JPH045510A - Measuring machine - Google Patents

Measuring machine

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Publication number
JPH045510A
JPH045510A JP10704290A JP10704290A JPH045510A JP H045510 A JPH045510 A JP H045510A JP 10704290 A JP10704290 A JP 10704290A JP 10704290 A JP10704290 A JP 10704290A JP H045510 A JPH045510 A JP H045510A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
detector
changer
workpiece
rotary table
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10704290A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshikatsu Maeda
前田 嘉克
Yasuo Mizuno
水野 康男
Kenichi Nakaura
中浦 健一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Seimitsu Co Ltd filed Critical Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority to JP10704290A priority Critical patent/JPH045510A/en
Publication of JPH045510A publication Critical patent/JPH045510A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To reduce the size and weight of a three-dimensional moving mechanism by constituting a detector provided to a detector mounting part replaceable. CONSTITUTION:When it is confirmed that a work 38 is carried in, the three- dimensional moving mechanism 14 is driven and a selected detector 16A in a detector changer 16 is arranged at a replacement position 30A. At the same time, a rotary table 18 rotates to hold the work 38 at a specific measurement position. Then a change arm 32A rotates and a detector 14A at the detector mount part 14 is replaced with the detector 16A in the detector changer 16 to mount the detector 16A on the detector mount part 14 newly. After the mounting operation is completed, the three-dimensional moving mechanism 12 is driven to arrange the detector 16A at the measurement position and the shape of the object part of the work 38 is measured.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は計測機に係り、特に生産ラインに於し1て検出
器を三次元方向に移動して被測定物の形状等を測定する
計測機に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a measuring instrument, and particularly to a measuring device in which a detector is moved in three-dimensional directions in a production line to measure the shape, etc. of an object to be measured. Regarding machines.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

一般的に生産ラインで使用されるインライン計測機は測
定に必要な多種の検出器を全て移動部に装着してこれら
の検出器の内から測定に必要な検出器を指定し、移動部
をx、ySz軸の三次元方向に移動して指定した検出器
でワークの形状等を測定していた。
In-line measuring equipment, which is generally used on production lines, attaches all the various types of detectors necessary for measurement to a moving part, specifies the one required for measurement from among these detectors, and then moves the moving part to , the shape of the workpiece, etc. was measured using a designated detector by moving in the three-dimensional direction of the ySz axis.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、測定に必要な検出器が全て移動部に装着
されているので、全ての検出器にフローティング、及び
リリーピンク用のユニントが必要であり移動部が大型化
して移動速度が遅くなり、測定を迅速に行えないという
問題があり、更に価格が高価になるという問題がある。
However, since all the detectors necessary for measurement are attached to the moving part, floating and lily pink units are required for all the detectors, which increases the size of the moving part and slows down the movement speed. There is a problem that it cannot be done quickly, and there is also a problem that it is expensive.

また、全ての検出器が移動部に設jすられているのて検
出器を増設することや変更することが困難となりワーク
の品種又は測定項目の変更等に対応しにくいという問題
があり、更に各ラインの検査用のワークに応じて必要な
検出器が全て設けられているのでそのワークの専用機と
なる為、高価格になるという問題がある。
In addition, since all the detectors are installed in moving parts, it is difficult to add or change detectors, making it difficult to respond to changes in the type of workpiece or measurement items. Since all the necessary detectors are provided according to the work to be inspected on each line, the machine is dedicated to that work, resulting in a high price.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、移動
部の小型化を図ることにより計測機の低価格化や計測時
間の短縮化を図り、更に汎用性に富んだインライン計測
機を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of these circumstances, and aims to reduce the cost of the measuring device and shorten the measuring time by downsizing the moving part, and provides an in-line measuring device with greater versatility. The purpose is to

〔課題を解決する為の手段〕[Means to solve problems]

