JPH04353296A - Vacuum pump - Google Patents
Vacuum pumpInfo
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- JPH04353296A JPH04353296A JP12936991A JP12936991A JPH04353296A JP H04353296 A JPH04353296 A JP H04353296A JP 12936991 A JP12936991 A JP 12936991A JP 12936991 A JP12936991 A JP 12936991A JP H04353296 A JPH04353296 A JP H04353296A
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置などに
使用される真空ポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump used in semiconductor manufacturing equipment and the like.
【0002】0002
【従来技術】従来、この種真空ポンプは、例えば特開平
1−237397号公報に示されているように既に知ら
れている。この従来の真空ポンプは、図3に示すように
、上部に半導体製造室などに接続される吸気口を備え、
また、下部に排気口Aをもった隔壁Bを備えると共にポ
ンプステータCを内装したポンプ側ケーシングDの下部
に、モータを内装したモータ側ケーシングEを設けて、
前記ポンプステータCの気体流路F内に上下複数段の渦
流ロータGを回転自由に配置すると共に、前記モータの
駆動軸Hを前記ポンプ側ケーシングD内に突入させて前
記渦流ロータGに結合する一方、前記隔壁Bに、前記駆
動軸Hを支持する油潤滑軸受Jを設けると共に、前記気
体流路Fを前記排気口Aに連通させて、前記渦流ロータ
Gの回転により、前記吸気口から気体流路Fに導入され
た気体を前記排気口Aへと排出させて真空引きを行い、
前記半導体製造室などをクリーンな状態に保持するよう
に構成されている。また、この真空ポンプには、前記ポ
ンプステータCにおける排気口A側の駆動軸受入用軸孔
KにネジシールLを設けると共に、前記ポンプステータ
Cに、前記気体流路Fにおける出口と前記排気口Aとを
連通する排出通路Nと、この排出通路Nから分岐して前
記軸孔Kに開口する分岐路Pとを設けて、前記気体流路
Fから排気口Aに排出する気体の一部を前記分岐路Pか
ら軸孔Kに供給してこの気体の一部をシールガスとして
、このシ−ルガスにより軸受Jをシールするようにして
いる。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of vacuum pump is already known, as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-237397. As shown in FIG. 3, this conventional vacuum pump is equipped with an intake port connected to a semiconductor manufacturing room or the like at the top.
Further, a motor-side casing E containing a motor is provided at the bottom of a pump-side casing D having a partition wall B having an exhaust port A at the bottom and a pump stator C therein,
A plurality of upper and lower vortex rotors G are freely rotatably arranged in the gas flow path F of the pump stator C, and the drive shaft H of the motor is inserted into the pump side casing D and coupled to the vortex rotor G. On the other hand, the partition wall B is provided with an oil-lubricated bearing J that supports the drive shaft H, and the gas flow path F is communicated with the exhaust port A, so that the rotation of the vortex rotor G causes gas to flow from the intake port. evacuating the gas introduced into the flow path F to the exhaust port A;
It is configured to maintain the semiconductor manufacturing room and the like in a clean state. Further, in this vacuum pump, a screw seal L is provided in the drive shaft receiving shaft hole K on the exhaust port A side of the pump stator C, and the pump stator C is provided with a threaded seal L at the outlet in the gas flow path F and the exhaust port A. A part of the gas discharged from the gas flow path F to the exhaust port A is provided with a discharge passage N that communicates with the exhaust passage N, and a branch passage P that branches from the discharge passage N and opens into the shaft hole K. A part of this gas is supplied from the branch path P to the shaft hole K and used as a seal gas, and the bearing J is sealed with this seal gas.
