JPH04317001A - Production of color filter - Google Patents
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明はカラー液晶表示装置の液
晶セル等に内設するのに好適なカラーフィルターの製造
方法に関するものである。より詳細には、特定構造を有
するシランカツプリング剤で処理を行ったガラス基板上
に、感光性転写材料の着色光重合性組成物層を転写し、
パターン露光し、現像する工程の繰り返しにより、作業
性よく、高精度のカラーフィルターを製造する方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter suitable for being installed in a liquid crystal cell of a color liquid crystal display device. More specifically, a colored photopolymerizable composition layer of a photosensitive transfer material is transferred onto a glass substrate treated with a silane coupling agent having a specific structure,
The present invention relates to a method of manufacturing a color filter with good workability and high precision by repeating the steps of pattern exposure and development.
【0002】0002
【従来の技術】液晶を用いたフルカラー表示装置は薄型
軽量、低電圧駆動、低消費電力という特徴がある。これ
らの装置は基本的に液晶セルの内部または外部に設けら
れた、赤色、緑色、青色の3色のパターン化されたフィ
ルター層に対応して、液晶を光学的フィルターとして駆
動させてフルカラーを再現する方式である。フィルター
層のパターンニング法としては多くの方法が提案されて
いるが、大別してフォトリソグラフィーを利用したもの
と印刷によるものがある。前者には、いわゆる染色法、
顔料分散法、転写法があり、後者は凹版オフセット印刷
法が知られている。印刷法は工程が簡単であるが、着色
画素パターンの寸法精度及び平滑度の点で劣る。これに
反しフォトリソグラフィー利用の方法は印刷法に比べ寸
法精度が高く微細なパターンを形成できるという利点を
もつが、各色について感光性樹脂膜の塗布、乾燥、露光
、現像の各工程を繰り返す必要があり、工程数が多く、
スループットの点で問題があった。特に塗布工程での膜
厚ムラに基づく、露光、現像工程の不安定は大きな問題
であった。この解決策として、仮支持体上に予め塗布さ
れた感光性樹脂層を有する感光性転写材料を用いて、着
色画像を形成するといういわゆる転写法の提案が数多く
なされた。例えば、特開昭46−2121、特公昭56
−40824、特開昭61−99102、特開昭61−
256303、特開昭63−187203、特開平2−
803、特開平2−239205、特開平2−2440
05の各号明細書に記載されている。転写法に従えば、
ガラスではなく通常ウエッブ状の仮支持体上に高精度で
塗布できるため、膜厚や色濃度を精度良く作成できる。
しかしながら、通常転写法の場合にはガラス基板への感
光性樹脂層の密着性が不十分であり、得られる着色画素
の解像力や密着性が、顔料分散法等のガラス板への直接
塗布法に比べて劣っていた。2. Description of the Related Art Full-color display devices using liquid crystals are characterized by being thin and lightweight, driving at low voltage, and consuming low power. These devices basically reproduce full color by driving the liquid crystal as an optical filter, corresponding to a patterned filter layer of three colors: red, green, and blue, provided inside or outside the liquid crystal cell. This is a method to do so. Many methods have been proposed for patterning the filter layer, and they can be roughly divided into those using photolithography and those using printing. The former includes the so-called dyeing method,
There are pigment dispersion methods and transfer methods, and the latter is known as an intaglio offset printing method. Although the printing method has a simple process, it is inferior in terms of dimensional accuracy and smoothness of the colored pixel pattern. On the other hand, methods using photolithography have the advantage of higher dimensional accuracy and the ability to form fine patterns than printing methods, but they require repeating the steps of applying a photosensitive resin film, drying, exposing, and developing for each color. Yes, there are many steps,
There was a problem with throughput. In particular, instability in the exposure and development processes due to unevenness in film thickness during the coating process was a major problem. As a solution to this problem, many proposals have been made for a so-called transfer method in which a colored image is formed using a photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer coated in advance on a temporary support. For example, JP-A-46-2121, JP-A-56
-40824, JP-A-61-99102, JP-A-61-
256303, JP-A-63-187203, JP-A-2-
803, JP 2-239205, JP 2-2440
It is described in each specification of No. 05. According to the transcription method,
Since it can be coated with high precision on a temporary support that is usually in the form of a web rather than glass, it is possible to create film thickness and color density with high precision. However, in the case of the normal transfer method, the adhesion of the photosensitive resin layer to the glass substrate is insufficient, and the resolution and adhesion of the resulting colored pixels are insufficient for direct coating methods such as pigment dispersion methods. It was inferior in comparison.
【0003】ガラス基板と感光性樹脂層の密着性を改良
するため、基板上にシランカツプリング剤の層を設ける
技術が知られている。特開昭63−237002号明細
書には、基板上にシランカップリング剤の単分子層を形
成し、その上に印刷法で製造したカラーフィルターが開
示されている。しかし、本願のようなフォトリソグラフ
ィー利用、即ち感光性樹脂層を転写し、この層の現像を
必須とする方法においても密着性が改良されること、も
しくは感光性樹脂層の現像時に支障を生じないことは何
等示唆されていない。特開平2−161402号明細書
中のシランカップリング剤を含有するインキを用いて印
刷法で製造されるカラーフィルターや特開平2−203
320号明細書中のシランンカップリング剤層を形成し
たカラーフィルター層を有する電気光学装置にも、印刷
法、染色法または顔料分散法での画素の密着向上効果し
か言及されていない。[0003] In order to improve the adhesion between a glass substrate and a photosensitive resin layer, a technique is known in which a layer of a silane coupling agent is provided on the substrate. Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-237002 discloses a color filter manufactured by forming a monomolecular layer of a silane coupling agent on a substrate and printing on the monomolecular layer. However, even when using photolithography as in the present application, that is, a method in which a photosensitive resin layer is transferred and development of this layer is essential, the adhesion is improved or there is no problem when developing the photosensitive resin layer. There is no suggestion of that. A color filter manufactured by a printing method using an ink containing a silane coupling agent as described in JP-A-2-161402 and JP-A-2-203
Even in the electro-optical device having a color filter layer formed with a silane coupling agent layer in the specification of No. 320, only the effect of improving pixel adhesion in a printing method, dyeing method, or pigment dispersion method is mentioned.
【0004】0004
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ガラ
ス基板への密着性の優れた、解像力の高い、色かぶりの
無い鮮明な画素を有するカラーフイルターを、簡便に、
高いスループツト速度で製造する方法を提供することに
ある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to easily provide a color filter having excellent adhesion to a glass substrate, high resolution, and clear pixels without color cast.