本発明は、前記目的を達成する為に、計測機本体と、搬
送されてきたワークを保持してワークを任意の向きに固
定するロータリテーブルと、三次元移動機構に設けられ
、ロータリテーブル上のワークを測定する検出器をフロ
ーティング及びIJ IJ−ピンク可能に支持し、検出
器と電気的に接続可能な検出器装着部と、複数の検出器
を格納すると共に所望の検出器をチェンジャ駆動機構・
により交換位置に配置して、検出器装着部の検出器と交
換する検出器チェンジャと、搬送されてきたワークを保
持し任意の向きに固定するロータリテーブル機構と、使
用済みの検出器を検出器装着部から外して検出器チェン
ジャに戻すと共に新たな検出器を検出器チェンジャから
取り出して検出器装着部に装着するよう三次元移動機構
とチェンジャ駆動機構を制御する制御部と、測定データ
処理部とから成ることを特徴としている。
In order to achieve the above object, the present invention is provided with a measuring instrument main body, a rotary table for holding a transported workpiece and fixing the workpiece in an arbitrary direction, and a three-dimensional movement mechanism, which is provided on the rotary table. A detector mounting part that supports a detector that measures a workpiece in a floating manner and can be electrically connected to the detector, and a changer drive mechanism that stores a plurality of detectors and connects a desired detector
A detector changer that is placed in the replacement position and replaced with the detector in the detector mounting section, a rotary table mechanism that holds the transported workpiece and fixed it in any direction, and a rotary table mechanism that holds the transported workpiece and fixes it in any direction a control unit that controls a three-dimensional movement mechanism and a changer drive mechanism to remove the detector from the mounting part and return it to the detector changer, take out a new detector from the detector changer and mount it in the detector mounting part; and a measurement data processing part. It is characterized by consisting of.

〔作用〕[Effect]

本発明によれば、三次元移動機構に設けられた検出器装
着部にフローティング及びIJ リービング可能に支持
された検出器を外して、検出器チェンジャに格納されて
いる新たな検出器と交換することがてきる。従って、検
出器装着部に全ての検出器を設ける必要がなく、更に全
ての検出器にフローティング機器やりリービング機構を
設ける必要がない。
According to the present invention, a detector supported in a floating and IJ removable manner by a detector mounting portion provided in a three-dimensional movement mechanism is removed and replaced with a new detector stored in a detector changer. It's coming. Therefore, there is no need to provide all the detectors in the detector mounting section, and furthermore, there is no need to provide floating devices or reaving mechanisms for all the detectors.

〔実施例=1 以下添付図面に従って本発明に係る計測機について詳説
する。
[Example = 1] A measuring device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

第1図、第3図に示すようにインライン計測機10は、
三次元駆動機構12、検出器装着部14、検出器チェン
ジャ16、ロータリテーブル18、制御部20、及び測
定データ処理部52等から構成されている。
As shown in FIGS. 1 and 3, the inline measuring device 10 is
It is composed of a three-dimensional drive mechanism 12, a detector mounting section 14, a detector changer 16, a rotary table 18, a control section 20, a measurement data processing section 52, and the like.

三次元駆動機構12の移動ポスト21はベアリングガイ
ド22を介して架台24に第1図上でX軸方向に摺動自
在に設けられている。この移動ポスト21には枠体26
が第1図上で2軸方向く移動ポスト21の軸線方向)に
摺動自在に設けられ、枠体26には移動軸28がY軸方
向に摺動自在に設けられている。
The moving post 21 of the three-dimensional drive mechanism 12 is provided on a pedestal 24 via a bearing guide 22 so as to be slidable in the X-axis direction in FIG. This moving post 21 has a frame 26
is provided so as to be slidable in two axial directions (the axial direction of the moving post 21 in FIG. 1), and a moving shaft 28 is provided on the frame 26 so as to be slidable in the Y-axis direction.

従って、第2図に示すように三次元駆動機構12はユニ
ット化され、ユニー/ )化されたものがロータリテー
ブル18等を支持している架台24の側面に取付されて
いる。また、移動軸28は図示しないサーボモータの駆
動で第1図上でxlY、z軸の三次元方向に移動するこ
とができる。更に、移動ポスト21にはエアーバランス
機構が備えられているので、枠体26は所定の位置に停
止することができる。
Therefore, as shown in FIG. 2, the three-dimensional drive mechanism 12 is made into a unit, and the unitized one is attached to the side surface of a pedestal 24 that supports the rotary table 18 and the like. Further, the moving shaft 28 can be moved in three-dimensional directions of the xlY and z axes in FIG. 1 by driving a servo motor (not shown). Furthermore, since the moving post 21 is equipped with an air balance mechanism, the frame body 26 can be stopped at a predetermined position.

