JPH04360552A - ワイヤー搬送システム - Google Patents
ワイヤー搬送システムInfo
- Publication number
- JPH04360552A JPH04360552A JP13609991A JP13609991A JPH04360552A JP H04360552 A JPH04360552 A JP H04360552A JP 13609991 A JP13609991 A JP 13609991A JP 13609991 A JP13609991 A JP 13609991A JP H04360552 A JPH04360552 A JP H04360552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- cylinder
- transfer system
- hot plate
- metal wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば半導体ウエハ
をホットプレート上に搬送するときに使用するワイヤー
搬送システムに関するものである。
をホットプレート上に搬送するときに使用するワイヤー
搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来のワイヤー搬送システムを示
す正面図、図４は図３の平面図である。図において、１
は３分割された角型ホットプレート、２は両端を別々に
固定した２本の保護膜付金属性ワイヤー、３ａ，３ｂは
金属性ワイヤー２を巻き取る２対の巻き取りモーター、
４は流す物である半導体ウエハ、５は金属性ワイヤー２
を通す４個のワイヤープーリー、６はモーター３ａ，３
ｂとワイヤープーリー５とをそれぞれ図定する４個のバ
ー、７はバー６を動作させると共に金属性ワイヤー２を
上下させる４個のシリンダーである。
す正面図、図４は図３の平面図である。図において、１
は３分割された角型ホットプレート、２は両端を別々に
固定した２本の保護膜付金属性ワイヤー、３ａ，３ｂは
金属性ワイヤー２を巻き取る２対の巻き取りモーター、
４は流す物である半導体ウエハ、５は金属性ワイヤー２
を通す４個のワイヤープーリー、６はモーター３ａ，３
ｂとワイヤープーリー５とをそれぞれ図定する４個のバ
ー、７はバー６を動作させると共に金属性ワイヤー２を
上下させる４個のシリンダーである。
【０００３】次に動作について説明する。前工程の別機
構で搬送された半導体ウエハ４は、この位置で４個のシ
リンダー７の引き込み動作で金属性ワイヤー２ごとに数
ミリ上昇する。次いで、２対の巻き取りモーター３ａ，
３ｂの巻き側モーター３ａを動作させ、ワイヤー２を動
かし半導体ウエハ４を角型ホットプレート１上まで搬送
する。そして、４本のシリンダー７の押し出し動作で２
本のワイヤー２を下降させ、角型ホットプレート１に乗
せる。ホットプレート１上で半導体ウエハ４が処理中、
２対の巻き取りモーター３ａ，３ｂの戻し側モーター３
ｂを動作させ、逆方向にワイヤー２を巻き取る。これら
一連の動作をホットプレート１の処理終了ごとに行う。
構で搬送された半導体ウエハ４は、この位置で４個のシ
リンダー７の引き込み動作で金属性ワイヤー２ごとに数
ミリ上昇する。次いで、２対の巻き取りモーター３ａ，
３ｂの巻き側モーター３ａを動作させ、ワイヤー２を動
かし半導体ウエハ４を角型ホットプレート１上まで搬送
する。そして、４本のシリンダー７の押し出し動作で２
本のワイヤー２を下降させ、角型ホットプレート１に乗
せる。ホットプレート１上で半導体ウエハ４が処理中、
２対の巻き取りモーター３ａ，３ｂの戻し側モーター３
ｂを動作させ、逆方向にワイヤー２を巻き取る。これら
一連の動作をホットプレート１の処理終了ごとに行う。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のワイヤー搬送シ
ステムは以上のように構成されているので、ワイヤー２
の長さが長く必要であり、巻き取りモーター３ａ，３ｂ
が４個あるために巻き取るタイミングと４本のシリンダ
ー７との動作するタイミングが非常に難しく、また機構
が複雑なためにワイヤー２の交換に時間がかかる等の問
題点があった。
ステムは以上のように構成されているので、ワイヤー２
の長さが長く必要であり、巻き取りモーター３ａ，３ｂ
が４個あるために巻き取るタイミングと４本のシリンダ
ー７との動作するタイミングが非常に難しく、また機構
が複雑なためにワイヤー２の交換に時間がかかる等の問
題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、機構が簡単でワイヤー長さも短
くその交換時間も短時間ですむワイヤー搬送システムを
得ることを目的とする。
ためになされたもので、機構が簡単でワイヤー長さも短
くその交換時間も短時間ですむワイヤー搬送システムを
得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るワイヤー
搬送システムは、金属性ワイヤーをエンドレス化してそ
の上下と搬送とを各々１個のシリンダーで行うようにし
たものである。
搬送システムは、金属性ワイヤーをエンドレス化してそ
の上下と搬送とを各々１個のシリンダーで行うようにし
たものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、金属性ワイヤーをエンド
レス化してその上下と搬送とを各々１個のシリンダーで
