JPH04326302A - 疑似同心円パターンの描画装置 - Google Patents
疑似同心円パターンの描画装置Info
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- JPH04326302A JPH04326302A JP3097180A JP9718091A JPH04326302A JP H04326302 A JPH04326302 A JP H04326302A JP 3097180 A JP3097180 A JP 3097180A JP 9718091 A JP9718091 A JP 9718091A JP H04326302 A JPH04326302 A JP H04326302A
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- rotation
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はエネルギービームを用い
てグレーティングレンズ等の同心円パターンを疑似的に
描画する疑似同心円パターンの描画装置に関する。
てグレーティングレンズ等の同心円パターンを疑似的に
描画する疑似同心円パターンの描画装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、エネルギービームを用いて試料に
種々のパターンを描画する装置が用いられている。
種々のパターンを描画する装置が用いられている。
【０００３】以下に従来の、試料をグレーティングレン
ズとして加工する場合について説明する。
ズとして加工する場合について説明する。
【０００４】図７に示すように上面にレジスト膜を有す
る試料を回転ステージ（図示せず）上に保持して一定速
度で回転させるとともに、回転ステージ自体を半径方向
に直線的に移動させてグレーティングレンズを形成する
。
る試料を回転ステージ（図示せず）上に保持して一定速
度で回転させるとともに、回転ステージ自体を半径方向
に直線的に移動させてグレーティングレンズを形成する
。
【０００５】したがって、グレーティングレンズは図８
の拡大図に示すような形状に形成されることとなる。
の拡大図に示すような形状に形成されることとなる。
【０００６】こにようにしてグレーティングレンズを描
画する場合には、エネルギービーム照射装置よりグレー
ティングレンズの形状となるように、一回転ごとに半径
を所定ピッチ移動した後ブランキング開始／停止する動
作を繰り返すことによって所望の幅の同心円状のパター
ンを描画する方法が知られている。
画する場合には、エネルギービーム照射装置よりグレー
ティングレンズの形状となるように、一回転ごとに半径
を所定ピッチ移動した後ブランキング開始／停止する動
作を繰り返すことによって所望の幅の同心円状のパター
ンを描画する方法が知られている。
【０００７】このように同心円状のパターンを描画する
描画装置では、図８に示すように複数の微細な同心円に
より一本の所望する幅の同心円パターンを描画するよう
にしている。
描画装置では、図８に示すように複数の微細な同心円に
より一本の所望する幅の同心円パターンを描画するよう
にしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の描画装置では、一回転のブランキング開始／停止ご
とに半径の位置決め時間を要するのでパターン描画時間
が増大するという問題点を有していた。また図９（ａ）
，図９（ｂ）に示すように一本の所望する幅の同心円パ
ターンに対して微細な同心円の数と等しい照射開始／停
止位置の不整合部分が生じる。そのためグレーティング
レンズを描画した場合には、この部分でグレーティング
レンズの光学的な特性が悪化し所定の位置に集光できな
いという問題点を有していた。
来の描画装置では、一回転のブランキング開始／停止ご
とに半径の位置決め時間を要するのでパターン描画時間
が増大するという問題点を有していた。また図９（ａ）
，図９（ｂ）に示すように一本の所望する幅の同心円パ
ターンに対して微細な同心円の数と等しい照射開始／停
止位置の不整合部分が生じる。そのためグレーティング
レンズを描画した場合には、この部分でグレーティング
レンズの光学的な特性が悪化し所定の位置に集光できな
いという問題点を有していた。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
のであって、疑似同心円パターンの描画装置を提供する