尚、三次元駆動機構12のx、、y、z軸にはリニアス
ケールを装着することができるので、必要な時にリニア
スケールを追加してワークの位置度等を測定することも
てきる。
Note that linear scales can be attached to the x, y, and z axes of the three-dimensional drive mechanism 12, so it is also possible to add linear scales to measure the position of the workpiece when necessary.

また、第1図上で移動軸28の右端部に設けられている
検出器装着部14は、検出器14Δをクランプ、フロー
ティング、リリービングし、更に検出器14Aと検出器
装着部14との間をワイヤレスの状態で電子信号を伝達
する機構を備えている。
Further, the detector mounting part 14 provided at the right end of the moving shaft 28 in FIG. It is equipped with a mechanism to transmit electronic signals wirelessly.

そしてフローティング機構は検出器14Aを軸線方向に
対して直交する方向に逃がすことができる。またフロー
ティング機構には位置検出センサが設けられて検出器が
基準位置に配置されると位置検出センサ(図示せず)か
らの信号で検出器装着部14を三次元方向に移動するサ
ーボモータ(図示せず)が駆動する。更に、フローティ
ング機構には検出器重量差によるセンタズレを補正する
ための機構が組込まれている。
The floating mechanism can then release the detector 14A in a direction perpendicular to the axial direction. Further, the floating mechanism is provided with a position detection sensor, and when the detector is placed at a reference position, a servo motor (see figure) moves the detector mounting part 14 in three-dimensional directions based on a signal from the position detection sensor (not shown). (not shown) is driven. Further, the floating mechanism includes a mechanism for correcting center deviation due to difference in detector weight.

また、検出器装着部14には検出器14Aを軸線方向に
逃がすことができるリリービング機構が設けられている
ので検出器14Aをワーク38に形成された孔等の被測
定部に挿入することができない場合でも検出器等の保護
を図ることができる。
Furthermore, since the detector mounting portion 14 is provided with a relieving mechanism that allows the detector 14A to escape in the axial direction, the detector 14A can be inserted into a portion to be measured such as a hole formed in the workpiece 38. Even if this is not possible, the detector etc. can be protected.

更に、ワイヤレス伝達機構には電磁誘導用のロータリー
トランスが備えられ、内径測定ゲージ(ボアゲージ)等
の電気マイクロメータ使用時の微弱な信号をV−F (
電圧−周波数)変換しワイヤレス伝送することができる
。尚、信号が大きい場合は接触式コネクタで伝送するこ
ともできる。
Furthermore, the wireless transmission mechanism is equipped with a rotary transformer for electromagnetic induction, and the weak signal when using an electric micrometer such as an inner diameter measurement gauge (bore gauge) is transferred to V-F (
(voltage-frequency) conversion and wireless transmission. Note that if the signal is large, it can also be transmitted using a contact type connector.

また、検出器チェンジャ16は、第1図に示すように架
台24に架台25を介して設けられる。
Further, the detector changer 16 is provided on a pedestal 24 via a pedestal 25, as shown in FIG.

架台25は用途に応じて別ユニットに変更され、架台2
4に取付は可能である。測定項目に応じた各種の検出器
16A、16B、16C・・を移動自在に格納し、必要
な検出器を選択して交換位置30Aに配置する格納i3
0と、検出器装着部14の検出器14Aと交換位置30
Aの検出器とを交換するチェンジアームユニット32と
から構成されている。チェンジアームユニット32のチ
ェンジアーム32Aは第1図上で時計回り方向に回動し
て両端部の凹部で検出器を交換する。尚、検出器16A
、16B、16C・・・はワーク38の測定内容、例え
ば内径測定、外径測定、穴深さ測定、ねじ深さ測定等に
応じて設けられる。
The pedestal 25 can be changed to a separate unit depending on the application, and the pedestal 25
4 can be installed. A storage i3 that movably stores various detectors 16A, 16B, 16C, etc. according to measurement items, selects the necessary detector, and places it in the replacement position 30A.
0, the detector 14A of the detector mounting part 14 and the replacement position 30
It consists of a change arm unit 32 for replacing the detector A. The change arm 32A of the change arm unit 32 rotates clockwise in FIG. 1 to replace the detector at the recesses at both ends. In addition, the detector 16A
, 16B, 16C, . . . are provided depending on the content of measurement of the workpiece 38, such as inner diameter measurement, outer diameter measurement, hole depth measurement, thread depth measurement, etc.

