JPH04351734A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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Publication number
JPH04351734A
JPH04351734A JP12623491A JP12623491A JPH04351734A JP H04351734 A JPH04351734 A JP H04351734A JP 12623491 A JP12623491 A JP 12623491A JP 12623491 A JP12623491 A JP 12623491A JP H04351734 A JPH04351734 A JP H04351734A
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JP
Japan
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layer
recording
magneto
thickness
optical recording
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Application number
JP12623491A
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Japanese (ja)
Inventor
Shintaro Tanaka
信太郎 田中
Takashi Shimoma
隆司 下馬
Arikatsu Nakaoki
中沖 有克
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Priority to AT92107730T priority patent/ATE169145T1/en
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Abstract

PURPOSE:To increase the margin of laser beam powers without entailing an increase in the laser beam power at the time of recording by providing laminated films, a dielectric layer and a metallic layer on a substrate and adequately selecting the film thicknesses thereof. CONSTITUTION:The dielectric layer 2, a memory layer 3, an intermediate layer 4, the recording layer 5, the dielectric layer 6, the metallic layer 7, and a protective layer 8 are successively laminated on the light transparent substrate 1. The total thickness of the laminated films 9 of the memory layer 3, the intermediate layer 4 and the recording layer 5 is specified to 1000 to 1500Angstrom , the thickness of the dielectric layer 6 to 500Angstrom and the thickness of the metallic layer to 250 to 1500Angstrom . The power margins of the high level laser power PH and low level laser power PL can be increased in this way without increasing the respective output values of the powers PH, PL according to, for example, binary recording at the time of the magneto-optical recording.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、光(熱)磁気記録媒体
に係わり、特に3層構造の磁性層より成る光磁気記録媒
体に係わる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical (thermal) recording medium, and more particularly to a magneto-optical recording medium comprising a three-layered magnetic layer.

【0002】0002

【従来の技術】光磁気相互作用によって情報ビット(磁
区)の読み出しを行う記録媒体に対してのその情報の熱
(光)磁気記録方法は、垂直磁化膜による磁性薄膜を有
する記録媒体に対し、その磁化の方向を膜面に垂直な一
方向に予め揃えるいわゆる初期化を施しておき、この磁
化方向と反対向きの垂直磁化を有する磁区をレーザ光照
射等の局部加熱により形成することによって、2値化さ
れた情報ビットとして情報を記録している。
2. Description of the Related Art A thermal (optical) magnetic recording method for a recording medium in which information bits (magnetic domains) are read by magneto-optical interaction is based on a recording medium having a magnetic thin film made of a perpendicularly magnetized film. By performing so-called initialization in which the direction of magnetization is aligned in advance in one direction perpendicular to the film surface, and by forming a magnetic domain with perpendicular magnetization opposite to this magnetization direction by local heating such as laser beam irradiation. Information is recorded as digitized information bits.

【0003】熱磁気記録方法においては、情報の書換え
に先立って、上述の初期化に相当する記録された情報の
消去の過程即ち消去のための時間を要し、高転送レート
での記録を実現できない。これに対し、このような独立
の消去過程の時間が不要とされた重ね書きによるいわゆ
るオーバーライト方式による記録方法が種々提案されて
いる。このオーバーライト方式の熱磁気記録方法の中で
有望視されている方法としては、例えば媒体に対する外
部磁場変調法と、記録用のヘッドの他に消去用のヘッド
を設ける2ヘッド法とが知られている。
In the thermomagnetic recording method, prior to rewriting information, a process of erasing recorded information corresponding to the above-mentioned initialization, that is, time is required for erasing, and recording at a high transfer rate is realized. Can not. In response to this, various recording methods have been proposed using the so-called overwrite method, which eliminates the need for such independent erasing process time. Among the overwrite type thermomagnetic recording methods, methods that are considered promising include, for example, an external magnetic field modulation method for the medium, and a two-head method in which an erasing head is provided in addition to a recording head. ing.

【0004】外部磁場変調法とは、例えば特開昭60−
48806号公報に開示されているように、膜面に垂直
な磁化容易軸を有する非晶質フェリ磁性薄膜記録媒体に
対して昇温用ビームを照射して、この照射領域に入力デ
ジタル信号電流の状態に対応する極性の磁場を印加する
ことによって記録を行うものである。
[0004] The external magnetic field modulation method is, for example,
As disclosed in Japanese Patent No. 48806, an amorphous ferrimagnetic thin film recording medium having an easy axis of magnetization perpendicular to the film surface is irradiated with a heating beam, and an input digital signal current is applied to the irradiated area. Recording is performed by applying a magnetic field with a polarity corresponding to the state.

【0005】このような光磁気記録媒体では一般に、ポ
リカーボネイト等の光透過性基板上に誘電体層を介して
磁性層を積層し、更にこの上に保護層等を被着して成り
、光透過性基板側から読み出し光を照射して、その照射
領域の磁区における磁化をカー効果を利用して読み出す
ものであるが、この読み出し光の反射膜として、または
カー効果のエンハンスメント効果を得るために、磁性層
と保護層との間にAl層を設ける場合がある。
[0005] Such magneto-optical recording media generally consist of a magnetic layer laminated on a light-transmissive substrate such as polycarbonate via a dielectric layer, and a protective layer etc. is further coated on top of this to prevent light transmission. In this method, readout light is irradiated from the magnetic substrate side and the magnetization in the magnetic domain of the irradiated area is read out using the Kerr effect. An Al layer may be provided between the magnetic layer and the protective layer.

【0006】しかしながら、光磁気記録用磁性層を垂直
磁化膜として、この膜自体での反射によってカー効果で
その読み出しを行う光磁気記録媒体や、あるいは光強度
変調オーバーライト用記録媒体におけるような光磁気記
録用磁性層の厚さが大である光磁気記録媒体等において
は、このようなAl層を配置することは、これによる熱
放散効果によって記録感度の低下を招来することからこ
のAl層の配置が排除される傾向にある。ところが、こ
のようなAl層の排除された光磁気記録媒体においては
、保護層側からの侵蝕によって磁性層の腐食(孔食)の
問題が生ずる場合がある。
However, in magneto-optical recording media in which the magnetic layer for magneto-optical recording is a perpendicularly magnetized film and readout is performed using the Kerr effect by reflection from the film itself, or in recording media for optical intensity modulation overwriting, the optical In magneto-optical recording media where the magnetic layer for magnetic recording has a large thickness, disposing such an Al layer causes a decrease in recording sensitivity due to the heat dissipation effect. placement tends to be eliminated. However, in such a magneto-optical recording medium in which the Al layer is not included, the problem of corrosion (pitting) of the magnetic layer may occur due to corrosion from the protective layer side.

