JPH04331030A - 発振回路の製造装置 - Google Patents
発振回路の製造装置Info
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- JPH04331030A JPH04331030A JP3100890A JP10089091A JPH04331030A JP H04331030 A JPH04331030 A JP H04331030A JP 3100890 A JP3100890 A JP 3100890A JP 10089091 A JP10089091 A JP 10089091A JP H04331030 A JPH04331030 A JP H04331030A
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P11/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
- H01P11/008—Manufacturing resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B5/00—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
- H03B5/18—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element comprising distributed inductance and capacitance
- H03B5/1864—Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input with frequency-determining element comprising distributed inductance and capacitance the frequency-determining element being a dielectric resonator
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- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B2200/00—Indexing scheme relating to details of oscillators covered by H03B
- H03B2200/0014—Structural aspects of oscillators
- H03B2200/0028—Structural aspects of oscillators based on a monolithic microwave integrated circuit [MMIC]
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- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
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- H03B2200/006—Functional aspects of oscillators
- H03B2200/0066—Amplitude or AM detection
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03B—GENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
- H03B2201/00—Aspects of oscillators relating to varying the frequency of the oscillations
- H03B2201/01—Varying the frequency of the oscillations by manual means
- H03B2201/014—Varying the frequency of the oscillations by manual means the means being associated with an element comprising distributed inductances and capacitances
- H03B2201/017—Varying the frequency of the oscillations by manual means the means being associated with an element comprising distributed inductances and capacitances the element being a dielectric resonator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49004—Electrical device making including measuring or testing of device or component part
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、衛星放送受信用コンバ
ータや測定器などに用いられる局部発振回路の製造装置
に関するものである。
ータや測定器などに用いられる局部発振回路の製造装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年情報ネットワークシステムの急速な
展開が図られる中で、衛星通信・放送システムの需要も
急増し、周波数帯もますます高周波化されつつある。高
周波信号を低周波信号に変換するダウンコンバータに局
部発振回路として使用される発振回路の需要も高まって
いる。
展開が図られる中で、衛星通信・放送システムの需要も
急増し、周波数帯もますます高周波化されつつある。高
周波信号を低周波信号に変換するダウンコンバータに局
部発振回路として使用される発振回路の需要も高まって
いる。
【0003】ところで従来、この種の発振回路は、1つ
の半絶縁性GaAs基板上にFETをはじめとする発振
回路の構成に必要な素子をすべて集積したMMIC(M
icrowave Monolithic Integ
rated Circuit )発振回路として、ある
いは、ディスクリートのGaAsFETおよび他の部品
を組み合わせて構成されるが、これらの発振回路をマイ
