JPH043201Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH043201Y2 JPH043201Y2 JP1983108471U JP10847183U JPH043201Y2 JP H043201 Y2 JPH043201 Y2 JP H043201Y2 JP 1983108471 U JP1983108471 U JP 1983108471U JP 10847183 U JP10847183 U JP 10847183U JP H043201 Y2 JPH043201 Y2 JP H043201Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- template
- pattern
- present
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、テレビ受像管に用いられるシヤドウ
マスクや電子レンジの前面に用いられる電磁波シ
ールド用多孔板のような多孔パターンを検査する
に好適なテンプレートに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a template suitable for inspecting a perforated pattern such as a shadow mask used in a television picture tube or a perforated plate for electromagnetic shielding used in the front of a microwave oven.
テレビ受像管に用いられるシヤドウマスクは、
一枚の鋼板に家庭用テレビ受像機の場合は約25万
個、業務用に用いられる高精度テレビ受像機で約
150万個程度の孔が穿設されており、この孔の個
数や配列位置が正しいかどうかをひとつひとつチ
エツクすることは現実的には極めて困難である。 The shadow mask used in television picture tubes is
A single steel plate contains about 250,000 pieces for a home TV receiver, and about 250,000 pieces for a high-precision TV receiver used for business use.
Approximately 1.5 million holes are drilled, and it is extremely difficult in reality to check each one to see if the number and arrangement of the holes is correct.
本考案は、かかる困難性を克服すべく工夫をこ
らし、短時間で多孔パターンの個数や位置の検査
を為しうるテンプレートを提供するものである。 The present invention has been devised to overcome such difficulties and provides a template that allows inspection of the number and position of porous patterns in a short time.
本考案の一実施例を示す図面に基いて以下詳細
に説明すると、第１図において、本考案のテンプ
レートは、透明樹脂板や樹脂フイルムからなる透
明基板１の一面に、同心円状の半透明もしくは不
透明の着色帯２を設ける。当然ながら、着色帯２
は同心円状にある幅をもつて複数個形成される。
かかる同心円状の着色帯２は、それぞれの間にあ
る決まつた幅の間隙３を介して設けられる。間隙
３の幅は検査すべき孔の径と同等にすると良い。
この間隙３の中に、さらに詳しくは、パターンの
中心となる孔パターン４ａから放射線状に伸びる
選択された方向に検査基準となる孔パターン４を
形成する。 A detailed explanation will be given below based on the drawings showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the template of the present invention has concentric semi-transparent or An opaque colored band 2 is provided. Naturally, colored belt 2
are formed in multiple concentric circles with a certain width.
Such concentric colored bands 2 are provided with gaps 3 of a predetermined width between them. The width of the gap 3 is preferably made equal to the diameter of the hole to be inspected.
More specifically, a hole pattern 4 serving as an inspection reference is formed in this gap 3 in a selected direction extending radially from a hole pattern 4a serving as the center of the pattern.
図の実施例によれば、孔パターン４ａを中心と
して八方向に孔パターン４が縦列しているにすぎ
ない。すでに明らかなように、本考案のテンプレ
ートに形成されている孔パターン４の数は、検査
すべきシヤドウマスク等の孔パターンの孔の全数
の1/1000以下となつている。 According to the illustrated embodiment, the hole patterns 4 are simply arranged vertically in eight directions with the hole pattern 4a as the center. As is already clear, the number of hole patterns 4 formed in the template of the present invention is less than 1/1000 of the total number of holes in the hole pattern of a shadow mask or the like to be inspected.
本考案の検査用テンプレートを用いて、多孔パ
ターンを検査する状態を第２図にて説明すると、
まず、検査すべき多孔パターンのいずれかに、中
心の孔パターン４ａを正確に位置合わせし、多孔
パターンとテンプレートの傾きを一致させる。こ
の時点で、着色帯２ａと着色帯２ｂの間隙３にあ
る孔パターン４の近傍を拡大したのが第２図であ
るが、図において、多孔パターン側の孔５の数あ
るいは配列位置が正しい時は、孔のうち該当する
孔５が、テンプレートの孔パターン４の位置に合
致し、重なり合う。この該当する孔５以外の孔６
は、孔５の近傍にあつても、孔６の形状の一部ま
たは全部を着色帯２ａまたは２ｂに重なつて、そ
の全体像を明示できないから、孔５とその他の孔
６との区別は観察者にとつて明瞭である。第２図
に示す状態では、孔５が指定された位置にあるこ
とがチエツクされたことになる。これに反して、
孔５が定められた位置に無い場合は、テンプレー
トの孔パターン４と重ならないことになり、孔５
の位置欠陥が明らかとなる。被検査体の多孔パタ
ーン側の特定の孔５が正しい位置にあることが確
かめられれば、間接的ではあるが孔の全数も正し
いことが確認されるものである。 The state in which a porous pattern is inspected using the inspection template of the present invention is explained with reference to Fig. 2.
First, the center hole pattern 4a is accurately aligned with any of the hole patterns to be inspected, and the inclinations of the hole pattern and the template are matched. At this point, Figure 2 shows an enlarged view of the vicinity of the hole pattern 4 in the gap 3 between the colored bands 2a and 2b. In this case, the corresponding hole 5 of the holes matches the position of the hole pattern 4 of the template and overlaps with the hole pattern 4 of the template. Hole 6 other than this corresponding hole 5
Even if the hole 5 is located near the hole 5, it is difficult to distinguish between the hole 5 and other holes 6 because part or all of the shape of the hole 6 overlaps the colored band 2a or 2b and the entire image cannot be clearly seen. Clear to the observer. In the state shown in FIG. 2, it has been checked that the hole 5 is at the designated position. On the contrary,
If the hole 5 is not in the specified position, it will not overlap with the hole pattern 4 of the template, and the hole 5 will not overlap with the hole pattern 4 of the template.
positional defects are revealed. If it is confirmed that the specific hole 5 on the porous pattern side of the object to be inspected is in the correct position, it is indirectly confirmed that the total number of holes is also correct.