【0007】本出願人は、先にこのような問題を解決す
るために、特開平3−86947号出願において、光磁
気記録用磁性層即ち光磁気記録膜上の保護膜上に、厚さ
25Å〜200Åのアルミニウム薄膜を介して樹脂保護
膜を被着して成る光磁気記録媒体を提案した。この光磁
気記録媒体は、図5にその一例の略線的拡大断面図を示
すように、ポリカーボネイト等の光透過性基板1上にS
i3 N4 等の誘電体層2と、TbFeCo等よりな
る上述の積層膜に対応する光磁気記録膜13、更に例え
ばSi3 N4 等の誘電体層より成る保護膜16と、
Al薄膜17と、例えば紫外線硬化樹脂より成る樹脂保
護膜18とが積層されて構成される。
[0007] In order to solve such a problem, the present applicant previously proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-86947 a film with a thickness of 25 Å on a protective film on a magnetic layer for magneto-optical recording, that is, a magneto-optical recording film. We have proposed a magneto-optical recording medium in which a resin protective film is deposited through a ~200 Å thin aluminum film. As shown in FIG. 5, which is an example of a schematic enlarged cross-sectional view, this magneto-optical recording medium is made of S
A dielectric layer 2 such as i3N4, a magneto-optical recording film 13 corresponding to the above-mentioned laminated film made of TbFeCo etc., and a protective film 16 made of a dielectric layer such as Si3N4,
The Al thin film 17 and a resin protective film 18 made of, for example, an ultraviolet curing resin are laminated.

【0008】このように、保護膜16と樹脂保護膜18
との間に25Å〜200Åの厚さのAl薄膜17を設け
ることによって、樹脂保護膜18からの侵蝕を回避して
、S/Nの低下を防ぎ、信頼性の向上をはかっている。
In this way, the protective film 16 and the resin protective film 18
By providing an Al thin film 17 with a thickness of 25 Å to 200 Å between the resin protective film 18 and the resin protective film 18, corrosion from the resin protective film 18 is avoided, a decrease in S/N is prevented, and reliability is improved.

【0009】ところで、上述したような外部磁場変調法
によって情報転送レートの高い高速記録を行おうとする
と、例えばMHzオーダーで動作する電磁石が必要とな
り、このような電磁石の作成は困難であり、作成できた
としても消費電力および発熱が大きく実用的でないとい
う問題点がある。
By the way, when attempting to perform high-speed recording with a high information transfer rate using the external magnetic field modulation method as described above, an electromagnet that operates on the order of MHz is required, and it is difficult to create such an electromagnet. Even so, there is a problem that power consumption and heat generation are large, making it impractical.

【0010】また2ヘッド法では余分なヘッドを必要と
し、2つのヘッドを離して設置しなければならず、ドラ
イブシステムへの負担が大きく、経済性が悪いため量産
にも向かない等の問題点を有している。
Furthermore, the two-head method requires an extra head and must be installed at a distance, placing a large burden on the drive system and being uneconomical, making it unsuitable for mass production. have.

【0011】このような問題を解決するために、本出願
人は、先にレーザ光等による媒体の加熱温度を切換え制
御するのみで容易に書換え即ちオーバーライトを行うこ
とが可能な光(熱)磁気記録方法を、例えば特開昭63
−52354号出願及び特開昭63−52355号出願
において提供した。これら出願で提案された光(熱)磁
気記録方法は、第1及び第2の希土類−遷移金属磁性薄
膜の積層構造による熱(光)磁気記録媒体を用い、所要
の第1の外部磁場の印加の下に第1の磁性薄膜のほぼキ
ュリー温度Tc1 以上でかつ第2の磁性薄膜の副格子
磁化の反転が生じない第1の温度T1 に加熱する第1
の加熱状態と、キュリー温度Tc1 以上でかつ第2の
磁性薄膜の副格子磁化を反転させるに充分な第2の温度
T2 に加熱する第2の加熱状態とを、記録しようとす
る情報例えば“0”,“1”に応じて切換え変調し、冷
却過程で第1及び第2の磁性薄膜の交換結合力による第
1の磁性薄膜の副格子磁化の向きを第2の磁性薄膜の副
格子磁化の向きに揃えて、例えば“0”,“1”の記録
ビット(磁区)を第1の磁性薄膜に形成すると共に、第
2の外部磁場によって、或いは第2の磁性薄膜組成を、
その補償温度が室温から第2の温度T2 間に存在する
ように選定することによって、室温で第1の外部磁場の
みによって第2の磁性薄膜の副格子磁化が反転するよう
にして、オーバーライト可能な状態を得るようにするも
のである。
[0011] In order to solve such problems, the present applicant has developed a light (thermal) light (heat) system that can easily perform overwriting by simply switching and controlling the heating temperature of the medium using a laser beam or the like. For example, the magnetic recording method was
-52354 and JP-A-63-52355. The optical (thermal) magnetic recording method proposed in these applications uses a thermal (optical) magnetic recording medium having a laminated structure of first and second rare earth-transition metal magnetic thin films, and applies a required first external magnetic field. The first magnetic thin film is heated to a first temperature T1 which is approximately equal to or higher than the Curie temperature Tc1 of the first magnetic thin film and at which reversal of the sublattice magnetization of the second magnetic thin film does not occur.
The information to be recorded, for example, "0 ”, “1”, and during the cooling process, the direction of the sublattice magnetization of the first magnetic thin film due to the exchange coupling force of the first and second magnetic thin films is changed to that of the sublattice magnetization of the second magnetic thin film. For example, recording bits (magnetic domains) of "0" and "1" are formed in the first magnetic thin film in the same direction, and a second external magnetic field or the composition of the second magnetic thin film is
By selecting the compensation temperature to exist between room temperature and the second temperature T2, overwriting is possible by inverting the sublattice magnetization of the second magnetic thin film only by the first external magnetic field at room temperature. This is to ensure that a state is obtained.