クロストリップ線路に接続し、さらにこのマイクロスト
リップ線路に近接させて誘電体共振器を配置し電磁的に
結合させることによって、所望の発振周波数とスペクト
ルの純度を得ている。
の半絶縁性GaAs基板上にFETをはじめとする発振
回路の構成に必要な素子をすべて集積したMMIC(M
icrowave Monolithic Integ
rated Circuit )発振回路として、ある
いは、ディスクリートのGaAsFETおよび他の部品
を組み合わせて構成されるが、これらの発振回路をマイ
クロストリップ線路に接続し、さらにこのマイクロスト
リップ線路に近接させて誘電体共振器を配置し電磁的に
結合させることによって、所望の発振周波数とスペクト
ルの純度を得ている。
【0004】この場合、誘電体共振器のマイクロストリ
ップ線路に対する位置は、FETパラメータ等の製造ば
らつきによって一定の位置に固定することができないた
め、その位置決めに際しては、手作業により個々に調整
を行っている。
ップ線路に対する位置は、FETパラメータ等の製造ば
らつきによって一定の位置に固定することができないた
め、その位置決めに際しては、手作業により個々に調整
を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したように衛星放
送受信用コンバータなどに用いられる従来の発振回路で
は、マイクロストリップ線路に対する誘電体共振器の位
置決めを手作業により行っているが、誘電体共振器は通
常5mm程度の直径を有する円筒形をしており、これを
ピンセットなどでつかんで位置合わせをするという作業
はきわめて微妙かつ困難で、熟練した作業者にしかでき
ない高度な作業であり、生産性もきわめて低いという問
題があった。
送受信用コンバータなどに用いられる従来の発振回路で
は、マイクロストリップ線路に対する誘電体共振器の位
置決めを手作業により行っているが、誘電体共振器は通
常5mm程度の直径を有する円筒形をしており、これを
ピンセットなどでつかんで位置合わせをするという作業
はきわめて微妙かつ困難で、熟練した作業者にしかでき
ない高度な作業であり、生産性もきわめて低いという問
題があった。
【0006】本発明の課題は、このような問題点を解消
することにある。
することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の発振装置の製造
装置は、誘電体共振器を支持する手段と、支持された誘
電体共振器を、発振回路およびマイクロストリップ線路
を形成した基板上の任意の位置に位置決めする機構と、
発振回路の発振出力をモニタリングする手段と、その発
振出力に応じて上記誘電体共振器の位置決め機構の駆動
装置を制御する手段とを備えたものである。
装置は、誘電体共振器を支持する手段と、支持された誘
電体共振器を、発振回路およびマイクロストリップ線路
を形成した基板上の任意の位置に位置決めする機構と、
発振回路の発振出力をモニタリングする手段と、その発
振出力に応じて上記誘電体共振器の位置決め機構の駆動
装置を制御する手段とを備えたものである。
【0008】発振回路は、半絶縁性GaAsなどの基板
上にFET、抵抗、コンデンサ、インダクタなど発振回
路の構成に必要な素子をすべて集積したMMIC発振回
路でも、ディスクリートのFETおよび他の部品をいく
つか用いて構成されるものでもよい。
上にFET、抵抗、コンデンサ、インダクタなど発振回
路の構成に必要な素子をすべて集積したMMIC発振回
路でも、ディスクリートのFETおよび他の部品をいく
つか用いて構成されるものでもよい。
【0009】
【作用】モニタリング手段により発振回路の発振出力を
モニタリングしながら、制御手段により位置決め機構の
駆動装置を制御し、誘電体共振器とマイクロストリップ
線路との相対位置を変化させる。発振回路の発振出力が
最大になったところで、誘電体共振器はマイクロストリ
ップ線路に対して最適な位置に配置される。
モニタリングしながら、制御手段により位置決め機構の
駆動装置を制御し、誘電体共振器とマイクロストリップ
線路との相対位置を変化させる。発振回路の発振出力が
最大になったところで、誘電体共振器はマイクロストリ
ップ線路に対して最適な位置に配置される。
【0010】
【実施例】以下、図1ないし図5を用いて本発明の一実
施例を説明する。
施例を説明する。
【0011】図1はシステム全体の構成を示す。発振回
路基板1は、図2に示すように、MMIC発振回路11
をマイクロストリップ線路12が形成されたセラミック
等の基板13に実装し、ワイヤ14により接続したもの
で、MMIC発振回路11には、半絶縁性のGaAs基
板上にOMVPE(有機金属気相成長)法などにより各
層を成長させ、発振回路の構成に本来必要な素子である
FET、抵抗、コンデンサ、インダクタなどをすべて集
積してある。発振回路基板1は、ある程度の重さのある
例えば真鍮でできたようなブロック2に固定するのが作
業性が良い。
路基板1は、図2に示すように、MMIC発振回路11
をマイクロストリップ線路12が形成されたセラミック
等の基板13に実装し、ワイヤ14により接続したもの
で、MMIC発振回路11には、半絶縁性のGaAs基
板上にOMVPE(有機金属気相成長)法などにより各
層を成長させ、発振回路の構成に本来必要な素子である
FET、抵抗、コンデンサ、インダクタなどをすべて集
積してある。発振回路基板1は、ある程度の重さのある
例えば真鍮でできたようなブロック2に固定するのが作
業性が良い。
【0012】この発振回路基板1に対し、誘電体共振器
3を位置決めする。ここで、誘電体共振器3を支持する
機構は金属では不適当であり、低比誘電率の例えばテフ
ロン(登録商標)やガラスのような材質が良い。これら
の材質(例えばテフロン)で図3に示すように外径3ミ
リ程度の管41を作り、これを片方からロータリーポン
プ42などで真空に引けば誘電体共振器3をつかむこと
ができる。なお、43はビニール等のパイプである。
3を位置決めする。ここで、誘電体共振器3を支持する
機構は金属では不適当であり、低比誘電率の例えばテフ
ロン(登録商標)やガラスのような材質が良い。これら
の材質(例えばテフロン)で図3に示すように外径3ミ
リ程度の管41を作り、これを片方からロータリーポン
プ42などで真空に引けば誘電体共振器3をつかむこと
ができる。なお、43はビニール等のパイプである。
【0013】誘電体共振器3には、少なくともその上面
から数ミリ程度の距離に金属製の屋根が必要であり、こ
れがなければ発信しないことが多い。したがって、上記
テフロン製の管41の中間付近に、図4に示すような、
その中央にテフロン製の管41の外径と同じ径の円穴が