The objective is to provide a method for manufacturing at high throughput speeds.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、(1)
透明ガラス基板上にシランカップリング剤の層を設ける
工程、(2)仮支持体上に少なくともアルカリ現像型着
色光重合性組成物層を有する感光性転写材料の該アルカ
リ現像型着色光重合性組成物層を、該ガラス基板上に少
なくとも加熱しながら転写する工程、(3)少なくとも
該仮支持体を剥離して除去する工程、(4)該アルカリ
現像型着色光重合性組成物層にフォトマスクを介して露
光する工程、(5)該アルカリ現像型着色光重合性組成
物層の未露光部をアルカリ水溶液で除去する工程、(6
)上記(2)で使用したアルカリ現像型着色光重合性組
成物層とは異なる色に着色されたアルカリ現像型着色光
重合性組成物層を有する感光性転写材料を用いて(2)
から(5)の工程を繰り返す工程、を含む工程によりカ
ラーフィルターを製造する方法において、分子中にアミ
ノ基を含有するシランカップリング剤の水溶液を透明ガ
ラス基板上に設けた後、乾燥させる前に水洗し、乾燥す
ることにより透明ガラス基板上にシランカツプリング剤
の層を設けることを特徴とするカラーフイルターの製造
方法により達成された。[Means for Solving the Problems] The objects of the present invention are (1)
a step of providing a layer of a silane coupling agent on a transparent glass substrate; (2) the alkali-developable colored photopolymerizable composition of the photosensitive transfer material having at least an alkali-developable colored photopolymerizable composition layer on the temporary support; (3) peeling off and removing at least the temporary support; (4) applying a photomask to the alkali-developable colored photopolymerizable composition layer; (5) removing the unexposed portion of the alkali-developable colored photopolymerizable composition layer with an aqueous alkaline solution; (6)
) Using a photosensitive transfer material having an alkali-developable colored photopolymerizable composition layer colored in a different color from the alkali-developable colored photopolymerizable composition layer used in (2) above, (2)
In a method for producing a color filter by a step of repeating the steps from (5), after an aqueous solution of a silane coupling agent containing an amino group in the molecule is provided on a transparent glass substrate and before drying. This was achieved by a method for manufacturing a color filter characterized by providing a layer of a silane coupling agent on a transparent glass substrate by washing with water and drying.
【0006】特開平2−239205号には、転写法に
よるカラーフィルターの製造法において、シランカップ
リング剤の感光性樹脂中への添加や、ガラス基板への下
塗りが感光性樹脂層とガラス基板との密着向上に有効で
あるとの記載があるが、例示して有るシランカップリン
グ剤には、分子中にアミノ基を含有するシランカップリ
ング剤は含まれていない。[0006] JP-A-2-239205 describes a method for manufacturing a color filter using a transfer method, in which a silane coupling agent is added to a photosensitive resin and an undercoat to a glass substrate is applied to the photosensitive resin layer and the glass substrate. Although it is described that the silane coupling agent is effective in improving adhesion, the exemplified silane coupling agent does not include a silane coupling agent containing an amino group in the molecule.
【0007】既述の通り、本発明においては、分子中に
アミノ基を含有するシランカツプリング剤を使用するこ
とを特徴とする。アミノ基を含有するシランカップリン
グ剤を使用することにより、層転写法においてもガラス
基板との十分な密着が得られる。また特開平2−239
205明細書中の感光性転写材料は支持体上に着色され
た感光性樹脂層をもつ構成のものであり、まだまだ、感
光性樹脂層の先行画素に基づく凹凸に十分追従しないの
で得られる画像は十分な密着が得られていないし、シラ
ンカップリング剤としてアミノ基含有シランカップリン
グ剤を使用することや、その水溶液中に浸漬し、その後
水洗し、乾燥することの記載はない。As already mentioned, the present invention is characterized by the use of a silane coupling agent containing an amino group in its molecule. By using a silane coupling agent containing an amino group, sufficient adhesion to the glass substrate can be obtained even in the layer transfer method. Also, JP-A-2-239
The photosensitive transfer material described in the 205 specification has a colored photosensitive resin layer on a support, and the resulting image is still insufficient to follow the unevenness based on the preceding pixels of the photosensitive resin layer. Sufficient adhesion is not obtained, and there is no description of using an amino group-containing silane coupling agent as the silane coupling agent or of immersing it in an aqueous solution thereof, followed by washing with water and drying.
【0008】本発明において、ガラス基板上にアミノ基
を含有するシランカップリング剤の層を設けるには、該
シランカツプリング剤の水溶液を噴霧液として用いる方
法、スピナー・バーコーター等公知の方法で塗布する方
法、水溶液中にガラス板を浸漬する方法等があるが、工
程の容易さから、水溶液中に浸漬した後で、該液が乾燥
する前に水洗し、乾燥することが好ましい。In the present invention, a layer of a silane coupling agent containing an amino group can be formed on a glass substrate by a known method such as using an aqueous solution of the silane coupling agent as a spray solution or using a spinner or bar coater. There are methods such as coating and immersing a glass plate in an aqueous solution, but for ease of process, it is preferable to wash with water and dry after immersing in an aqueous solution and before the liquid dries.
【0009】本発明に使用するアミノ基を含有するシラ
ンカップリング剤の例としては、下記一般式(I)の、
分子中に少なくとも1個のアミノ基を有する有機シラン
化合物を挙げることができる。Examples of the silane coupling agent containing an amino group used in the present invention include the following general formula (I):
Examples include organic silane compounds having at least one amino group in the molecule.
【0010】0010
【化1】[Chemical formula 1]
【0011】ここで、Yは2価の有機基、Rはアルキル
基、nは2もしくは3を表す。具体的例としては、γ−
アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピ
ルメチルジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ
−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−β(アミノ
エチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプ
ロピルメチルジエトキシシラン、N−β(アミノエチル
)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(ア
ミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラ
ン等を挙げることができる。Here, Y represents a divalent organic group, R represents an alkyl group, and n represents 2 or 3. As a specific example, γ-
Aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-β(aminoethyl)γ
-aminopropyltrimethoxysilane, N-β(aminoethyl)γ-aminopropylmethyldimethoxysilane,
Examples include γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, N-β(aminoethyl)γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β(aminoethyl)γ-aminopropylmethyldiethoxysilane, etc. be able to.
【0012】本発明で使用する、アミノ基含有シランカ
ップリング剤の水溶液は、濃度が0.01重量%〜90
重量%が好ましい。0.01重量%未満では十分な密着
が得られず、90重量%を越えると次工程での水洗時に
シランカップリング剤の損失が増大するので好ましくな
い。該水溶液のpHとしては5〜12が好ましく、5未
満では密着が劣り、12を越えると作業安全性の点で好
ましくない。The aqueous solution of the amino group-containing silane coupling agent used in the present invention has a concentration of 0.01% by weight to 90% by weight.