行えることにより機構が非常に簡単になる。
レス化してその上下と搬送とを各々１個のシリンダーで
行えることにより機構が非常に簡単になる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図１，図２につ
いて説明する。図１は正面図、図２は図１の平面図であ
り、前記従来のものと同一または相当部分には同一符号
を付して説明を省略する。図において、１Ａは丸型ホッ
トプレート、２Ａは２本のエンドレス状金属性ワイヤー
、５Ａは金属性ワイヤー２Ａをエンドレス化する８個の
ワイヤープーリー、６Ａはワイヤープーリー５Ａを固定
する４本のバー、８は金属性ワイヤー２の両端を固定し
てウエハ３を搬送するロッドレスシリンダー、９はバー
６Ａを介して金属性ワイヤー２Ａを上下させるシリンダ
ー、１０はバー６Ａの右側と左側とをつないで連動させ
る連結バー、１１はバー６Ａの手前と奥とをつないで連
動させると共にシリンダー９ともつなぐ連結ロッドであ
る。
いて説明する。図１は正面図、図２は図１の平面図であ
り、前記従来のものと同一または相当部分には同一符号
を付して説明を省略する。図において、１Ａは丸型ホッ
トプレート、２Ａは２本のエンドレス状金属性ワイヤー
、５Ａは金属性ワイヤー２Ａをエンドレス化する８個の
ワイヤープーリー、６Ａはワイヤープーリー５Ａを固定
する４本のバー、８は金属性ワイヤー２の両端を固定し
てウエハ３を搬送するロッドレスシリンダー、９はバー
６Ａを介して金属性ワイヤー２Ａを上下させるシリンダ
ー、１０はバー６Ａの右側と左側とをつないで連動させ
る連結バー、１１はバー６Ａの手前と奥とをつないで連
動させると共にシリンダー９ともつなぐ連結ロッドであ
る。
【０００９】次に動作について説明する。前工程の別機
構で搬送された半導体ウエハ４は、この位置で１個のシ
リンダー９の押し出し動作で２本の金属性ワイヤー２Ａ
ごと数ミリ上昇する。次いで、１個のロッドレスシリン
ダー８の左から右への動作で半導体ウエハ４を、丸型ホ
ットプレート１Ａの上まで搬送する。そして、１本のシ
リンダー９の引き込み動作で、２本の金属性ワイヤー２
Ａを下降させ、丸型ホットプレート１Ａに乗せる。丸型
ホットプレート１Ａで半導体ウエハ４が処理中、１個の
ロッドレスシリンダー８が右から左へ動作して金属性ワ
イヤー２Ａが元の位置へ戻る。以下、これら一連の動作
を丸型ホットプレート１Ａの処理終了ごとに行う。
構で搬送された半導体ウエハ４は、この位置で１個のシ
リンダー９の押し出し動作で２本の金属性ワイヤー２Ａ
ごと数ミリ上昇する。次いで、１個のロッドレスシリン
ダー８の左から右への動作で半導体ウエハ４を、丸型ホ
ットプレート１Ａの上まで搬送する。そして、１本のシ
リンダー９の引き込み動作で、２本の金属性ワイヤー２
Ａを下降させ、丸型ホットプレート１Ａに乗せる。丸型
ホットプレート１Ａで半導体ウエハ４が処理中、１個の
ロッドレスシリンダー８が右から左へ動作して金属性ワ
イヤー２Ａが元の位置へ戻る。以下、これら一連の動作
を丸型ホットプレート１Ａの処理終了ごとに行う。
【００１０】なお、上記実施例では２本の金属性ワイヤ
ー２Ａを使用したが、幅のあるベルトを使用してもよく
、又上記実施例では半導体ウエハ４の場合について説明
したが、薄板搬送にも上記実施例と同様の効果を奏する
。
ー２Ａを使用したが、幅のあるベルトを使用してもよく
、又上記実施例では半導体ウエハ４の場合について説明
したが、薄板搬送にも上記実施例と同様の効果を奏する
。
【００１１】
【発明の効果】以上のように、この発明によればシステ
ムが簡単になって装置が安価に出来、叉メンテナンス性
にもすぐれ、さらに品質の高い製品が得られるという効
果がある。
ムが簡単になって装置が安価に出来、叉メンテナンス性
にもすぐれ、さらに品質の高い製品が得られるという効
果がある。
【図１】この発明の一実施例によるワイヤー搬送システ
ムを示す正面図である。
ムを示す正面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】従来のワイヤー搬送システムを示す正面図であ
る。
る。
【図４】図３の平面図である。
【符号の説明】
１Ａ 丸型ホットプレート
２Ａ 金属性ワイヤー
４ 半導体ウエハ
５Ａ プーリー
６Ａ バー
８ ロッドレスシリンダー
９ シリンダー
１０ 連結バー
１１ 連結ロッド
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハをホットプレート上に搬送する
ときなどに使用するワイヤー搬送システムにおいて、金
属性ワイヤーと、搬送用シリンダーと、ワイヤー上下用
シリンダーとを備え、前記金属性ワイヤーをエンドレス
化したことを特徴とするワイヤー搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13609991A JPH04360552A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | ワイヤー搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13609991A JPH04360552A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | ワイヤー搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04360552A true JPH04360552A (ja) | 1992-12-14 |