【0012】この場合、消去のための特別の過程(時間
)を要することがなく、高転送レート化をはかることが
でき、上述した2ヘッド方式或いは外部磁場変調方式に
よる場合の諸問題を解決できる。
[0012] In this case, a special process (time) for erasing is not required, a high transfer rate can be achieved, and the problems of the above-mentioned two-head system or external magnetic field modulation system can be solved. .

【0013】一方、本出願人は先に特開平2−2480
1号及び特開平2−121103号において、このよう
な熱磁気記録方法において、各磁性薄膜間に生じる磁壁
の室温での磁壁エネルギー密度σw を制御するために
、第1及び第2の磁性薄膜間に、面内磁気異方性を有す
るもしくは小なる垂直磁気異方性を有する中間層を設け
ることによって、界面磁壁の存在する状態を安定化させ
る光磁気記録媒体を提案した。
[0013] On the other hand, the present applicant had previously
No. 1 and JP-A-2-121103, in such a thermomagnetic recording method, in order to control the domain wall energy density σw at room temperature of the domain wall generated between each magnetic thin film, proposed a magneto-optical recording medium that stabilizes the state in which interfacial domain walls exist by providing an intermediate layer having in-plane magnetic anisotropy or small perpendicular magnetic anisotropy.

【0014】上記特開平2−24801号出願で提案さ
れた光磁気記録媒体は、図6にその一例の略線的拡大断
面図を示すように、ポリカーボネイト等の光透過性基板
1上に、誘電体層2と、第1の磁性薄膜即ちメモリ層3
、中間層4及び第2の磁性薄膜即ち記録層5の各磁性薄
膜より成る積層膜9と、例えば誘電体層より成る保護層
6とが順次被着されて構成される。
The magneto-optical recording medium proposed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-open No. 2-24801 has a dielectric film on a light-transmitting substrate 1 made of polycarbonate or the like, as shown in FIG. body layer 2 and a first magnetic thin film or memory layer 3
, the intermediate layer 4 and the second magnetic thin film, that is, the recording layer 5, and a protective layer 6 made of, for example, a dielectric layer, which are successively deposited.

【0015】この記録媒体10に対する記録再生方法に
ついて説明する。この場合、前述の特開昭63−523
54号出願による熱(光)磁気記録方法と同様に、第1
及び第2の温度T1 及びT2 に加熱することによる
情報記録を行う。即ち、この記録方法では、図7に温度
Tに対応して上述したメモリ層3及び記録層5における
各磁化状態を、各図示のメモリ層3及び記録層5内に矢
印をもって模式的に示すように、室温TR 下において
、メモリ層3及び記録層2の磁化の向きが同一である状
態Aと、互いに逆向きの状態Bとの2態様によって例え
ば“0”,“1”の情報の記録をなすものである。
A recording/reproducing method for this recording medium 10 will be explained. In this case, the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-523
Similar to the thermal (optical) magnetic recording method according to Application No. 54, the first
and information recording by heating to second temperatures T1 and T2. That is, in this recording method, each magnetization state in the memory layer 3 and the recording layer 5 described above corresponding to the temperature T is schematically shown in FIG. For example, at room temperature TR, information such as "0" and "1" is recorded in two states: state A in which the directions of magnetization of the memory layer 3 and recording layer 2 are the same, and state B in which the directions of magnetization are opposite to each other. It is what you do.

【0016】この方法について説明するに、先ず例えば
状態Aにある部位に対してレーザ光を照射して、このレ
ーザ光の強度或いは照射時間を記録信号に応じて変調制
御してその加熱温度Tを、メモリ層3のほぼキュリー温
度Tc1 以上でかつ所要の記録磁界(外部磁場)He
xによって記録層5に磁化反転の生じない第1の加熱温
度T1 に加熱する。このような加熱を行うとメモリ層
3は磁化を失う状態Cを示すが、この加熱が終了して積
層膜9が温度Tc1 以下に下がるとメモリ層3に磁化
が生じる。このとき、記録層5との交換結合力が支配的
となるようになされていて、これによってメモリ層3の
磁化の向きは、記録層5と同一の向きとされる。つまり
、状態Aを生じさせて、例えば“0”の情報の記録を行
う。
To explain this method, first, for example, a part in state A is irradiated with a laser beam, and the intensity or irradiation time of this laser beam is modulated and controlled in accordance with a recording signal to control the heating temperature T. , approximately equal to or higher than the Curie temperature Tc1 of the memory layer 3 and the required recording magnetic field (external magnetic field) He
x to a first heating temperature T1 at which no magnetization reversal occurs in the recording layer 5. When such heating is performed, the memory layer 3 exhibits a state C in which it loses its magnetization, but when this heating is completed and the laminated film 9 falls below the temperature Tc1, magnetization occurs in the memory layer 3. At this time, the exchange coupling force with the recording layer 5 is made to be dominant, so that the direction of magnetization of the memory layer 3 is the same as that of the recording layer 5. In other words, state A is generated and, for example, information of "0" is recorded.