開いた直径1cmから3cm程度の金属製の円板44を
図のように取り付け状況に応じて高さを調節できるよう
にしておく。この円板44は通常の板でもよいが、図示
のように金属製の網を使用すれば、上から円板44の下
の様子を見ることができて作業性が良い。このように網
状のものを使用する場合、円板の機械強度を持たせるた
めには、図示のように2枚のドーナツ状のリング441
で網状の円板を挟んだり、透明のアクリル板に張り付け
るなどすればよい。
から数ミリ程度の距離に金属製の屋根が必要であり、こ
れがなければ発信しないことが多い。したがって、上記
テフロン製の管41の中間付近に、図4に示すような、
その中央にテフロン製の管41の外径と同じ径の円穴が
開いた直径1cmから3cm程度の金属製の円板44を
図のように取り付け状況に応じて高さを調節できるよう
にしておく。この円板44は通常の板でもよいが、図示
のように金属製の網を使用すれば、上から円板44の下
の様子を見ることができて作業性が良い。このように網
状のものを使用する場合、円板の機械強度を持たせるた
めには、図示のように2枚のドーナツ状のリング441
で網状の円板を挟んだり、透明のアクリル板に張り付け
るなどすればよい。
【0014】テフロンやガラス製の管はそのままでは折
れやすいので、図のように円板44より上の部分は金属
等でできたパイプ45で補強し、このパイプを支持ステ
ー51でつかみ、マニピュレータ52に接続してXYZ
軸の微動ができるようにする。微動の制度は一般的な光
学実験用のマニピュレータと同程度で10μmあれば十
分である。
れやすいので、図のように円板44より上の部分は金属
等でできたパイプ45で補強し、このパイプを支持ステ
ー51でつかみ、マニピュレータ52に接続してXYZ
軸の微動ができるようにする。微動の制度は一般的な光
学実験用のマニピュレータと同程度で10μmあれば十
分である。
【0015】マニピュレータ52はXYZ軸のうち少な
くとも2軸(XY軸)はモーター53によりコントロー
ルされるものとし、そのモーター53はコンピュータ6
により制御される。
くとも2軸(XY軸)はモーター53によりコントロー
ルされるものとし、そのモーター53はコンピュータ6
により制御される。
【0016】一方、発振回路11の発振出力はアンプ7
1で増幅された後A/D変換器72でA/D変換され、
コンピュータ6に送られる。コンピュータ6では、この
発振出力が最大となるようにモーター53を制御するプ
ログラムが実行される。
1で増幅された後A/D変換器72でA/D変換され、
コンピュータ6に送られる。コンピュータ6では、この
発振出力が最大となるようにモーター53を制御するプ
ログラムが実行される。
【0017】図5にそのフローチャートを示す。同図に
は基本的な部分しか記していないが、詳細は以下の通り
である。まず、X,Y方向の最大移動範囲を設定してお
きその範囲でのみスキャンするようにする。次にその範
囲で100μmステップでX方向に動かしながら発振出
力を読取り最大になるところを探す。この間まったく発
振しなければ、そのときのYの位置では発振しないとい
うことであるから、Y方向に100μm動かして前述の
X方向のスキャンをさらに繰り返す。
は基本的な部分しか記していないが、詳細は以下の通り
である。まず、X,Y方向の最大移動範囲を設定してお
きその範囲でのみスキャンするようにする。次にその範
囲で100μmステップでX方向に動かしながら発振出
力を読取り最大になるところを探す。この間まったく発
振しなければ、そのときのYの位置では発振しないとい
うことであるから、Y方向に100μm動かして前述の
X方向のスキャンをさらに繰り返す。
【0018】あるYの位置にくれば、X方向のスキャン
を行っているときに、あるXの位置で発振するようにな
るから、そのYの位置での発振出力最大のポイントを探
す。図5のフローチャートはこの発振可能なYの位置に
きてからのアルゴリズムを示したもので、そのYの位置
での発振出力最大のポイントをみつけたら、次は同様の
アルゴリズムでYの位置を最適化する。これで誘電体共
振器3の位置は最適化されたことになるが、移動ステッ
プを10μmにしてもう一度同様の処理を繰り返せばさ
らに精度は上がる。
を行っているときに、あるXの位置で発振するようにな
るから、そのYの位置での発振出力最大のポイントを探
す。図5のフローチャートはこの発振可能なYの位置に
きてからのアルゴリズムを示したもので、そのYの位置
での発振出力最大のポイントをみつけたら、次は同様の
アルゴリズムでYの位置を最適化する。これで誘電体共
振器3の位置は最適化されたことになるが、移動ステッ
プを10μmにしてもう一度同様の処理を繰り返せばさ
らに精度は上がる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、誘
電体共振器を支持する手段と、支持された誘電体共振器
を、発振回路およびマイクロストリップ線路を形成した
基板上の任意の位置に位置決めする機構と、発振回路の
発振出力をモニタリングする手段と、その発振出力に応
じて上記誘電体共振器の位置決め機構の駆動装置を制御
する手段とを備えた装置により、発振装置の製造におい
て、マイクロストリップ線路に対する誘電体共振器の位
置決め作業を自動化できる。
電体共振器を支持する手段と、支持された誘電体共振器
を、発振回路およびマイクロストリップ線路を形成した
基板上の任意の位置に位置決めする機構と、発振回路の
発振出力をモニタリングする手段と、その発振出力に応
じて上記誘電体共振器の位置決め機構の駆動装置を制御
する手段とを備えた装置により、発振装置の製造におい
て、マイクロストリップ線路に対する誘電体共振器の位
置決め作業を自動化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す発振回路の製造装置の
システム構成図
システム構成図
【図2】発振回路基板1を示す平面図および正面図
【図
3】誘電体共振器3の支持機構を示す正面図
3】誘電体共振器3の支持機構を示す正面図
【図4】円
板44を示す平面図
板44を示す平面図
【図5】コンピュータ6において実行される制御プログ
ラムを示すフローチャート
ラムを示すフローチャート
1…発振回路基板
3…誘電体共振器
6…コンピュータ
11…MMIC発振回路
12…マイクロストリップ線路
13…セラミック基板
41…テフロン管
42…ロータリーポンプ
44…金属円板
51…支持ステー
52…マニピュレータ
53…モーター
71…アンプ
72…A/D変換器
Claims (1)
- 【請求項1】誘電体共振器を支持する手段と、支持され