Weight percent is preferred. If it is less than 0.01% by weight, sufficient adhesion cannot be obtained, and if it exceeds 90% by weight, loss of the silane coupling agent increases during washing in the next step, which is not preferable. The pH of the aqueous solution is preferably 5 to 12; if it is less than 5, adhesion is poor, and if it exceeds 12, it is not preferred from the viewpoint of work safety.
【0013】以下、便宜上シランカツプリング剤の水溶
液中にガラス板を浸漬する方法について詳述するが、噴
霧法、塗布法においても、同様の観点から適宜条件を選
択することができる。基板の浸漬時間は1秒以上必要で
ある。1秒未満では十分な密着が得られない。他方、浸
漬時間を長くしても密着力に問題は無く、生産性に影響
が無い範囲で適宜選択することができる。浸漬時の温度
は室温付近から50℃付近が好ましい。室温より余り低
いと密着が劣り、50℃を余り越えても密着が低下する
。浸漬時に攪拌しても良いが、攪拌無しでも十分な密着
が得られる。浸漬法の他に、噴霧液でも行うことができ
るが、浴液への浸漬が単純でありより好ましい。For the sake of convenience, the method of immersing a glass plate in an aqueous solution of a silane coupling agent will be described in detail below, but conditions can also be selected as appropriate from the same viewpoint in the spraying method and coating method. The immersion time of the substrate is required to be 1 second or more. If the time is less than 1 second, sufficient adhesion cannot be obtained. On the other hand, even if the immersion time is increased, there is no problem with adhesion, and the immersion time can be appropriately selected within a range that does not affect productivity. The temperature during dipping is preferably from around room temperature to around 50°C. If the temperature is much lower than room temperature, the adhesion will be poor, and if it is much higher than 50°C, the adhesion will be poor. Although stirring may be performed during dipping, sufficient adhesion can be obtained without stirring. In addition to the immersion method, a spray solution can also be used, but immersion in a bath solution is simpler and more preferred.
【0014】本発明の工程において、シランカップリン
グ剤水溶液への浸漬後の水洗は、シランカップリング剤
水溶液が乾燥しないうちに行うのが好ましく、乾燥後で
は着色光重合性組成物層の現像性が低下するので好まし
くない。水洗後の乾燥は、好ましくは室温から200℃
で行う。室温未満では乾燥に時間がかかり、200℃を
越えるとシランカップリング剤の分解により、不都合な
着色が起こると共に十分な密着性が得られない。乾燥時
間は、水分が十分に蒸発するまで行えば良いが、密着を
より高めるためには、50℃〜190℃で1分以上60
分までの条件が好ましい。In the process of the present invention, washing with water after immersion in the silane coupling agent aqueous solution is preferably carried out before the silane coupling agent aqueous solution is dried, and after drying, the developability of the colored photopolymerizable composition layer is reduced. This is not preferable because it reduces the Drying after washing with water is preferably from room temperature to 200°C.
Do it with If the temperature is below room temperature, it takes a long time to dry, and if the temperature exceeds 200°C, the silane coupling agent decomposes, resulting in undesirable coloring and insufficient adhesion. The drying time may be as long as until the moisture evaporates sufficiently, but in order to further improve the adhesion, it is recommended to dry at 50°C to 190°C for 1 minute or more at 60°C.
Conditions up to 1 minute are preferred.
【0015】本発明で使用するガラス基板は、特に指定
はないが、少なくともシランカツプリング剤と結合する
反応基が該表面に存在することが必要である。好ましい
基板としては、ソーダライムガラスの表面に酸化珪素を
薄層にスパツタ・蒸着・もしくは液相析出した基板、硼
珪酸ガラス等を挙げることができる。更に、該表面が清
浄で、シランカツプリング剤との反応を妨げるような物
質が無いことが望ましい。The glass substrate used in the present invention is not particularly specified, but it is necessary that at least a reactive group that binds to a silane coupling agent be present on the surface. Preferred substrates include substrates in which a thin layer of silicon oxide is sputtered, vapor-deposited, or liquid-phase deposited on the surface of soda lime glass, borosilicate glass, and the like. Furthermore, it is desirable that the surface be clean and free of substances that would interfere with reaction with the silane coupling agent.
【0016】本発明で使用する、仮支持体上に少なくと
もアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する感光性
転写材料は、仮支持体上にアルカリ現像型光重合性組成
物層を直接設けたもの、熱可塑性中間層及び/または水
溶性酸素遮断性剥離層を介して、該アルカリ現像型光重
合性組成物層を設けたもの等を用いることができる。仮
支持体上に熱可塑性中間層及び水溶性酸素遮断性剥離層
を介してアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する
感光性転写材料は、特願平3−9292号明細書に記載
されている。該感光性転写材料は、仮支持体上に順に、
熱可塑性樹脂層と水またはアルカリ水可溶な酸素遮断性
分離層を設けその上に感光性樹脂層、さらに場合により
その上に被覆シートを有する層構造であり、被覆シート
が最も弱く感光性樹脂層に接着しており、該剥離層は隣
接する2層のうち該感光性樹脂層に対し、より強く接着
し、該熱可塑性樹脂層には弱く接着しており、且つ、該
熱可塑性樹脂層と該仮支持体との間で最も強く接着して
いる感光性転写材料である。この感光性転写材料は永久
支持体上に多色画像を形成するのに好適に使用される。
その材料を用いた画像形成方法とは、先ず保護シートが
あればこれを剥離した後で、該感光性樹脂層と永久支持
体を少なくとも加熱しながら密着させた後、該仮支持体
と熱可塑性樹脂層を剥離し、該感光性樹脂層に該剥離層
を介してパターン露光し、現像して該永久支持体上に画
像を形成することを特徴とする。The photosensitive transfer material used in the present invention, which has at least an alkali-developable colored photopolymerizable composition layer on a temporary support, is prepared by directly providing an alkali-developable photopolymerizable composition layer on the temporary support. A layer of the alkali-developable photopolymerizable composition may be provided via a thermoplastic intermediate layer and/or a water-soluble oxygen-blocking peeling layer. A photosensitive transfer material having an alkali-developable colored photopolymerizable composition layer on a temporary support via a thermoplastic intermediate layer and a water-soluble oxygen-barrier peeling layer is described in Japanese Patent Application No. 3-9292. ing. The photosensitive transfer material is placed on the temporary support in order:
It has a layered structure in which a thermoplastic resin layer and a water- or alkaline water-soluble oxygen-barrier separation layer are formed, and then a photosensitive resin layer is placed on top of that, and in some cases, a covering sheet is placed on top of that.The covering sheet is the weakest layer of photosensitive resin. The release layer is more strongly adhered to the photosensitive resin layer of the two adjacent layers, and is weakly adhered to the thermoplastic resin layer; This is the photosensitive transfer material that adheres most strongly between the temporary support and the temporary support. This photosensitive transfer material is preferably used to form multicolor images on a permanent support. The image forming method using this material involves first peeling off the protective sheet, if any, and then bringing the photosensitive resin layer and permanent support into close contact with each other while at least heating. The method is characterized in that the resin layer is peeled off, the photosensitive resin layer is pattern-exposed through the peeling layer, and developed to form an image on the permanent support.
