材2へのガラス
微粒子の付着がほとんど進んでいない状態のターゲット
1か細いときにはこの付着効率はさらに下がって直径2
511II11ではせいぜい15%となっていることが
わかる。これに対して、水冷用ノズル4がらの水流41
によって強制冷却したこの実施例では、ターゲット1の
直径が25聰の状態でも付着効率は22%となっており
、ガラス微粒子のターゲット1への付着が進んでターゲ
ット1の直径が150wとなった場合には付着効率は8
3%にまで増大している。 これは、第3図に示すように、回転するターゲット1の
火炎とは反対側の半面を、水冷用ノズル4からの水流に
よって強制的に冷却するため、火炎に当たる部分には冷
却されたターゲット1の面が連続的に供給されることに
なり、火炎とターゲット1との間の温度勾配が高まるこ
とによって、付着効率が向上したものと考えられる。 上記の実施例はこの発明をOVD法に適用したものであ
るが、VAD法にももちろん適用することができる。V
AD法に適用する場合、第5図に示すようになる。コア
用及びクラッド用のバーナ3の火炎中でガラス微粒子を
発生させ、これを回転する出発部材2の下′端に堆積さ
せ、ガラス微粒子堆積体5が成長してきたら、出発部材
2を回転させながら上方に引き上げる。こうして出発部
材2の軸方向にガラス微粒子堆積体5を成長させて行く
が、このターゲット1の、バーナ3からの火炎が当たる
側とは反対側の面に、水冷用ノズル4から噴射された水
流41を当てて強制冷却する。 これによって、−例では付着効率が従来の強制冷却を行
わない場合の約45%から約63%へと向上させること
ができることが確認できた。 なお、上記の実施例ではいずれも水冷用ノズル4からの
水流41を液体状のまま直接ターゲット1の表面に当て
るようにしたが、霧吹き器(ネブライザー)で水を霧状
にしてターゲット1の表面に吹き付けるようにして強制
冷却することもできる。
Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Figure 1 shows an embodiment in which the present invention is applied to the OVD method. In this figure, combustion gas such as oxygen or hydrogen is fed into the burner 3 to generate an oxyhydrogen flame. A metal halide, which serves as a raw material for glass, such as hydrogen tetrachloride gas, is fed into the flame together with a carrier gas such as argon gas. This metal halide ~ is oxidized in a flame to produce oxide quartz glass particles. The glass particle flow 31 thus formed in the flame is blown onto the side surface of the target 1. The target 1 is held horizontally and rotated around its central axis at, for example, 40 revolutions per minute, and the burner 3
is made to reciprocate (traverse) in the length direction of this target 1. Therefore, glass particles adhere and accumulate all around the side surface of the target 1. The configuration up to this point is the same as the normal OVD method, but according to the present invention, a cooling device for forcibly cooling a part of the target 1 is added. That is, several water cooling nozzles 4 are arranged near the target 1 and are traversed along with the traverse of the burner 3, and the water cooling nozzles 4 are placed on the side of the rotating target 1 that is not directly hit by the flame. A water stream 41 is ejected from 4 to forcefully cool that part. Initially, the target 1 is the starting member 2 itself, but when glass particles are deposited on the side surface of the starting member 2, this glass particle deposit body itself becomes the target. In this embodiment, as shown in the cross section in FIG. 2, the starting member 2 has a core glass 21 at the center which will later become the core of the optical fiber, and around it a cladding which will later become part of the cladding of the optical fiber. A glass 22 is used. Here, the core glass 21 consists of quartz glass containing, for example, about 5% by weight of germanium oxide, and the cladding glass 22 consists of substantially pure quartz glass. In this embodiment, the positional relationship among the target 1, burner 3, and water cooling nozzle 4 is as shown in FIG. Here, it is assumed that the glass fine particle deposit 5 has already been formed around the starting member 2. The water cooling nozzle 4 is positioned so that the water flow 41 from the water cooling nozzle 4 hits the surface opposite to the surface on which the glass particle flow 31 from the burner 3 hits the target 1. As a result, approximately half the surface of the target 1 on the side opposite to the side that is hit by the flame is forcedly cooled. The conditions for these burners 3 and water cooling nozzles 4 can be determined, for example, as shown in the following table 9 (SLM=Sta
Under the conditions specified in the table above, if all the glass raw materials were attached to the target 1, the glass fine particle deposit 5 would grow at a rate of 26.8 g/min. It should be done. Therefore, by measuring the weight of the target 1 being deposited, the rate of increase per hour was determined, and then the deposition efficiency was calculated, and data as plotted with the circles in FIG. 4 was obtained. As a reference example, when we performed deposition under the same conditions as above using the conventional method, that is, without using the water cooling nozzle 4, and similarly obtained data on deposition efficiency, we obtained data as plotted with the X mark in Figure 4. It became. From FIG. 4, it can be seen that in the conventional method, even if the deposition of glass particles on the target 1 progresses and reaches a certain thickness, the deposition efficiency is only 60%, and the adhesion of the glass particles to the starting member 2 is low. When the target 1 is thin and has hardly progressed, this adhesion efficiency decreases further and the diameter is 2.
It can be seen that for 511II11, it is at most 15%. On the other hand, the water flow 41 from the water cooling nozzle 4
In this example where the diameter of the target 1 was 25W, the adhesion efficiency was 22%, and when the glass particles were attached to the target 1 and the diameter of the target 1 became 150W, the adhesion efficiency was 22%. The adhesion efficiency is 8
This has increased to 3%. This is because, as shown in Fig. 3, the half of the rotating target 1 opposite to the flame is forcibly cooled by the water flow from the water cooling nozzle 4. It is thought that the adhesion efficiency was improved by increasing the temperature gradient between the flame and the target 1 because the surface of the target 1 was continuously supplied. Although the above embodiment is an application of the present invention to the OVD method, it can of course also be applied to the VAD method. V
When applied to the AD method, it becomes as shown in FIG. Fine glass particles are generated in the flame of the burner 3 for core and cladding, and deposited on the lower end of the rotating starting member 2. When the glass fine particle deposit 5 has grown, while rotating the starting member 2, pull upwards. In this way, the glass fine particle deposit 5 is grown in the axial direction of the starting member 2, and a water stream is injected from the water cooling nozzle 4 onto the surface of the target 1 opposite to the side that is hit by the flame from the burner 3. 41 for forced cooling. As a result, it was confirmed that in Example 1, the adhesion efficiency could be improved from about 45% in the conventional case without forced cooling to about 63%. In each of the above embodiments, the water stream 41 from the water cooling nozzle 4 was applied directly to the surface of the target 1 in a liquid state, but the water was made into a mist using a nebulizer and was sprayed onto the surface of the target 1. Forced cooling can also be performed by blowing on the air.