ことを目的とする。
のであって、疑似同心円パターンの描画装置を提供する
ことを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の疑似同心円パターンの描画装置は、図１に示
すように、描画すべき試料２５を保持して回転する回転
ステージ１と、回転ステージ１を一定の速度で回転させ
る回転制御手段２と、エネルギービーム照射装置１１を
保持し直線移動をする直進ステージ３と、直進ステージ
３を一定の速度で直線的に移動させる直線移動制御手段
４と、回転制御手段２に取付けられ回転時に回転角度信
号を得るロータリーエンコーダ５と、直線移動制御手段
４に取付けられ移動距離パルス信号を得る位置検出器６
と、回転と直線移動を同期制御する同期制御手段７と、
制御手段９よりブランキング／照射移動距離信号が設定
され位置検出器６の移動距離パルス信号によって設定さ
れた移動距離に達したことを判別する移動距離一致判別
手段８と、描画パターンに応じて所定の移動距離を移動
距離一致判別手段８に与える制御手段９と、移動距離一
致判別手段８の出力に基づいてブランキング開始／停止
をするブランキング信号出力手段１０と、ブランキング
信号出力手段１０によりエネルギービームを断続して回
転ステージ１上の試料２５にエネルギービームを照射す
るエネルギービーム照射装置１１を備えた構成を有して
いる。
に本発明の疑似同心円パターンの描画装置は、図１に示
すように、描画すべき試料２５を保持して回転する回転
ステージ１と、回転ステージ１を一定の速度で回転させ
る回転制御手段２と、エネルギービーム照射装置１１を
保持し直線移動をする直進ステージ３と、直進ステージ
３を一定の速度で直線的に移動させる直線移動制御手段
４と、回転制御手段２に取付けられ回転時に回転角度信
号を得るロータリーエンコーダ５と、直線移動制御手段
４に取付けられ移動距離パルス信号を得る位置検出器６
と、回転と直線移動を同期制御する同期制御手段７と、
制御手段９よりブランキング／照射移動距離信号が設定
され位置検出器６の移動距離パルス信号によって設定さ
れた移動距離に達したことを判別する移動距離一致判別
手段８と、描画パターンに応じて所定の移動距離を移動
距離一致判別手段８に与える制御手段９と、移動距離一
致判別手段８の出力に基づいてブランキング開始／停止
をするブランキング信号出力手段１０と、ブランキング
信号出力手段１０によりエネルギービームを断続して回
転ステージ１上の試料２５にエネルギービームを照射す
るエネルギービーム照射装置１１を備えた構成を有して
いる。
【００１１】
【作用】この構成によって、ブランキング開始状態で回
転制御手段により一定速度で回転させ、直線移動制御手
段により半径位置を一回転当りの移動量をエネルギービ
ームのスポット径より小さい範囲で回転に同期した一定
速度で移動させる状態で、各疑似同心円パターンについ
て移動距離一致判別手段にブランキング移動距離および
照射移動距離を設定している。そして移動距離一致判別
手段よりブランキング信号が出力されたときにブランキ
ングを開始し照射を停止して、ブランキング信号が出力
されなくなったときにブランキングを停止し照射を開始
し、以後同様にして順次疑似同心円パターンを描画する
。
転制御手段により一定速度で回転させ、直線移動制御手
段により半径位置を一回転当りの移動量をエネルギービ
ームのスポット径より小さい範囲で回転に同期した一定
速度で移動させる状態で、各疑似同心円パターンについ
て移動距離一致判別手段にブランキング移動距離および
照射移動距離を設定している。そして移動距離一致判別
手段よりブランキング信号が出力されたときにブランキ
ングを開始し照射を停止して、ブランキング信号が出力
されなくなったときにブランキングを停止し照射を開始
し、以後同様にして順次疑似同心円パターンを描画する
。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
【００１３】本実施例は図２のように、試料２５に照射
するエネルギービームのブランキングを制御するブラン
キングコントローラ２１を有している。ブランキングコ
ントローラ２１には、中央処理装置（以下ＣＰＵという
）２２とそのメモリ２３からなる制御装置２４が接続さ
れている。制御装置２４は描画開始／終了と、試料２５
の各疑似同心円ごとにブランキング移動距離ＬＢ、およ
び照射移動距離ＬＩを設定してブランキングコントロー
ラ２１に与えることによって、試料２５に所定の疑似同
