JPH04355347A - Atomic absorption spectrophotometer - Google Patents

Atomic absorption spectrophotometer

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JPH04355347A
JPH04355347A JP15756291A JP15756291A JPH04355347A JP H04355347 A JPH04355347 A JP H04355347A JP 15756291 A JP15756291 A JP 15756291A JP 15756291 A JP15756291 A JP 15756291A JP H04355347 A JPH04355347 A JP H04355347A
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JP
Japan
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temperature
current
graphite tube
relationship
calibration
Prior art date
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Pending
Application number
JP15756291A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Honda
晃 本多
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Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To improve temperature accuracy and reproducibility of a heating furnace by automatizing the calibration of a current-temperature relationship. CONSTITUTION:Relationship between a value of current flowing through a graphite tube and temperature is held at a current-temperature holding section 2 and a relationship between the temperature and radiation intensity is held at a light-temperature relationship holding section 4. A current control section 6 controls the temperature of the graphite tube at a high temperature area by a light temperature control system based on the light-temperature relationship and at a low temperature area by a current control system based on the current- temperature relationship. A calibration section 8 calibrates the current- temperature relationship of the current-temperature holding section 2 from an electric energization value from the current-temperature relationship at a specified temperature in a temperature area of the light temperature control system and an actual electric energization value of the graphite tube.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は様々な物質中に含まれる
金属元素の定量分析を行なう原子吸光分光光度計に関し
、とくにフレームレス方式の原子吸光分光光度計に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an atomic absorption spectrophotometer for quantitatively analyzing metal elements contained in various substances, and more particularly to a flameless atomic absorption spectrophotometer.

【0002】0002

【従来の技術】フレームレス方式の原子吸光分光光度計
では、試料を加熱炉のグラファイトチューブ中に入れて
高温に加熱することにより、試料の乾燥、灰化及び原子
化を行なって原子蒸気を生成させ、その原子蒸気中に適
当な波長の光を透過させて原子吸光分析を行なう。加熱
炉ではグラファイトチューブの両端の電極からグラファ
イトチューブに通電することにより発熱させる。
[Prior Art] In a flameless atomic absorption spectrophotometer, a sample is placed in a graphite tube in a heating furnace and heated to a high temperature to dry, ash, and atomize the sample to produce atomic vapor. Atomic absorption spectrometry is performed by transmitting light of an appropriate wavelength through the atomic vapor. In the heating furnace, electricity is applied to the graphite tube from electrodes at both ends of the tube to generate heat.

【0003】加熱炉の温度を制御するのに、高温領域で
は光温度制御方式をとり、低温領域では電流制御方式を
とっている。グラファイトチューブの温度とその時のグ
ラファイトチューブからの輻射光強度との関係は個々の
グラファイトチューブによっても変化せず、使用によっ
てグラファイトチューブが消耗してきても変化しない。 それに対し、グラファイトチューブに流れる電流値と温
度との関係は個々のグラファイトチューブごとのばらつ
きや使用による消耗状態によっても変化する。そのため
、低温領域の電流制御方式で用いる電流−温度テーブル
を較正する必要がある。
To control the temperature of the heating furnace, a light temperature control method is used in the high temperature region, and a current control method is used in the low temperature region. The relationship between the temperature of the graphite tube and the intensity of radiant light from the graphite tube at that time does not change depending on the individual graphite tube, and does not change even if the graphite tube is worn out through use. On the other hand, the relationship between the current value flowing through the graphite tube and the temperature changes depending on variations among individual graphite tubes and the state of wear due to use. Therefore, it is necessary to calibrate the current-temperature table used in the current control method in the low temperature region.