説明が前後したが、シヤドウマスク等の多孔パ
ターンは、その配列方式として蜂の巣状やマトリ
クス状であることが代表的であるが、これらの配
列方式においては、中心の孔から等距離にある孔
が必ず存在するものであり、かかる条件によつて
本考案のテンプレートを適用することができるも
のである。 Although the explanation has been mixed, the porous patterns of shadow masks etc. are typically arranged in a honeycomb or matrix pattern, but in these arrangement methods, the holes are always equidistant from the center hole. The template of the present invention can be applied under such conditions.
なお、本考案のテンプレートにおいて検査でき
る孔の形状は図面の実施例のように円形のものに
限られることはなく、角形や星形等の孔であつて
も適用できる。その際、孔の径は、対角線の長さ
や、図形の占める最大幅とみなすことができ、こ
れを着色帯間の間隙とすれば良い。 Note that the shape of the hole that can be inspected with the template of the present invention is not limited to a circular shape as in the embodiment shown in the drawings, but square or star-shaped holes can also be used. At this time, the diameter of the hole can be regarded as the length of the diagonal line or the maximum width occupied by the figure, and this can be used as the gap between the colored bands.
本考案のテンプレートは、以上のようなもので
あり、本考案によれば着色帯を大幅に採用してチ
エツクすべき孔の数を大幅に減らすことに成功し
たものであり、実際の検査においては、誤まつた
位置にある孔や、検査対象に該当しない孔は、着
色帯によつて、その全体もしくは一部が被蔽され
るから一目瞭然であり、このことも検査に要する
労力を軽減し、チエツク時間を極めて短縮できる
ものである。 The template of the present invention is as described above.According to the present invention, the number of holes to be checked has been successfully reduced by using a large number of colored bands, and in actual inspection. Holes that are in the wrong position or holes that do not correspond to the inspection target can be seen at a glance because they are covered in whole or in part by the colored band, which also reduces the labor required for inspection. This allows the check time to be extremely shortened.
本考案のテンプレートはシヤドウマスク等の実
物多孔パターンの検査はもとより、多孔パターン
の原版（原図パターン）の検査にも用いられるも
のであり、その実用性の高いものである。 The template of the present invention is highly practical as it can be used not only to inspect actual porous patterns such as shadow masks, but also to inspect original plates (original patterns) of porous patterns.
第１図は、本考案のテンプレートの一実施例を
示す斜視図であり、第２図は、本考案のテンプレ
ートを用いて孔パターンを検査する状態を示す部
分拡大平面図である。
１……透明基板、２……着色層、３……間隙、
４……孔パターン。
FIG. 1 is a perspective view showing one embodiment of the template of the present invention, and FIG. 2 is a partially enlarged plan view showing a state in which a hole pattern is inspected using the template of the present invention. 1... Transparent substrate, 2... Colored layer, 3... Gap,
4... Hole pattern.
Claims (1)
の着色帯を設け、該着色帯の各間隙に検査基準と
なる孔パターンを放射線上に設けてなり、前記着
色帯の間隙の幅が孔の径と同等であることを特徴
とする多孔パターン検査用テンプレート。 A concentric semi-transparent or opaque colored band is provided on a transparent substrate, and a hole pattern serving as an inspection standard is provided in each gap of the colored band on a radial line, and the width of the gap of the colored band is equal to the diameter of the hole. A porous pattern inspection template characterized by being equivalent.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983108471U JPS6017398U (en) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | template |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983108471U JPS6017398U (en) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | template |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6017398U JPS6017398U (en) | 1985-02-05 |
| JPH043201Y2 true JPH043201Y2 (en) | 1992-02-03 |
Family
ID=30253061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983108471U Granted JPS6017398U (en) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | template |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6017398U (en) |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP1983108471U patent/JPS6017398U/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6017398U (en) | 1985-02-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB8610655D0 (en) | Integrated circuit substrates | |
| JPH043201Y2 (en) | ||
| KR940002739B1 (en) | Fabrication of complementary patterns for exposing semiconductor chips with self-supporting masks | |
| US3674488A (en) | Method of making matching photoprinting masters | |
| US3494267A (en) | Method and means for producing color television picture tubes | |
| EP1221072B1 (en) | Contact hole production by means of crossing sudden phase shift edges of a single phase mask | |
| CN108388076B (en) | Mask plate, mask method and manufacturing method thereof and mask system | |
| JP2926922B2 (en) | Printed wiring board | |
| JPH0582938A (en) | Manufacture of printed wiring board | |
| JPH0294691A (en) | Printed wiring board | |
| JPH0736197A (en) | Film for manufacturing printed circuit board | |
| JPH08106153A (en) | Glass substrate with identification mark | |
| JPS61219901A (en) | Manufacture of multicolor display element | |
| JPH06273947A (en) | Exposure device and alignment method for exposure stage | |
| JP3919026B2 (en) | Positioning method | |
| JPH0360193B2 (en) | ||
| SU1112443A1 (en) | Mask for multilayer printed circuit board | |
| JP2523901B2 (en) | Pattern inspection method | |
| JPS6146027A (en) | Pattern alignment | |
| JPS63155686A (en) | Wiring board and manufacture of the same | |
| JPH02260518A (en) | Alignment pattern | |
| EP0343609B1 (en) | Method of manufacturing main plates for exposure printing | |
| JPS61117544A (en) | Photomask | |
| JPH02224318A (en) | Positioning method used in semiconductor manufacturing process | |
| JPS6145342B2 (en) |