心円パターンを形成するものである。
するエネルギービームのブランキングを制御するブラン
キングコントローラ２１を有している。ブランキングコ
ントローラ２１には、中央処理装置（以下ＣＰＵという
）２２とそのメモリ２３からなる制御装置２４が接続さ
れている。制御装置２４は描画開始／終了と、試料２５
の各疑似同心円ごとにブランキング移動距離ＬＢ、およ
び照射移動距離ＬＩを設定してブランキングコントロー
ラ２１に与えることによって、試料２５に所定の疑似同
心円パターンを形成するものである。
【００１４】回転ステージ１上には上面にレジスト膜を
有する透明の試料２５が保持されている。回転ステージ
１はモータ２６および一定の速度で回転するように制御
する回転制御部８で構成されている。回転ステージ１に
は回転速度に応じた信号を出力するインクリメンタル型
のロータリエンコーダ５が設けられている。回転ステー
ジ１の上にはエネルギービーム照射装置１１が対向して
いる。エネルギービーム照射装置１１は直進ステージ３
上に載置されている。直進ステージ３は例えばリニアモ
ータ２７および一定の速度で直線移動をするように制御
する直線移動制御部２９で構成されている。直進ステー
ジ３には、移動距離に応じた信号を出力する例えばイン
クリメンタル型のレーザ測長器３０が設けられている。 回転制御部２８と直線移動制御部２９は、回転ステージ
１の回転に同期して直進ステージ３を移動するように制
御する同期制御部３１が接続されている。レーザ測長器
３０の出力は、ブランキングコントローラ２１に移動距
離パルス信号（ＣＬＫ）として与えられる。ブランキン
グコントローラ２１はこの入力信号に基づいて制御装置
２４で設定される移動距離だけブランキング信号を停止
してエネルギービーム照射装置に与える。エネルギービ
ーム照射装置１１はブランキングコントローラ２１から
のブランキング信号に基づいてブランキング信号が停止
状態のときに回転ステージ１上に保持されている試料２
５上に一定の強さでエネルギービームを照射するもので
ある。
有する透明の試料２５が保持されている。回転ステージ
１はモータ２６および一定の速度で回転するように制御
する回転制御部８で構成されている。回転ステージ１に
は回転速度に応じた信号を出力するインクリメンタル型
のロータリエンコーダ５が設けられている。回転ステー
ジ１の上にはエネルギービーム照射装置１１が対向して
いる。エネルギービーム照射装置１１は直進ステージ３
上に載置されている。直進ステージ３は例えばリニアモ
ータ２７および一定の速度で直線移動をするように制御
する直線移動制御部２９で構成されている。直進ステー
ジ３には、移動距離に応じた信号を出力する例えばイン
クリメンタル型のレーザ測長器３０が設けられている。 回転制御部２８と直線移動制御部２９は、回転ステージ
１の回転に同期して直進ステージ３を移動するように制
御する同期制御部３１が接続されている。レーザ測長器
３０の出力は、ブランキングコントローラ２１に移動距
離パルス信号（ＣＬＫ）として与えられる。ブランキン
グコントローラ２１はこの入力信号に基づいて制御装置
２４で設定される移動距離だけブランキング信号を停止
してエネルギービーム照射装置に与える。エネルギービ
ーム照射装置１１はブランキングコントローラ２１から
のブランキング信号に基づいてブランキング信号が停止
状態のときに回転ステージ１上に保持されている試料２
５上に一定の強さでエネルギービームを照射するもので
ある。
【００１５】次に本発明の主要部であるブランキングコ
ントローラ２１の詳細な構成について図３を参照しつつ
説明する。
ントローラ２１の詳細な構成について図３を参照しつつ
説明する。
【００１６】まずレーザ測長器３０より得られる移動距
離パルス信号（ＣＬＫ）はカウンタ４１に与えられる。 カウンタ４１はこのパルス信号を計数し直進ステージ３
の移動距離を出力するものであって、その出力をデジタ
ルコンパレータ４２，４３に与える。デジタルコンパレ
ータ４２，４３には各疑似同心円パターンごとに制御装
置２４より各々ブランキング移動距離ＬＢ，照射移動距
離ＬＩの信号が与えられている。デジタルコンパレータ
４２，４３はこれらの信号を比較するもので一致時に一
致出力を与える。デジタルコンパレータ４２，４３の出
力は各々ワンショットマルチバイブレータ（以下ＭＭと
いう）４４，４５に与えられている。ＭＭ４４，ＭＭ４
５は各々比較信号が与えられるごとに微少な幅のパルス
信号を出力するものであってその出力は各々アンド回路