【0004】従来はグラファイトチューブに流れる電流
を検出する電流センサのゲインを可変抵抗器を用いて調
節することにより電流−温度テーブルを較正している。 すなわち、較正用温度プログラム(電流制御方式)を実
行し、グラファイトチューブの輻射光強度から温度を検
出する光温度センサ出力が所定の温度での値になるよう
に可変抵抗器を調整する。
Conventionally, the current-temperature table is calibrated by adjusting the gain of a current sensor that detects the current flowing through the graphite tube using a variable resistor. That is, a calibration temperature program (current control method) is executed, and the variable resistor is adjusted so that the output of the optical temperature sensor, which detects the temperature from the radiant light intensity of the graphite tube, becomes a value at a predetermined temperature.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来の較正方式によれ
ば、測定の都度オペレータが電流−温度テーブルに対す
る較正を行なう必要があり、煩わしく、個人差も出る。 また、その較正も可変抵抗器のボリューム調整であるた
め、精密な較正は困難である。本発明は電流−温度関係
の較正を自動化することによってオペレータによる誤差
が入らず、精密な較正を可能にして加熱炉の温度精度及
び再現性を向上させることを目的とするものである。
According to the conventional calibration method, it is necessary for the operator to calibrate the current-temperature table every time a measurement is made, which is cumbersome and causes individual differences. Further, since the calibration is also a volume adjustment of a variable resistor, precise calibration is difficult. An object of the present invention is to automate the calibration of the current-temperature relationship, thereby eliminating operator error, enabling precise calibration, and improving the temperature accuracy and reproducibility of a heating furnace.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】図1により本発明を説明
する。通電されて発熱し、分析すべき試料を乾燥、灰化
及び原子化して原子蒸気を生成するグラファイトチュー
ブに流す電流値とそのときのグラファイトチューブの温
度との間の電流−温度関係は電流−温度保持部2に保持
され、グラファイトチューブの温度とグラファイトチュ
ーブからの輻射光強度との間の光−温度関係は光−温度
関係保持部4に保持されている。6はグラファイトチュ
ーブの通電量を制御する電流制御部であり、その制御方
式として高温領域ではグラファイトチューブからの輻射
光強度を検出し光−温度関係保持部4の光−温度関係を
もとにしてグラファイトチューブへの通電量にフィード
バックをかける光温度制御方式をとり、低温領域ではグ
ラファイトチューブに流れる電流を検出し電流−温度保
持部2の電流−温度関係をもとにしてグラファイトチュ
ーブへの通電量にフィードバックをかける電流制御方式
をとる。電流−温度保持部2の電流−温度関係を較正す
るために較正部8が設けられており、較正部8は光温度
制御方式の温度領域での所定温度における電流−温度関
係からの通電量とグラファイトチューブの実際の通電量
とから電流−温度保持部2の電流−温度関係を較正する
。電流制御部6の出力はグラファイトチューブへの通電
を制御するためにD/A変換器10へ送られる。
[Means for Solving the Problems] The present invention will be explained with reference to FIG. The current-temperature relationship between the current value passed through a graphite tube that is energized to generate heat, dry, ash, and atomize the sample to be analyzed to produce atomic vapor and the temperature of the graphite tube at that time is the current-temperature relationship. The light-temperature relationship between the temperature of the graphite tube and the intensity of radiant light from the graphite tube is held in the light-temperature relationship holding part 4 . Reference numeral 6 denotes a current control unit that controls the amount of current flowing through the graphite tube.The control method is to detect the intensity of radiated light from the graphite tube in the high temperature region and to control the current flow based on the light-temperature relationship in the light-temperature relationship holding unit 4. A light temperature control method is used that applies feedback to the amount of current flowing through the graphite tube. In low temperature regions, the current flowing through the graphite tube is detected and the amount of current flowing through the graphite tube is controlled based on the current-temperature relationship between the current and the temperature holding section 2. A current control method is used that applies feedback to the current. A calibration unit 8 is provided to calibrate the current-temperature relationship of the current-temperature holding unit 2, and the calibration unit 8 calculates the amount of energization from the current-temperature relationship at a predetermined temperature in the temperature range of the light temperature control method. The current-temperature relationship of the current-temperature holding section 2 is calibrated from the actual amount of current flowing through the graphite tube. The output of the current control section 6 is sent to a D/A converter 10 to control energization to the graphite tube.

【0007】較正部による較正動作は、乾燥、灰化及び
原子化の各ステップで構成する温度プログラムの実行中
、又は測定後温度を降下させる過程において、較正用温
度を通過するときに較正プログラムを実施する。較正プ
ログラムはまた、測定の温度プログラムと独立して設け
てもよい。較正部8により電流−温度保持部2の電流−
温度関係が較正されると、次回の温度プログラムの実行
時に低温領域においてはその較正された電流−温度関係
に従ってグラファイトチューブの通電量が制御される。
[0007] The calibration operation by the calibration section is performed by executing the calibration program when passing through the calibration temperature during the execution of the temperature program consisting of the steps of drying, ashing, and atomization, or during the process of lowering the temperature after measurement. implement. The calibration program may also be provided independently of the temperature program of measurement. Calibration section 8 determines the current - current of temperature holding section 2 -
Once the temperature relationship is calibrated, the amount of current flowing through the graphite tube is controlled in accordance with the calibrated current-temperature relationship in the low temperature region when the next temperature program is executed.

