JPH04344457A - Carbon dioxide sensor - Google Patents

Carbon dioxide sensor

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Publication number
JPH04344457A
JPH04344457A JP3117214A JP11721491A JPH04344457A JP H04344457 A JPH04344457 A JP H04344457A JP 3117214 A JP3117214 A JP 3117214A JP 11721491 A JP11721491 A JP 11721491A JP H04344457 A JPH04344457 A JP H04344457A
Authority
JP
Japan
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electrode layer
reference electrode
carbon dioxide
gas
output
Prior art date
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Pending
Application number
JP3117214A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masashi Nishiguchi
昌志 西口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Ecology Systems Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Seiko Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Seiko Co Ltd filed Critical Matsushita Seiko Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To improve the temperature dependency of the output of a solid electrolyte type carbon dioxide sensor and to enhance the durability of the sensor. CONSTITUTION:A catalyst material 2 is added to a reference electrode layer a1 and the temperature dependency of the output of a carbon dioxide sensor is improved by the catalytic action of the material 2 so as to prevent deterioration of the sensor due to corrosive gas: Or, a reference electrode layer 104 is covered with a gas shielding layer and thereby the reference electrode layer 104 is shielded from measurement atmosphere so as to eliminate the influence of water and gases in the atmosphere thus preventing the humidity dependency of the output of the sensor and preventing deterioration of the reference electrode layer 104: Or, an oxygen ion conductive material 5 is added to a reference electrode layer b4 so as to make oxygen partial pressure within the reference electrode layer be constant thereby providing outputs which are stable over a long period; the carbon dioxide sensor of high reliability can thus be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、施設園芸、環境衛生、
防災用、工業用などの炭酸ガス濃度を計測し制御する場
所に使用する固体電解質型の炭酸ガスセンサに関するも
のである。
[Industrial Application Field] The present invention is applicable to greenhouse horticulture, environmental hygiene,
This invention relates to a solid electrolyte type carbon dioxide sensor used in disaster prevention, industrial, and other places where carbon dioxide concentration is measured and controlled.

【0002】0002

【従来の技術】近年、空調、農畜産分野を中心に炭酸ガ
スセンサに対するニーズが高まり、種々の方式のセンサ
開発、実用化が進められている。しかし、実用上、その
信頼性に多くの課題が残されている。
2. Description of the Related Art In recent years, the need for carbon dioxide gas sensors has increased mainly in the fields of air conditioning and agriculture and livestock farming, and various types of sensors have been developed and put into practical use. However, in practice, many problems remain regarding its reliability.

【0003】以下、従来の炭酸ガスセンサの例について
図5を参照しながら説明する。図に示すように、固体電
解質である薄板状のNAXS(ナトリウムイオン伝導体
)板101は、その両端に1対の電極層109である検
知極層102、基準極層104を備え、検知極層102
は、Auを用いた電極層内に金属炭酸塩103である炭
酸ナトリウムが分散して添加、形成されており、基準極
層104はAuを用いた電極層で形成され、ガス感知部
106を構成していた。ガス感知部106の片面下部に
加熱部105が接着剤108によって固定され、ガス感
知部106を測定温度に加熱している。また、センサ出
力は検知極層102、基準極層104それぞれから取り
出したリード線107a、107bを介して取り出して
いる。
An example of a conventional carbon dioxide sensor will be described below with reference to FIG. As shown in the figure, a thin NAXS (sodium ion conductor) plate 101, which is a solid electrolyte, has a sensing electrode layer 102 and a reference electrode layer 104, which are a pair of electrode layers 109, at both ends thereof. 102
is formed by adding and dispersing sodium carbonate, which is a metal carbonate 103, into an electrode layer made of Au, and a reference electrode layer 104 is formed of an electrode layer made of Au, and constitutes a gas sensing section 106. Was. A heating unit 105 is fixed to the lower part of one side of the gas sensing unit 106 with an adhesive 108, and heats the gas sensing unit 106 to a measurement temperature. Further, the sensor output is taken out through lead wires 107a and 107b taken out from the detection electrode layer 102 and the reference electrode layer 104, respectively.

