JPH04362117A - 筒体内面のレーザ焼入れ方法 - Google Patents
筒体内面のレーザ焼入れ方法Info
- Publication number
- JPH04362117A JPH04362117A JP3163890A JP16389091A JPH04362117A JP H04362117 A JPH04362117 A JP H04362117A JP 3163890 A JP3163890 A JP 3163890A JP 16389091 A JP16389091 A JP 16389091A JP H04362117 A JPH04362117 A JP H04362117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- cylindrical body
- hardening
- laser
- central axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 8
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 8
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば内燃機関のシリ
ンダ等の耐摩性が要求される筒体の内面にレーザ焼入れ
を行う方法に関する。
ンダ等の耐摩性が要求される筒体の内面にレーザ焼入れ
を行う方法に関する。
【0002】
【従来の技術】内燃機関のシリンダ等の内面に、ほぼ市
松模様状にレーザ焼入れすることにより、シリンダ内面
の耐摩耗性を向上させることが知られている。
松模様状にレーザ焼入れすることにより、シリンダ内面
の耐摩耗性を向上させることが知られている。
【0003】このような従来の筒体内面へのレーサ焼入
れ方法としては、例えば図5に示されているようなもの
がある。この方法は、レーザ発振器1から放射されたレ
ーザ光2を、反射鏡3と集束用レンズ4とを備える照射
光学系5により、焼入れしようとする筒体6内に導くと
ともに、筒体6内に配設した反射鏡7により、筒体6の
内面6aに向かって再度反射し、反射鏡7を筒体6の中
心軸線Lと平行な軸線まわりに回転させるとともに、中
心軸線L方向に移動させることにより、レーザ光2を筒
体6の内面に沿って螺旋方向に走査し、かつ円周方向に
交互に配設したそれぞれn個の遮光部8aと透光部8b
とがレーザ光2の照射光路中に位置するようにした遮光
体8を、筒体6内に回動自在に配設し、レーザ光2の1
回転につき遮光体8をn等分の2分の1ピッチだけレー
ザ光2の回転と同方向又は反対方向に回動させることに
より、筒体6の内面6aに、図4に示すような擬似市松
模様状の焼入部9を形成するものである。
れ方法としては、例えば図5に示されているようなもの
がある。この方法は、レーザ発振器1から放射されたレ
ーザ光2を、反射鏡3と集束用レンズ4とを備える照射
光学系5により、焼入れしようとする筒体6内に導くと
ともに、筒体6内に配設した反射鏡7により、筒体6の
内面6aに向かって再度反射し、反射鏡7を筒体6の中
心軸線Lと平行な軸線まわりに回転させるとともに、中
心軸線L方向に移動させることにより、レーザ光2を筒
体6の内面に沿って螺旋方向に走査し、かつ円周方向に
交互に配設したそれぞれn個の遮光部8aと透光部8b
とがレーザ光2の照射光路中に位置するようにした遮光
体8を、筒体6内に回動自在に配設し、レーザ光2の1
回転につき遮光体8をn等分の2分の1ピッチだけレー
ザ光2の回転と同方向又は反対方向に回動させることに
より、筒体6の内面6aに、図4に示すような擬似市松
模様状の焼入部9を形成するものである。
【0004】10は、反射鏡7を支持した状態で回転し
うるとともに、集束用レンズ4とともに中心軸線L方向
に移動しうるようにした回転筒で、その外周面には、反
射鏡7により反射されたレーザ光2を通過させるための
窓孔11が設けられている。
うるとともに、集束用レンズ4とともに中心軸線L方向
に移動しうるようにした回転筒で、その外周面には、反
射鏡7により反射されたレーザ光2を通過させるための
窓孔11が設けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述のような従来のレ
ーザ焼入れ方法によると、レーザ光2を筒体6の内面に
沿って螺旋状に走査していたため、筒体6の内面におけ