４６，４７に与えられる。アンド回路４６の出力はオア
回路４８とフリップフロップ（以下ＦＦという）４９の
セット入力端に与えられる。アンド回路４７の出力はオ
ア回路４８とＦＦ４９のリセット入力端に与えられる。 ＦＦ４９はアンド回路４６または４７から与えられる信
号に基づいてセットまたはリセットされ、そのＱ出力は
アンド回路４７，５０に与えられる。またＦＦ４９のＱ
出力はアンド回路４６と制御装置２４にブランキング移
動距離ＬＢ，照射移動距離ＬＩ信号を要求するための要
求信号として与えられる。オア回路４８の出力はオア回
路５１に与えられる。制御装置２４より与えられる描画
開始／終了信号はインバータ５２を介してオア回路５１
に与えられるとともに、アンド回路５０に与えられてい
る。オア回路５１の出力はカウンタ４１のリセット入力
端に与えられており、カウンタ４１をリセットする。ア
ンド回路５０の出力はブランキングドライバ５３にブラ
ンキング信号として与えるものであり、この信号はロー
レベル（“Ｌ”）のときブランキングを行い、ハイレベ
ル（“Ｈ”）のとき照射を行う信号である。ブランキン
グドライバ５３はアンド回路５０の出力に基づいてブラ
ンキング信号を発生させるものであり、その出力はエネ
ルギービーム照射装置１１に与えられる。エネルギービ
ーム照射装置１１はブランキング信号に基づいてエネル
ギービームを断続して試料２５上にエネルギービームを
照射するものである。ブランキングコントローラ２１に
おいてカウンタ４１，デジタルコンパレータ４２，４３
は所定移動距離ＬＩ，ＬＢで移動距離一致信号を出力す
る移動距離一致判別手段８（図１）を構成している。ま
たブランキングコントローラ２１のその他の部分はこれ
らの信号に基づいてブランキング信号を出力するブラン
キング信号出力手段１０（図１）を構成している。
離パルス信号（ＣＬＫ）はカウンタ４１に与えられる。 カウンタ４１はこのパルス信号を計数し直進ステージ３
の移動距離を出力するものであって、その出力をデジタ
ルコンパレータ４２，４３に与える。デジタルコンパレ
ータ４２，４３には各疑似同心円パターンごとに制御装
置２４より各々ブランキング移動距離ＬＢ，照射移動距
離ＬＩの信号が与えられている。デジタルコンパレータ
４２，４３はこれらの信号を比較するもので一致時に一
致出力を与える。デジタルコンパレータ４２，４３の出
力は各々ワンショットマルチバイブレータ（以下ＭＭと
いう）４４，４５に与えられている。ＭＭ４４，ＭＭ４
５は各々比較信号が与えられるごとに微少な幅のパルス
信号を出力するものであってその出力は各々アンド回路
４６，４７に与えられる。アンド回路４６の出力はオア
回路４８とフリップフロップ（以下ＦＦという）４９の
セット入力端に与えられる。アンド回路４７の出力はオ
ア回路４８とＦＦ４９のリセット入力端に与えられる。 ＦＦ４９はアンド回路４６または４７から与えられる信
号に基づいてセットまたはリセットされ、そのＱ出力は
アンド回路４７，５０に与えられる。またＦＦ４９のＱ
出力はアンド回路４６と制御装置２４にブランキング移
動距離ＬＢ，照射移動距離ＬＩ信号を要求するための要
求信号として与えられる。オア回路４８の出力はオア回
路５１に与えられる。制御装置２４より与えられる描画
開始／終了信号はインバータ５２を介してオア回路５１
に与えられるとともに、アンド回路５０に与えられてい
る。オア回路５１の出力はカウンタ４１のリセット入力
端に与えられており、カウンタ４１をリセットする。ア
ンド回路５０の出力はブランキングドライバ５３にブラ
ンキング信号として与えるものであり、この信号はロー
レベル（“Ｌ”）のときブランキングを行い、ハイレベ
ル（“Ｈ”）のとき照射を行う信号である。ブランキン
グドライバ５３はアンド回路５０の出力に基づいてブラ
ンキング信号を発生させるものであり、その出力はエネ
ルギービーム照射装置１１に与えられる。エネルギービ
ーム照射装置１１はブランキング信号に基づいてエネル
ギービームを断続して試料２５上にエネルギービームを
照射するものである。ブランキングコントローラ２１に
おいてカウンタ４１，デジタルコンパレータ４２，４３
は所定移動距離ＬＩ，ＬＢで移動距離一致信号を出力す
る移動距離一致判別手段８（図１）を構成している。ま
たブランキングコントローラ２１のその他の部分はこれ
らの信号に基づいてブランキング信号を出力するブラン
キング信号出力手段１０（図１）を構成している。
【００１７】次に本実施例の動作についてフローチャー
ト図４およびタイムチャート図５を参照しつつ説明する
。