【0003】0003
【発明が解決しようとする課題】所が、以上のごとくポ
ンプステータCにおける気体流路F内に上下複数段に配
置した渦流ロータGを回転させて、前記気体流路F内の
気体を排気口Aに排出するようにした真空ポンプの場合
、ポンプ性能の低下をなくするには、特に排気口Aに最
も近い最終段渦流ロータGのポンプステータCに対する
上下隙間を小さくする必要があるが、上下隙間を小さく
し過ぎると、熱膨張により渦流ロータGがポンプステー
タCと接触する事故が発生することになるから、前記上
下隙間の管理が難しいのであり、それだけポンプステー
タC及び渦流ロータGの製作コストが高くなる問題があ
り、又、前記した接触事故をなくするのに必要な隙間を
設ける必要があるため、ポンプ性能を十分に高めること
ができない問題がある。また、以上の構成において、そ
のポンプ性能を十分に高めるには、前記渦流ロータGの
回転数を上げることが考えられるが、回転数を増大すれ
ば、それだけ所要動力が増加することになり、ランニン
グコストが高くなる問題がある。又一方、前記ポンプス
テータCの気体流路F内で渦流ロータGが回転する場合
、該気体流路Fの周方向に、吸気側の低圧域と排気側の
高圧域とがあるため、即ち、周方向に圧力分布があるた
め、前記軸受Jをシールするための軸シールガスが、前
記軸孔Kから前記渦流ロータGが回転する気体流路Fの
低圧域側への局所流となって気体流路Fに還流すること
になるから、前記軸受Jの潤滑油が前記還流シールガス
とともに気体流路F側に持ち上げられることになり、充
分な軸シールができず、軸シールの信頼性が乏しい問題
があった。[Problem to be Solved by the Invention] However, as described above, it is desirable to rotate the vortex rotor G disposed in multiple stages above and below in the gas flow path F of the pump stator C to move the gas in the gas flow path F to the exhaust port. In the case of a vacuum pump designed to discharge air to A, in order to avoid deterioration in pump performance, it is necessary to reduce the vertical clearance between the final stage vortex rotor G closest to the exhaust port A and the pump stator C. If the gap is made too small, an accident will occur where the vortex rotor G comes into contact with the pump stator C due to thermal expansion, so it is difficult to manage the above-mentioned vertical gap, and the manufacturing cost of the pump stator C and the vortex rotor G is reduced accordingly. There is a problem that the pump performance becomes high, and since it is necessary to provide a gap necessary to eliminate the above-mentioned contact accident, there is a problem that the pump performance cannot be sufficiently improved. In addition, in the above configuration, in order to sufficiently improve the pump performance, it is conceivable to increase the rotation speed of the vortex rotor G, but if the rotation speed is increased, the required power will increase accordingly, and the running speed will increase. There is a problem of high cost. On the other hand, when the vortex rotor G rotates within the gas flow path F of the pump stator C, there is a low pressure region on the intake side and a high pressure region on the exhaust side in the circumferential direction of the gas flow path F, that is, Since there is a pressure distribution in the circumferential direction, the shaft sealing gas for sealing the bearing J becomes a local flow from the shaft hole K to the low pressure region side of the gas flow path F where the swirl rotor G rotates, and the gas Since the flow returns to the flow path F, the lubricating oil in the bearing J is lifted up to the gas flow path F side together with the recirculated seal gas, and a sufficient shaft seal cannot be achieved, resulting in poor reliability of the shaft seal. There was a problem.
【0004】本発明は以上の問題点に鑑み発明したもの
で、その目的は、所要動力を増加することなくポンプ性
能を十分に高めることができると共に、ポンプロータの
接触事故の恐れがなく、しかも軸受のシールを十分に行
うことができるようにする点にある。The present invention was devised in view of the above-mentioned problems, and its purpose is to sufficiently improve pump performance without increasing the required power, and to eliminate the risk of contact accidents between the pump rotors. The purpose of this invention is to enable sufficient sealing of the bearing.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明では、吸気口11と排気口12とをもち、ポン
プステータ2を内装したポンプ側ケーシング1と、モー
タ7を内装し、隔壁5を介して前記排気口12に対し区
画されたモータ側ケーシング6とを備え、前記ポンプス
テータ2の気体流路4内にポンプロータ3を回転自由に
配置する一方、前記モータ7の駆動軸71を前記ポンプ
側ケーシング1内に突入させて前記ポンプロータ3に結
合すると共に、前記隔壁5に、前記駆動軸71を支持す
る軸受8を設けて成る真空ポンプにおいて、前記ポンプ
ロータ3の排気口12側に、前記ポンプステータ2の内
周面に対向するネジ91を設け、前記気体流路4に連通
する排気路10を形成したネジロータ9を前記ポンプロ
ータ3とー体回転可能に設けて、このネジロータ9と前
記ポンプステータ2の対向面2aとの間に形成する排気
路10を前記排気口12に連通させると共に、前記軸受
8に連通させたのである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention includes a pump-side casing 1 having an intake port 11 and an exhaust port 12, a pump stator 2 inside, a motor 7 inside, and a partition wall. A motor-side casing 6 is partitioned from the exhaust port 12 via a motor-side casing 6, and the pump rotor 3 is rotatably arranged in the gas flow path 4 of the pump stator 2, while the drive shaft 71 of the motor 7 In the vacuum pump, the exhaust port 12 of the pump rotor 3 is inserted into the pump side casing 1 and coupled to the pump rotor 3, and the partition wall 5 is provided with a bearing 8 that supports the drive shaft 71. A screw rotor 9 is provided on the side thereof with a screw 91 facing the inner circumferential surface of the pump stator 2, and has an exhaust passage 10 communicating with the gas flow passage 4, and is rotatable with the pump rotor 3. An exhaust passage 10 formed between the screw rotor 9 and the facing surface 2a of the pump stator 2 is communicated with the exhaust port 12 and with the bearing 8.