更に、ロータリテーブル18は、ワークを位置決めする
クランプ機構とワーク38を任意の角度に回転してワー
ク38に形成されている孔等の被測定部を測定可能な位
置に保持するロークリ機構とから構成されている。この
ロークリ機構にはダイレクトドライブモータが(図示せ
ず)採用され、任意角度(360”以内)の設定可能と
してテーブルヘッド18Aの表面に対して水中で第1図
上でY軸方向に対して斜め穴もロータリテーブル18を
回転することによりY軸方向に平行に保持して測定する
ことができる。
Furthermore, the rotary table 18 is composed of a clamp mechanism that positions the workpiece and a rotary mechanism that rotates the workpiece 38 at an arbitrary angle and holds a part to be measured such as a hole formed in the workpiece 38 at a measurable position. has been done. A direct drive motor (not shown) is adopted for this low-closing mechanism, and it is possible to set an arbitrary angle (within 360") with respect to the surface of the table head 18A in water, diagonally to the Y-axis direction in Figure 1. The hole can also be measured while being held parallel to the Y-axis direction by rotating the rotary table 18.

制御部20は第1図上で架台24に並設され、この制御
部20には三次元移動機構12、検出器チェンジャ16
及びロータリテーブル18の移動データがワーク38の
形状に基づいて入力されている。
The control unit 20 is arranged in parallel with the pedestal 24 in FIG.
and movement data of the rotary table 18 are input based on the shape of the workpiece 38.

尚、第1図上で48は操作盤、50はマスク格納部、5
2は測定データ処理部、54はワーク38の搬入ライン
、56はワーク38の搬出ラインである。
In addition, in Fig. 1, 48 is the operation panel, 50 is the mask storage section, and 5
2 is a measurement data processing section, 54 is a carry-in line for the work 38, and 56 is a carry-out line for the work 38.

前記の如く構成された本発明に係る計測機の作用につい
て説明する。
The operation of the measuring device according to the present invention configured as described above will be explained.

先ず、インライン計測機10でマスタリングする時の作
動を第4図に基づいて説明する。操作盤48のスタート
ボタンを押しくステップ70)、三次元移動機構12を
駆動して検出器装着1i11(14の検出器14Aを検
出器の交換位置に配置する(ステップ72)同時に検出
器チェンジャ16に設けられている検出器16A、16
B、16C・・の中から所望の検出器16Aを選択して
交換位置30Aに配置する(クランプ74)。次に、チ
ェンジアーム32Aが作動して検出器装着部14に設け
られている検出器14Aと選択された検出器16Aとを
交換する(クランプ76)。これにより検出器装着部1
4には新たな検出器16Aが装着される (ステップ7
6)。
First, the operation when performing mastering with the in-line measuring device 10 will be explained based on FIG. 4. Press the start button on the operation panel 48 (step 70), drive the three-dimensional movement mechanism 12 to place the detector mounting 1i11 (14 detectors 14A at the detector replacement position (step 72)), and at the same time, the detector changer 16 Detectors 16A, 16 provided in
A desired detector 16A is selected from B, 16C, etc. and placed at the replacement position 30A (clamp 74). Next, the change arm 32A is operated to exchange the selected detector 16A with the detector 14A provided in the detector mounting portion 14 (clamp 76). As a result, the detector mounting part 1
4 is equipped with a new detector 16A (Step 7
6).

次いて三次元移動機構12が駆動すると共にマスク部5
0に設けられている全てのマスクの中から所望のマスク
が選択され(ステップ78.80)、そのマスクが検出
器に取付けられる(ステップ82)。次いでマスクリン
グを行う (ステップ82.84)。以下上述した手順
で全てのマスクリングを完了する(ステップ86)。
Next, the three-dimensional movement mechanism 12 is driven, and the mask portion 5
A desired mask is selected from among all the masks provided at 0 (step 78, 80), and the mask is attached to the detector (step 82). Mask ringing is then performed (step 82.84). All mask rings are completed using the procedure described above (step 86).