【0008】[0008]

【作用】図2はグラファイトチューブに電流を流すため
に発生する基準電圧Vとグラファイトチューブの温度と
の関係を表わしたものである。縦軸はまた、グラファイ
トチューブの流れる電流値を検出する電流センサ出力も
表わしている。実線の曲線はV=f(T)と表わされ、
これは電流−温度関係保持部2に例えば電流−温度テー
ブルとして保持されているものである。現在使用中のグ
ラファイトチューブについて電流センサで通電量を測定
すると、その電流センサの出力は例えば破線で示される
ようになったとする。破線の曲線はV=g(T)=αf
(T)と表わすことができる。αは較正係数である。グ
ラファイトチューブの温度を正しく制御するには、V=
g(T)に従った基準電圧をD/A変換器10から出力
しなければならない。
[Operation] FIG. 2 shows the relationship between the reference voltage V generated to cause a current to flow through the graphite tube and the temperature of the graphite tube. The vertical axis also represents the current sensor output that detects the value of the current flowing through the graphite tube. The solid curve is expressed as V=f(T),
This is held in the current-temperature relationship holding section 2 as, for example, a current-temperature table. Suppose that when a current sensor measures the amount of current flowing into a graphite tube currently in use, the output of the current sensor is indicated by, for example, a broken line. The dashed curve is V=g(T)=αf
(T). α is a calibration factor. To properly control the temperature of the graphite tube, V=
A reference voltage according to g(T) must be output from the D/A converter 10.

【0009】較正を行なう温度をTcとする。Tcはグ
ラファイトチューブからの輻射光によって正確に検出す
ることのできる温度である。較正温度Tcにおいて電流
センサの検出出力がV’であるとすれば、較正係数αは
α=V’/Voとして算出される。Voはグラファイト
チューブの温度Tcに対応した基準電圧であり、電流−
温度関係保持部2に保持されている値である。次回の測
定用温度プログラムでは、基準電圧はV=αf(T)に
従って出力される。
Let Tc be the temperature at which calibration is performed. Tc is the temperature that can be accurately detected by radiation from the graphite tube. If the detection output of the current sensor is V' at the calibration temperature Tc, the calibration coefficient α is calculated as α=V'/Vo. Vo is the reference voltage corresponding to the temperature Tc of the graphite tube, and the current -
This is the value held in the temperature relationship holding unit 2. In the next measurement temperature program, the reference voltage is output according to V=αf(T).

【0010】図3は測定用温度プログラムの例を表わし
たものであり、この例は灰化温度や原子化温度までグラ
ファイトチューブの温度を階段状に変化させるSTEP
モードを示している。温度プログラムの他のモードとし
ては、温度を連続的に変化させるRAMPモードがある
。本発明の較正プロセスはいずれのモードの温度プログ
ラムにも適用することができる。較正を測定用温度プロ
グラムの実行中の昇温過程で行なう場合は、図4(A)
のSTEPモードでも、(B)のRAMPモードでもよ
く、いずれもグラファイトチューブの温度をその輻射光
から検出してその温度がTcを通過するときに電流セン
サの出力を読み取って較正を行なう。較正は、図5に示
されるように測定用温度プログラムの実行中の降温過程
で較正温度Tcを通過するときに行なうこともできる。 図5(A)はRAMPモード、(B)はSTEPモード
の場合を示している。較正はまた、測定用温度プログラ
ムと独立して行なうこともできる。その場合はグラファ
イトチューブの温度を室温から較正温度Tcまで上げ、
その温度に所定の時間保った後、室温まで低下させる。
FIG. 3 shows an example of a temperature measurement program, and this example is a STEP program that changes the temperature of the graphite tube stepwise up to the ashing temperature and atomization temperature.
Indicates the mode. Another temperature program mode is a RAMP mode in which the temperature is continuously changed. The calibration process of the present invention can be applied to either mode of temperature programming. If calibration is performed during the temperature increase process during execution of the measurement temperature program, please refer to Figure 4 (A).
The STEP mode shown in FIG. 1 or the RAMP mode shown in FIG. Calibration can also be performed when the temperature passes through the calibration temperature Tc during the temperature decreasing process during execution of the measurement temperature program, as shown in FIG. FIG. 5(A) shows the case of RAMP mode, and FIG. 5(B) shows the case of STEP mode. Calibration can also be performed independently of the measuring temperature program. In that case, raise the temperature of the graphite tube from room temperature to the calibration temperature Tc,
After maintaining the temperature for a predetermined period of time, the temperature is lowered to room temperature.