【0006】また、ネジロータ9に形成する排気路10
と軸受8との間の連通路13にはパージガス供給通路1
4を連通させるのが好ましい。[0006] Also, an exhaust passage 10 formed in the screw rotor 9
A purge gas supply passage 1 is provided in the communication passage 13 between the bearing 8 and the bearing 8.
It is preferable to communicate 4.
【0007】[0007]
【作用】ポンプロータ3を回転駆動して真空引きを行な
う場合、前記ポンプロータ3とともにネジロータ9が回
転して、ネジロータ9の軸方向一端側に連通する前記気
体流路4内の気体を、ネジロータ9の軸方向他端側と連
通する前記排気口12に排出するようにしたから、つま
り、ポンプロータ3の排気口12側にネジロータ9を設
けたから、前記ポンプロータ3のポンプステータ2に対
する上下隙間を大きく設定でき、従って、前記上下隙間
の管理が楽であるから、前記ポンプロータ3及びポンプ
ステータ2の製作が容易であり、それだけコストダウン
を図ることができ、それでいてポンプロータ3の排気口
12側にネジロータ9を設けて、前記気体流路4内の気
体を排気口12に排出するようにしたから、所要動力を
増加することなくポンプ性能を十分に高めることができ
るのであり、又、前記上下隙間を大きく設定できるから
、前記ポンプロータ3がポンプステータ2に接触する接
触事故の恐れもなくすることができるのである。また、
前記ネジロータ9とポンプステータ2との間に形成する
排気路10は、前記気体流路4と連通する低圧側と、前
記排気口12と連通する高圧側とがネジロータ9の軸方
向に変位していて、排気路10の出口では、周方向の圧
力分布が発生しないので、前記排気路10を、隔壁5に
駆動軸71を支持する軸受8に連通させることにより、
該軸受8のシールを有効にでき、軸受8の潤滑油が前記
気体流路4側に流出するのを防ぐことができるのである
。[Operation] When the pump rotor 3 is driven to rotate to perform evacuation, the screw rotor 9 rotates together with the pump rotor 3, and the gas in the gas passage 4 communicating with one end of the screw rotor 9 in the axial direction is transferred to the screw rotor. Since the screw rotor 9 is disposed on the exhaust port 12 side of the pump rotor 3 which communicates with the other end in the axial direction of the pump rotor 9, the vertical clearance between the pump rotor 3 and the pump stator 2 is reduced. can be set large, and therefore, the vertical clearance can be easily managed, making it easy to manufacture the pump rotor 3 and pump stator 2, and reducing costs accordingly. Since the screw rotor 9 is provided on the side and the gas in the gas flow path 4 is discharged to the exhaust port 12, the pump performance can be sufficiently enhanced without increasing the required power. Since the vertical clearance can be set large, it is possible to eliminate the risk of a contact accident in which the pump rotor 3 comes into contact with the pump stator 2. Also,
In the exhaust passage 10 formed between the screw rotor 9 and the pump stator 2, a low pressure side communicating with the gas flow path 4 and a high pressure side communicating with the exhaust port 12 are displaced in the axial direction of the screw rotor 9. Since no circumferential pressure distribution occurs at the outlet of the exhaust passage 10, by communicating the exhaust passage 10 with the bearing 8 that supports the drive shaft 71 on the partition wall 5,
The seal of the bearing 8 can be made effective, and the lubricating oil of the bearing 8 can be prevented from flowing out to the gas flow path 4 side.
【0008】また、ネジロータ9に形成する排気路10
と軸受8との間の連通路13にパージガス供給通路14
を連通させて、前記連通路13にパージガスを供給する
ことにより、前記排気路10から出た気体が、腐食ガス
成分を含んだ気体であっても、この気体の前記軸受8側
への流れを確実に阻止でき、該軸受8の腐食を防止でき
るのである。[0008] Furthermore, an exhaust passage 10 formed in the screw rotor 9
A purge gas supply passage 14 is provided in the communication passage 13 between the bearing 8 and the bearing 8.