尚、検出器交換に伴う倍率(感度)はあらかじめ各々の
検出器で調整されており、マスクリングは零範のみとし
て測定時間の短縮をはかっている。
Note that the magnification (sensitivity) associated with detector replacement is adjusted in advance for each detector, and the mask ring is used only for the zero range to shorten the measurement time.

次にインライン計測8!10でワーク38を測定する時
の作動を第5図jご基づいて説明する。先ず、ワーク3
8が搬入されてきたことを確認すると(ステップ90.
92)、マスタリング時と同様に三次元移動機構14が
駆動すると共に検出器チェンジャ16内の選択された検
出器16Aが交換位置30Aに配置される(ステップ9
4.96)。
Next, the operation when measuring the workpiece 38 using the in-line measurement 8!10 will be explained with reference to FIG. 5j. First, work 3
8 has been brought in (step 90.
92), as in mastering, the three-dimensional movement mechanism 14 is driven and the selected detector 16A in the detector changer 16 is placed at the exchange position 30A (step 9
4.96).

同時にロータリテーブル18が回転してワーク38を所
定の測定位置に保持する(ステップ98)。
At the same time, the rotary table 18 rotates to hold the workpiece 38 at a predetermined measurement position (step 98).

次に、チェンジアーム32Aを回動して検出器チェンジ
ャ16の検出器16Aと検出器装着部14の検出器14
Aとを交換し、新たな検出器16Aを検出器装着部14
に装着する(ステップ100)。
Next, the change arm 32A is rotated to change the detector 16A of the detector changer 16 and the detector 14 of the detector mounting part 14.
A, and install a new detector 16A in the detector mounting part 14.
(step 100).

装着完了後、三次元移動機構14を駆動して検出器16
Aを測定位置に配置し、ワーク38の被測定部の形状を
測定する(ステップ102.104)。測定結果は測定
データ処理部52に表示される(ステップ104.10
6.108)。そして測定結果が公差内に入っていない
場合には再測定が可能である。以下上述した手順でワー
ク38の他の被測定部を順次測定して測定を完了する(
ステップ110)。測定完了後、ワーク38は搬出され
る(ステップ112)。以下上述した手順で順次新たな
ワーク38の測定を行う。
After installation is completed, drive the three-dimensional movement mechanism 14 to move the detector 16
A is placed at the measurement position and the shape of the part to be measured of the workpiece 38 is measured (steps 102 and 104). The measurement results are displayed on the measurement data processing section 52 (step 104.10).
6.108). If the measurement result is not within the tolerance, re-measurement is possible. The other parts of the workpiece 38 to be measured are sequentially measured using the above-mentioned procedure to complete the measurement (
Step 110). After the measurement is completed, the workpiece 38 is carried out (step 112). Thereafter, measurements of new workpieces 38 are sequentially performed in accordance with the procedure described above.

尚、測定時において、ねし深さ(ネジ加工部の長さ)は
、光ファイバー光電スインチによりネジ山谷を検出して
検出時のレベル変化の数を検出してネジピッチとで算出
して求める。
At the time of measurement, the thread depth (the length of the threaded part) is determined by detecting the thread ridges and valleys using an optical fiber photoelectric switch, detecting the number of level changes at the time of detection, and calculating the thread pitch.

一方、測定項目が少ない場合は検出器装着部14をダイ
レクトドライブモータを備えたターレット式として検出
器チェンジャ16を除くこともできる。
On the other hand, if there are few measurement items, the detector mounting section 14 may be a turret type equipped with a direct drive motor, and the detector changer 16 may be omitted.