【0004】上記構成において、ガス感知部106は以
下の電池を構成する。すなわち
In the above configuration, the gas sensing section 106 constitutes the following battery. i.e.

【0005】[0005]

【化1】[Chemical formula 1]

【0006】このような電池を構成するガス感知部10
6を加熱部105により測定温度に加熱すると、検知極
層102および基準極層104において以下のような電
池反応が起き
Gas sensing section 10 constituting such a battery
6 is heated to the measurement temperature by the heating section 105, the following battery reaction occurs in the sensing electrode layer 102 and the reference electrode layer 104.

【0007】[0007]

【化2】[Chemical 2]

【0008】両電極間には次式で表される起電力が発生
する。
An electromotive force expressed by the following equation is generated between the two electrodes.

【0009】[0009]

【数1】[Math 1]

【0010】ここで、E0は定数、Rは気体定数、Tは
絶対温度、Fはファラデー定数、αNa2O、αNa2
CO3はそれぞれNa2OおよびNa2CO3の活量、
PCO2は空気中のCO2分圧を示す。αNa2CO3
は、通常の安定な状態では1と置くことができ、αNa
2OはNAXSの組成によって決定するため定数とみな
すことができる。よって、センサの動作温度であるTが
一定ならば起電力E(出力)はPCO2のみの関数とな
る。よって検知極層102、基準極層104よりリード
線107a、107bを介してこの起電力E(出力)を
取り出すことによりCO2濃度を求めることができる。
Here, E0 is a constant, R is a gas constant, T is an absolute temperature, F is a Faraday constant, αNa2O, αNa2
CO3 is the activity of Na2O and Na2CO3, respectively;
PCO2 indicates the partial pressure of CO2 in the air. αNa2CO3
can be set as 1 in a normal stable state, and αNa
Since 2O is determined by the composition of NAXS, it can be regarded as a constant. Therefore, if T, which is the operating temperature of the sensor, is constant, the electromotive force E (output) will be a function only of PCO2. Therefore, the CO2 concentration can be determined by extracting this electromotive force E (output) from the sensing electrode layer 102 and the reference electrode layer 104 via the lead wires 107a and 107b.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では以下のような課題を有していた。すなわ
ち測定雰囲気中の水分が存在すると検知極層の(化2)
に示す電極反応に水が関与していた。そのため、測定雰
囲気の湿度が変化するとその変化に応じて起電力すなわ
ちセンサ出力が変化するという出力の温度依存性があっ
た。そのため、正確な炭酸ガス濃度を測定できなかった
[Problems to be Solved by the Invention] However, the above configuration has the following problems. In other words, if there is moisture in the measurement atmosphere, the detection electrode layer (chemical formula 2)
Water was involved in the electrode reaction shown in . Therefore, when the humidity of the measurement atmosphere changes, the electromotive force, that is, the sensor output changes in accordance with the change, which is the temperature dependence of the output. Therefore, accurate carbon dioxide concentration could not be measured.

【0012】また、雰囲気中に硫化水素等の腐食性ガス
が存在すると基準極層が汚染され劣化の原因となってい
た。
Furthermore, the presence of corrosive gases such as hydrogen sulfide in the atmosphere contaminates the reference electrode layer and causes deterioration.

【0013】さらに、ガス感知部が結露した場合、検知
極層の金属炭酸塩が結露水に溶け出し、その溶液が基準
極に至るとガス感知部は(化1)に示す電池を構成しな
くなり破損していた。
Furthermore, if dew condenses on the gas sensing part, the metal carbonate in the sensing electrode layer dissolves into the condensed water, and when the solution reaches the reference electrode, the gas sensing part no longer forms the battery shown in (Chemical formula 1). It was damaged.

