JPH0444166Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0444166Y2 JPH0444166Y2 JP1987166453U JP16645387U JPH0444166Y2 JP H0444166 Y2 JPH0444166 Y2 JP H0444166Y2 JP 1987166453 U JP1987166453 U JP 1987166453U JP 16645387 U JP16645387 U JP 16645387U JP H0444166 Y2 JPH0444166 Y2 JP H0444166Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- filter
- chemical liquid
- air
- piping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 29
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compressor (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は薬液供給装置に関する。
従来の薬液供給装置を第３図及び第４図に示
す。
す。
第３図に示す装置はベローズポンプ３″が動作
し吸引排出を行い0.2μm〜2μmのメツシユサイズ
のフイルタ４″を通過しノズル７″から配管外へ薬
液が出るとともにエアー抜き配管６″を通過し配
管内に混入したエアーと共に一部の薬液がタンク
１″へ返るものであつた。また第４図に示す装置
はベローズポンプ３〓が動作し吸引排出を行い、
フイルタ２〓を通過しノズル７〓から配管外へ薬
液が出るというものであつた。
し吸引排出を行い0.2μm〜2μmのメツシユサイズ
のフイルタ４″を通過しノズル７″から配管外へ薬
液が出るとともにエアー抜き配管６″を通過し配
管内に混入したエアーと共に一部の薬液がタンク
１″へ返るものであつた。また第４図に示す装置
はベローズポンプ３〓が動作し吸引排出を行い、
フイルタ２〓を通過しノズル７〓から配管外へ薬
液が出るというものであつた。
上述した従来の薬液供給装置では第３図のよう
にフイルタがポンプの後段に設置されている場
合、フイルタ前後の差圧が大きいときにはフイル
タでのパーテイクル捕捉率が低くなるという欠点
を有し、また差圧が小さいときには薬液の供給量
不足や供給量不安定を招くという欠点があつた。
また第４図のようにポンプの前段にフイルタを設
置した場合には配管内にエアーを混入したときに
そのエアーにより薬液の安定供給ができなくなる
という欠点があつた。
にフイルタがポンプの後段に設置されている場
合、フイルタ前後の差圧が大きいときにはフイル
タでのパーテイクル捕捉率が低くなるという欠点
を有し、また差圧が小さいときには薬液の供給量
不足や供給量不安定を招くという欠点があつた。
また第４図のようにポンプの前段にフイルタを設
置した場合には配管内にエアーを混入したときに
そのエアーにより薬液の安定供給ができなくなる
という欠点があつた。
本考案の目的は前記問題点を解消した薬液供給
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
上述した従来の装置に対し、本考案はポンプの
前後にフイルタを設置することにより、ポンプ前
段のフイルタでは１Kg／cm2以下の低い差圧でパー
テイクルの捕捉を行い、またポンプ後段のフイル
タはパーテイクルの捕捉と同時に配管中に混入し
たエアーの除去を行うという相違点を有する。
前後にフイルタを設置することにより、ポンプ前
段のフイルタでは１Kg／cm2以下の低い差圧でパー
テイクルの捕捉を行い、またポンプ後段のフイル
タはパーテイクルの捕捉と同時に配管中に混入し
たエアーの除去を行うという相違点を有する。
上記目的を達成するため、本考案による薬液供
給装置においては、ポンプと、フイルタとを有す
る薬液供給装置であつて、 ポンプは、タンク内の薬液を配管内へ吸引して
配管外へ圧送するベローズポンプ又は、ダイヤフ
ラム型ポンプによる往復ポンプであり、 フイルタは、第１のフイルタと第２のフイルタ
とからなり、 第１のフイルタは、ポンプの前段の配管に設置
され、ポンプに吸引される薬液中に含まれたパー
テイクルを捕捉させるものであり、 第２のフイルタは、ポンプの後段の配管に設置
され、ポンプより圧送される薬液中に含まれるパ
ーテイクルを捕捉し、エアーを除去するものであ