【0011】図6と図7により測定温度プログラムの昇
温過程で較正を行なう場合の動作を改めて説明する。測
定用温度プログラムを作成し、温度プログラム中で較正
を行なうタイミングを決定する。そのタイミングは例え
ば図4の例では較正を行なうステージナンバー又は較正
を行なう時間により決定することができる。温度プログ
ラムの過程で較正を行なうことができるためには、その
温度プログラムが較正温度Tc以上になるステージを含
んでいなければならない。温度プログラムが較正温度T
c以上になるステージを含んでいるときは、温度プログ
ラムの実行を開始し、やがて較正を行なうステージにな
ると較正が実行される。加熱モードがSTEPモードの
ときはそのステージ(N−1)から、後で説明する較正
プログラム(図7)に移行する。較正終了後、次のステ
ージNを実行し、残りのステージを実行して温度プログ
ラムを終了する。一方、RAMPモードではステージN
の実行の途中で較正温度Tcになった時点で較正プログ
ラムを実行する。較正終了後ステージNの実行を続け、
残りのステージを実行して温度プログラムを終了する。 もし、測定用温度プログラムにおいて、Tc以上の温度
が設定されていないときは、温度プログラムの全ステー
ジを逐次実行して温度プログラムを終了する。このとき
は測定用温度プログラム中には較正は行なわれない。
6 and 7, the operation when performing calibration during the temperature increase process of the measurement temperature program will be explained again. Create a measurement temperature program and decide when to perform calibration in the temperature program. For example, in the example of FIG. 4, the timing can be determined by the stage number for performing calibration or the time for performing calibration. In order to be able to perform calibration during the course of a temperature program, the temperature program must include a stage where the temperature is equal to or higher than the calibration temperature Tc. Temperature program is at calibration temperature T
When the temperature program includes a stage where the temperature is equal to or higher than c, execution of the temperature program is started, and when the stage for calibration is reached, calibration is executed. When the heating mode is STEP mode, the process moves from that stage (N-1) to a calibration program (FIG. 7) to be described later. After the calibration is completed, the next stage N is executed, and the remaining stages are executed to complete the temperature program. On the other hand, in RAMP mode, stage N
When the calibration temperature Tc is reached during the execution of the calibration program, the calibration program is executed. After completing the calibration, continue executing stage N,
Finish the temperature program by running the remaining stages. If a temperature equal to or higher than Tc is not set in the measurement temperature program, all stages of the temperature program are sequentially executed and the temperature program is ended. In this case, no calibration is performed during the measurement temperature program.

【0012】図7は較正プログラムを示したものである
。較正過程に入ると、グラファイトチューブの温度を較
正温度Tcに制御し、グラファイトチューブの温度をグ
ラファイトチューブからの輻射光強度をモニタしながら
観測する。温度がTcになったところで電流センサの値
を読む。サンプリングは例えば5回繰り返す。サンプリ
ングされたデータを電流−温度関係保持部のデータと比
較して較正係数を求める。
FIG. 7 shows a calibration program. When the calibration process begins, the temperature of the graphite tube is controlled to the calibration temperature Tc, and the temperature of the graphite tube is observed while monitoring the intensity of radiation from the graphite tube. When the temperature reaches Tc, read the value of the current sensor. Sampling is repeated, for example, five times. The sampled data is compared with the data in the current-temperature relationship holding section to determine a calibration coefficient.

【0013】図8は較正プログラムの他の例を表わして
いる。図7では測定用温度プログラムの途中でグラファ
イトチューブの温度がTcを通過するときに電流センサ
の値をサンプリングしているが、図8では温度がTcに
なった状態で所定の時間tcだけ維持して電流センサの
値を読むようにしている。これにより、電流センサの読
取り値の再現性がよくなる。
FIG. 8 represents another example of a calibration program. In Figure 7, the value of the current sensor is sampled when the temperature of the graphite tube passes Tc in the middle of the measurement temperature program, but in Figure 8, the value of the current sensor is sampled when the temperature reaches Tc and is maintained for a predetermined time tc. to read the current sensor value. This improves the reproducibility of current sensor readings.