また、ユニット12.16.24はユニットとして適宜
組合せ可能であり、ワークの種類、品種測定項目に応じ
て既存のものと組合せることが出来る。従って、装置全
体を変えることなく、必要なユニットの部分のみを取換
え、汎用性を持たせることが出来る。
In addition, the units 12, 16, and 24 can be combined as appropriate as a unit, and can be combined with existing units depending on the type of workpiece and item to be measured. Therefore, it is possible to provide versatility by replacing only the necessary parts of the unit without changing the entire device.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明に係る計測機によれば、検
出器装着部に設けられた検出器の交換ができるので、三
次元移動機構を小型U量化することができ、三次元方向
への移動のスピードアップを図ることができる。
As explained above, according to the measuring instrument according to the present invention, the detector provided in the detector mounting part can be replaced, so the three-dimensional movement mechanism can be made into a compact U unit, and the three-dimensional movement mechanism can be It is possible to speed up movement.

また、検出器の被装着部の形状を統一することにより各
種の検出器の装着が可能であるので、製品のモデルチェ
ンジ等に伴うワークの測定項目の変更に容易に対応する
ことができる。 更に、検出器装着部にはフローティン
グ及びリリ〜ピング機構が備えられているので、各々の
検出器にこれらの機構が不要となり装置の小型化を図る
ことができる。
Moreover, since various types of detectors can be attached by unifying the shape of the part to which the detector is attached, it is possible to easily respond to changes in the measurement items of the workpiece due to model changes of the product, etc. Furthermore, since the detector mounting portion is equipped with a floating and reliving mechanism, each detector does not require these mechanisms, and the apparatus can be made more compact.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る計測機の全体斜視図、第2図はそ
の側面図、第3図はそのブロック図、第4図は本発明に
係る計測機のマスクリング時のフローチャート、第5図
はその測定時のフローチャートである。 10・・・計測機、     12・・・三次元移動機
構、14・・・検出器装着部、  16・・・検出器チ
ェンジャ、8・・・ロータリテーブル、2 1・・・移動ポスト、    2 4・・・架台、       2 8・・・移動軸、      3 2・・チェンジアームユニツ
FIG. 1 is an overall perspective view of a measuring device according to the present invention, FIG. 2 is a side view thereof, FIG. 3 is a block diagram thereof, FIG. 4 is a flowchart during mask ringing of the measuring device according to the present invention, and FIG. The figure is a flowchart at the time of the measurement. DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Measuring device, 12... Three-dimensional movement mechanism, 14... Detector mounting part, 16... Detector changer, 8... Rotary table, 2 1... Moving post, 2 4 ... Frame, 2 8... Movement axis, 3 2... Change arm unit

Claims (1)

【特許請求の範囲】 計測機本体と、 搬送されてきたワークを保持してワークを任意の向きに
固定するロータリテーブルと、 三次元移動機構に設けられ、ロータリテーブル上のワー
クを測定する検出器をフローティング及びリリービング
可能に支持し、検出器と電気的に接続可能な検出器装着
部と、 複数の検出器を格納すると共に所望の検出器をチェンジ
ャ駆動機構により交換位置に配置して、検出器装着部の
検出器と交換する検出器チェンジャと、 搬送されてきたワークを保持し、任意の向きに固定する
ロータリテーブル機構と、 使用済みの検出器を検出器装着部から外して検出器チェ
ンジャに戻すと共に新たな検出器を検出器チェンジャか
ら取り出して検出器装着部に装着するように三次元移動
機構とチェンジャ駆動機構を制御する制御部と、 検出器からのデータを処理する測定データ処理部と、 から成ることを特徴とした計測機。
[Claims] A measuring instrument main body, a rotary table that holds a transported workpiece and fixes the workpiece in an arbitrary direction, and a detector that is installed in the three-dimensional movement mechanism and measures the workpiece on the rotary table. A detector mounting part that supports the detector in a floating and releasable manner and can be electrically connected to the detector, and a detector mounting part that stores a plurality of detectors and positions the desired detector at a replacement position by a changer drive mechanism. A detector changer that replaces the detector in the detector mounting section, a rotary table mechanism that holds the transported workpiece and fixes it in any direction, and a detector changer that removes the used detector from the detector mounting section. a control unit that controls the three-dimensional movement mechanism and changer drive mechanism so as to return the sensor to the detector changer and take out a new detector from the detector changer and attach it to the detector mounting part; and a measurement data processing unit that processes data from the detector. A measuring device characterized by consisting of and.
JP10704290A 1990-04-23 1990-04-23 Measuring machine Pending JPH045510A (en)

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