る焼入れ開始点Stから1周して2周目に入るところで
高さHの段差が生じ、このような段差のある部分ではピ
ストンを円滑に案内することができないという問題点が
ある。特に、筒体6の中心軸線L方向の螺旋ピッチP0
が大きいときは、段差が顕著に現れるので、上記のよう
な問題が深刻となる。このために、必要とする焼入れ範
囲より少なくとも1周分以上余計に焼入れすると、作業
効率が悪くなってしまう。
ーザ焼入れ方法によると、レーザ光2を筒体6の内面に
沿って螺旋状に走査していたため、筒体6の内面におけ
る焼入れ開始点Stから1周して2周目に入るところで
高さHの段差が生じ、このような段差のある部分ではピ
ストンを円滑に案内することができないという問題点が
ある。特に、筒体6の中心軸線L方向の螺旋ピッチP0
が大きいときは、段差が顕著に現れるので、上記のよう
な問題が深刻となる。このために、必要とする焼入れ範
囲より少なくとも1周分以上余計に焼入れすると、作業
効率が悪くなってしまう。
【0006】また、上述のような従来の方法においては
、レーザ光2は、遮光体8の遮光部8aを照射している
ときは、遮光部8aの内面により乱反射させられ、筒体
6の内面6aの焼入れには全く用いられておらず、遮光
体8の透光部8bを通過したものだけが実際の筒体6の
内面6aの焼入れに用いられているに過ぎない。すなわ
ち、レーザ光2のエネルギの約2分の1が無駄に消費さ
れているという問題点がある。
、レーザ光2は、遮光体8の遮光部8aを照射している
ときは、遮光部8aの内面により乱反射させられ、筒体
6の内面6aの焼入れには全く用いられておらず、遮光
体8の透光部8bを通過したものだけが実際の筒体6の
内面6aの焼入れに用いられているに過ぎない。すなわ
ち、レーザ光2のエネルギの約2分の1が無駄に消費さ
れているという問題点がある。
【0007】本発明は、従来の技術が有する上記のよう
な問題点に鑑み、レーザ光のエネルギをすべて有効に焼
入れに用いることができるとともに、焼入れ開始部分に
段差が生じることがなく、しかも焼入れ作業を連続して
効率よく行えるようにした筒体内面のレーザ焼入れ方法
を提供することを目的としている。
な問題点に鑑み、レーザ光のエネルギをすべて有効に焼
入れに用いることができるとともに、焼入れ開始部分に
段差が生じることがなく、しかも焼入れ作業を連続して
効率よく行えるようにした筒体内面のレーザ焼入れ方法
を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明の筒体内面のレーザ焼入れ方法は、レーザ光を
、筒体内より筒体の円周方向と中心軸線方向とに移動さ
せて、筒体の内面を照射することにより、筒体の内面を
レーザ焼入れする方法において、前記レーザ光を、円周
方向に連続して等速回転させるとともに、一定時間間隔
毎に前記中心軸線方向に往復移動させ、かつレーザ光の
円周方向の1回転毎に、前記中心軸線方向の往復移動範
囲を、予め定めた1ピッチずつ前記中心軸線方向に順次
ずらせることを特徴としている。
、本発明の筒体内面のレーザ焼入れ方法は、レーザ光を
、筒体内より筒体の円周方向と中心軸線方向とに移動さ
せて、筒体の内面を照射することにより、筒体の内面を
レーザ焼入れする方法において、前記レーザ光を、円周
方向に連続して等速回転させるとともに、一定時間間隔
毎に前記中心軸線方向に往復移動させ、かつレーザ光の
円周方向の1回転毎に、前記中心軸線方向の往復移動範
囲を、予め定めた1ピッチずつ前記中心軸線方向に順次
ずらせることを特徴としている。
【0009】
【作用】レーザ光が、筒体の円周方向に連続して等速回
転させるとともに、一定時間間隔毎に筒体の中心軸線方
向に往復移動させ、かつレーザ光の円周方向の1回転毎
に、中心軸線方向の往復移動範囲を、予め定めた1ピッ
チずつ中心軸線方向に順次ずらせることにより、各段が
水平山部と水平谷部とが円周方向に交互に連続する台形
パルス波形状をなし、かつ各段の水平山部と次段の水平
山部との間に円周方向の位相が半ピッチ分ずれた各段の
水平谷部が位置する市松模様状の焼入部が形成される。
転させるとともに、一定時間間隔毎に筒体の中心軸線方
向に往復移動させ、かつレーザ光の円周方向の1回転毎
に、中心軸線方向の往復移動範囲を、予め定めた1ピッ
チずつ中心軸線方向に順次ずらせることにより、各段が
水平山部と水平谷部とが円周方向に交互に連続する台形
パルス波形状をなし、かつ各段の水平山部と次段の水平