【0017】一方、加熱温度Tを、上述の温度T1 よ
り高くかつ記録層5の磁化を記録磁界(外部磁場)He
xによって反転することができる第2の加熱温度T2 
に加熱する。このような加熱を行うとメモリ層3は磁化
を失い、一方、記録層5が記録磁界Hexによってその
磁化が反転した状態Dが生じるが、この加熱が終了して
積層膜9が温度Tc1 に下がるとメモリ層3に記録層
5による交換結合力によって状態E、即ちもとの初期状
態とはその磁化の向きが逆の状態が形成される。このと
き記録層5に対する初期化磁界即ち補助磁界となる外部
補助磁界Hsub を印加して、室温TR 近傍で保磁
力が比較的低く選定されている記録層5のみの磁化の向
きを反転させ、メモリ層3及び記録層5間に磁壁が生じ
た磁化状態B、つまり磁化状態Aとはメモリ層3の磁化
の向きのみが反転した状態Bを生じさせて例えば“1”
の情報の記録を行う。
On the other hand, the heating temperature T is set higher than the above-mentioned temperature T1, and the magnetization of the recording layer 5 is controlled by the recording magnetic field (external magnetic field) He.
A second heating temperature T2 that can be reversed by x
Heat to. When such heating is performed, the memory layer 3 loses its magnetization, and on the other hand, state D occurs in which the magnetization of the recording layer 5 is reversed by the recording magnetic field Hex, but when this heating ends, the laminated film 9 falls to the temperature Tc1. State E, that is, a state in which the direction of magnetization is opposite to the original initial state, is formed in the memory layer 3 by the exchange coupling force caused by the recording layer 5. At this time, an external auxiliary magnetic field Hsub serving as an initialization magnetic field, that is, an auxiliary magnetic field, is applied to the recording layer 5 to reverse the magnetization direction of only the recording layer 5, which has been selected to have a relatively low coercive force near the room temperature TR. Magnetization state B in which a domain wall is generated between the layer 3 and the recording layer 5, that is, magnetization state A, is different from state B in which only the direction of magnetization of the memory layer 3 is reversed, for example, "1".
Record information.

【0018】このように上述の構成による光磁気記録媒
体では、状態A及び状態Bにより情報“0”,“1”の
記録がなされ、そのメモリ層3による磁化の向きを読み
出しレーザ光照射のカー回転によって検出することがで
きる。
In the magneto-optical recording medium having the above-described structure, information "0" and "1" are recorded in states A and B, and the direction of magnetization in the memory layer 3 is read out and the laser beam irradiation curve is read out. It can be detected by rotation.

【0019】この場合これら状態A及び状態Bのいずれ
においてもこれの上に光強度変調オーバーライトが可能
である。即ちいずれの状態A、状態Bからも温度T1 
及びT2 の加熱を行う場合、状態Cの過程を経ること
によって前述したと同様に温度T1 及びT2 の選定
によって初期の状態が状態Aであるか状態Bであるかを
問わず情報“0”及び“1”によって状態A及び状態B
のオーバーライトが可能となる。
In this case, light intensity modulation overwriting is possible in both states A and B. In other words, the temperature T1 from both state A and state B
and T2, by going through the process of state C, the information "0" and “1” causes state A and state B
can be overwritten.

【0020】このような方法においては、メモリ層3の
磁化状態によって情報記録を行うものであるが、この方
法による場合、メモリ層3及び記録層5が面内磁気異方
性もしくは小さい垂直磁気異方性を有する中間層4を介
して磁気的に結合されていることによって、メモリ層3
及び記録層5間の磁壁エネルギーσwが低減化され、前
記状態EからBへの移行即ち記録層5の初期化のための
外部補助磁界Hsub の低減化をはかることができる
と共に、積層膜9全体の厚さの低減化をはかることがで
きる。
In this method, information is recorded depending on the magnetization state of the memory layer 3. In this method, the memory layer 3 and the recording layer 5 have in-plane magnetic anisotropy or small perpendicular magnetic anisotropy. The memory layer 3 is magnetically coupled via the oriented intermediate layer 4.
The domain wall energy σw between the recording layer 5 and the recording layer 5 is reduced, and the external auxiliary magnetic field Hsub for the transition from the state E to B, that is, the initialization of the recording layer 5, can be reduced, and the entire laminated film 9 can be reduced. The thickness can be reduced.

【0021】上述したような2値記録を行う場合は、記
録する情報に対応して第1の温度T1 と第2の温度T
2 とにそれぞれ昇温させる必要がある。従って光強度
変調方式では、これら昇温された部分の温度分布を適度
に制御する必要があるが、従来は照射するレーザパワー
のみによって制御していた。しかしながら、この光磁気
記録媒体においては、2値記録を独別に行うための高出
力レベル、低出力レベルの2レベルのパワーPH,PL
を設定するにあたり、その裕度いわゆるマージンが比較
的小さいという問題があった。
When performing binary recording as described above, the first temperature T1 and the second temperature T1 are set in accordance with the information to be recorded.
2. It is necessary to raise the temperature for both. Therefore, in the light intensity modulation method, it is necessary to appropriately control the temperature distribution in these heated portions, but conventionally this has been controlled only by the irradiation laser power. However, in this magneto-optical recording medium, there are two levels of power PH and PL, a high output level and a low output level, for performing binary recording independently.
There was a problem in setting the margin, that is, the margin was relatively small.

【0022】一方、先にこのような光変調型の光磁気記
録媒体において、光磁気記録膜の基板とは反対側の誘電
体保護膜上に、金属層を介して、更に誘電体層と紫外線
硬化樹脂膜とを積層して成る構造が提案された(A.O
kamuro,et al.,MORIS(MO Re
cording International Sym
posium),18−T−13,1991) 。この
光磁気記録媒体はその略線的拡大断面図を図8に示すよ
うに、光透過性基板1上に、誘電体層2、光磁気記録膜
13、誘電体層6A、金属層7、誘電体層6Bと保護層
8とが順次被着されて成る。
On the other hand, in such a light modulation type magneto-optical recording medium, on the dielectric protective film on the side opposite to the substrate of the magneto-optical recording film, a dielectric layer and an ultraviolet ray are further applied via a metal layer. A structure formed by laminating a cured resin film was proposed (A.O.
Kamuro, et al. , MORIS (MO Re
coding International Sym
posium), 18-T-13, 1991). As shown in FIG. 8, a schematic enlarged cross-sectional view of this magneto-optical recording medium, a dielectric layer 2, a magneto-optical recording film 13, a dielectric layer 6A, a metal layer 7, a dielectric The body layer 6B and the protective layer 8 are sequentially applied.