【0017】本発明で使用する感光性転写材料の仮支持
体としては、化学的および熱的に安定であって、また可
撓性の物質で構成されるべきであり、具体的にはポリエ
チレンテレフタレート、ポリカーボネート等の厚みが5
μm〜150μmのシートが特に好ましい。The temporary support for the photosensitive transfer material used in the present invention should be chemically and thermally stable, and should be composed of a flexible material, specifically polyethylene terephthalate. , the thickness of polycarbonate, etc. is 5
Particularly preferred are sheets of .mu.m to 150 .mu.m.
【0018】熱可塑性樹脂層の軟化点は100℃以下が
好ましい。熱可塑性樹脂層として用いる有機高分子物質
としてはヴイカーVicat法(具体的にはアメリカ材
料試験法エーエステーエムデーASTMD1235によ
るポリマー軟化点測定法)による軟化点が約80℃以下
の有機高分子物質より選ばれることが好ましい。この理
由は軟化点の低いポリマーを用いることにより、転写シ
ートを凹凸のある基板上に熱と圧で転写する際に下地の
凹凸を完全に吸収し、気泡残りが全く無い状態で転写で
きるためである。軟化点が高いポリマーを用いた場合は
、高い温度で転写する必要が有り、作業実質上不利であ
る。この様な点で熱可塑性樹脂層に用いられる有機高分
子物質としてはVicat法による軟化点が好ましくは
約80℃以下のもの、より好ましくは60℃以下、特に
好ましくは50℃以下のものである。軟化点が80℃以
下のものとしては、ポリエチレン、ポリプロピレンなど
のポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニルあるいはその
ケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル
酸エステルあるいはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩
化ビニルと酢酸ビニルおよびそのケン化物の様な塩化ビ
ニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共
重合体、ポリスチレン、スチレンと(メタ)アクリル酸
エステルあるいはそのケン化物の様なスチレン共重合体
、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと(メタ)アク
リル酸エステルあるいはそのケン化物のようなビニルト
ルエン共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(
メタ)アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アク
リル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン
、共重合ナイロン、N−アルコキシメチル化ナイロン、
N−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等
の有機高分子から少なくとも1つ選ばれるのが好ましい
が、さらに「プラスチック性能便覧」(日本プラスチッ
ク工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、
工業調査会発行、1968年10月25日発行)による
軟化点が約80℃以下の有機高分子を使用することがで
きる。これらの有機高分子物質中には該高分子物質と相
溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を下
げることも可能である。また軟化点が80℃以上の有機
高分子物質においてもその有機高分子物質中に該高分子
物質と相溶性のある各種の可塑剤を添加して実質的な軟
化点を80℃以下に下げることも可能である。これら有
機高分子物質の溶解特性は着色感光性樹脂層の溶解特性
と実質上一致させてもよいし、感光性樹脂層が全く溶解
しない溶剤に可溶な溶解特性を持っていてもよい。
またこれらの有機高分子物質中に仮支持体との接着力を
調節するために実質的な軟化点が80℃を越えない範囲
で各種のポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界
面活性剤や離型剤を加えることが可能である。また熱可
塑性樹脂層の厚みは6μm以上が好ましい。この理由と
しては剥離層の厚みが5μm以下であると1μm以上の
下地の凹凸を完全に吸収することが不可能となるためで
ある。また熱可塑性樹脂層の厚みの上限は特にないが製
造上の理由から、100μmまでが好ましく、特に好ま
しくは50μmまでである。[0018] The softening point of the thermoplastic resin layer is preferably 100°C or lower. The organic polymer material used for the thermoplastic resin layer is an organic polymer material with a softening point of about 80°C or less as measured by the Vicat method (specifically, the polymer softening point measurement method according to the American Materials Testing Method ASTM D1235). Preferably selected. The reason for this is that by using a polymer with a low softening point, when the transfer sheet is transferred onto an uneven substrate using heat and pressure, it completely absorbs the unevenness of the base and can be transferred without leaving any air bubbles. be. When a polymer with a high softening point is used, it is necessary to transfer at a high temperature, which is practically disadvantageous. From this point of view, the organic polymer material used in the thermoplastic resin layer preferably has a softening point of about 80°C or less, more preferably 60°C or less, and particularly preferably 50°C or less, according to the Vicat method. . Those with a softening point of 80°C or lower include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, ethylene copolymers such as ethylene and vinyl acetate or their saponified products, ethylene and acrylic esters or their saponified products, polyvinyl chloride, and vinyl chloride. and vinyl chloride copolymers such as vinyl acetate and its saponified products, polyvinylidene chloride, vinylidene chloride copolymers, polystyrene, styrene copolymers such as styrene and (meth)acrylic acid esters or their saponified products, polyvinyltoluene , vinyltoluene copolymers such as vinyltoluene and (meth)acrylic ester or their saponified products, poly(meth)acrylic ester, (
(meth)acrylic acid ester copolymers such as meth)butyl acrylate and vinyl acetate, vinyl acetate copolymer nylon, copolymerized nylon, N-alkoxymethylated nylon,
It is preferable to select at least one organic polymer such as polyamide resin such as N-dimethylaminated nylon.
An organic polymer having a softening point of about 80° C. or lower according to the Industrial Research Association, October 25, 1968) can be used. It is also possible to lower the substantial softening point by adding various plasticizers that are compatible with these organic polymeric substances. Furthermore, even for organic polymeric substances with a softening point of 80°C or higher, the actual softening point can be lowered to 80°C or lower by adding various plasticizers that are compatible with the organic polymeric substance. is also possible. The solubility characteristics of these organic polymeric substances may be substantially the same as the solubility characteristics of the colored photosensitive resin layer, or they may have solubility characteristics that allow them to be soluble in a solvent in which the photosensitive resin layer does not dissolve at all. In addition, in order to adjust the adhesive force with the temporary support, various polymers, supercooling substances, adhesion improvers, surfactants, etc. It is possible to add a mold release agent. Further, the thickness of the thermoplastic resin layer is preferably 6 μm or more. The reason for this is that if the thickness of the release layer is 5 μm or less, it will be impossible to completely absorb the unevenness of the base of 1 μm or more. There is no particular upper limit to the thickness of the thermoplastic resin layer, but for manufacturing reasons, it is preferably up to 100 μm, particularly preferably up to 50 μm.
【0019】剥離層としては水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭46−
2121号や特公昭56−40824号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂が挙げられる。剥離離層の厚みは非常に薄く、
約0.1〜5μm、特に0.5〜2μmである。約0.