山部との間に円周方向の位相が半ピッチ分ずれた各段の
水平谷部が位置する市松模様状の焼入部が形成される。
【0010】
【実施例】以下、本発明の方法の一実施要領を、図1な
いし図3を参照して説明する。
いし図3を参照して説明する。
【0011】図3は、本発明の方法の実施に用いるレー
ザ焼入装置の一例を示す。この装置は、図5に示す従来
のレーザ焼入装置から、遮光体8を除去したのと同一の
構造としてある。なお、図5に示すものと同一の部材に
は、同一の符号を付して図示し、その詳細な説明は省略
する。
ザ焼入装置の一例を示す。この装置は、図5に示す従来
のレーザ焼入装置から、遮光体8を除去したのと同一の
構造としてある。なお、図5に示すものと同一の部材に
は、同一の符号を付して図示し、その詳細な説明は省略
する。
【0012】反射鏡7の回転手段、及び反射鏡7と集束
用レンズ4とを同時に昇降させる昇降手段(いずれも図
示略)の制御は、予め定めたプログラムに従って数値制
御により行うのがよい。
用レンズ4とを同時に昇降させる昇降手段(いずれも図
示略)の制御は、予め定めたプログラムに従って数値制
御により行うのがよい。
【0013】この装置を用いて、本発明の方法を実施す
るには、まず、反射鏡3により反射されたレーザ光2が
筒体6の内面6aの焼入れ開始点Stに位置するまで、
集束用レンズ4と回転筒10と反射鏡7を、筒体6の中
心軸線Lに沿って下降する。
るには、まず、反射鏡3により反射されたレーザ光2が
筒体6の内面6aの焼入れ開始点Stに位置するまで、
集束用レンズ4と回転筒10と反射鏡7を、筒体6の中
心軸線Lに沿って下降する。
【0014】この状態から、回転筒10の回転手段を作
動し、回転筒10と反射鏡7とを一定速度で連続的に回
転させることにより、反射鏡7により反射されたレーザ
光2を、筒体6の円周方向に連続して等速回転させる。
動し、回転筒10と反射鏡7とを一定速度で連続的に回
転させることにより、反射鏡7により反射されたレーザ
光2を、筒体6の円周方向に連続して等速回転させる。
【0015】また、反射鏡7の回転周期に同期して、昇
降手段により、集束用レンズ4と回転筒10と反射鏡7
とを、一定時間間隔毎に、予め定めた範囲D内を中心軸
線L方向に交互に下降及び上昇させるとともに、レーザ
光2の円周方向の1回転毎に(すなわち反射鏡7の1回
転毎に)、上記往復移動範囲Dを、予め定めた1ピッチ
P1ずつ中心軸線L方向に順次ずらせる(図1参照)。 なお、往復移動範囲DはピッチP1の2分の1とし、レ
ーザ光2が1回転する直前には、レーザ光2は範囲Dの
下端側に位置し、1回転終了直後に、その位置から半ピ
ッチ(1/2P1)分だけ下降して、第2周目における
範囲Dの上端側に移行するようにするのがよい。
降手段により、集束用レンズ4と回転筒10と反射鏡7
とを、一定時間間隔毎に、予め定めた範囲D内を中心軸
線L方向に交互に下降及び上昇させるとともに、レーザ
光2の円周方向の1回転毎に(すなわち反射鏡7の1回
転毎に)、上記往復移動範囲Dを、予め定めた1ピッチ
P1ずつ中心軸線L方向に順次ずらせる(図1参照)。 なお、往復移動範囲DはピッチP1の2分の1とし、レ
ーザ光2が1回転する直前には、レーザ光2は範囲Dの
下端側に位置し、1回転終了直後に、その位置から半ピ
ッチ(1/2P1)分だけ下降して、第2周目における
範囲Dの上端側に移行するようにするのがよい。
【0016】このようにすることにより、筒体6の内面
には、図1に示すように、上から第1段目及びそれ以下
の各段が、水平山部12aと水平谷部12bとがそれら
の間に下向き傾斜部12cと上向き傾斜部12dとを順
次挟んで円周方向に交互に連続する台形パルス波形状を
なし、かつ上下に隣接する上段の水平山部12aと下段
の水平山部12aとの間に、上段の水平谷部12bが、
円周方向に隣接する水平山部12a間のピッチP2の半
ピッチ(1/2P2)分だけ円周方向にずれて位置する
市松模様状の焼入部12が形成される。
には、図1に示すように、上から第1段目及びそれ以下
の各段が、水平山部12aと水平谷部12bとがそれら
の間に下向き傾斜部12cと上向き傾斜部12dとを順
次挟んで円周方向に交互に連続する台形パルス波形状を
なし、かつ上下に隣接する上段の水平山部12aと下段
の水平山部12aとの間に、上段の水平谷部12bが、
円周方向に隣接する水平山部12a間のピッチP2の半
ピッチ(1/2P2)分だけ円周方向にずれて位置する