【0023】この光磁気記録媒体では、光磁気記録膜1
3上に誘電体層6Aを介して金属層7を被着することに
よって、熱放射によってレーザ光照射による光磁気記録
膜13の温度変化を緩やかにし、レーザ光照射パワーの
マージンの増大化をはかっているものである。この場合
、光磁気記録膜13の厚さが1000Å、金属層7の厚
さが200Åとされ、誘電体層6A及び6Bの厚さt1
 及びt2 はそれぞれ100Åとされて、光磁気記録
膜13のレーザ光照射による熱がこの金属層7に効率よ
く伝わる構成としているが、このため結果的に2値記録
を行うための所要の温度T1 またはT2 に昇温する
レーザ光パワーが大となる恐れがある。
In this magneto-optical recording medium, the magneto-optical recording film 1
By depositing the metal layer 7 on the magneto-optical recording film 13 through the dielectric layer 6A, thermal radiation can moderate the temperature change of the magneto-optical recording film 13 caused by laser beam irradiation, thereby increasing the margin of the laser beam irradiation power. It is something that I know. In this case, the thickness of the magneto-optical recording film 13 is 1000 Å, the thickness of the metal layer 7 is 200 Å, and the thickness t1 of the dielectric layers 6A and 6B is
and t2 are set to 100 Å, respectively, so that the heat generated by the laser beam irradiation of the magneto-optical recording film 13 is efficiently transmitted to this metal layer 7, but as a result, the required temperature T1 for performing binary recording is set to 100 Å. Alternatively, there is a possibility that the power of the laser beam to raise the temperature to T2 becomes large.

【0024】[0024]

【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、上述したような光強度変調オーバーライト
方式に用いる光磁気記録媒体において、記録時のレーザ
光パワーの増大化を招来することなく、このレーザ光パ
ワーのマージンの増大化をはかって、信頼性の向上をは
かる。
[Problems to be Solved by the Invention] The problem to be solved by the present invention is that in a magneto-optical recording medium used for the above-mentioned light intensity modulation overwriting method, an increase in laser light power occurs during recording. Instead, the reliability is improved by increasing the margin of this laser light power.

【0025】[0025]

【課題を解決するための手段】本発明光磁気記録媒体の
一例の略線的拡大断面図を図1に示す。本発明光磁気記
録媒体は、光透過性基板1上に、順次誘電体層2と、垂
直磁気異方性を有するメモリ層3と、面内磁気異方性を
有するもしくは小さい垂直磁気異方性を有する中間層4
と、垂直磁気異方性を有する記録層5と、誘電体層6と
、金属層7と、保護層8とが積層形成されて成り、メモ
リ層3のほぼキュリー温度Tc1 以上でかつ記録層5
の磁気モーメントの反転の生じない温度T1 に加熱す
る第1の加熱状態と、キュリー温度Tc1 以上でかつ
記録層5の磁気モーメントを反転させるに充分な温度T
2 に加熱する第2の加熱状態とを、記録しようとする
情報信号に応じて変調し、それぞれ加熱状態から冷却す
ることにより記録磁化を行う光磁気記録媒体において、
メモリ層3と中間層4と記録層5とより成る積層膜9の
全厚さを1000Å以上1500Å以下とし、誘電体層
6の厚さを500Å以上1500Å以下とし、金属層7
の厚さを250Å以上1500Å以下とする。
[Means for Solving the Problems] FIG. 1 shows an enlarged schematic cross-sectional view of an example of the magneto-optical recording medium of the present invention. The magneto-optical recording medium of the present invention sequentially comprises a dielectric layer 2, a memory layer 3 having perpendicular magnetic anisotropy, and a perpendicular magnetic anisotropy having in-plane magnetic anisotropy or a small perpendicular magnetic anisotropy, on a light-transmitting substrate 1. intermediate layer 4 having
, a recording layer 5 having perpendicular magnetic anisotropy, a dielectric layer 6, a metal layer 7, and a protective layer 8 are laminated.
a first heating state of heating to a temperature T1 at which no reversal of the magnetic moment of the recording layer 5 occurs, and a temperature T that is higher than the Curie temperature Tc1 and sufficient to reverse the magnetic moment of the recording layer 5;
2. In a magneto-optical recording medium that performs recording magnetization by modulating a second heating state in accordance with an information signal to be recorded and cooling from each heating state,
The total thickness of the laminated film 9 consisting of the memory layer 3, the intermediate layer 4, and the recording layer 5 is set to 1000 Å or more and 1500 Å or less, the dielectric layer 6 has a thickness of 500 Å or more and 1500 Å or less, and the metal layer 7
The thickness of the layer is 250 Å or more and 1500 Å or less.

【0026】[0026]

【作用】上述したように、本発明光磁気記録媒体におい
ては、積層膜9の全厚さを1000Å以上1500Å以
下とし、誘電体層6の厚さを500Å以上1500Å以
下とし、金属層7の厚さを250Å以上1500Å以下
とするものであるが、このような構成とすることによっ
て、前述したように例えば“0”、“1”の2値記録を
行うためのレーザ光パワーのパワーマージンの増大化を
はかることができる。
[Operation] As described above, in the magneto-optical recording medium of the present invention, the total thickness of the laminated film 9 is set to 1000 Å or more and 1500 Å or less, the dielectric layer 6 has a thickness of 500 Å or more and 1500 Å or less, and the metal layer 7 has a thickness of This configuration makes it possible to increase the power margin of the laser light power for performing binary recording of "0" and "1", for example, as described above. It is possible to make changes.

【0027】従来の光強度変調型記録方法においては、
前述したようなレーザ光照射による2値情報に応じた温
度設定の制御を確実に行うために、熱伝導率の大なる金
属層を設ける場合はこの厚さを比較的小としていたもの
であるが、本発明者等の鋭意考察研究の結果、光磁気記
録用の磁性積層膜の全厚さ及びこれと金属層との間に設
ける誘電体層の厚さを適切に選定することによって、金
属層の厚さを比較的大としても、レーザパワーの増大化
を回避し得ることが究明された。
In the conventional optical intensity modulation type recording method,
In order to reliably control the temperature setting according to the binary information generated by laser beam irradiation as described above, when providing a metal layer with high thermal conductivity, this thickness was kept relatively small. As a result of intensive research by the present inventors, it was found that by appropriately selecting the total thickness of the magnetic laminated film for magneto-optical recording and the thickness of the dielectric layer provided between this and the metal layer, the metal layer It has been found that even if the thickness of the laser beam is made relatively large, an increase in laser power can be avoided.