1μm未満だと酸素の透過性が高すぎ、約5μmを越え
ると、現像時または剥離層除去時に時間がかかりすぎる
。The release layer may be any one that is dispersed or dissolved in water or an alkaline aqueous solution and exhibits low oxygen permeability, and any known release layer may be used. For example, JP-A-46-
Polyvinyl ether/maleic anhydride polymer, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, as described in the specifications of No. 2121 and Japanese Patent Publication No. 56-40824. Polyvinylpyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various water-soluble salts of the group consisting of starches and their analogues, styrene/maleic acid copolymers, and maleate resins. The thickness of the release layer is very thin.
It is approximately 0.1-5 μm, especially 0.5-2 μm. Approximately 0.
If it is less than 1 μm, the oxygen permeability is too high, and if it exceeds about 5 μm, it will take too much time during development or removal of the release layer.
【0020】アルカリ現像型着色感光性樹脂層は少なく
とも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になる必
要があるので、熱可塑性であることが好ましい。公知の
光重合性層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一
部は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の
添加により容易に、更に改質することができる。本発明
で使用できる感光性樹脂としては、公知の、例えば特願
平2−82262に記載されている感光性樹脂をすべて
使用できる。具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダ
ーからなる感光性組成物、光重合性組成物、アジド化合
物とバインダーからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感
光性樹脂組成物等が挙げられる。その中でも特に好まし
いのは光重合性組成物であり、光重合開始剤、少なくと
も1つのエチレン性不飽和結合を有する重合性モノマー
、及びバインダーを基本構成要素として含む。Since the alkali-developable colored photosensitive resin layer needs to become soft or sticky at a temperature of at least 150° C. or lower, it is preferably thermoplastic. Most of the known photopolymerizable layers have this property, but some of the known layers can easily be further modified by the addition of thermoplastic binders or by the addition of compatible plasticizers. As the photosensitive resin that can be used in the present invention, all known photosensitive resins such as those described in Japanese Patent Application No. 2-82262 can be used. Specific examples include photosensitive compositions comprising a negative diazo resin and a binder, photopolymerizable compositions, photosensitive resin compositions comprising an azide compound and a binder, cinnamic acid type photosensitive resin compositions, and the like. Particularly preferred among these is a photopolymerizable composition, which contains a photopolymerization initiator, a polymerizable monomer having at least one ethylenically unsaturated bond, and a binder as basic components.
【0021】感光性樹脂組成物としてはアルカリ水溶液
により現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なも
のが知られているが、公害防止、労働安全性の確保の観
点からアルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。本発
明では、特願平2−232854に記載された感光性樹
脂組成物の中から適宜選択してしようすることができる
。There are known photosensitive resin compositions that can be developed with an aqueous alkali solution and those that can be developed with an organic solvent, but from the viewpoint of preventing pollution and ensuring labor safety, it is preferable to use a photosensitive resin composition that can be developed with an aqueous alkaline solution. is preferred. In the present invention, photosensitive resin compositions can be appropriately selected from among the photosensitive resin compositions described in Japanese Patent Application No. 2-232854.
【0022】感光性樹脂組成物層には更に、染料、顔料
を添加することができる。すべての顔料は感光性樹脂組
成物層中に実質上均一に分散されており、5μm以下の
粒径、好ましくは1μm以下の粒径を有していなければ
ならない。カラーフィルターの作成に当たっては、顔料
としては0.5μm以下の粒径のものが特に好ましい。
適当な染料ないし顔料の具体例としては、ビクトリア・
ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミ
ン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(
C.I.26150)、モノライト・エローGT(C.
I.ピグメントエロー12)、パーマネント・エローG
R(C.I.ピグメント・エロー17)、パーマネント
・エローHR(C.I.ピグメント・エロー83)、パ
ーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメント・レ
ッド146)、ホスターバームレッドESB(C.I.
ピグメント・バイオレット19)、パーマネント・ルビ
ーFBH(C.I.ピグメント・レッド11)ファステ
ル・ピンクBスプラ(C.I.ピグメント・レッド81
)モナストラル・ファースト・ブルー(C.I.ピグメ
ント・ブルー15)、モノライト・ファースト・ブラッ
クB(C.I.ピグメント・ブラック1)及びカーボン
。さらにカラーフィルターを形成するのに適当な顔料と
しては、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピ
グメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド
149、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.
ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッ
ド180、C.I.ピグメント・レッド192、C.I
.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・グ
リーン7、C.I.ピグメント・グリーン36、C.I
.ピグメント・ブルー15:1、C.I.ピグメント・
ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6
、C.I.ピグメント・ブルー22、C.I.ピグメン
ト・ブルー60、C.I.ピグメント・ブルー64等を
挙げることができる。[0022] Furthermore, dyes and pigments can be added to the photosensitive resin composition layer. All pigments must be substantially uniformly dispersed in the photosensitive resin composition layer and have a particle size of 5 μm or less, preferably 1 μm or less. In preparing a color filter, it is particularly preferable that the pigment has a particle size of 0.5 μm or less. Examples of suitable dyes or pigments include Victoria
Pure Blue BO (C.I.42595), Auramine (C.I.41000), Fat Black HB (
C. I. 26150), Monolite Yellow GT (C.
I. Pigment Yellow 12), Permanent Yellow G
R (C.I. Pigment Yellow 17), Permanent Yellow HR (C.I. Pigment Yellow 83), Permanent Carmine FBB (C.I. Pigment Red 146), Hoster Balm Red ESB (C.I. ..
Pigment Violet 19), Permanent Ruby FBH (C.I. Pigment Red 11), Fastel Pink B Splatter (C.I. Pigment Red 81)
) Monastral Fast Blue (C.I. Pigment Blue 15), Monolite Fast Black B (C.I. Pigment Black 1) and Carbon. Furthermore, pigments suitable for forming color filters include C.I. I. Pigment Red 97, C. I. Pigment Red 122, C. I. Pigment Red 149, C. I. Pigment Red 168, C. I.
Pigment Red 177, C. I. Pigment Red 180, C. I. Pigment Red 192, C. I
.. Pigment Red 215, C. I. Pigment Green 7, C. I. Pigment Green 36, C. I
.. Pigment Blue 15:1, C. I. Pigment・
Blue 15:4, C. I. pigment blue 15:6
,C. I. Pigment Blue 22, C. I. Pigment Blue 60, C. I. Pigment Blue 64 and the like can be mentioned.