た誘電体共振器を、発振回路およびマイクロストリップ
線路を形成した基板上の任意の位置に位置決めする機構
と、発振回路の発振出力をモニタリングする手段と、そ
の発振出力に応じて上記誘電体共振器の位置決め機構の
駆動装置を制御する手段とを備えたことを特徴とする発
振回路の製造装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3100890A JPH04331030A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | 発振回路の製造装置 |
US07/872,997 US5235291A (en) | 1991-05-02 | 1992-04-24 | Fabrication device which automatically positions a dielectric resonator with respect to a substrate for mounting of the resonator thereon in accordance with a monitored oscillation output signal |
CA002067476A CA2067476A1 (en) | 1991-05-02 | 1992-04-28 | Oscillating apparatus fabrication device |
EP19920107406 EP0512421A1 (en) | 1991-05-02 | 1992-04-30 | Oscillating apparatus fabrication device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3100890A JPH04331030A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | 発振回路の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04331030A true JPH04331030A (ja) | 1992-11-18 |
Family
ID=14285928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3100890A Pending JPH04331030A (ja) | 1991-05-02 | 1991-05-02 | 発振回路の製造装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5235291A (ja) |
EP (1) | EP0512421A1 (ja) |
JP (1) | JPH04331030A (ja) |
CA (1) | CA2067476A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5383267A (en) * | 1993-09-07 | 1995-01-24 | Harman International Industries, Inc. | Apparatus for centering an actuator coil |
US6126382A (en) * | 1997-11-26 | 2000-10-03 | Novellus Systems, Inc. | Apparatus for aligning substrate to chuck in processing chamber |
US5959503A (en) * | 1998-03-06 | 1999-09-28 | Motorola Inc. | Voltage controlled oscillator tuning by metal lid aperture selection |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56138305A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-28 | Sanyo Electric Co Ltd | Microwave oscillator |
DE3322304A1 (de) * | 1983-06-21 | 1985-01-03 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Streifenleitungsdopplerradar |
JPS60123106A (ja) * | 1983-12-06 | 1985-07-01 | Nec Corp | 周波数トリミング法 |
JPS60204104A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-10-15 | Fujitsu Ltd | 誘電体発振器 |
JPS60232705A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-19 | Nec Corp | マイクロ波発振器 |
US4591806A (en) * | 1984-07-02 | 1986-05-27 | Havens Richard C | Dielectric resonator stabilized oscillator and method for optimizing the operating characteristics thereof |
-
1991
- 1991-05-02 JP JP3100890A patent/JPH04331030A/ja active Pending
-
1992
- 1992-04-24 US US07/872,997 patent/US5235291A/en not_active Expired - Fee Related
- 1992-04-28 CA CA002067476A patent/CA2067476A1/en not_active Abandoned
- 1992-04-30 EP EP19920107406 patent/EP0512421A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA2067476A1 (en) | 1992-11-03 |
US5235291A (en) | 1993-08-10 |
EP0512421A1 (en) | 1992-11-11 |
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