【0014】本発明は、上記課題を解決するもので、出
力の温度依存性を低減しさらに基準極の劣化を防止し高
い信頼性を有する炭酸ガスセンサを提供するものである
The present invention solves the above-mentioned problems, and provides a highly reliable carbon dioxide sensor that reduces temperature dependence of output, prevents deterioration of the reference electrode.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明の目的を達成する
ための第1の手段は、固体電解質からなるイオン伝導性
セラミックス板の両端に1対の電極層を設け、前記イオ
ン伝導性セラミックス板のいずれか一方の電極層に、炭
酸ガスと解離平衡を形成する金属炭酸塩を添加して検知
層を形成し、他方の基準極層aに触媒物質を添加して構
成されるガス感知部と、前記ガス感知部を測定温度に加
熱する加熱部とで構成したものである。
[Means for Solving the Problems] A first means for achieving the object of the present invention is to provide a pair of electrode layers at both ends of an ion conductive ceramic plate made of a solid electrolyte, and to A gas sensing section is formed by adding a metal carbonate that forms a dissociation equilibrium with carbon dioxide gas to one of the electrode layers to form a sensing layer, and adding a catalyst substance to the other reference electrode layer a. , and a heating section that heats the gas sensing section to a measurement temperature.

【0016】また、第2の手段は、固体電解質からなる
イオン伝導性セラミックス板の両端に1対の電極層を設
け、前記イオン伝導性セラミックス板のいずれか一方の
電極層に、炭酸ガスと解離平衡を形成する金属炭酸塩を
添加した検知層を形成し、他方の基準極層もしくは、基
準極層を含む前記イオン伝導性セラミックス板の表面の
一部あるいは全部をガス遮断層で被覆して構成されるガ
ス感知部と、前記ガス感知部を測定温度に加熱する加熱
部とで構成したものである。
A second means is to provide a pair of electrode layers at both ends of an ion-conductive ceramic plate made of a solid electrolyte, and to dissociate carbon dioxide from one electrode layer of the ion-conductive ceramic plate. A detection layer containing a metal carbonate that forms an equilibrium is formed, and the other reference electrode layer or a part or all of the surface of the ion-conductive ceramic plate including the reference electrode layer is covered with a gas barrier layer. and a heating section that heats the gas sensing section to a measurement temperature.

【0017】また、第3の手段は、前記基準極層bに酸
素イオン伝導性物質を添加して構成したものである。
A third means is one in which an oxygen ion conductive substance is added to the reference electrode layer b.

【0018】[0018]

【作用】本発明は上記した第1の手段の構成により、基
準極層aに触媒物質を添加することにより、その触媒作
用により(化2)に示す電極反応における基準極層aに
対する雰囲気中の水分の影響を小さくし、さらに腐食性
ガスを分解するため、出力の雰囲気湿度依存性、および
腐食性ガスによる基準極層aの劣化を低減することがで
きるものである。
[Operation] According to the first means described above, the present invention adds a catalytic substance to the reference electrode layer a, and its catalytic action causes the reference electrode layer a to react in the atmosphere in the electrode reaction shown in (Chemical formula 2). Since the influence of moisture is reduced and the corrosive gas is decomposed, the dependence of the output on atmospheric humidity and the deterioration of the reference electrode layer a due to the corrosive gas can be reduced.

【0019】また、第2の手段の構成により、基準極を
ガス遮断層で被覆することにより、基準極を測定雰囲気
から遮断し、雰囲気中の水分の影響による雰囲気湿度依
存性、また、腐食性ガス、結露水等による基準極層の劣
化を防止する事ができるものである。
Furthermore, with the configuration of the second means, by covering the reference electrode with a gas barrier layer, the reference electrode is isolated from the measurement atmosphere, thereby reducing atmospheric humidity dependence due to the influence of moisture in the atmosphere, and corrosiveness. This can prevent deterioration of the reference electrode layer due to gas, condensed water, etc.