【発明の効果】【Effect of the invention】

以上、実施例について説明したように、この発明のガラ
ス微粒子堆積体の製造方法によれば、気相でガラス微粒
子を堆積する際のガラス微粒子の堆積効率を向上させる
ことができる。そのため、大型の光フアイバ母材を容易
に製造することができ、光ファイバの大量生産に貢献す
ること大である。
As described above with respect to the embodiments, according to the method for producing a glass fine particle deposit body of the present invention, it is possible to improve the deposition efficiency of glass fine particles when depositing glass fine particles in a gas phase. Therefore, large-sized optical fiber preforms can be easily manufactured, which greatly contributes to the mass production of optical fibers.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの発明の一実施例を模式的に示す斜視図、第
2図は同実施例で用いる出発部材の断面図、第3図はタ
ーゲットとバーナと水冷用ノズルとの位置関係を示すた
めの断面図、第4図は堆積効率のターゲット径依存性を
示すグラフ、第5図は他の実施例を模式的に示す斜視図
、第6図は従来のVAD法を示す模式図、第7図は従来
のOVD法を示す模式図である。 1・・・ターゲット、2・・・出発部材、21・・・コ
アガラス、22・・・クラッドガラス、3・・・バーナ
、31・・・ガラス微粒子流、4・・・水冷用ノズル、
41・・・水流、5・・・ガラス微粒子堆積体、6・・
・加熱炉、7・・・光フアイバ母材。
Fig. 1 is a perspective view schematically showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is a sectional view of a starting member used in the embodiment, and Fig. 3 shows the positional relationship between the target, burner, and water cooling nozzle. 4 is a graph showing the dependence of deposition efficiency on target diameter, FIG. 5 is a perspective view schematically showing another embodiment, and FIG. 6 is a schematic diagram showing the conventional VAD method. FIG. 7 is a schematic diagram showing the conventional OVD method. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Target, 2... Starting member, 21... Core glass, 22... Clad glass, 3... Burner, 31... Glass fine particle flow, 4... Water cooling nozzle,
41... Water flow, 5... Glass fine particle deposit, 6...
- Heating furnace, 7... Optical fiber base material.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)火炎中でガラス微粒子を発生させ、このガラス微
粒子を回転するターゲットに向かって吹き付けて該ター
ゲット上にガラス微粒子を堆積させるガラス微粒子堆積
体の製造方法において、上記堆積中に、回転するターゲ
ットの火炎が直接当たらない面を強制冷却することを特
徴とするガラス微粒子堆積体の製造方法。
(1) In a method for producing a glass particle deposit body in which glass particles are generated in a flame and the glass particles are blown toward a rotating target to deposit the glass particles on the target, the rotating target is produced during the deposition. 1. A method for producing a glass particulate deposit, characterized by forcibly cooling a surface that is not directly exposed to flame.
JP16218190A 1990-06-20 1990-06-20 Production of glass particulate deposit Pending JPH0455336A (en)

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JP16218190A JPH0455336A (en) 1990-06-20 1990-06-20 Production of glass particulate deposit

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8297079B2 (en) 2004-01-07 2012-10-30 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method of manufacturing porous glass base material used for optical fibers, and glass base material

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