By supplying purge gas to the communicating path 13, even if the gas coming out of the exhaust path 10 contains corrosive gas components, the flow of this gas toward the bearing 8 side can be prevented. This can reliably prevent corrosion of the bearing 8.
【0009】[0009]
【実施例】図1及び図2に示した真空ポンプは、円筒状
のポンプ側ケーシング1内にジグバーン型ポンプ要素2
00と、渦流型ポンプ要素300とを上下に配置すると
共に、前記ポンプ側ケーシング1の下端に、隔壁5を介
してモータ7を内装したモータ側ケーシング6を結合し
た複合式の真空ポンプであって、前記モータ7の駆動軸
71を、前記隔壁5に設ける軸孔51からポンプ側ケー
シング1内に突入させて前記各ポンプ要素200、30
0のロータを回転させるようにしている。[Embodiment] The vacuum pump shown in FIGS. 1 and 2 has a jig burn type pump element 2 in a cylindrical pump side casing 1.
00 and a vortex type pump element 300 are arranged vertically, and a motor side casing 6 in which a motor 7 is installed is coupled to the lower end of the pump side casing 1 via a partition 5. , the drive shaft 71 of the motor 7 is inserted into the pump side casing 1 through the shaft hole 51 provided in the partition wall 5, and the respective pump elements 200, 30 are inserted.
0 rotor is rotated.
【0010】又、前記ポンプ側ケーシング1の上部には
半導体製造室などに接続される吸気口11を設け、また
、前記隔壁5には外部に開放される排気口12を設ける
と共に、前記軸孔51に、前記駆動軸71を支持する軸
受8を設けている。Further, an intake port 11 connected to a semiconductor manufacturing room or the like is provided in the upper part of the pump side casing 1, and an exhaust port 12 opened to the outside is provided in the partition wall 5. 51 is provided with a bearing 8 that supports the drive shaft 71.
【0011】また、前記ジグバーン型ポンプ要素200
は、互いに連通可能に上下2段階に気体流路4をもち、
前記ポンプ側ケーシング1内に固定する円板状のジグバ
ーンステータ21と、螺旋翼をもち、前記ジグバーンス
テータ21の気体流路4内に回転自由に配置する上下2
段のジグバーンロータ31とから成り、また、前記渦流
型ポンプ要素300は、互いに連通可能に上下2段階に
気体流路4をもち、前記ポンプ側ケーシング1内におけ
る前記ジグバーンステータ21の下側部位に固定する渦
流ステータ22と、外周に多数の羽根32aをもち、前
記渦流ステータ22の気体流路4内に回転自由に配置す
る上下2枚の渦流ロータ32とから成り、前記各ジグバ
ーンステータ21と各渦流ステータ22とでポンプステ
ータ2を構成し、また、前記各ジグバーンロータ31と
各渦流ロータ32とでポンプロータ3を構成し、このポ
ンプロータ3に前記駆動軸71を結合している。尚、前
記ジグバーンステータ21の気体流路4と、渦流ステー
タ22の気体流路4と、前記排気口12とは互いに連通
している。[0011] Also, the jig burn type pump element 200
has gas flow paths 4 in two stages, upper and lower, so as to be able to communicate with each other,
A disk-shaped jig burn stator 21 fixed in the pump side casing 1, and upper and lower parts 2 having spiral blades and freely rotatable in the gas flow path 4 of the jig burn stator 21.
The vortex-type pump element 300 has gas flow passages 4 in two stages, upper and lower, so as to be able to communicate with each other, and is located below the jig-burn stator 21 in the pump-side casing 1. It consists of a vortex stator 22 fixed to a part, and two upper and lower vortex rotors 32 having a large number of blades 32a on the outer periphery and freely rotatable in the gas flow path 4 of the vortex stator 22, and each of the jig burn stators 21 and each vortex stator 22 constitute a pump stator 2, and each jig burn rotor 31 and each vortex rotor 32 constitute a pump rotor 3, and the drive shaft 71 is coupled to this pump rotor 3. There is. Note that the gas flow path 4 of the jig burn stator 21, the gas flow path 4 of the vortex stator 22, and the exhaust port 12 are in communication with each other.
【0012】しかして、図1に示すごとく前記渦流ステ
ータ22の排気口12側内周に、前記渦流ステータ22
の気体流路4と連通する内腔部23を設けると共に、前
記渦流ロータ22の排気口12側に、前記ポンプステー
タ2の内腔部23内周面に対向するネジ91を設け、前
記渦流ステータ22の最下段側気体流路4に連通する排
気路10を形成したネジロータ9を前記渦流ロータ32
とー体回転可能に設けて、このネジロータ9と前記内腔
部23の内周面(2a)との間に形成する排気路10を
前記排気口12に連通させると共に、前記排気路10と
前記軸孔51とを連通路13により連通させて、前記排
気路10から排出される気体の一部を前記軸受8に供給
して、この軸受8の潤滑油が前記排気路10側に流出す
るのを阻止するようにしている。[0012] As shown in FIG.