【0020】また、第3の手段の構成により、基準極層
bに酸素イオン伝導性物質を添加することにより基準極
層bの酸素分圧を安定化し長期に渡り安定した出力が得
られるものである。
Furthermore, according to the configuration of the third means, by adding an oxygen ion conductive substance to the reference electrode layer b, the oxygen partial pressure in the reference electrode layer b can be stabilized, and stable output can be obtained over a long period of time. be.

【0021】[0021]

【実施例】以下、本発明の第1実施例について、図1〜
図2を参照しながら説明する。
[Embodiment] The first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
This will be explained with reference to FIG.

【0022】なお、従来例の同一の部分には同一番号を
つけて説明は省略する。図1に示すように、ナトリウム
イオン伝導性セラミックスであるNAXS板101の両
端に1対の電極層109である検知極層102と基準極
層a1が形成されている。基準極層a1は電極材料であ
るAuペーストに酸化触媒であり、酸素イオンと電子の
両方に対して伝導性を持つ混合伝導性セラミックスでペ
ロブスカイト型酸化物La0.5Sr0.5Co03の
粉末、即ち触媒物質2を10重量%程度添加し、混合し
てペースト状にしたものをスクリーン印刷もしくは塗布
し、乾燥後焼成したものである。
[0022] Note that the same parts in the conventional example are given the same numbers and their explanations will be omitted. As shown in FIG. 1, a pair of electrode layers 109, a sensing electrode layer 102 and a reference electrode layer a1, are formed at both ends of a NAXS plate 101 made of sodium ion conductive ceramics. The reference electrode layer a1 is made of a perovskite oxide La0.5Sr0.5Co03 powder, which is a mixed conductive ceramic that is an oxidation catalyst and has conductivity for both oxygen ions and electrons, in an Au paste that is an electrode material, that is, a catalyst material. 2 was added in an amount of about 10% by weight, mixed to form a paste, which was screen printed or coated, dried and then fired.

【0023】以上のように構成された炭酸ガスセンサ1
10について以下その動作について説明する。上記構成
において、基準極層a1に添加した触媒物質2の触媒作
用により従来例で示した(化2)に及ぼす雰囲気中の水
分の影響が暖和される。その結果、出力の雰囲気湿度依
存性が低減する。図2に測定結果を示す。縦軸は、出力
変化量(ΔEmf)横軸は測定雰囲気の湿度(露点)を
示している。また、触媒物質2は基準極層a1に接触す
る腐食性ガス(例えば、H2S,C12)を分解するた
め腐食性ガスによる基準極層a1の劣化を防止すること
が出来る。
Carbon dioxide sensor 1 configured as above
10, its operation will be explained below. In the above configuration, the influence of moisture in the atmosphere on (Chemical formula 2) shown in the conventional example is moderated by the catalytic action of the catalyst substance 2 added to the reference electrode layer a1. As a result, the dependence of the output on atmospheric humidity is reduced. Figure 2 shows the measurement results. The vertical axis shows the output change amount (ΔEmf), and the horizontal axis shows the humidity (dew point) of the measurement atmosphere. Further, since the catalyst substance 2 decomposes corrosive gas (for example, H2S, C12) that comes into contact with the reference electrode layer a1, it is possible to prevent the reference electrode layer a1 from deteriorating due to the corrosive gas.

【0024】このように本発明の第1の実施例の炭酸ガ
スセンサ110によれば、基準極層a1への水分の影響
を低減することができ、出力の湿度依存性を小さくする
ことが出来る。また、基準極層a1の腐食性ガスによる
劣化を防止することが出来る。
As described above, according to the carbon dioxide sensor 110 of the first embodiment of the present invention, the influence of moisture on the reference electrode layer a1 can be reduced, and the dependence of the output on humidity can be reduced. Furthermore, deterioration of the reference electrode layer a1 due to corrosive gas can be prevented.

