JPH0444140U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、実施例の概略構成断面図、第２図は
、筺体の断面図、第３図は、螺旋状の溝の断面図
、第４図は、従来例の概略構成断面図である。 １１……回転回転装置、１２……筺体、１２ａ
……内側壁、１３……螺旋状の溝、１４……蓋、
１５……回転体、１６……ウエハ収納部、１７…
…駆動部、１８……排出口、２２……開口部、２
４……通気口、２７……回転軸。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 円筒状の容器で形成した筺体と、 前記筺体の上端側に設けた開口部と、 前記開口部に対して開閉自在に設けた蓋と、 前記蓋に設けた通気口と、 前記筺体の内部に設けられ、上端が開口された
   円筒状の容器で形成されかつこの容器の全面に亙
   つて複数の孔が形成された回転体と、 前記回転体の内側に保持されたウエハ収納部と
   、 前記回転体の下端に回転軸を介して設けた駆動
   部と、 前記筺体の下部に形成した排出口とにより構成
   された回転乾燥装置において、 前記筺体の内側壁には、前記回転体の回転方向
   と同方向で前記開口部側より前記排出口に向かう
   螺旋状の溝が形成されたことを特徴とする回転乾
   燥装置。