【0023】また、感光性樹脂組成物層は貯蔵の際に支
持体に相対する側に汚染や損傷に対して保護するために
薄い被覆シートを有することが好ましい。被覆シートは
仮支持体と同じかまたは類似の材料からなっても良いが
、感光性樹脂組成物層から容易に分離されねばならない
。被覆シート材料としては例えばシリコーン紙、ポリオ
レフィンもしくはポリテトラフルオルエチレンシートが
適当である。被覆シートの厚みは約5から100μmで
あるのが好ましい。特に好ましくは10〜30μm厚の
ポリエチレンまたはポリプロピレンフィルムである。It is also preferred that the photosensitive resin composition layer has a thin covering sheet on the side facing the support during storage to protect it from contamination and damage. The covering sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but must be easily separated from the photosensitive resin composition layer. Suitable covering sheet materials are, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheets. Preferably, the thickness of the covering sheet is about 5 to 100 μm. Particularly preferred is a polyethylene or polypropylene film with a thickness of 10 to 30 μm.
【0024】本発明で使用する感光性転写材料は、仮支
持体上に熱可塑性樹脂層溶液を塗布、乾燥することによ
り熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱
可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる剥離層材料の溶
液を塗布、乾燥し、更に感光性樹脂組成物層を剥離層を
溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被
覆シート上に感光性樹脂組成物層を設けて、前記の仮支
持体上に熱可塑性樹脂層及び剥離層を有するシートの両
方のシートを剥離層と感光性樹脂層が接するように相互
に貼り合わせることまたは、別の被覆シートとして、熱
可塑性樹脂層を有する仮支持体を用意し、この熱可塑性
樹脂層を、被覆シート上の感光性樹脂層及び分離層から
なるシートの分離層とを貼り合わせることにより有利に
製造される。また、熱可塑性樹脂層を有する仮支持体の
代わりに、熱可塑性樹脂のシートと仮支持体シートの接
着した2層または多層シート上に該剥離層を設けた後で
該感光性樹脂組成物層を形成してもよい。熱可塑性樹脂
のシートは前記の熱可塑性樹脂層用の材料を使用できる
が、この場合はポリエチレンフィルムやポリプロピレン
フィルムが特に好ましい。仮支持体上にポリエチレンや
ポリプロピレンフィルムシートを設ける方法としては、
仮支持体上にポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニル、エポキ
シ樹脂、ポリウレタン、天然ゴム、合成ゴム等の溶液を
塗布乾燥することにより接着剤層として設け、この上に
ポリエチレン、ポリプロピレンフィルム等を加圧加熱下
に張り合わせる方法、エチレン/酢酸ビニル共重合体、
エチレン/アクリル酸エステル共重合体、ポリアミド樹
脂、石油樹脂、ロジン類、ワックス類の混合物からなる
接着剤を加熱溶融して仮支持体上に塗布した後で直ちに
ポリエチレン、ポリプロピレンフィルム等を貼り合わせ
る方法、ポリエチレン、ポリプロピレン等を溶融状態に
し、押出し機によりフィルム状に押出し、溶融状態のま
ま、仮支持体を圧着してラミネートする方法等が挙げら
れる。さらに滑り性を良化するため、該感光性樹脂組成
物層の仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、
更に帯電防止等の目的で、仮支持体の裏面に公知の微粒
子含有滑り性組成物や、シリコーン化合物を含有する離
型剤組成物、帯電防止剤組成物などを塗布することも有
効である。In the photosensitive transfer material used in the present invention, a thermoplastic resin layer is provided by coating a thermoplastic resin layer solution on a temporary support and drying, and then a thermoplastic resin layer is formed on the thermoplastic resin layer. A solution of a release layer material made of a solvent that does not dissolve the release layer is coated and dried, and a photosensitive resin composition layer is further coated with a solvent that does not dissolve the release layer and dried. Alternatively, a photosensitive resin composition layer is provided on another covering sheet, and both sheets having a thermoplastic resin layer and a release layer are placed on the temporary support so that the release layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. A temporary support having a thermoplastic resin layer may be prepared by pasting them together or as a separate covering sheet, and this thermoplastic resin layer may be attached to a separation layer of a sheet consisting of a photosensitive resin layer and a separation layer on the covering sheet. It is advantageously manufactured by bonding these together. Alternatively, instead of a temporary support having a thermoplastic resin layer, the release layer is provided on a two-layer or multilayer sheet in which a thermoplastic resin sheet and a temporary support sheet are adhered, and then the photosensitive resin composition layer is applied. may be formed. As the thermoplastic resin sheet, the above-mentioned materials for the thermoplastic resin layer can be used, but in this case, polyethylene film or polypropylene film is particularly preferred. The method of providing a polyethylene or polypropylene film sheet on a temporary support is as follows:
A solution of polyvinyl acetate, polyvinyl chloride, epoxy resin, polyurethane, natural rubber, synthetic rubber, etc. is coated on a temporary support and dried to form an adhesive layer, and a polyethylene, polypropylene film, etc. is placed on top of this by pressure heating. Method of laminating the bottom, ethylene/vinyl acetate copolymer,
A method of bonding polyethylene, polypropylene film, etc. immediately after melting an adhesive consisting of a mixture of ethylene/acrylic acid ester copolymer, polyamide resin, petroleum resin, rosin, and wax on a temporary support. Examples include a method of melting polyethylene, polypropylene, etc., extruding it into a film using an extruder, and pressing a temporary support in the molten state for lamination. Furthermore, in order to improve slipperiness and prevent undesirable adhesion of the photosensitive resin composition layer to the back surface of the temporary support,
Furthermore, for the purpose of preventing static electricity, etc., it is also effective to apply a known slippery composition containing fine particles, a mold release agent composition containing a silicone compound, an antistatic agent composition, etc. to the back surface of the temporary support.
【0025】本発明において、感光性転写材料は以下の
様にして使用される。感光性転写材料の被覆シートを取
除き、感光性樹脂組成物層を加温下で基体上に貼り合わ
せる。この際、加熱と同時に加圧しても良い。貼り合わ
せには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーターが
使用でき、更に生産性を高めるためにオートカットラミ
ネーターの使用も可能である。その後仮支持体と熱可塑
性樹脂層を剥がした後で、所定のマスクを介して露光し
、次いで現像する。現像は、同様に公知の方法で、溶剤
もしくは特にアルカリ水溶液に浸漬するか、これら現像
液のスプレーからの噴霧を与えること、さらにブラシを
用いたこすりまたは超音波を照射しつつ処理することで
行なわれる。異なる色相に着色した感光性樹脂組成物層
を有する感光性転写材料を用いて、同様な工程を複数回
繰り返しカラーフイルターを製造することができる。
以下、本発明を実施例を用いて更に詳細に説明するが、
本発明はこれら実施例に限定されるものではない。In the present invention, the photosensitive transfer material is used in the following manner. The coating sheet of the photosensitive transfer material is removed, and the photosensitive resin composition layer is bonded onto the substrate under heating. At this time, pressure may be applied at the same time as heating. For bonding, a conventionally known laminator or vacuum laminator can be used, and an auto-cut laminator can also be used to further increase productivity. Thereafter, the temporary support and the thermoplastic resin layer are peeled off, and then exposed to light through a predetermined mask, and then developed. Development is likewise carried out in known manner by immersion in a solvent or especially aqueous alkaline solution or by atomization from a spray of these developers, as well as by rubbing with a brush or by treatment with ultrasonic irradiation. It will be done. A color filter can be manufactured by repeating the same process multiple times using a photosensitive transfer material having photosensitive resin composition layers colored in different hues. Hereinafter, the present invention will be explained in more detail using Examples.