【0025】なお、本実施例では触媒物質2をLa0.
5Sr0.5Co03としたが、酸化触媒で(化2)に
示す基準極層a1での反応を阻害しない物質であればど
の様な物質でもよい。次に、本発明第2実施例について
、図3を参照しながら説明する。なお、従来例と同一の
部分には同一番号をつけて説明は省略する。
In this example, the catalyst material 2 is La0.
Although 5Sr0.5Co03 is used, any substance may be used as long as it is an oxidation catalyst and does not inhibit the reaction in the reference electrode layer a1 shown in (Chemical formula 2). Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. It should be noted that the same parts as in the conventional example are given the same numbers and the description thereof will be omitted.

【0026】図に示すように、基準極層104およびN
AXS板101の一部を覆う形でガス遮断層3が被覆さ
れている。ガス遮断層3はペースト状の非晶質ガラスシ
ール材を塗布後、乾燥・焼成して形成された非晶質ガラ
ス層である。
As shown, the reference pole layer 104 and N
A gas barrier layer 3 is coated to cover a part of the AXS board 101. The gas barrier layer 3 is an amorphous glass layer formed by applying a paste-like amorphous glass sealing material, followed by drying and firing.

【0027】上記構成において、基準極層104は、ガ
ス遮断層3によって雰囲気から完全に遮断されている。 そのため、基準極層104は測定雰囲気の水分の影響を
受けず、出力の雰囲気湿度依存性は防止でき、同時に腐
食性ガス等も遮断されるため基準極層104の劣化を防
止することが出来る。また、結露水により検知極層10
2の金属炭酸塩103が溶出した場合においてもその溶
液はガス遮断層4により基準極層104に達しないため
金属炭酸塩103が基準極層104に付着することによ
るセンサ劣化を防止することが出来る。
In the above structure, the reference electrode layer 104 is completely shielded from the atmosphere by the gas barrier layer 3. Therefore, the reference electrode layer 104 is not affected by moisture in the measurement atmosphere, and the dependence of the output on atmospheric humidity can be prevented. At the same time, corrosive gases and the like are also blocked, so that deterioration of the reference electrode layer 104 can be prevented. In addition, the detection electrode layer 10 may be damaged due to dew condensation water.
Even if the metal carbonate 103 of No. 2 is eluted, the solution does not reach the reference electrode layer 104 due to the gas barrier layer 4, so sensor deterioration due to metal carbonate 103 adhering to the reference electrode layer 104 can be prevented. .

【0028】このように、本発明第2実施例の炭酸ガス
センサ110によれば出力の湿度依存性を防止し、基準
極層104の劣化を防ぐことが出来る。
As described above, the carbon dioxide sensor 110 of the second embodiment of the present invention can prevent the humidity dependence of the output and prevent the reference electrode layer 104 from deteriorating.

【0029】なお、本実施例ではガス遮断層3を非晶質
ガラス層としたがセンサの動作温度で安定な物質でガス
を通さないものであればガラス層、樹脂層でもよい。
Although the gas barrier layer 3 is an amorphous glass layer in this embodiment, it may be a glass layer or a resin layer as long as it is stable at the operating temperature of the sensor and does not allow gas to pass therethrough.

【0030】次に、本発明第3実施例について図4を参
照しながら説明する。なお、従来例と同一の部分には同
一番号をつけて説明は省略する。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. It should be noted that the same parts as in the conventional example are given the same numbers and the description thereof will be omitted.

【0031】図に示すように、基準極層b4は酸素イオ
ン伝導性物質5としてイットリウムを添加した安定ジル
コニアであるYSZが添加され、基準極層b4およびN
AXS板101の一部を覆う形でガス遮断層3が被覆さ
れている。
As shown in the figure, the reference electrode layer b4 is doped with YSZ, which is stable zirconia doped with yttrium, as the oxygen ion conductive material 5, and the reference electrode layer b4 and N
A gas barrier layer 3 is coated to cover a part of the AXS board 101.