市松模様状の焼入部12が形成される。
【0017】焼入部12の第1段目から第2段目に移行
する部分には、第1段目の最終の水平谷部12bから第
2段目の最初の水平山部12aに連なる段切換用の下向
き傾斜部12eが形成され、下向き傾斜部12eは、水
平山部12aから水平谷部に移る際の下向き傾斜部12
cと同一であるので、段が切換ったことが見立たず、か
つ移行部分に段差が生じない。
する部分には、第1段目の最終の水平谷部12bから第
2段目の最初の水平山部12aに連なる段切換用の下向
き傾斜部12eが形成され、下向き傾斜部12eは、水
平山部12aから水平谷部に移る際の下向き傾斜部12
cと同一であるので、段が切換ったことが見立たず、か
つ移行部分に段差が生じない。
【0018】図1の例では、水平山部12aと水平谷部
12bとの中心軸線L方向の移動距離T1を、水平山部
12a及び水平谷部12bの焼入れ幅Wより大としてあ
るが、図2に示すように、移動距離T2を焼入れ幅Wと
ほぼ同一とすることにより、図1に示す傾斜部12c,
12d,12eをほとんどなくし、各段相互の移行部分
をさらに目立たなくすることができる。
12bとの中心軸線L方向の移動距離T1を、水平山部
12a及び水平谷部12bの焼入れ幅Wより大としてあ
るが、図2に示すように、移動距離T2を焼入れ幅Wと
ほぼ同一とすることにより、図1に示す傾斜部12c,
12d,12eをほとんどなくし、各段相互の移行部分
をさらに目立たなくすることができる。
【0019】なお、図1に示す各傾斜部12c,12d
,12eの焼入れ幅W′が水平山部12aや水平谷部1
2bの焼入れ幅Wより狭いのは、各傾斜部12c,12
d,12eにおいては、レーザ光2の走査速度が円周方
向の回転角速度と中心軸線L方向の移動速度とを合成し
た速度となり、水平山部12a等の走査速度より速く、
その分だけレーザ光2の照射線量が低下するので、照射
密度の高い中央部だけが焼入れされ、両側部が焼入れさ
れない状態となるからである。
,12eの焼入れ幅W′が水平山部12aや水平谷部1
2bの焼入れ幅Wより狭いのは、各傾斜部12c,12
d,12eにおいては、レーザ光2の走査速度が円周方
向の回転角速度と中心軸線L方向の移動速度とを合成し
た速度となり、水平山部12a等の走査速度より速く、
その分だけレーザ光2の照射線量が低下するので、照射
密度の高い中央部だけが焼入れされ、両側部が焼入れさ
れない状態となるからである。
【0020】
【発明の効果】本発明によると、次のような効果を奏す
ることができる。 (a) レーザ光を遮光体等により遮ぎることなく、
そのすべてを筒体の内面に照射してレーザ焼入れに用い
ることができるので、レーザ光のエネルギ効率がよい。 (b) 焼入部が、従来のような螺旋状でなく、各段
が台形パルス波形状の環状体をなす多段状体としたので
、焼入れ開始部分に段差が生じることがなく、また第1
周目(第1段目)と第2周目(第2段目)との段差が目
立たない美麗な市松模様状の焼入部を形成することがで
きる。 (c) 焼入れ開始部分に段差が生じないので、所望
の焼入れ領域より広い範囲にわたって余分な焼入れを行
う必要がない。 (d) レーザ光の円周方向の始動を途中で停止させ
たり、中断したりすることなく、連続して作業を行うこ
とができるので、作業性及び作業効率がよい。
ることができる。 (a) レーザ光を遮光体等により遮ぎることなく、
そのすべてを筒体の内面に照射してレーザ焼入れに用い
ることができるので、レーザ光のエネルギ効率がよい。 (b) 焼入部が、従来のような螺旋状でなく、各段
が台形パルス波形状の環状体をなす多段状体としたので
、焼入れ開始部分に段差が生じることがなく、また第1
周目(第1段目)と第2周目(第2段目)との段差が目
立たない美麗な市松模様状の焼入部を形成することがで
きる。 (c) 焼入れ開始部分に段差が生じないので、所望
の焼入れ領域より広い範囲にわたって余分な焼入れを行
う必要がない。 (d) レーザ光の円周方向の始動を途中で停止させ
たり、中断したりすることなく、連続して作業を行うこ
とができるので、作業性及び作業効率がよい。
【図1】本発明の方法によりレーザ焼入れした筒体内面
の焼入部の一例を示す展開図である。
の焼入部の一例を示す展開図である。
【図2】本発明の方法によりレーザ焼入れした筒体内面
の焼入部の他の例を示す展開図である。
の焼入部の他の例を示す展開図である。