り、 第２のフイルタの入力側にはエアー抜き配管が
接続され、エアー抜き配管は、エアーを含む薬液
をタンク内へ戻すものである。
給装置においては、ポンプと、フイルタとを有す
る薬液供給装置であつて、 ポンプは、タンク内の薬液を配管内へ吸引して
配管外へ圧送するベローズポンプ又は、ダイヤフ
ラム型ポンプによる往復ポンプであり、 フイルタは、第１のフイルタと第２のフイルタ
とからなり、 第１のフイルタは、ポンプの前段の配管に設置
され、ポンプに吸引される薬液中に含まれたパー
テイクルを捕捉させるものであり、 第２のフイルタは、ポンプの後段の配管に設置
され、ポンプより圧送される薬液中に含まれるパ
ーテイクルを捕捉し、エアーを除去するものであ
り、 第２のフイルタの入力側にはエアー抜き配管が
接続され、エアー抜き配管は、エアーを含む薬液
をタンク内へ戻すものである。
以下、本考案の実施例を図により説明する。
（実施例 １）
第１図は本考案の第１の実施例を示す配管図で
ある。
ある。
第１図において、タンク１に接続した薬液供給
用ポンプとしてのベローズポンプ３の前段に、主
としてパーテイクルを捕捉するメツシユサイズ
0.2μm〜2μmのフイルタ２を設置し、該ベローズ
ポンプ３の後段に、配管に混入したエアーの除去
及びパーテイクルを捕捉するメツシユサイズ
0.2μm〜2μmのフイルタ４を設置する。５はエア
ーオペレートバルブ、７はノズル、６はエアー抜
き配管である。エアー抜き配管６は、ベローズポ
ンプ３の後段の配管に配置されたフイルタ４の入
力側に一端が接続され、他端は、タンク１の上方
に開口されている。
用ポンプとしてのベローズポンプ３の前段に、主
としてパーテイクルを捕捉するメツシユサイズ
0.2μm〜2μmのフイルタ２を設置し、該ベローズ
ポンプ３の後段に、配管に混入したエアーの除去
及びパーテイクルを捕捉するメツシユサイズ
0.2μm〜2μmのフイルタ４を設置する。５はエア
ーオペレートバルブ、７はノズル、６はエアー抜
き配管である。エアー抜き配管６は、ベローズポ
ンプ３の後段の配管に配置されたフイルタ４の入
力側に一端が接続され、他端は、タンク１の上方
に開口されている。
実施例において、ベローズポンプ３が動作し縮
んだ状態から伸びた状態となり薬液は差圧0.3〜
0.7Kg／cm2の下でタンク１よりフイルタ２を通過
しベローズポンプ３へ吸引される。このとき、エ
アーオペレートバルブ５は閉である。
んだ状態から伸びた状態となり薬液は差圧0.3〜
0.7Kg／cm2の下でタンク１よりフイルタ２を通過
しベローズポンプ３へ吸引される。このとき、エ
アーオペレートバルブ５は閉である。
次にベローズポンプ３は伸びた状態から縮んだ
状態となりベローズポンプ３に入つた薬液は排出
されフイルタ４を２〜４Kg／cm2の差圧で通過しノ
ズル７から配管外へ出ると共にエアー抜き配管６
を通過し配管内に混入したエアーと共に一部の薬
液がタンク１へ返る。このときエアーオペレート
バルブ５は開である。
状態となりベローズポンプ３に入つた薬液は排出
されフイルタ４を２〜４Kg／cm2の差圧で通過しノ
ズル７から配管外へ出ると共にエアー抜き配管６
を通過し配管内に混入したエアーと共に一部の薬
液がタンク１へ返る。このときエアーオペレート
バルブ５は開である。
この動作を繰返し行う。
（実施例 ２）
第２図は本考案の実施例２の配管図である。本
実施例は、実施例１のベローズポンプをダイヤフ
ラム型ポンプ８′に代えたものである。ダイヤフ
ラム型ポンプ８′の前段にはフイルタ２′が設置さ
れ、後段にはフイルタ４′が配置され、フイルタ
４′の入力側に接続されたエアー抜き配管６がタ
ンク１′上に開口されている点は、前実施例と同
じである。
実施例は、実施例１のベローズポンプをダイヤフ
ラム型ポンプ８′に代えたものである。ダイヤフ
ラム型ポンプ８′の前段にはフイルタ２′が設置さ
れ、後段にはフイルタ４′が配置され、フイルタ
４′の入力側に接続されたエアー抜き配管６がタ
ンク１′上に開口されている点は、前実施例と同
じである。
まずダイヤフラム型ポンプ８′が動作し薬液は
0.3〜0.7Kg／cm2の差圧でタンク１′よりメツシユ
サイズ0.2μm〜2μmのフイルタ２′を通過しダイ
ヤフラム型ポンプ８′へ吸引される。このとき、
エアーオペレートバルブ５′は閉である。
0.3〜0.7Kg／cm2の差圧でタンク１′よりメツシユ
サイズ0.2μm〜2μmのフイルタ２′を通過しダイ
ヤフラム型ポンプ８′へ吸引される。このとき、
エアーオペレートバルブ５′は閉である。