【0032】上記構成において、基準極層b4はガス遮
断層3により雰囲気から遮断されているため雰囲気湿度
の影響を受けず、さらに腐食性ガスから保護されている
。そのため、出力の雰囲気湿度依存性および腐食性ガス
による基準極層b4の劣化は防止される。
In the above structure, the reference electrode layer b4 is shielded from the atmosphere by the gas barrier layer 3, so that it is not affected by atmospheric humidity and is further protected from corrosive gases. Therefore, dependence of the output on atmospheric humidity and deterioration of the reference electrode layer b4 due to corrosive gas are prevented.

【0033】また、基準極層b4に添加された酸素イオ
ン伝導性物質5により基準極層b4内の酸素分圧は酸素
イオン伝導性物質5が持つ固有の値で安定する。そのた
め、基準極層の電位は一定に保たれ、安定した出力が得
られる。
Furthermore, the oxygen ion conductive material 5 added to the reference electrode layer b4 stabilizes the oxygen partial pressure within the reference electrode layer b4 at a value inherent to the oxygen ion conductive material 5. Therefore, the potential of the reference electrode layer is kept constant and stable output can be obtained.

【0034】このように、本発明第3実施例の炭酸ガス
センサ110によれば、出力の湿度依存性を防止し、基
準極層104の劣化を防ぐことが出来るだけでなく長期
に渡って安定した出力が得られる。
As described above, according to the carbon dioxide sensor 110 of the third embodiment of the present invention, it is possible not only to prevent humidity dependence of the output and prevent deterioration of the reference electrode layer 104, but also to maintain stability over a long period of time. I get the output.

【0035】なお、本実施例では酸素イオン伝導性物質
5をYSZとしたが、La0.5Sr0.5Co03ま
たはカルシウムを含有した安定化ジルコニアであるCS
Z、または白金、白金黒でもよい。
In this example, the oxygen ion conductive material 5 was YSZ, but La0.5Sr0.5Co03 or CS, which is stabilized zirconia containing calcium, may also be used.
Z, platinum, or platinum black may be used.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば基準極層
に触媒物質を添加することにより雰囲気湿度に対する出
力の依存性を低減し、さらに腐食性ガスによる劣化を防
止することが出来る。
As described above, according to the present invention, by adding a catalyst substance to the reference electrode layer, the dependence of the output on atmospheric humidity can be reduced, and furthermore, deterioration due to corrosive gases can be prevented.

【0037】また、基準極層もしくは基準極層を含むイ
オン伝導性セラミックス板の表面の一部あるいは全部を
ガス遮断層で被覆することにより、従来のガス感知部に
ガス遮断層を加えるだけで簡単に検知極雰囲気と遮断さ
れるため、検知極が原因となる出力の湿度依存性を防止
することができ、さらにガス遮断層により雰囲気中の腐
食性ガスなどから遮断されるため基準極の劣化を防止す
ることが出来る。また、結露水によるセンサの劣化を防
止することができる。
Furthermore, by coating part or all of the surface of the reference electrode layer or the ion conductive ceramic plate including the reference electrode layer with a gas barrier layer, it is possible to easily add a gas barrier layer to a conventional gas sensing section. Since the detection electrode is isolated from the atmosphere, it is possible to prevent humidity dependence of the output caused by the detection electrode.Furthermore, the gas barrier layer protects the reference electrode from corrosive gases in the atmosphere, preventing deterioration of the reference electrode. It can be prevented. Further, deterioration of the sensor due to dew condensation water can be prevented.