In addition, a screw 91 is provided on the exhaust port 12 side of the vortex rotor 22 to face the inner peripheral surface of the lumen 23 of the pump stator 2, and the vortex stator The screw rotor 9 having an exhaust passage 10 communicating with the lowermost gas flow passage 4 of 22 is attached to the vortex rotor 32.
The body is rotatably provided, and an exhaust passage 10 formed between the screw rotor 9 and the inner circumferential surface (2a) of the inner cavity 23 is communicated with the exhaust port 12, and the exhaust passage 10 and the A part of the gas discharged from the exhaust passage 10 is supplied to the bearing 8 by communicating with the shaft hole 51 through the communication passage 13, so that the lubricating oil in the bearing 8 flows out to the exhaust passage 10 side. I am trying to prevent this.
【0013】前記ネジロータ9は、下端を開放した有底
筒状に形成して、その外周に、軸方向一端から他端に亘
って開口する複数の螺旋凹溝をもった前記ネジ91を形
成するのであって、このネジロータ9と前記隔壁5との
間に前記連通路13を形成している。また、前記ネジロ
ータ9は、その底部を前記渦流ロータ32の下端に取付
ねじにより結合するのであるが、その他、前記渦流ロー
タ32と一体に形成してもよい。The screw rotor 9 is formed into a bottomed cylindrical shape with an open lower end, and the screw 91 having a plurality of spiral grooves opening from one end in the axial direction to the other end is formed on the outer periphery of the screw rotor 9. The communication path 13 is formed between the screw rotor 9 and the partition wall 5. Further, although the screw rotor 9 has its bottom portion connected to the lower end of the vortex rotor 32 with a mounting screw, it may be formed integrally with the vortex rotor 32.
【0014】また、前記隔壁5には、前記軸孔51に環
状のパージ室15を設けると共に、外周面から半径方向
中心側に延びて前記パージ室15に開口するパージガス
供給通路14を設けて、このパージガス供給通路14か
ら前記パージ室15にパージガスを供給可能にしている
。Further, the partition wall 5 is provided with an annular purge chamber 15 in the shaft hole 51, and a purge gas supply passage 14 extending from the outer peripheral surface toward the center in the radial direction and opening into the purge chamber 15. Purge gas can be supplied from this purge gas supply passage 14 to the purge chamber 15.
【0015】以上のごとく構成した真空ポンプは、前記
モータ7の駆動により、ジグバーンロータ31と渦流ロ
ータ32とネジロータ9とが、例えば毎分数万回程度の
高速度で回転し、ジグバーンロータ31と渦流ロータ3
2とにより、吸気口11から気体流路4に流入された気
体が前記排気路10側へと排出され、この排気路10の
入口側では400T0 rr近くの気圧となる。そして
、この排気路10の入口側に排出された気体は、ネジロ
ータ9の回転により排気路10から排気口12へと排出
されて、排気路10出口では大気圧(760T0 rr
)に昇圧され、この大気圧の状態で排気口12から外部
に排出されるのである。しかして、前記ネジロータ9は
、その軸方向一端側が前記気体流路4に連通し、他端側
が前記排気口12に連通して、気体流路4内の気体をネ
ジロータ9の軸方向一端側から他端側に排出するから、
前記渦流ロータ32及びジグバーンロータ31を、渦流
ステータ22及びジグバーンステータ21に対する上下
隙間の影響が少なくなる低圧側に配置することができ、
これら渦流ロータ32及びジグバーンロータ31の渦流
ステータ22及びジグバーンステータ21に対する上下
隙間を大きく設定できるのである。従って、前記上下隙
間の管理が楽であるから、前記ネジロータ9と渦流ロー
タ32及びジグバーンロータ31と、前記渦流ステータ
22及びジグバーンステータ21の製作が容易であり、
それだけコストダウンを図ることができるのである。そ
れでいて渦流ロータ32の排気口12側にネジロータ9
を設けて、前記気体流路4内の気体を排気口12に排出
するようにしたから、所要動力を増加することなくポン
プ性能を十分に高めることができるのである。また、前
記上下隙間を大きく設定できるので、前記渦流ロータ3
2及びジグバーンロータ31が、渦流ステータ22及び
ジグバーンステータ21に接触する接触事故の恐れもな
いのである。In the vacuum pump constructed as described above, the jig burn rotor 31, the vortex rotor 32, and the screw rotor 9 are rotated at a high speed of, for example, several tens of thousands of times per minute by the drive of the motor 7. 31 and vortex rotor 3
2, the gas flowing into the gas flow path 4 from the intake port 11 is discharged to the exhaust path 10 side, and the pressure at the entrance side of the exhaust path 10 becomes close to 400T0 rr. The gas discharged to the inlet side of the exhaust passage 10 is discharged from the exhaust passage 10 to the exhaust port 12 by the rotation of the screw rotor 9, and at the exit of the exhaust passage 10, the gas reaches atmospheric pressure (760T0 rr