【0028】従って、本発明光磁気記録媒体によれば、
レーザパワーを増大化することなく、2値記録を独別に
行うために必要な高出力、低出力の2レベルのパワーP
H,PLの各レーザ光パワーのパワーマージンの増大化
をはかることができる。
Therefore, according to the magneto-optical recording medium of the present invention,
Two levels of power P, high output and low output, necessary to perform binary recording independently without increasing laser power.
It is possible to increase the power margin of each of the H and PL laser light powers.

【0029】[0029]

【実施例】以下本発明光磁気記録媒体の一例を詳細に説
明する。この例では、前述した図7において説明した光
強度変調型のオーバーライト磁気記録を行う光磁気記録
媒体で、図1に示すように、例えばディスク状のポリカ
ーボネイト等より成る光透過性基板1上に、SiN等よ
り成る誘電体層2、TbFeCoCr等より成るメモリ
層3、GdFeCoCr等より成る中間層4、GdTb
FeCoCr等より成る記録層5、SiN等より成る誘
電体層6、Al等より成る金属層7とを順次例えばスパ
ッタリング法によって被着し、更に紫外線硬化樹脂等よ
り成る保護層8を被着して構成する。この場合、誘電体
層2の厚さを800Å、メモリ層3の厚さを300Å、
中間層4の厚さを300Å、記録層5の厚さを700Å
、誘電体層6の厚さを800Å、金属層7の厚さを30
0Åとした。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An example of the magneto-optical recording medium of the present invention will be explained in detail below. In this example, the magneto-optical recording medium performs the light intensity modulation type overwrite magnetic recording described in FIG. 7, and as shown in FIG. , a dielectric layer 2 made of SiN etc., a memory layer 3 made of TbFeCoCr etc., an intermediate layer 4 made of GdFeCoCr etc., GdTb
A recording layer 5 made of FeCoCr or the like, a dielectric layer 6 made of SiN or the like, and a metal layer 7 made of Al or the like are sequentially deposited by, for example, sputtering, and then a protective layer 8 made of ultraviolet curable resin or the like is deposited. Configure. In this case, the thickness of the dielectric layer 2 is 800 Å, the thickness of the memory layer 3 is 300 Å,
The thickness of the intermediate layer 4 is 300 Å, and the thickness of the recording layer 5 is 700 Å.
, the thickness of the dielectric layer 6 is 800 Å, and the thickness of the metal layer 7 is 30 Å.
It was set to 0 Å.

【0030】図2は光強度変調光磁気記録媒体の記録時
のパワーの設定可能な領域即ちパワーマージンを示す。 この場合、パワーマージンとは、エラーレートが1×1
0−4以下で、ダイレクトオーバーライトが可能な領域
を示す。上述したように、光強度変調記録方式において
は、2値情報を記録するために異なる温度T1 及びT
2 に昇温し得るレーザパワーを設定するが、その高レ
ベルのレーザパワーをPH、低レベルのレーザパワーを
PLとして示す。
FIG. 2 shows the range in which the power can be set during recording of the optical intensity modulation magneto-optical recording medium, that is, the power margin. In this case, the power margin means that the error rate is 1×1
0-4 or less indicates an area where direct overwriting is possible. As mentioned above, in the optical intensity modulation recording method, different temperatures T1 and T are used to record binary information.
The laser power that can raise the temperature to 2 is set, and the high level laser power is shown as PH, and the low level laser power is shown as PL.

【0031】図2において、実線aで囲んだ領域は上述
の構成による本発明光磁気記録媒体におけるパワーマー
ジンを示し、破線bで囲んだ領域は、比較例として上述
の構成による光磁気記録媒体において、金属層を設けず
に、誘電体層6上に直接的に保護層8を設けた場合のパ
ワーマージンを示す。この場合記録方法としては、各例
ともにISO規格による(2.7)RLL(Run L
ength Limited)、いわゆる2.7変調方
式によるランダムデータパターンを記録した場合で、記
録磁界Hexを400〔Oe〕、外部補助磁界Hsub
 を2.5k〔Oe〕とし、ディスク状の光磁気記録媒
体の最内周即ち中心からの距離が30mmのトラックに
おいて、線速を7.5m/sとして記録を行った。
In FIG. 2, the area surrounded by a solid line a shows the power margin in the magneto-optical recording medium of the present invention with the above-described structure, and the area surrounded by the broken line b shows the power margin in the magneto-optical recording medium with the above-described structure as a comparative example. , shows the power margin when the protective layer 8 is provided directly on the dielectric layer 6 without providing a metal layer. In this case, the recording method is (2.7) RLL (Run L) according to the ISO standard in each example.
When recording a random data pattern using the so-called 2.7 modulation method, the recording magnetic field Hex is 400 [Oe], and the external auxiliary magnetic field Hsub
Recording was performed at a linear velocity of 7.5 m/s on a track with a distance of 30 mm from the innermost periphery or center of the disk-shaped magneto-optical recording medium.

【0032】図2からわかるように、線bで囲む比較例
に比して、線aで囲む実施例は低レベルパワーPLの許
容範囲が広く、従ってパワーマージンを高レベルパワー
PHと同程度に比較的大きくとることができるが、金属
層7を設けない比較例においては、低レベルパワーPL
の許容範囲が狭くマージンを大とすることができない。
As can be seen from FIG. 2, compared to the comparative example surrounded by line b, the example surrounded by line a has a wider allowable range of low level power PL, and therefore the power margin can be made to the same level as high level power PH. Although it can be relatively large, in the comparative example in which the metal layer 7 is not provided, the low level power PL
The tolerance range is narrow and the margin cannot be increased.