【図3】本発明の方法の実施に用いる装置の一例を示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図4】従来の方法によりレーザ焼入れした筒体内面の
焼入部の一例を示す展開図である。
焼入部の一例を示す展開図である。
【図5】従来の方法の実施に用いる装置の一例を示す概
略斜視図である。
略斜視図である。
1 レーザ発振器
2 レーザ光
3 反射鏡
4 集束用レンズ
5 照射光学系
6 筒体
6a 内面
7 反射鏡
10 回転筒
11 窓孔
12 焼入部
12a 水平山部
12b 水平谷部
12c,12d 下向き傾斜部
12e 上向き傾斜部
D 往復移動範囲
L 中心軸線
St 焼入れ開始点
P1,P2 ピッチ
W,W′ 焼入れ幅
T1,T2 移動距離
Claims (1)
- 【請求項1】レーザ光を、筒体内より筒体の円周方向と
中心軸線方向とに移動させて、筒体の内面を照射するこ
とにより、筒体の内面をレーザ焼入れする方法において
、前記レーザ光を、円周方向に連続して等速回転させる
とともに、一定時間間隔毎に前記中心軸線方向に往復移
動させ、かつレーザ光の円周方向の1回転毎に、前記中
心軸線方向の往復移動範囲を、予め定めた1ピッチずつ
前記中心軸線方向に順次ずらせることを特徴とする筒体
内面のレーザ焼入れ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3163890A JPH04362117A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 筒体内面のレーザ焼入れ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3163890A JPH04362117A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 筒体内面のレーザ焼入れ方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04362117A true JPH04362117A (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=15782749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3163890A Withdrawn JPH04362117A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | 筒体内面のレーザ焼入れ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04362117A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002537121A (ja) * | 1999-02-19 | 2002-11-05 | フオルクスワーゲン・アクチエンゲゼルシヤフト | 耐摩耗性および減摩性のシリンダ摺動面を製作する方法と装置 |
DE19624499B4 (de) * | 1995-06-19 | 2005-06-23 | Mazda Motor Corp. | Verfahren und Vorrichtung zur Härtung unter Verwendung einer Hochfrequenzerwärmung |
KR100735616B1 (ko) * | 2006-01-06 | 2007-07-04 | 장달원 | 레이저를 이용한 강판 강화 방법 |
DE10059802B4 (de) * | 2000-12-01 | 2008-08-07 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zur Oberflächenvergütung |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP3163890A patent/JPH04362117A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19624499B4 (de) * | 1995-06-19 | 2005-06-23 | Mazda Motor Corp. | Verfahren und Vorrichtung zur Härtung unter Verwendung einer Hochfrequenzerwärmung |