) and is discharged to the outside from the exhaust port 12 at this atmospheric pressure. Thus, the screw rotor 9 has one axial end communicating with the gas flow path 4 and the other end communicating with the exhaust port 12 to drain the gas in the gas flow path 4 from the one axial end of the screw rotor 9. Because it is discharged to the other end,
The vortex rotor 32 and the jig burn rotor 31 can be arranged on the low pressure side where the influence of the vertical clearance on the vortex stator 22 and the jig burn stator 21 is reduced,
The vertical clearance between the vortex rotor 32 and the jig burn rotor 31 relative to the vortex stator 22 and the jig burn stator 21 can be set large. Therefore, since it is easy to manage the vertical clearance, it is easy to manufacture the screw rotor 9, the swirl rotor 32, the jig burn rotor 31, the swirl stator 22, and the jig burn stator 21,
This allows for cost reduction. At the same time, a screw rotor 9 is attached to the exhaust port 12 side of the vortex rotor 32.
Since the gas in the gas flow path 4 is discharged to the exhaust port 12, the pump performance can be sufficiently improved without increasing the required power. In addition, since the vertical clearance can be set large, the vortex rotor 3
There is no risk of a contact accident in which the rotor 2 and the jig burn rotor 31 come into contact with the vortex stator 22 and the jig burn stator 21.
【0016】また、前記排気路10の出口と軸受8とを
連通する連通路13が大気圧となり、大気圧となってい
るモータ側ケーシング6内の気圧と前記連通路13の気
圧との差圧がなくなるため、前記排気路10から排出し
た気体により前記軸受8をシールできるのであり、しか
も、前記排気路10は、気体流路4と連通する低圧側と
、前記排気口12と連通する高圧側とがネジロータ9の
軸方向に変位していて、排気路10の出口では、周方向
の圧力分布が発生しないので、前記軸受8をシールする
ための軸シールガスが、前記排気路10に還流されるこ
とがないのであり、従って、前記軸受8の潤滑油がシー
ルガスとともに排気路10に持ち上げられることがない
のであり、軸受8のシールを有効にできるのである。Further, the communication passage 13 that communicates the outlet of the exhaust passage 10 with the bearing 8 becomes atmospheric pressure, and the pressure difference between the atmospheric pressure inside the motor side casing 6 and the atmospheric pressure in the communication passage 13, which is at atmospheric pressure, increases. Therefore, the bearing 8 can be sealed by the gas discharged from the exhaust passage 10, and the exhaust passage 10 has a low pressure side communicating with the gas flow passage 4 and a high pressure side communicating with the exhaust port 12. are displaced in the axial direction of the screw rotor 9, and no pressure distribution in the circumferential direction occurs at the outlet of the exhaust passage 10, so that the shaft sealing gas for sealing the bearing 8 is returned to the exhaust passage 10. Therefore, the lubricating oil in the bearing 8 is not lifted up into the exhaust passage 10 together with the seal gas, and the sealing of the bearing 8 can be made effective.
【0017】また、前記パージガス供給通路14からパ
ージ室15にパージガスを供給することにより、駆動軸
71周りの軸孔51をパージガス雰囲気となして、前記
排気路10から連通路13に流入した気体が前記軸受8
側に流入するのを確実に阻止することができるので、前
記各ロータ31、32、9により真空引きされる気体が
、腐食ガス成分を含んだ気体である場合、この腐食ガス
成分を含んだ気体による前記軸受8及びモータ側ケーシ
ング6内の内蔵品を保護できるのである。Furthermore, by supplying purge gas from the purge gas supply passage 14 to the purge chamber 15, a purge gas atmosphere is created in the shaft hole 51 around the drive shaft 71, so that the gas flowing from the exhaust passage 10 into the communication passage 13 is The bearing 8
Since it is possible to reliably prevent the gas from flowing into the side, if the gas evacuated by each of the rotors 31, 32, and 9 contains a corrosive gas component, the gas containing the corrosive gas component Therefore, the bearing 8 and the built-in components inside the motor side casing 6 can be protected.