【0014】[0014]

【実施例】図9は一実施例の概略構成図を表わす。12
は原子化装置であり、加熱電源14により通電されて発
熱するグラファイトチューブを備えている。グラファイ
トチューブ内には試料が入れられ、グラファイトチュー
ブにより試料が加熱されて原子化される。16は原子化
装置で生成した原子蒸気に測定光を照射する光源であり
、例えば中空陰極ランプ(ホローカソードランプ)が用
いられる。18は原子化装置を透過してきた測定光を分
光する分光器部、20は分光された光を検出する検出部
、22は検出部20の検出信号から吸光度を算出するな
どの処理を行なう信号処理部である。原子化装置12に
接近してグラファイトチューブからの輻射光を受光し、
グラファイトチューブの温度をモニタするフォトセンサ
(図示略)が設けられ、また、グラファイトチューブに
流す電流を検出する電流センサ(図示略)も設けられて
いる。24は制御装置であり、CPUとインターフェイ
ス(I/O)を含んでおり、光源16の点灯を制御し、
分光器部18の分光動作を制御し、信号処理部22から
測定データを入力するほか、フォトセンサや電流センサ
から検出信号を入力し、加熱電源14による原子化装置
12のグラファイトチューブへの通電を制御する。 26は操作部、28は表示装置である。
Embodiment FIG. 9 shows a schematic diagram of an embodiment. 12
is an atomization device, and includes a graphite tube that is energized by a heating power source 14 to generate heat. A sample is placed inside the graphite tube, and the sample is heated and atomized by the graphite tube. Reference numeral 16 denotes a light source that irradiates measuring light onto the atomic vapor generated by the atomization device, and for example, a hollow cathode lamp is used. Reference numeral 18 denotes a spectrometer unit that spectrally spectra the measurement light that has passed through the atomization device, 20 a detection unit that detects the spectroscopic light, and 22 a signal processing unit that performs processes such as calculating absorbance from the detection signal of the detection unit 20. Department. Approaching the atomization device 12 and receiving radiation light from the graphite tube,
A photosensor (not shown) is provided to monitor the temperature of the graphite tube, and a current sensor (not shown) is also provided to detect the current flowing through the graphite tube. 24 is a control device, which includes a CPU and an interface (I/O), controls lighting of the light source 16,
Controls the spectroscopic operation of the spectrometer section 18, inputs measurement data from the signal processing section 22, inputs detection signals from the photosensor and current sensor, and controls the energization of the graphite tube of the atomization device 12 by the heating power source 14. Control. 26 is an operation unit, and 28 is a display device.

【0015】図10は一実施例においてグラファイトチ
ューブに流す電流を制御する回路を示したものである。 グラファイトチューブ30への電流はAC200Vの電
源をトランス32で変圧して供給される。通電制御はト
ライアック34により行なわれ、トライアック34はC
PU(インターフェースI/Oを含む)40からの点弧
パルス信号により制御される。グラファイトチューブ3
0からの輻射光を検出するために、例えばフォトダイオ
ードが温度センサ36として配置されている。グラファ
イトチューブ30への通電量を検出するために電流セン
サ38も配置されている。温度センサ36と電流センサ
38の検出値はCPU40に取り込まれる。
FIG. 10 shows a circuit for controlling the current flowing through the graphite tube in one embodiment. The current to the graphite tube 30 is supplied by converting an AC 200V power source using a transformer 32. The energization control is performed by the triac 34, and the triac 34
It is controlled by a firing pulse signal from the PU (including interface I/O) 40. graphite tube 3
For example, a photodiode is arranged as a temperature sensor 36 in order to detect radiation light from zero. A current sensor 38 is also arranged to detect the amount of current applied to the graphite tube 30. The detected values of the temperature sensor 36 and the current sensor 38 are taken into the CPU 40.