【0033】この低レベルパワーPLのマージンの膜厚
依存性を図3に示す。図3においては、図1に示す光磁
気記録媒体の金属層7の膜厚を変化させ、図2において
説明したと同様の記録方法をもって記録を行った場合の
低レベルパワーPLのマージンを測定した結果を示し、
線c及びdによって囲まれた領域がPLパワーマージン
を示す。図3からわかるように、金属層7を設けない場
合はPL=3.8mW〜6.3mWとなり、PLパワー
マージンは2mW程度となる。一方、Al金属層7を3
00Å被着した場合はPL=4.3mW〜8.2mWと
なり、PLパワーマージンは5mW程度となって、金属
層7の膜厚に比例してパワーマージンが徐々に大となる
FIG. 3 shows the film thickness dependence of the margin of this low level power PL. In FIG. 3, the margin of low-level power PL was measured when the film thickness of the metal layer 7 of the magneto-optical recording medium shown in FIG. 1 was changed and recording was performed using the same recording method as explained in FIG. show the results,
The area surrounded by lines c and d shows the PL power margin. As can be seen from FIG. 3, when the metal layer 7 is not provided, PL=3.8 mW to 6.3 mW, and the PL power margin is about 2 mW. On the other hand, the Al metal layer 7 is
When 00 Å is deposited, PL=4.3 mW to 8.2 mW, and the PL power margin is about 5 mW, and the power margin gradually increases in proportion to the thickness of the metal layer 7.

【0034】そして、このPLパワーマージンの平均値
を計算し、低レベルパワーPLがその上下にどの程度の
マージンを有するかを求めた結果を図4に示す。図4か
らわかるように、金属層を設けない場合は20%程度の
パワーマージンしか得られていない。また実用的に必要
とされる30%程度のパワーマージンを得るためには、
金属層7の膜厚が250Å程度以上必要となる。
FIG. 4 shows the results of calculating the average value of this PL power margin and determining how much margin the low level power PL has above and below it. As can be seen from FIG. 4, when no metal layer is provided, a power margin of only about 20% is obtained. In addition, in order to obtain the practically required power margin of about 30%,
The thickness of the metal layer 7 is required to be approximately 250 Å or more.

【0035】一方、この金属層7の膜厚が1500Åを
越える場合は、例えばディスク状光磁気記録媒体の最外
周において記録を行う場合にここにおける線速が大とな
るために、所定の温度に昇温できなくなって、感度の低
下を招く恐れがある。従って金属層の膜厚は250Å以
上1500Å以下程度とする必要がある。
On the other hand, if the thickness of the metal layer 7 exceeds 1500 Å, the linear velocity at the outermost periphery of the disk-shaped magneto-optical recording medium will be high when recording is performed, for example. There is a risk that the temperature cannot be raised, leading to a decrease in sensitivity. Therefore, the thickness of the metal layer needs to be about 250 Å or more and 1500 Å or less.

【0036】ちなみに、前述の特開平3−86947号
による場合は、このようなパワーマージンの増大化をは
かり難く、実用的に必要とされる30%程度以上のパワ
ーマージンを得ることはできなかった。
By the way, in the case of the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-86947, it was difficult to increase the power margin in this way, and it was not possible to obtain a power margin of about 30% or more, which is practically required. .

【0037】また、上述の例においては、誘電体層6の
膜厚を800Åとしたが、この膜厚は500Å未満の場
合はメモリ層3、中間層4及び記録層5より成る積層膜
9と金属層7との間隔が小となるため、この金属層7の
熱放散によって生じる感度低下を招来し、また積層膜9
の酸化を生じる恐れがある。また1500Åを越える場
合には上述した金属層7によるパワーマージン増大化の
効果を得られない恐れがある。従って、この誘電体層6
の厚さは500Å以上1500Å以下に選定する。
In the above example, the thickness of the dielectric layer 6 was set to 800 Å, but if this thickness is less than 500 Å, the layered film 9 consisting of the memory layer 3, intermediate layer 4, and recording layer 5 will be formed. Since the distance between the metal layer 7 and the metal layer 7 becomes small, the sensitivity decreases due to heat dissipation of the metal layer 7, and the laminated film 9
may cause oxidation. Further, if the thickness exceeds 1500 Å, there is a possibility that the above-mentioned effect of increasing the power margin by the metal layer 7 cannot be obtained. Therefore, this dielectric layer 6
The thickness is selected to be 500 Å or more and 1500 Å or less.

【0038】更にまた上述の実施例においては積層膜9
の膜厚を1300Åとしたが、この膜厚は1000Å以
上1500Å以下程度であればよい。
Furthermore, in the above embodiment, the laminated film 9
Although the film thickness is set to 1300 Å, this film thickness may be about 1000 Å or more and 1500 Å or less.

【0039】また中間層4の材料としては上述の例にお
いてはGdFeCoCrを用いたが、この中間層4の材
料を適切に選定することによって、室温での磁壁エネル
ギーを低く、かつキュリー点近傍において高くなるよう
にする場合は、その室温での飽和磁化Msを、0≦Ms
≦450emu/cm3 に選定し、特にその垂直磁気
異方性が1×106 erg/cm3以下で、有効磁気
異方性定数Kの温度特性曲線が上に凸の特性ないしは直
線的特性を示す希土類優勢金属材料を用い、例えばGd
FeCo系材料の場合には、Gdx (Fe1−y C
oy )1−x において、0.25≦x≦0.40と
し、0≦y≦1.0(x,y原子比)に選定する。ここ
にGdFeCo系材料を用いる場合は、その他Dy、T
b、Nd等の他の種々の元素を添加してもよい。中間層
4の材料をこのように限定する場合には、前述の図7に
おいて説明した光磁気記録方法を行う際に、外部補助磁
場Hsub の低減化従って装置の簡略化と、情報の重
ね書き即ちオーバーライトをより確実に行うことができ
る。
In the above example, GdFeCoCr was used as the material for the intermediate layer 4, but by appropriately selecting the material for the intermediate layer 4, the domain wall energy can be kept low at room temperature and high near the Curie point. When setting the saturation magnetization Ms at room temperature to 0≦Ms
≦450 emu/cm3, in particular, the perpendicular magnetic anisotropy is 1×106 erg/cm3 or less, and the temperature characteristic curve of the effective magnetic anisotropy constant K exhibits an upwardly convex characteristic or a linear characteristic. Using a metal material, for example, Gd
In the case of FeCo-based materials, Gdx (Fe1-y C
oy)1-x, 0.25≦x≦0.40, and 0≦y≦1.0 (x, y atomic ratio). When using GdFeCo material here, other Dy, T
Various other elements such as b, Nd, etc. may be added. When the material of the intermediate layer 4 is limited in this way, when performing the magneto-optical recording method explained in FIG. Overwriting can be performed more reliably.