【0018】尚、以上の実施例では、前記ポンプ側ケー
シング1内に、ジグバーン型ポンプ要素200と渦流型
ポンプ要素300とを設けた複合型の真空ポンプを示し
たが、その他前記ジグバーン型ポンプ要素200と渦流
型ポンプ要素300との一方のみを備えた構造であって
もよい。In the above embodiment, a composite vacuum pump is shown in which the jig burn type pump element 200 and the vortex type pump element 300 are provided in the pump side casing 1, but other than the above jig burn type pump element The structure may include only one of the pump element 200 and the swirl pump element 300.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上のごとく本発明は、ポンプステータ
2の気体流路4に回転自由に配置されるポンプロータ3
の排気口12側に、前記ポンプステータ2の内周面に対
向するネジ91を設け、前記気体流路4に連通する排気
路10を形成したネジロータ9を前記ポンプロータ3と
ー体回転可能に設け、このネジロータ9と前記ポンプス
テータ2の対向面2aとの間に形成する排気路10を前
記排気口12に連通させて、ネジロータ9の軸方向一端
側に連通する前記気体流路4内の気体を、ネジロータ9
の軸方向他端側と連通する前記排気口12に排出するよ
うにしたから、前記ポンプロータ3のポンプステータ2
に対する上下隙間を大きく設定できるのであり、従って
、前記上下隙間の管理が楽であるから、前記ポンプロー
タ3及びポンプステータ2の製作が容易であり、それだ
けコストダウンを図ることができ、それでいてポンプロ
ータ3の排気口12側にネジロータ9を設けて、前記気
体流路4内の気体を排気口12に排出するようにしたか
ら、所要動力を増加することなくポンプ性能を十分に高
めることができるのであり、又、前記上下隙間を大きく
設定できるから、前記ポンプロータ3がポンプステータ
2に接触する接触事故の恐れもなくすることができるの
である。Effects of the Invention As described above, the present invention provides a pump rotor 3 rotatably disposed in a gas passage 4 of a pump stator 2.
A screw 91 facing the inner peripheral surface of the pump stator 2 is provided on the exhaust port 12 side of the pump stator 2, so that the screw rotor 9, which has an exhaust passage 10 communicating with the gas flow passage 4, can be rotated together with the pump rotor 3. An exhaust passage 10 formed between the screw rotor 9 and the opposing surface 2a of the pump stator 2 is connected to the exhaust port 12, so that the gas flow passage 4 in the gas flow passage 4, which communicates with one end of the screw rotor 9 in the axial direction, is connected to the exhaust port 12. Gas, screw rotor 9
Since the exhaust port 12 communicates with the other axial end of the pump stator 2 of the pump rotor 3,
Since the vertical gap can be set large, and the vertical gap can be easily managed, the pump rotor 3 and the pump stator 2 can be manufactured easily, and the cost can be reduced accordingly. Since the screw rotor 9 is provided on the exhaust port 12 side of the pump 3 to discharge the gas in the gas flow path 4 to the exhaust port 12, the pump performance can be sufficiently enhanced without increasing the required power. Moreover, since the vertical gap can be set large, there is no fear of a contact accident in which the pump rotor 3 comes into contact with the pump stator 2.
【0020】その上、前記ネジロータ9とポンプステー
タ2との間に形成する排気路10は、ネジロータ9の前
記気体流路4と連通する低圧側と、前記排気口12と連
通する高圧側とがネジロータ9の軸方向に変位していて
、排気路の出口では、周方向の圧力分布が発生しないの
で、前記排気路10を、隔壁5に駆動軸71を支持する
軸受8に連通させることにより、該軸受8のシールを有
効にでき、軸受8の潤滑油が前記気体流路4側に流出す
るのを防ぐことができるのである。Furthermore, the exhaust passage 10 formed between the screw rotor 9 and the pump stator 2 has a low pressure side communicating with the gas passage 4 of the screw rotor 9 and a high pressure side communicating with the exhaust port 12. Since the screw rotor 9 is displaced in the axial direction and no pressure distribution in the circumferential direction occurs at the exit of the exhaust path, by making the exhaust path 10 communicate with the bearing 8 that supports the drive shaft 71 on the partition wall 5, The seal of the bearing 8 can be made effective, and the lubricating oil of the bearing 8 can be prevented from flowing out to the gas flow path 4 side.