【0016】図11は一実施例での加熱炉を示したもの
である。(A)は縦断面図、(B)は(A)のA−A線
位置での断面図である。グラファイトチューブ30の両
端がグラファイト製電極44,46に保持されて通電さ
れるようになっており、グラファイトチューブ30の中
央には試料注入孔48があけられている。グラファイト
チューブ30はその軸上で両電極44,46の外側に設
けられた窓板50a,50bにより閉じられており、グ
ラファイトチューブ30内にはインナーガス流路52か
ら不活性ガスが流され、グラファイトチューブ30の外
側にはアウターガス流路54から不活性ガスが流される
。グラファイトチューブ30内には試料注入孔48から
試料が滴下され、乾燥、灰化及び原子化の各ステップで
グラファイトチューブ30中を通過する測定光56によ
り測定が行なわれる。グラファイトチューブ30の輻射
光を検出するために電極44の側方には輻射光モニター
孔58があけられており、この孔58の外側に温度セン
サ36としてフォトダイオードが配置されている。
FIG. 11 shows a heating furnace in one embodiment. (A) is a longitudinal cross-sectional view, and (B) is a cross-sectional view taken along line A-A in (A). Both ends of the graphite tube 30 are held by graphite electrodes 44 and 46 to be energized, and a sample injection hole 48 is bored in the center of the graphite tube 30. The graphite tube 30 is closed by window plates 50a and 50b provided on the outside of both electrodes 44 and 46 on its axis, and an inert gas is flowed into the graphite tube 30 from an inner gas passage 52, and the graphite Inert gas is flowed from the outer gas passage 54 to the outside of the tube 30. A sample is dropped into the graphite tube 30 from the sample injection hole 48, and measurements are performed using the measurement light 56 passing through the graphite tube 30 at each step of drying, ashing, and atomization. A radiant light monitor hole 58 is formed on the side of the electrode 44 to detect the radiant light of the graphite tube 30, and a photodiode is arranged as a temperature sensor 36 outside of this hole 58.

【0017】図12は一実施例において、温度較正とグ
ラファイトチューブの温度制御を行なうための回路をさ
らに具体的に示したものである。電流センサ38は増幅
器60を経て、フォトダイオード36は2段の増幅器6
2,64を経てそれぞれリレー(又はアナログスイッチ
)66の各接点に接続されているとともに、CPU40
にも取り込まれている。リレー66は温度制御を光温度
制御方式で行なうときにはフォトダイオード36側に接
続され、電流制御方式で行なうときには温度センサ38
側に接続される。CPU40からの出力がD/A変換器
10を経てコンパレータ68の一方の入力端子に入力さ
れ、リレー66からのフォトダイオード36の出力又は
電流センサ38の出力がコンパレータ68の他方の入力
端子に入力されて比較される。コンパレータ68の出力
は点弧パルス発生回路70に送られ、トライアップ34
を制御するための信号が発生する。図1における電流−
温度関係保持部2、光−温度関係保持部4、電流制御部
6及び較正部8は図12ではCPU40によって実現さ
れる。
FIG. 12 more specifically shows a circuit for temperature calibration and graphite tube temperature control in one embodiment. The current sensor 38 passes through an amplifier 60, and the photodiode 36 passes through a two-stage amplifier 6.
2 and 64 to each contact point of a relay (or analog switch) 66, and the CPU 40
It has also been incorporated into The relay 66 is connected to the photodiode 36 side when temperature control is performed using the light temperature control method, and is connected to the temperature sensor 38 when temperature control is performed using the current control method.
connected to the side. The output from the CPU 40 is input to one input terminal of the comparator 68 via the D/A converter 10, and the output of the photodiode 36 from the relay 66 or the output of the current sensor 38 is input to the other input terminal of the comparator 68. are compared. The output of the comparator 68 is sent to the firing pulse generation circuit 70 and the try-up 34
A signal is generated to control the Current in Figure 1 -
The temperature relationship holding section 2, the light-temperature relationship holding section 4, the current control section 6, and the calibration section 8 are realized by the CPU 40 in FIG.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明の原子吸光分光光度計は、グラフ
ァイトチューブに流れる電流と温度の関係を較正する較
正プログラムを備えているので、測定用温度プログラム
を実行することにより、又は独自に較正プログラム開始
させることにより、装置が自動的に較正を行なう。その
ため、従来のようにオペレータが手操作で電流センサの
ゲイン調整を行なうような煩わしさがなく、またオペレ
ータの個人差もなく、正確に較正することができるので
、測定時のグラファイトチューブの温度の精度が向上し
、再現性も向上する。
[Effects of the Invention] The atomic absorption spectrophotometer of the present invention is equipped with a calibration program that calibrates the relationship between the current flowing through the graphite tube and temperature. Upon initiation, the device will automatically calibrate. Therefore, there is no need for operators to manually adjust the gain of the current sensor as in the past, and there are no individual differences between operators, allowing for accurate calibration. Accuracy is improved and reproducibility is also improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram illustrating the present invention.