【0040】尚、上述の例においては、金属層7として
Alを被着した場合について説明したが、その他例えば
Au、Pt、Cu等の比較的熱伝導率の大なる材料をこ
の金属層7として用いることができる。
In the above example, a case was explained in which Al was deposited as the metal layer 7, but other materials with relatively high thermal conductivity such as Au, Pt, Cu, etc. may be used as the metal layer 7. Can be used.

【0041】また、誘電体層6の材料としては、上述の
SiNの他、SiO,SiO2 、TiO2 ,TiO
,CeO,HfO2 ,BeO,ThO2 ,Si3 
N4 ,ITO等の種々の材料を用いることができる。
In addition to the above-mentioned SiN, materials for the dielectric layer 6 include SiO, SiO2, TiO2, and TiO2.
, CeO, HfO2 , BeO, ThO2 , Si3
Various materials such as N4, ITO, etc. can be used.

【0042】[0042]

【発明の効果】上述したように、本発明光磁気記録媒体
においては、光磁気記録用の積層膜9、誘電体層6及び
金属層7を設ける構成とし、これら各層の膜厚を適切に
選定することによって、光磁気記録を行う際の、例えば
2値記録に応じた高レベルレーザパワーPHと低レベル
レーザパワーPLとの各出力値を増大化することなく、
各パワーPH,PLのパワーマージンを増大化すること
ができる。
As described above, the magneto-optical recording medium of the present invention has a structure in which a laminated film 9, a dielectric layer 6, and a metal layer 7 for magneto-optical recording are provided, and the thickness of each of these layers is appropriately selected. By doing so, when performing magneto-optical recording, for example, without increasing the respective output values of high-level laser power PH and low-level laser power PL corresponding to binary recording,
The power margin of each power PH and PL can be increased.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明光磁気記録媒体の一例の略線的拡大断面
図である。
FIG. 1 is a schematic enlarged cross-sectional view of an example of a magneto-optical recording medium of the present invention.

【図2】光磁気記録媒体における記録用レーザパワーの
マージンを示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a margin of recording laser power in a magneto-optical recording medium.

【図3】金属層の膜厚変化による低レベルレーザパワー
の変化を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a change in low-level laser power due to a change in the thickness of a metal layer.

【図4】金属層の膜厚変化による低レベルレーザパワー
マージンの変化を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a change in low-level laser power margin due to a change in the thickness of a metal layer.

【図5】従来の光磁気記録媒体の略線的拡大断面図であ
る。
FIG. 5 is a schematic enlarged cross-sectional view of a conventional magneto-optical recording medium.

【図6】従来の光磁気記録媒体の略線的拡大断面図であ
る。
FIG. 6 is a schematic enlarged cross-sectional view of a conventional magneto-optical recording medium.

【図7】光磁気記録媒体の積層膜の磁化状態の説明図で
ある。
FIG. 7 is an explanatory diagram of the magnetization state of the laminated film of the magneto-optical recording medium.

【図8】従来の光磁気記録媒体の略線的拡大断面図であ
る。
FIG. 8 is a schematic enlarged cross-sectional view of a conventional magneto-optical recording medium.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  光透過性基板 2  誘電体層 3  メモリ層 4  中間層 5  記録層 6  誘電体層 7  金属層 8  保護層 9  積層膜 1. Light-transparent substrate 2 Dielectric layer 3 Memory layer 4 Middle class 5 Recording layer 6 Dielectric layer 7 Metal layer 8 Protective layer 9 Laminated film

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  光透過性基板上に、順次誘電体層と、
垂直磁気異方性を有するメモリ層と、面内磁気異方性を
有するもしくは小さい垂直磁気異方性を有する中間層と
、垂直磁気異方性を有する記録層と、誘電体層と、金属
層と、保護層とが積層形成されて成り、上記メモリ層の
ほぼキュリー温度Tc1 以上でかつ上記記録層の磁気
モーメントの反転の生じない温度T1 に加熱する第1
の加熱状態と、上記キュリー温度Tc1 以上でかつ上
記記録層の磁気モーメントを反転させるに充分な温度T
2 に加熱する第2の加熱状態とを、記録しようとする
情報信号に応じて変調し、上記それぞれ加熱状態から冷
却することにより記録磁化を行う光磁気記録媒体におい
て、上記メモリ層と上記中間層と上記記録層とより成る
積層膜の全厚さが1000Å以上1500Å以下とされ
、上記誘電体層の厚さが500Å以上1500Å以下と
され、上記金属層の厚さが250Å以上1500Å以下
とされたことを特徴とする光磁気記録媒体。
Claim 1: A dielectric layer sequentially formed on a light-transmissive substrate;
A memory layer having perpendicular magnetic anisotropy, an intermediate layer having in-plane magnetic anisotropy or small perpendicular magnetic anisotropy, a recording layer having perpendicular magnetic anisotropy, a dielectric layer, and a metal layer. and a protective layer, and is heated to a temperature T1 which is approximately equal to or higher than the Curie temperature Tc1 of the memory layer and at which no reversal of the magnetic moment of the recording layer occurs.
and a temperature T which is equal to or higher than the Curie temperature Tc1 and is sufficient to reverse the magnetic moment of the recording layer.
2. In the magneto-optical recording medium, the memory layer and the intermediate layer are modulated in accordance with the information signal to be recorded, and recording magnetization is performed by cooling the respective heating states. and the recording layer have a total thickness of 1000 Å or more and 1500 Å or less, the dielectric layer has a thickness of 500 Å or more and 1500 Å or less, and the metal layer has a thickness of 250 Å or more and 1500 Å or less. A magneto-optical recording medium characterized by:
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