【0021】また、ネジロータ9に形成する排気路10
と軸受8との間の連通路13にパージガス供給通路14
を連通させて、前記連通路13にパージガスを供給する
ことにより、前記排気路10から排出された気体が、腐
食ガス成分を含んだ気体であっても、この気体の前記軸
受8側への流れを確実に阻止でき、該軸受8及びモータ
側ケーシング6内の内蔵品の腐食を防止できるのである
。Furthermore, an exhaust passage 10 formed in the screw rotor 9
A purge gas supply passage 14 is provided in the communication passage 13 between the bearing 8 and the bearing 8.
By supplying purge gas to the communicating path 13, even if the gas discharged from the exhaust path 10 contains corrosive gas components, the flow of this gas toward the bearing 8 side is prevented. It is possible to reliably prevent corrosion of the bearing 8 and the built-in components in the motor side casing 6.
【図1】本発明真空ポンプの縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a vacuum pump of the present invention.
【図2】同要部のみの部分断面図である。FIG. 2 is a partial sectional view of only the essential parts.
【図3】従来例の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a conventional example.
1 ポンプ側ケーシング 2 ポンプステータ 3 ポンプロータ 4 気体流路 5 隔壁 6 モータ側ケーシング 7 モータ 8 軸受 9 ネジロータ 10 排気路 11 吸気口 12 排気口 13 連通路 14 パージガス供給通路 71 駆動軸 91 ネジ 1 Pump side casing 2 Pump stator 3 Pump rotor 4 Gas flow path 5 Bulkhead 6 Motor side casing 7 Motor 8 Bearing 9 Screw rotor 10 Exhaust path 11 Intake port 12 Exhaust port 13 Communication path 14 Purge gas supply passage 71 Drive shaft 91 screw
Claims (2)
ステータ2を内装したポンプ側ケーシング1と、モータ
7を内装し、隔壁5を介して前記排気口12に対し区画
されたモータ側ケーシング6とを備え、前記ポンプステ
ータ2の気体流路4内にポンプロータ3を回転自由に配
置する一方、前記モータ7の駆動軸71を前記ポンプ側
ケーシング1内に突入させて前記ポンプロータ3に結合
すると共に、前記隔壁5に、前記駆動軸71を支持する
軸受8を設けて成る真空ポンプにおいて、前記ポンプロ
ータ3の排気口12側に、前記ポンプステータ2の内周
面に対向するネジ91を設け、前記気体流路4に連通す
る排気路10を形成したネジロータ9を前記ポンプロー
タ3とー体回転可能に設けて、このネジロータ9と前記
ポンプステータ2の対向面2aとの間に形成する排気路
10を前記排気口12に連通させると共に、前記軸受8
に連通させたことを特徴とする真空ポンプ。1. A pump side casing 1 having an intake port 11 and an exhaust port 12 and housing a pump stator 2 therein, and a motor side housing a motor 7 therein and partitioned from the exhaust port 12 through a partition wall 5. A casing 6 is provided, and the pump rotor 3 is rotatably disposed within the gas flow path 4 of the pump stator 2, while the drive shaft 71 of the motor 7 is inserted into the pump side casing 1 to rotate the pump rotor 3. In the vacuum pump, a bearing 8 for supporting the drive shaft 71 is provided on the partition wall 5, and a screw is provided on the exhaust port 12 side of the pump rotor 3, facing the inner circumferential surface of the pump stator 2. 91, and a screw rotor 9 having an exhaust path 10 communicating with the gas flow path 4 is provided so as to be rotatable with the pump rotor 3, and between the screw rotor 9 and the opposing surface 2a of the pump stator 2. The exhaust passage 10 to be formed is communicated with the exhaust port 12, and the bearing 8
A vacuum pump characterized by being connected to.
8との間の連通路13にパージガス供給通路14を連通
させている請求項1記載の真空ポンプ。2. The vacuum pump according to claim 1, wherein a purge gas supply passage 14 is connected to a communication passage 13 between an exhaust passage 10 formed in the screw rotor 9 and the bearing 8.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12936991A JPH04353296A (en) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12936991A JPH04353296A (en) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | Vacuum pump |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04353296A true JPH04353296A (en) | 1992-12-08 |
Family
ID=15007881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12936991A Pending JPH04353296A (en) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | Vacuum pump |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04353296A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013133780A (en) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Nissin Kogyo Co Ltd | Negative pressure pump |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP12936991A patent/JPH04353296A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013133780A (en) * | 2011-12-27 | 2013-07-08 | Nissin Kogyo Co Ltd | Negative pressure pump |
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