The present invention is not limited to these examples.
【0026】[0026]
実施例1
仮支持体として厚さ100μmのポリエチレンテレフタ
レートフィルムの上に下記の処方からなる塗布液を塗布
、乾燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設
けた。
熱可塑性樹脂層処方H1
塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体(重量比:塩
ビ/酢ビ= 290g 75
/25、重合度:約400、日信化学(株)製M
PR−TSL)
塩化ビニル−酢酸ビニル−マレイン酸共重合体(
重量比: 76.0g 塩ビ/酢
ビ/マレイン酸=86/13/1、重合度:
約400、日信化学(株)製MPR−TM )
フタル酸ジブチル
88.5g フッ素系界面活性剤(大日本イン
キ(株)製F−177P) 5.4g メ
チルエチルケトン
975.0g
Example 1 A coating solution having the following formulation was applied onto a polyethylene terephthalate film having a thickness of 100 μm as a temporary support and dried to provide a thermoplastic resin layer having a dry thickness of 20 μm. Thermoplastic resin layer formulation H1 Vinyl chloride/vinyl acetate copolymer (weight ratio: PVC/vinyl acetate = 290g 75
/25, degree of polymerization: about 400, M manufactured by Nissin Chemical Co., Ltd.
PR-TSL)
Vinyl chloride-vinyl acetate-maleic acid copolymer (
Weight ratio: 76.0g PVC/vinyl acetate/maleic acid = 86/13/1, degree of polymerization:
Approximately 400, MPR-TM manufactured by Nissin Chemical Co., Ltd.)
dibutyl phthalate
88.5g Fluorine surfactant (F-177P manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) 5.4g Methyl ethyl ketone
975.0g
【0027】次に上記熱可塑性樹脂層上に次の剥離層塗
液B1を塗布し、1.6μm厚の剥離層を設けた。
剥離層塗布液B1
ポリビニルアルコール
17
3.2g (クラレ(株)製PVA20
5、鹸化率=80%) 弗素系界面活性剤
8g 蒸
留水
2800gNext, the following release layer coating liquid B1 was applied onto the thermoplastic resin layer to form a release layer with a thickness of 1.6 μm. Release layer coating liquid B1 Polyvinyl alcohol
17
3.2g (PVA20 manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
5. Saponification rate = 80%) Fluorine surfactant
8g distilled water
2800g
【0028】次に、着色感光性樹脂層形
成用の塗布液として、黒色(遮光層用)、赤色(R層用
)、緑色(G層用)及び青色(B層用)の4色の感光性
溶液を表1に示す組成となるようにそれぞれ調製した。Next, as a coating liquid for forming a colored photosensitive resin layer, photosensitive resins of four colors, black (for the light-shielding layer), red (for the R layer), green (for the G layer), and blue (for the B layer) are used. Each solution was prepared to have the composition shown in Table 1.
【0029】[0029]
【表1】[Table 1]
【0030】前記の剥離層の上に上記のR層、B層、G
層及びBl層塗液をそれぞれ塗布乾燥し、乾燥膜厚が2
μmになるように着色感光性樹脂層を形成した。さらに
上記感光性樹脂層の上にポリプロピレン(厚さ12μm
)のカバーフィルムを圧着し、赤色、青色、緑色および
黒色感光性エレメントを作成した。上記の様に作成した
感光性エレメントを用いて次の様にカラーフィルターを
作成した。[0030] The above R layer, B layer, and G layer are formed on the above release layer.
The layer and BL layer coating liquids were applied and dried, and the dry film thickness was 2.
A colored photosensitive resin layer was formed to have a thickness of μm. Furthermore, polypropylene (thickness: 12 μm) is placed on top of the photosensitive resin layer.
) cover films were crimped to create red, blue, green and black photosensitive elements. A color filter was prepared in the following manner using the photosensitive element prepared as described above.
【0031】酸化珪素を表面に300オングストローム
の厚みでスパッタにより形成した1.1mm厚のソーダ
ガラス板を、1重量%のシランカップリング剤KBM6
03(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン:信越化学工業(株)製)水溶液に、室
温下1分間浸漬した後で、直ちに流水で30秒間水洗し
、表面に残る過剰のKBM603を除去し、100℃で
5分間乾燥し、室温まで放冷した。A 1.1 mm thick soda glass plate on which silicon oxide was sputtered to a thickness of 300 angstroms was coated with 1% by weight of a silane coupling agent KBM6.
03 (N-β(aminoethyl)γ-aminopropyltrimethoxysilane: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) After immersing in an aqueous solution at room temperature for 1 minute, immediately rinse with running water for 30 seconds to remove excess remaining on the surface. KBM603 was removed, dried at 100° C. for 5 minutes, and allowed to cool to room temperature.
【0032】赤色感光性エレメントのカバーフィルムを
剥離し、感光性樹脂層面を上記処理済みの透明ガラス基
板にラミネーター(大成ラミネータ(株)製VP−II
)を用いて加圧(0.8kg/cm2)、加熱(130
℃)して貼り合わせ、続いて剥離層と熱可塑性樹脂層と
の界面で剥離し、仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に除
去した。次に所定のフォトマスクを介して露光し、液温
30℃の1重量%炭酸水素ナトリウム水溶液に1分間浸
漬後水洗して不要部を除去し、ガラス基板上に赤色画素
パターンを形成した。The cover film of the red photosensitive element was peeled off, and the photosensitive resin layer surface was placed on the above-treated transparent glass substrate using a laminator (VP-II manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.).
) using pressure (0.8 kg/cm2) and heating (130 kg/cm2).
°C) and bonded together, followed by peeling at the interface between the release layer and the thermoplastic resin layer, and the temporary support and the thermoplastic resin layer were removed at the same time. Next, it was exposed to light through a predetermined photomask, immersed in a 1% by weight aqueous sodium bicarbonate solution at a liquid temperature of 30° C. for 1 minute, and washed with water to remove unnecessary portions, thereby forming a red pixel pattern on the glass substrate.