【0038】また、基準極層に酸素イオン伝導性物質を
添加することにより検知極層の酸素分圧が一定となり長
期に渡って安定した出力を得ることが出来る。
Furthermore, by adding an oxygen ion conductive substance to the reference electrode layer, the oxygen partial pressure in the sensing electrode layer becomes constant, making it possible to obtain stable output over a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の第1実施例の炭酸ガスセンサの構成を
示す縦断面図
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of a carbon dioxide sensor according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同炭酸ガスセンサと従来の炭酸ガスセンサの出
力の雰囲気湿度依存性を示すグラフ
[Figure 2] Graph showing the atmospheric humidity dependence of the output of the carbon dioxide sensor and the conventional carbon dioxide sensor

【図3】本発明の第2実施例の炭酸ガスセンサの構成を
示す縦断面図
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of a carbon dioxide sensor according to a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3実施例の炭酸ガスセンサの構成を
示す縦断面図
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing the configuration of a carbon dioxide sensor according to a third embodiment of the present invention.

【図5】従来の炭酸ガスセンサの構成を示す縦断面図[Figure 5] Vertical cross-sectional view showing the configuration of a conventional carbon dioxide sensor

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    基準極層a 2    触媒物質 3    ガス遮断層 4    基準極層b 5    酸素イオン伝導性物質 101    イオン伝導性セラミックス板(NAXS
板)102    検知極層 103    金属炭酸塩 104    基準極層 105    加熱部 106    ガス感知部 109    1対の電極層 110    炭酸ガスセンサ
1 Reference electrode layer a 2 Catalyst material 3 Gas barrier layer 4 Reference electrode layer b 5 Oxygen ion conductive material 101 Ion conductive ceramic plate (NAXS
plate) 102 Sensing electrode layer 103 Metal carbonate 104 Reference electrode layer 105 Heating section 106 Gas sensing section 109 Pair of electrode layers 110 Carbon dioxide sensor

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  固体電解質からなるイオン伝導性セラ
ミックス板の両端に1対の電極層を設け、前記イオン伝
導性セラミックス板のいずれか一方の電極層に、炭酸ガ
スと解離平衡を形成する金属炭酸塩を添加して検知極層
を形成し、他方の電極層に触媒物質を添加して基準極層
aを形成し、構成されるガス感知部と、前記ガス感知部
を測定温度に加熱する加熱部とを備えてなる炭酸ガスセ
ンサ。
1. A pair of electrode layers are provided at both ends of an ion-conducting ceramic plate made of a solid electrolyte, and one electrode layer of the ion-conducting ceramic plate is made of metal carbonate that forms a dissociative equilibrium with carbon dioxide gas. A gas sensing section configured by adding salt to form a sensing electrode layer and adding a catalyst substance to the other electrode layer to form a reference electrode layer a, and heating to heat the gas sensing section to a measurement temperature. A carbon dioxide gas sensor comprising:
【請求項2】  固体電解質からなるイオン伝導性セラ
ミック板の両端に1対の電極層を設け、前記イオン伝導
性セラミックス板のいずれか一方の電極層に、炭酸ガス
と解離平衡を形成する金属炭酸塩を添加して検知層を形
成し、他方の基準極層もしくは、基準極層を含む前記イ
オン伝導性セラミックス板の表面の一部あるいは全部を
ガス遮断層で被覆して構成されるガス感知部と、前記ガ
ス感知部を測定温度に加熱する加熱部とを備えてなる炭
酸ガスセンサ。
2. A pair of electrode layers is provided at both ends of an ion-conductive ceramic plate made of a solid electrolyte, and one electrode layer of the ion-conductive ceramic plate is made of metal carbonate that forms a dissociative equilibrium with carbon dioxide gas. A gas sensing section formed by adding salt to form a sensing layer, and covering part or all of the surface of the other reference electrode layer or the ion conductive ceramic plate including the reference electrode layer with a gas barrier layer. and a heating section that heats the gas sensing section to a measurement temperature.
【請求項3】  前記基準極層bに酸素イオン伝導性物
質を添加して構成してなる請求項2記載の炭酸ガスセン
サ。
3. The carbon dioxide gas sensor according to claim 2, wherein the reference electrode layer b includes an oxygen ion conductive substance.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106053729A (en) * 2016-07-06 2016-10-26 江苏智慧农业技术有限公司 Field planting carbon dioxide sensor

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