次にダイヤフラム型ポンプ８′から薬液は排出
されメツシユサイズ0.2μm〜2μmのフイルタ４′
を２〜４Kg／cm2の差圧で通過しノズル７′から配
管外へ出ると共にエアー抜き配管６′を通過し配
管内に混入したエアーと共に一部の薬液がタンク
１′へ返る。このときエアーオペレートバルブ
５′は開である。
されメツシユサイズ0.2μm〜2μmのフイルタ４′
を２〜４Kg／cm2の差圧で通過しノズル７′から配
管外へ出ると共にエアー抜き配管６′を通過し配
管内に混入したエアーと共に一部の薬液がタンク
１′へ返る。このときエアーオペレートバルブ
５′は開である。
ダイヤフラム型ポンプ８′の排出が終ると共に
エアーオペレートバルブ５′は閉となりノズル
７′からの微小薬液出流れ防止のためダイヤフラ
ムバルブ９′が動作しノズル７′の出口の薬液を引
き戻す。
エアーオペレートバルブ５′は閉となりノズル
７′からの微小薬液出流れ防止のためダイヤフラ
ムバルブ９′が動作しノズル７′の出口の薬液を引
き戻す。
この動作を繰返し行う。
以上説明したように本考案は薬液供給用ポンプ
の前後段にフイルタを設置して溶液中のパーテイ
クルの捕捉及び配管に混入したエアーの除去を行
うことにより、薬液の清浄化と安定供給が同時に
実現できる効果がある。
の前後段にフイルタを設置して溶液中のパーテイ
クルの捕捉及び配管に混入したエアーの除去を行
うことにより、薬液の清浄化と安定供給が同時に
実現できる効果がある。
第１図、第２図は本考案の薬液供給装置を示す
配管図、第３図、第４図は従来例を示す配管図で
ある。 １，１′……タンク、２，２′，４，４′……フ
イルタ、３……ベローズポンプ、５，５′……エ
アーオペレートバルブ、６，６′……エアー抜き
配管、７，７′……ノズル、８′……ダイヤフラム
型ポンプ、９′……ダイヤフラムバルブ。
配管図、第３図、第４図は従来例を示す配管図で
ある。 １，１′……タンク、２，２′，４，４′……フ
イルタ、３……ベローズポンプ、５，５′……エ
アーオペレートバルブ、６，６′……エアー抜き
配管、７，７′……ノズル、８′……ダイヤフラム
型ポンプ、９′……ダイヤフラムバルブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ポンプと、フイルタとを有する薬液供給装置で
あつて、 ポンプは、タンク内の薬液を配管内へ吸引して
配管外へ圧送するベローズポンプ又は、ダイヤフ
ラム型ポンプによる往復ポンプであり、 フイルタは、第１のフイルタと第２のフイルタ
とからなり、 第１のフイルタは、ポンプの前段の配管に設置
され、ポンプに吸引される薬液中に含まれたパー
テイクルを捕捉させるものであり、 第２のフイルタは、ポンプの後段の配管に設置
され、ポンプより圧送される薬液中に含まれるパ
ーテイクルを捕捉し、エアーを除去するものであ
り、 第２のフイルタの入力側にはエアー抜き配管が
接続され、エアー抜き配管は、エアーを含む薬液
をタンク内へ戻すものであることを特徴とする薬
液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987166453U JPH0444166Y2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987166453U JPH0444166Y2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0173312U JPH0173312U (ja) | 1989-05-17 |
| JPH0444166Y2 true JPH0444166Y2 (ja) | 1992-10-19 |
Family
ID=31453847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987166453U Expired JPH0444166Y2 (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444166Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP1987166453U patent/JPH0444166Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0173312U (ja) | 1989-05-17 |
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