ト図４およびタイムチャート図５を参照しつつ説明する
。
【００１８】動作を開始するとまずステップ６１におい
てブランキング開始状態にする。このとき直進ステージ
３は所定の速度で移動していて、更にＦＦ４９は図５（
ｊ）に示すようにリセット状態である。その後ステップ
６２に進んで描画開始／終了信号が図５（ａ）のように
ハイレベル（“Ｈ”）になるのを待受ける。これが入力
されれば図５（ｂ）のようにカウンタ４１のリセット状
態が解除されカウント可能状態になるとともに、ステッ
プ６３に進んで所定のブランキング移動距離ＬＢおよび
照射移動距離ＬＩを各々デジタルコンパレータ４２，４
３に設定する。
てブランキング開始状態にする。このとき直進ステージ
３は所定の速度で移動していて、更にＦＦ４９は図５（
ｊ）に示すようにリセット状態である。その後ステップ
６２に進んで描画開始／終了信号が図５（ａ）のように
ハイレベル（“Ｈ”）になるのを待受ける。これが入力
されれば図５（ｂ）のようにカウンタ４１のリセット状
態が解除されカウント可能状態になるとともに、ステッ
プ６３に進んで所定のブランキング移動距離ＬＢおよび
照射移動距離ＬＩを各々デジタルコンパレータ４２，４
３に設定する。
【００１９】次いでステップ６４において直進ステージ
３の移動距離ＬＭとブランキング移動距離ＬＢが一致す
るのを待受けるわけであるが、このときの一致信号であ
るＭＭ４４の出力は、ＦＦ４９がリセット状態であるの
でＦＦ４９はセット入力を受付けるが、ＭＭ４５の出力
についてはＦＦ４９はリセット入力を受付けない。そし
て一致信号が図５（ｅ）のようにＭＭ４４より出力され
れば図５（ｊ）のようにＦＦ４９はセットされステップ
６５に進んで図５（ｋ）に示すようにブランキング停止
状態にする。これによりブランキングドライバ５３を介
してエネルギービーム照射装置１１に照射信号が伝わっ
てエネルギービームが試料２５に照射されることとなる
。 と同時にステップ６６に進んで図５（ｂ）に示すように
カウンタ４１をリセットする。
３の移動距離ＬＭとブランキング移動距離ＬＢが一致す
るのを待受けるわけであるが、このときの一致信号であ
るＭＭ４４の出力は、ＦＦ４９がリセット状態であるの
でＦＦ４９はセット入力を受付けるが、ＭＭ４５の出力
についてはＦＦ４９はリセット入力を受付けない。そし
て一致信号が図５（ｅ）のようにＭＭ４４より出力され
れば図５（ｊ）のようにＦＦ４９はセットされステップ
６５に進んで図５（ｋ）に示すようにブランキング停止
状態にする。これによりブランキングドライバ５３を介
してエネルギービーム照射装置１１に照射信号が伝わっ
てエネルギービームが試料２５に照射されることとなる
。 と同時にステップ６６に進んで図５（ｂ）に示すように
カウンタ４１をリセットする。
【００２０】次にステップ６７において直進ステージ３
の移動距離ＬＭと照射移動距離ＬＩが一致するのを待受
けるわけであるが、このときの一致信号であるＭＭ４５
の出力は、ＦＦ４９がセット状態であるのでＦＦ４９は
リセット入力を受付けるがＭＭ４４の出力については、
ＦＦ４９はセット入力を受付けない。そして一致信号が
図５（ｆ）のようにＭＭ４５より出力されれば図５（ｊ
）のようにＦＦ４９はリセットされステップ６８に進ん
で図５（ｋ）に示すようにブランキング開始状態にする
。 これによりブランキングドライバ５３を介してエネルギ
ービーム照射装置１１はエネルギービームの照射が停止
されることとなる。と同時にステップ６９に進んで図５
（ｂ）に示すようにカウンタ４１をリセットする。
の移動距離ＬＭと照射移動距離ＬＩが一致するのを待受
けるわけであるが、このときの一致信号であるＭＭ４５
の出力は、ＦＦ４９がセット状態であるのでＦＦ４９は
リセット入力を受付けるがＭＭ４４の出力については、
ＦＦ４９はセット入力を受付けない。そして一致信号が
図５（ｆ）のようにＭＭ４５より出力されれば図５（ｊ
）のようにＦＦ４９はリセットされステップ６８に進ん
で図５（ｋ）に示すようにブランキング開始状態にする
。 これによりブランキングドライバ５３を介してエネルギ
ービーム照射装置１１はエネルギービームの照射が停止
されることとなる。と同時にステップ６９に進んで図５
（ｂ）に示すようにカウンタ４１をリセットする。
【００２１】更にステップ７０に進んで描画開始／終了
信号がローレベル（“Ｌ”）になっていれば描画を終了
し、ハイレベル（“Ｈ”）であれば再びステップ６３に
戻って新たなブランキング移動距離ＬＢ，照射移動距離
ＬＩを各々デジタルコンパレータ４２，４３に設定する
。以後同様な動作を繰り返すことにより、任意の幅の疑
似同心円パターン、例えばグレーティングレンズ等を構
成することができる。そのとき照射開始／停止位置の不
整合部分を図６に示すように一つの疑似同心円パターン
につき照射開始／停止位置を各々一つにすることができ
る。そして、描画開始から描画終了まで直進ステージ３
を停止させることなく移動できる。
信号がローレベル（“Ｌ”）になっていれば描画を終了
し、ハイレベル（“Ｈ”）であれば再びステップ６３に
戻って新たなブランキング移動距離ＬＢ，照射移動距離
ＬＩを各々デジタルコンパレータ４２，４３に設定する
。以後同様な動作を繰り返すことにより、任意の幅の疑
似同心円パターン、例えばグレーティングレンズ等を構
成することができる。そのとき照射開始／停止位置の不
整合部分を図６に示すように一つの疑似同心円パターン
につき照射開始／停止位置を各々一つにすることができ
る。そして、描画開始から描画終了まで直進ステージ３
を停止させることなく移動できる。
【００２２】このように本発明の実施例の疑似同心円パ
ターンの描画装置によれば、同心円パターンを疑似的に
スパイラルラインで置き換えるようにしているので、パ
ターン描画時間が短縮され、照射開始／停止位置の不整
合部が各々一つになるので、光学的な特性劣化が大幅に
改善できる。
ターンの描画装置によれば、同心円パターンを疑似的に
スパイラルラインで置き換えるようにしているので、パ
ターン描画時間が短縮され、照射開始／停止位置の不整
合部が各々一つになるので、光学的な特性劣化が大幅に
改善できる。
【００２３】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
によれば、半径位置を一定速度で変化させ連続描画する
ことによりパターン描画時間を短縮する効果が得られる
とともに、一つの疑似同心円パターンにつき照射開始／
停止位置が各々一つになり、不整合部分の発生を低減し
て光学的な特性を悪化させることがないという効果が得
られる疑似同心円パターンの描画装置を提供できる。
によれば、半径位置を一定速度で変化させ連続描画する
ことによりパターン描画時間を短縮する効果が得られる
とともに、一つの疑似同心円パターンにつき照射開始／
停止位置が各々一つになり、不整合部分の発生を低減し
て光学的な特性を悪化させることがないという効果が得
られる疑似同心円パターンの描画装置を提供できる。
【図１】本発明の一実施例の疑似同心円パターンの描画
装置の構成手段を示すブロック図
装置の構成手段を示すブロック図
【図２】本発明の一実施例における疑似同心円パターン
の描画装置全体構成を示すブロック図
の描画装置全体構成を示すブロック図
【図３】本実施例のブランキングコントローラの詳細な
構成を示す回路図
構成を示す回路図
【図４】本実施例のブランキングコントローラの動作を
示すフローチャート
示すフローチャート
【図５】本実施例のブランキングコントローラの動作を
示すタイムチャート
示すタイムチャート
【図６】本実施例による試料の不整合部分の分布を示す
概略図
概略図
【図７】従来の同心円パターンの描画装置の概略図
【図
８】従来の同心円パターンの描画状態を示す概略図
８】従来の同心円パターンの描画状態を示す概略図
【図
９】（ａ）は従来の同心円パターンの描画装置による不
整合部分の分布を示す概略図 （ｂ）は従来の同心円パターンの描画装置による不整合
部分の分布を示す概略図
９】（ａ）は従来の同心円パターンの描画装置による不
整合部分の分布を示す概略図 （ｂ）は従来の同心円パターンの描画装置による不整合
部分の分布を示す概略図
１ 回転ステージ
２ 回転制御手段
３ 直進ステージ
４ 直線移動制御手段
５ ロータリエンコーダ
６ 位置検出器
７ 同期制御手段
８ 移動距離一致判別手段
９ 制御手段
１０ ブランキング信号出力手段１１ エ
ネルギービーム照射装置２１ ブランキングコン
トローラ２２ ＣＰＵ ２３ メモリ ２４ 制御装置 ２６ モータ ２７ リニアモータ ２８ 回転制御部 ２９ 直線移動制御部 ３０ レーザ測長器 ３１ 同期制御部 ４１ カウンタ ４２，４３ デジタルコンパレータ４４，４５
ＭＭ ４６，４７，５０ アンド回路 ４８，５１ オア回路 ４９ ＦＦ ５２ インバータ ５３ ブランキングドライバ
ネルギービーム照射装置２１ ブランキングコン
トローラ２２ ＣＰＵ ２３ メモリ ２４ 制御装置 ２６ モータ ２７ リニアモータ ２８ 回転制御部 ２９ 直線移動制御部 ３０ レーザ測長器 ３１ 同期制御部 ４１ カウンタ ４２，４３ デジタルコンパレータ４４，４５
ＭＭ ４６，４７，５０ アンド回路 ４８，５１ オア回路 ４９ ＦＦ ５２ インバータ ５３ ブランキングドライバ
Claims (1)
- 【請求項１】 描画すべき試料を保持して回転する回
転ステージと、前記回転ステージを一定の速度で回転さ
せる回転制御手段と、エネルギービーム照射装置を保持
し直線移動をする直進ステージと、前記直進ステージを
一定の速度で直線的に移動させる直線移動制御手段と、
前記回転制御手段に取付けられ回転時に回転角度信号を
得るロータリエンコーダと、前記直線移動制御手段に取
付けられ移動距離パルス信号を得る位置検出器と、回転
と直線移動を同期制御する同期制御手段と、制御手段よ
りブランキング／照射移動距離信号が設定され前記位置
検出器の移動距離パルス信号によって設定された移動距
離に達したことを判別する移動距離一致判別手段と、描
画パターンに応じて所定の移動距離を前記移動距離一致
判別手段に与える制御手段と、前記移動距離一致判別手
段の出力に基づいてブランキング開始／停止をするブラ
ンキング信号出力手段と、前記ブランキング信号出力手
段によりエネルギービームを断続して前記回転ステージ
上の試料にエネルギービームを照射するエネルギービー
ム照射装置を備えた疑似同心円パターンの描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3097180A JPH04326302A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 疑似同心円パターンの描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3097180A JPH04326302A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 疑似同心円パターンの描画装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326302A true JPH04326302A (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=14185387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3097180A Pending JPH04326302A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 疑似同心円パターンの描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04326302A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7220482B2 (en) | 2001-01-24 | 2007-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aligned fine particles, method for producing the same and device using the same |
| KR100813311B1 (ko) * | 2007-11-05 | 2008-03-17 | 일리정공 주식회사 | 회전체에 실사출력이 가능한 플로터 |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3097180A patent/JPH04326302A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7220482B2 (en) | 2001-01-24 | 2007-05-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Aligned fine particles, method for producing the same and device using the same |
| KR100813311B1 (ko) * | 2007-11-05 | 2008-03-17 | 일리정공 주식회사 | 회전체에 실사출력이 가능한 플로터 |
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