Family
ID=15167250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13609991A Pending JPH04360552A (ja) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | ワイヤー搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04360552A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101026323B1 (ko) * | 2002-11-27 | 2011-03-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판처리장치 |
| JP2016022554A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 金堂 義明 | 定盤ユニット |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP13609991A patent/JPH04360552A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101026323B1 (ko) * | 2002-11-27 | 2011-03-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판처리장치 |
| JP2016022554A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 金堂 義明 | 定盤ユニット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| IT8620880A0 (it) | Dispositivo trasportatore per una linea di produzione con stazioni di lavorazione collegate in parallelo. | |
| GB2172867A (en) | Pallet conveyor and drive therefor | |
| CN106686894B (zh) | 适用于线路板蚀刻加工高效率智能化提升的方法及系统 | |
| CN205060643U (zh) | 一种智能卡输送机构的衔接装置 | |
| JPH04360552A (ja) | ワイヤー搬送システム | |
| GB1157136A (en) | Apparatus for the Feeding of Start Sheets for Electrolytic Refinement of Copper | |
| GB1227253A (ja) | ||
| CN208761533U (zh) | 一种料盒全自动回收生产线 | |
| JPH06262280A (ja) | トランスファフィーダ | |
| GB1248692A (en) | Apparatus for stacking and destacking timber, frames, panels and the like in wood-working workshops | |
| EP0458733A3 (en) | Method and device for transporting printed products | |
| DE60200668D1 (de) | Vorrichtung zum Be- und Entladen von Rollenpaletten für Fliesen | |
| JPS6117808Y2 (ja) | ||
| CN109368208A (zh) | 一种辅助入料信息输入装置 | |
| FI843755A0 (fi) | Proevningsanordning foer felidentifiering vid dubbla kopplingar, saerskilt processorer vid ett telefonfoermedlingssystem. | |
| ES8305268A1 (es) | Perfeccionamientos en los aparatos para empaquetar perfiles y barras. | |
| JPS62227534A (ja) | ワ−ク搬送装置 | |
| DE3365463D1 (en) | Transfer device | |
| JP2706202B2 (ja) | 水平循環式パレット搬送装置 | |
| CN216911996U (zh) | 铁芯铆压装置 | |
| JP3046670B2 (ja) | 部品搭載装置 | |
| JPH01271320A (ja) | 搬送コンベア | |
| EP0291499A3 (en) | Device for fabricating spacing frames for insulating glass panes | |
| JP2981608B1 (ja) | ローラコンベア | |
| FR2169086A1 (en) | Hot rolled product transporter - with reduced drive and support requirements |