JP2002537121A (ja) * | 1999-02-19 | 2002-11-05 | フオルクスワーゲン・アクチエンゲゼルシヤフト | 耐摩耗性および減摩性のシリンダ摺動面を製作する方法と装置 |
DE10059802B4 (de) * | 2000-12-01 | 2008-08-07 | Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft | Verfahren zur Oberflächenvergütung |
KR100735616B1 (ko) * | 2006-01-06 | 2007-07-04 | 장달원 | 레이저를 이용한 강판 강화 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100216226B1 (ko) | 수술용 레이저 빔 주사장치 | |
US20010021845A1 (en) | Scanning control for a pulsed laser beam in ablation | |
US4017708A (en) | Method and apparatus for heat treating an internal bore in a workpiece | |
CN110449733B (zh) | 一种激光加工系统及可调线宽的激光加工方法 | |
US4118619A (en) | Rotary beam chopper and scanning system | |
AU709412B2 (en) | Compound astigmatic myopia or hyperopia correction by laser ablation | |
KR101898978B1 (ko) | 균일한 전력 밀도 분포를 갖는 만곡된 표면 경로의 래스터링되는 레이저 용융 | |
KR20040083537A (ko) | 레이저빔으로 기판, 특히 전기회로 기판에 구멍을 뚫는 방법 | |
FR2705262A1 (fr) | Proccédé pour l'usinage de précision de surfaces de pièces. | |
JPH04362117A (ja) | 筒体内面のレーザ焼入れ方法 | |
JP2004066327A (ja) | レーザ加工装置、加工方法、および当該加工方法を用いた回路基板の製造方法 | |
KR950015550A (ko) | 스캐닝 조사 장치 및 이를 사용한 디바이스 제조방법 | |
JPH04135474A (ja) | 紙巻タバコ穿孔装置 | |
JP3772395B2 (ja) | レーザ溶接方法 | |
JP2747746B2 (ja) | 筒体内面のレーザ焼入れ方法 | |
US8319174B2 (en) | Scanned writing of an exposure pattern on a substrate having a spot size modulator and dual motor for moving the substrate table and a laser spot relative to each other | |
JP2009537333A (ja) | 移動基板をマイクロ構造化するための方法およびユニット | |
JPH075978B2 (ja) | シリンダブロツクの焼入れ方法およびその装置 | |
KR20060012396A (ko) | 다중 레이저 가공장치 | |
JPS63210240A (ja) | 円筒状ブロツクの焼入れ方法 | |
KR20060012395A (ko) | 폴리곤 미러를 이용한 다중 레이저 가공장치 | |
JP2002522191A (ja) | 表面切除用パルスレーザービームを走査する方法 | |
JPH04127254U (ja) | 円筒内面のレーザ焼入装置 | |
JP3170832B2 (ja) | 光学的造形方法 | |
US3701692A (en) | Method of flame cutting mud relief concavities in sprockets |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |