JPH04325284A - Laser printing apparatus - Google Patents

Laser printing apparatus

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Publication number
JPH04325284A
JPH04325284A JP3121821A JP12182191A JPH04325284A JP H04325284 A JPH04325284 A JP H04325284A JP 3121821 A JP3121821 A JP 3121821A JP 12182191 A JP12182191 A JP 12182191A JP H04325284 A JPH04325284 A JP H04325284A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal mask
polarizing mirror
mirror
objective lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3121821A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Mori
彰 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
Priority to JP3121821A priority Critical patent/JPH04325284A/en
Publication of JPH04325284A publication Critical patent/JPH04325284A/en
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Abstract

PURPOSE:To use only one polarizing mirror and to reduce the strain of an emitted light image by arranging the polarizing mirror made revolvable in one of X, Y directions and an object lens made movable in the other one of said directions in the light path on an emission side from a liquid crystal mask to a printing surface. CONSTITUTION:A laser oscillator 8, an X-direction polarizing mirror 9, a relay lens 10 and a polygon mirror 11 for scanning a Y-direction are respectively arranged on the incident side of the liquid crystal mask 2 combined with a field lens 1 to form an incident light path 12. The emitting light path 13 of the liquid crystal mask 2 is formed from a polarizing mirror 14 and an object lens 15. The polarizing mirror 14 is revolved, for example, in an X-direction by a motor 16 in the same way as a conventional first scanner mirror to polarize the emitted beam from the liquid crystal mask 2 in the X-direction. The object lens 15 is revolved in the direction right-angled to the revolving direction of the polarizing mirror 14 by a motor 20 through a link mechanism 19.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、液晶マスクを用いたレ
ーザ印字装置で、特に、液晶マスクの出射側から印字面
までの出射側光路内で、液晶マスクから出射した画像を
X方向とY方向の双方へ偏光して印字位置を印字面にて
変えることができるようにしたレーザ印字装置に関する
ものである。
[Industrial Application Field] The present invention relates to a laser printing device using a liquid crystal mask, and in particular, an image emitted from the liquid crystal mask is printed in the The present invention relates to a laser printing device that polarizes light in both directions so that the printing position can be changed on the printing surface.

【0002】0002

【従来の技術】従来の上記レーザ印字装置は、図4に示
すようになっていて、フィールドレンズ1と組合わせて
なる液晶マスク2の出射側の固定反射ミラー3を含む出
射側光路4内に、この出射光を例えばX方向へ偏光する
第1のスキャナミラー5とY方向に偏光する第2のスキ
ャナミラー6と対物レンズ7とが介装してあり、上記両
スキャナミラー5,6をそれぞれに連結したスキャナモ
ータ5a,6aにて連動してスキャナ動作するようにな
っている。上記対物レンズ7は第2のスキャナミラー6
による角度偏差を補正するためと、エネルギ集中のため
に用いられる。また上記両スキャナミラー5,6の間に
は角度によるひずみを補正するためのf−θレンズ7a
が必要な場合がある。
2. Description of the Related Art The above-mentioned conventional laser printing apparatus is constructed as shown in FIG. , a first scanner mirror 5 that polarizes the emitted light in the X direction, a second scanner mirror 6 that polarizes the emitted light in the Y direction, and an objective lens 7 are interposed. The scanner is operated in conjunction with scanner motors 5a and 6a connected to the scanner motors 5a and 6a. The objective lens 7 is a second scanner mirror 6
It is used to correct angular deviation due to Also, between the scanner mirrors 5 and 6, an f-theta lens 7a is provided for correcting angular distortion.
may be necessary.

【0003】0003

【発明が解決しようとする課題】上記従来のレーザ印字
装置にあっては、2組のスキャナミラー5,6と対物レ
ンズ7及びf−θレンズ7aを必要としていたため部品
が多い上に、ひずみを完全になくすことはむずかしかっ
た。
[Problems to be Solved by the Invention] The conventional laser printing device described above requires two sets of scanner mirrors 5 and 6, an objective lens 7, and an f-theta lens 7a, which requires a large number of parts and also causes distortion. It was difficult to eliminate it completely.

【0004】本発明は上記のことにかんがみなされたも
ので、液晶マスクから印字面までの出射側光路内の偏光
機構を単純化でき、しかも出射光像のひずみを少なくす
ることができるようにしたレーザ印字装置を提供するこ
とを目的とするものである。
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and has made it possible to simplify the polarization mechanism in the light path on the output side from the liquid crystal mask to the printing surface, and to reduce the distortion of the output light image. The purpose of this invention is to provide a laser printing device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るレーザ印字装置は、液晶マスクの出射
側から印字面までの出射側光路内で、液晶マスクから出
射した画像をX方向とY方向の双方へ偏光して印字位置
を印字面にて変えるようにしたレーザ印字装置において
、出射側光路内に、X,Y方向の一方に回動可能にした
偏光ミラーと、X,Y方向の他方に移動可能にした対物
レンズとを設けた構成となっている。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, a laser printing device according to the present invention prints an image emitted from a liquid crystal mask in an output side optical path from an output side of the liquid crystal mask to a printing surface. In a laser printing device that polarizes light in both the direction and the Y direction to change the printing position on the printing surface, a polarizing mirror that is rotatable in one of the X and Y directions is provided in the output side optical path, and a The structure includes an objective lens that is movable in the other direction in the Y direction.

【0006】[0006]

【作    用】液晶マスクから出射された画像は偏光
ミラーと対物レンズを経て印字面に照射される。そして
このとき、この出射画像は偏光ミラーと対物レンズを回
動(移動)することにより印字面における印字位置が変
えられる。
[Operation] The image emitted from the liquid crystal mask passes through a polarizing mirror and an objective lens and is irradiated onto the printing surface. At this time, the printing position of this output image on the printing surface is changed by rotating (moving) the polarizing mirror and the objective lens.

【0007】[0007]

【実  施  例】本発明の実施例を図1から図3に基
づいて説明する。なおこの実施例において、図4に示す
従来例と同一部材は同一符号を付して説明する。フィー
ルドレンズ1と組合わせてなる液晶マスク2の入射側に
はレーザ発振器8,X方向偏光ミラー9,リレーレンズ
10,Y方向スキャン用のポリゴンミラー11にて入射
側光路12が構成されている。また上記液晶マスク2の
出射側光路13は偏光ミラー14と、対物レンズ15と
にて構成されている。そして上記出射側光路13の偏光
ミラー14は従来例における第1のスキャナミラーと同
様に、例えばX方向に回動モータ16にて回動されて液
晶マスク2からの出射ビームをX方向に偏光するように
なっている。また対物レンズ15は上記偏光ミラー14
の回動方向と直角方向(Y方向)に回動自在に支持され
ている。17はその回動支点であり、これの回転アーム
18にリンク機構19を介して回動モータ20の出力軸
に連結されている。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be explained based on FIGS. 1 to 3. In this embodiment, the same members as those in the conventional example shown in FIG. 4 will be described with the same reference numerals. On the incident side of the liquid crystal mask 2 combined with the field lens 1, an incident side optical path 12 is constituted by a laser oscillator 8, an X-direction polarizing mirror 9, a relay lens 10, and a polygon mirror 11 for Y-direction scanning. Further, the output side optical path 13 of the liquid crystal mask 2 is composed of a polarizing mirror 14 and an objective lens 15. Similarly to the first scanner mirror in the conventional example, the polarizing mirror 14 of the output side optical path 13 is rotated, for example, in the X direction by a rotation motor 16 to polarize the output beam from the liquid crystal mask 2 in the X direction. It looks like this. Further, the objective lens 15 is the polarizing mirror 14
It is rotatably supported in a direction perpendicular to the rotation direction (Y direction). Reference numeral 17 denotes a rotation fulcrum, which is connected to a rotation arm 18 of the rotary arm 18 via a link mechanism 19 to an output shaft of a rotation motor 20.

【0008】上記構成において、液晶マスク2にはこれ
に印加する電圧信号により所定の画像が任意に、あるい
は順次現出される。そしてこの液晶マスク2の入射側光
路12ではX方向偏光ミラー9、ポリゴンミラー11に
てレーザ発振器8からのレーザビームは上記液晶マスク
2上にスキャニングされ、この液晶マスク2に現われた
第1の画像が出射側光路13に出射され、この像は偏光
ミラー14と対物レンズ15を経てワーク等の印字面2
1上に照射されて、この印字面21の第1の印字位置a
に上記液晶マスク2の第1の画像が印字される。次いで
図2に示すように、例えば、対物レンズ15を固定した
状態で、偏光ミラー14をX方向の一方へ所定の角度だ
け回動すると共に、液晶マスク2に第2の画像を現出さ
せてからこれをスキャニングすることにより、この第2
の画像はX方向の一方へ振られた状態で対物レンズ15
を経て印字面21へ照射され、上記第1の印字位置aに
X方向の一方に隣接するX方向第2の印字位置bに上記
液晶マスク2の第2の画像が印字される。同様に偏光ミ
ラー14をX方向の他方へ所定角度だけ回動して上記作
動を行なうことにより印字面21のX方向第3の印字位
置cに第3の画像が印字される。一方図3に示すように
、偏光ミラー14を固定した状態で対物レンズ15を上
記第1の画像が印字された状態から所定角度だけY方向
の一方へ回動すると、液晶マスク2の第4の画像が上記
第1の印字位置のY方向の一方に隣接するY方向第2の
印字位置dに印字される。同様に対物レンズ15をY方
向の他方へ所定角度だけ回動して照射することにより液
晶マスク2の第5の画像が上記第1の印字位置のY方向
の他方に隣接するY方向第3の印字位置eに印字される
。上記X,Y方向以外にも、偏光ミラー14と対物レン
ズ15を共動させることにより、X−Y方向に対して4
5°の方向にも印字位置をずらせることができる。上記
作動において、液晶マスク2に現われる画像をある大き
な画像の一部分の画像にしておくことにより、上記各印
字位置a〜eに印字される画像により大きな像を分割的
に描いていくことができる。なお上記実施例では、入射
側光路12にX方向偏光ミラー9とポリゴンミラー11
を用いたスキャナタイプの例を示したが、この入射側光
路12には、液晶マスク2に直接光源を対向させ、かつ
液晶マスク2の全面に光が照射するように光路を拡大し
た状態に設け1ショットで光を照射するようにしてもよ
い。上記出射側光路13の偏光ミラー14と対物レンズ
15のそれぞれを動作する回動モータ16,20及び液
晶マスク2等は図示しない制御装置にて制御される。 上記回動モータ16,20にはパルスモータあるいはA
Cサーボを用いてあり、これにより絶対位置のコントロ
ールが容易、かつ正確に行なうことができ、その上動作
にかかる時間が短い。ここで回動モータ16,20は有
限回動であるため危険防止のためリミッタを用いる。な
お図1に示す実施例では、対物レンズ15をリンク機構
を介して回動する例を示したが、この回動するための手
段は、リンク機構に限るものではなく、無論ベルトを介
して回動するようにしてもよい。また上記実施例では対
物レンズ15を光軸に対して回動するようにした例を示
したが、この対物レンズ15は光軸と直角方向に平行移
動するようにしてもよい。
In the above configuration, predetermined images are displayed on the liquid crystal mask 2 arbitrarily or sequentially by voltage signals applied thereto. In the optical path 12 on the incident side of the liquid crystal mask 2, the laser beam from the laser oscillator 8 is scanned onto the liquid crystal mask 2 by the X-direction polarizing mirror 9 and the polygon mirror 11, and the first image appearing on the liquid crystal mask 2 is is emitted to the output side optical path 13, and this image passes through the polarizing mirror 14 and the objective lens 15 to the print surface 2 of the workpiece etc.
1 and the first printing position a on this printing surface 21.
The first image of the liquid crystal mask 2 is printed on. Next, as shown in FIG. 2, for example, with the objective lens 15 fixed, the polarizing mirror 14 is rotated by a predetermined angle in one direction in the X direction, and a second image is made to appear on the liquid crystal mask 2. By scanning this from
The image is taken when the objective lens 15 is swung to one side in the X direction.
The second image of the liquid crystal mask 2 is printed at a second printing position b in the X direction adjacent to the first printing position a on one side in the X direction. Similarly, by performing the above operation by rotating the polarizing mirror 14 by a predetermined angle in the other direction in the X direction, a third image is printed on the printing surface 21 at the third printing position c in the X direction. On the other hand, as shown in FIG. 3, when the objective lens 15 is rotated by a predetermined angle in one direction in the Y direction from the state where the first image is printed with the polarizing mirror 14 fixed, the fourth image of the liquid crystal mask 2 is rotated. The image is printed at a second printing position d in the Y direction adjacent to one side of the first printing position in the Y direction. Similarly, by rotating the objective lens 15 by a predetermined angle in the other direction in the Y direction and irradiating the image, the fifth image on the liquid crystal mask 2 is projected onto the third image in the Y direction adjacent to the other side in the Y direction of the first printing position. Printed at print position e. In addition to the above-mentioned X and Y directions, by co-moving the polarizing mirror 14 and the objective lens 15, it is possible to
The printing position can also be shifted in the 5° direction. In the above operation, by setting the image appearing on the liquid crystal mask 2 as a part of a certain large image, it is possible to draw a larger image in sections with the images printed at each of the printing positions a to e. In the above embodiment, the X-direction polarizing mirror 9 and the polygon mirror 11 are provided in the incident side optical path 12.
An example of a scanner type is shown in which the incident side optical path 12 is provided with a light source directly facing the liquid crystal mask 2 and with the optical path expanded so that the entire surface of the liquid crystal mask 2 is irradiated with light. Light may be irradiated in one shot. Rotating motors 16 and 20 for operating the polarizing mirror 14 and objective lens 15 in the exit-side optical path 13, the liquid crystal mask 2, and the like are controlled by a control device (not shown). The rotation motors 16 and 20 are pulse motors or A
C servo is used, which allows absolute position control to be performed easily and accurately, and furthermore, the time required for operation is short. Here, since the rotation motors 16 and 20 have limited rotation, a limiter is used to prevent danger. Although the embodiment shown in FIG. 1 shows an example in which the objective lens 15 is rotated via a link mechanism, the means for rotating the objective lens 15 is not limited to the link mechanism, and may of course be rotated via a belt. It may also be configured to move. Further, in the above embodiment, an example was shown in which the objective lens 15 was rotated with respect to the optical axis, but the objective lens 15 may be moved in parallel in a direction perpendicular to the optical axis.

【0009】[0009]

【発明の効果】本発明によれば、液晶マスク2から印字
面21までの出射側光路13内の偏光機構を、従来必要
としていた2枚の偏光ミラーを1枚にすることができて
その構成を単純化できる。また1枚の偏光ミラーと1個
の対物レンズとの組合わせであることにより、出射光像
のひずみが少なくなり、従来必要としていたf−θレン
ズを不用とすることができる。
According to the present invention, the polarization mechanism in the output side optical path 13 from the liquid crystal mask 2 to the printing surface 21 can be replaced with two polarizing mirrors, which were conventionally required, into one. can be simplified. Furthermore, by combining one polarizing mirror and one objective lens, the distortion of the output light image is reduced, and the f-theta lens that was conventionally required can be dispensed with.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の実施例を示す概略的な構成説明図であ
る。
FIG. 1 is a schematic configuration explanatory diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】偏光ミラーを回動した状態の出射側光路図であ
る。
FIG. 2 is an optical path diagram on the output side when the polarizing mirror is rotated.

【図3】対物レンズを回動した状態の出射側光路図であ
る。
FIG. 3 is an exit side optical path diagram with the objective lens rotated.

【図4】従来例を示す概略的な構成説明図である。FIG. 4 is a schematic configuration explanatory diagram showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  フィールドレンズ、2  液晶マスク、13  
出射側光路、14  偏光ミラー、15  対物レンズ
、21  印字面。
1 field lens, 2 liquid crystal mask, 13
Output side optical path, 14 polarizing mirror, 15 objective lens, 21 printing surface.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  液晶マスクの出射側から印字面までの
出射側光路内で、液晶マスクから出射した画像をX方向
とY方向の双方へ偏光して印字位置を印字面にて変える
ようにしたレーザ印字装置において、出射側光路内に、
X,Y方向の一方に回動可能にした偏光ミラーと、X,
Y方向の他方に移動可能にした対物レンズとを設けたこ
とを特徴とするレーザ印字装置。
[Claim 1] The image emitted from the liquid crystal mask is polarized in both the X direction and the Y direction in the output side optical path from the output side of the liquid crystal mask to the printing surface, so that the printing position can be changed on the printing surface. In a laser printing device, in the output side optical path,
A polarizing mirror that can be rotated in one of the X and Y directions,
A laser printing device characterized by being provided with an objective lens movable in the other direction in the Y direction.
JP3121821A 1991-04-25 1991-04-25 Laser printing apparatus Pending JPH04325284A (en)

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JP3121821A JPH04325284A (en) 1991-04-25 1991-04-25 Laser printing apparatus

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JP (1) JPH04325284A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5532712A (en) * 1993-04-13 1996-07-02 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Drive circuit for use with transmissive scattered liquid crystal display device
US6197917B1 (en) 1998-09-02 2001-03-06 General Electric Company Method for manufacturing polycarbonate for optical use

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5532712A (en) * 1993-04-13 1996-07-02 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Drive circuit for use with transmissive scattered liquid crystal display device
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