【図2】グラファイトチューブに電流を流すために発生
する基準電圧Vとグラファイトチューブの温度との関係
を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the reference voltage V generated to cause a current to flow through the graphite tube and the temperature of the graphite tube.

【図3】測定用温度プログラムの一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an example of a measurement temperature program.

【図4】較正を測定用温度プログラムの昇温過程で実行
する例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating an example in which calibration is executed during a temperature increase process of a measurement temperature program.

【図5】較正を測定用温度プログラムの降温過程で実行
する例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating an example in which calibration is executed during a temperature decreasing process of a measurement temperature program.

【図6】較正過程を含む測定用温度プログラムを示すフ
ローチャート図である。
FIG. 6 is a flowchart showing a temperature measurement program including a calibration process.

【図7】較正過程の一例を示すフローチャート図である
FIG. 7 is a flowchart diagram illustrating an example of a calibration process.

【図8】較正過程の他の例を示すフローチャート図であ
る。
FIG. 8 is a flowchart diagram illustrating another example of the calibration process.

【図9】一実施例の原子吸光分光光度計を示すブロック
図である。
FIG. 9 is a block diagram showing an atomic absorption spectrophotometer according to one embodiment.

【図10】一実施例においてグラファイトチューブに流
す電流を制御する回路を示す回路図である。
FIG. 10 is a circuit diagram showing a circuit for controlling the current flowing through the graphite tube in one embodiment.

【図11】一実施例での加熱炉を示す図であり、(A)
は縦断面図、(B)は(A)のA−A線位置での断面図
である。
FIG. 11 is a diagram showing a heating furnace in one embodiment, (A)
is a longitudinal cross-sectional view, and (B) is a cross-sectional view taken along line A-A in (A).

【図12】一実施例において、温度較正とグラファイト
チューブの温度制御を行なうための回路をさらに具体的
に示した回路図である。
FIG. 12 is a circuit diagram more specifically showing a circuit for temperature calibration and graphite tube temperature control in one embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2      電流−温度関係保持部 4      光−温度関係保持部 6      電流制御部 8      較正部 2 Current-temperature relationship holding part 4 Light-temperature relationship holding part 6 Current control section 8 Calibration section

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  通電されて発熱し、分析すべき試料を
乾燥、灰化及び原子化して原子蒸気を生成するグラファ
イトチューブ内蔵の加熱炉を備えた原子吸光分光光度計
において、前記グラファイトチューブに流す電流値とそ
のときのグラファイトチューブの温度との関係を表わす
電流−温度関係保持部と、前記グラファイトチューブの
温度とグラファイトチューブからの輻射光強度との関係
を表わす光−温度関係保持部と、高温領域では前記グラ
ファイトチューブからの輻射光強度を検出し前記光−温
度関係をもとにして前記グラファイトチューブへの通電
量にフィードバックをかける光温度制御方式をとり、低
温領域では前記グラファイトチューブに流れる電流を検
出し前記電流−温度関係をもとにして前記グラファイト
チューブへの通電量にフィードバックをかける電流制御
方式をとる電流制御部と、光温度制御方式の温度領域で
の所定温度における電流−温度関係からの通電量と前記
グラファイトチューブの実際の通電量とから前記電流−
温度関係を較正する較正部とを備えたことを特徴とする
原子吸光分光光度計。
Claim 1: In an atomic absorption spectrophotometer equipped with a heating furnace built into a graphite tube that is energized to generate heat and dry, ash, and atomize the sample to be analyzed to produce atomic vapor, a current-temperature relationship holding unit that represents the relationship between the current value and the temperature of the graphite tube at that time; a light-temperature relationship holding unit that represents the relationship between the temperature of the graphite tube and the intensity of radiant light from the graphite tube; In the low temperature region, a light temperature control method is adopted in which the intensity of the radiant light from the graphite tube is detected and feedback is applied to the amount of current flowing through the graphite tube based on the light-temperature relationship. a current control section that takes a current control method that detects the current and applies feedback to the amount of current to the graphite tube based on the current-temperature relationship, and a current-temperature relationship at a predetermined temperature in the temperature range of the optical temperature control method. From the amount of current flowing through the graphite tube and the actual amount of current passing through the graphite tube, the current −
An atomic absorption spectrophotometer comprising: a calibration section for calibrating temperature relationships.
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