【0033】次に、その上に緑色感光性エレメントを用
い、上記と同様にして貼り合わせ、、剥離、露光、現像
を行ない、緑色画素パターンを形成した。同様な工程を
青色、黒色感光性エレメントで繰り返し、透明ガラス基
板上にカラーフィルターを形成した。得られたカラーフ
ィルターは画素の欠落やピンホールがなく、下地との密
着性も良好であった。Next, a green photosensitive element was used thereon and bonded, peeled, exposed and developed in the same manner as above to form a green pixel pattern. A similar process was repeated with blue and black photosensitive elements to form a color filter on a transparent glass substrate. The obtained color filter had no missing pixels or pinholes, and had good adhesion to the base.
【0034】実施例2
シランカツプリング剤として、KBM603(N−β(
アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
)の代わりにKBM903(γ−アミノプロピルトリメ
トキシシラン:信越化学工業(株)製)を用いた以外は
実施例1と同様にしてカラーフイルターの作成・評価を
行ったところ、得られたカラーフィルターは画素の欠落
やピンホールがなく、下地との密着性も良好であった。Example 2 KBM603 (N-β(
A color filter was created and evaluated in the same manner as in Example 1, except that KBM903 (γ-aminopropyltrimethoxysilane: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used instead of γ-aminopropyltrimethoxysilane (aminoethyl). As a result, the color filter obtained had no missing pixels or pinholes, and had good adhesion to the substrate.
【0035】実施例3
シランカツプリング剤として、KBM603(N−β(
アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
)の代わりにKBM902(γ−アミノプロピルメチル
ジメトキシシラン:信越化学工業(株)製)を用いた以
外は実施例1と同様にしてカラーフイルターの作成・評
価を行ったところ、得られたカラーフィルターは画素の
欠落やピンホールがなく、下地との密着性も良好であっ
た。Example 3 KBM603 (N-β(
A color filter was created and evaluated in the same manner as in Example 1, except that KBM902 (γ-aminopropylmethyldimethoxysilane: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used instead of γ-aminopropyltrimethoxysilane (aminoethyl). As a result, the color filter obtained had no missing pixels or pinholes, and had good adhesion to the substrate.
【0036】実施例4
シランカツプリング剤として、KBM603(N−β(
アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
)の代わりにKBM602(N−β(アミノエチル)γ
−アミノプロピルメチルジメトキシシラン:信越化学工
業(株)製)を用いた以外は実施例1と同様にしてカラ
ーフイルターの作成・評価を行ったところ、得られたカ
ラーフィルターは画素の欠落やピンホールがなく、下地
との密着性も良好であった。Example 4 KBM603 (N-β(
KBM602 (N-β(aminoethyl)γ) instead of γ-aminopropyltrimethoxysilane)
-Aminopropylmethyldimethoxysilane: produced by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) A color filter was created and evaluated in the same manner as in Example 1. There was no cracking, and the adhesion to the base was good.
【0037】実施例5
シランカツプリング剤として、KBM603(N−β(
アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン
)の代わりにKBE903(γ−アミノプロピルトリエ
トキシシラン:信越化学工業(株)製)を用いた以外は
実施例1と同様にしてカラーフイルターの作成・評価を
行ったところ、得られたカラーフィルターは画素の欠落
やピンホールがなく、下地との密着性も良好であった。Example 5 KBM603 (N-β(
A color filter was created and evaluated in the same manner as in Example 1, except that KBE903 (γ-aminopropyltriethoxysilane: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used instead of (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane). As a result, the color filter obtained had no missing pixels or pinholes, and had good adhesion to the substrate.
【0038】実施例6
実施例1に記載の処方H1よりなる厚さ15μmの熱可
塑性樹脂層を用いた以外は実施例1と同じ方法でカラー
フイルターを形成したが、その際の各色の転写時におけ
る気泡のこりは全く認められず、いずれの画像形状にも
欠陥がなく、またピンホールも認められないカラーフイ
ルターが得られた。Example 6 A color filter was formed in the same manner as in Example 1 except that a 15 μm thick thermoplastic resin layer made of formulation H1 described in Example 1 was used, but at the time of transfer of each color. A color filter was obtained in which no air bubbles were observed, no defects were observed in any image shape, and no pinholes were observed.
【0039】比較例1
ガラス基板のシランカップリング剤処理を省略した以外
は実施例1と同様にしてカラーフイルターを作成したと
ころ、感光性樹脂層の基板への密着が不十分なため、微
小な画素が剥離され、不完全なパターンしか得られなか
った。Comparative Example 1 A color filter was prepared in the same manner as in Example 1 except that the silane coupling agent treatment of the glass substrate was omitted. However, due to insufficient adhesion of the photosensitive resin layer to the substrate, minute particles were formed. Pixels were peeled off and only an incomplete pattern was obtained.
【0040】比較例2
実施例1と同様であるが、但しシランカップリング剤水
溶液に浸漬した後で、水洗を行わずに乾燥した。得られ
たパターン画像は、基板への密着性は優れていたが、未
露光の非重合部の現像性が不十分で、非画像部に顔料に
よるカブリが発生し、カラーフイルターとして使用でき
るものではなかつた。Comparative Example 2 The same as in Example 1, except that after immersing in the silane coupling agent aqueous solution, it was dried without washing with water. Although the obtained pattern image had excellent adhesion to the substrate, the developability of the unexposed, non-polymerized areas was insufficient, and fog caused by pigment occurred in the non-image areas, making it impossible to use it as a color filter. Nakatsuta.
【0041】比較例3
実施例1と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、γ−(2,3−エポキシプ
ロピルオキシ)プロピルトリメトキシシラン(KBM4
03:信越化学工業(株)製)を用いた。得られたパタ
ーン画像は、基板への密着性に劣るものであった。Comparative Example 3 Same as Example 1, except that γ-(2,3-epoxypropyloxy)propyltrimethoxysilane (KBM4), which does not contain an amino group, was used as the silane coupling agent.
03: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used. The resulting pattern image had poor adhesion to the substrate.
【0042】比較例4
実施例1と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、γ−メタクリロイルオキシ
プロピルトリメトキシシラン(KBM503:信越化学
工業(株)製)を用いた。得られたパターン画像は、基
板への密着性に劣るものであった。Comparative Example 4 Same as Example 1, except that γ-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane (KBM503: manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), which does not contain an amino group, was used as the silane coupling agent. . The resulting pattern image had poor adhesion to the substrate.
【0043】比較例5
実施例1と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、β−(3,4−エポキシシ
クロヘキシル)エチルトリメトキシシラン(KBM30
3:信越化学工業(株)製)を用いた。得られたパター
ン画像は、基板への密着性に劣るものであった。Comparative Example 5 Same as Example 1, except that β-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane (KBM30), which does not contain an amino group, was used as a silane coupling agent.
3: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was used. The resulting pattern image had poor adhesion to the substrate.
【0044】比較例6
実施例1と同様であるが、但しシランカップリング剤と
して、アミノ基を含まない、クロロプロピルトリメトキ
シシラン(KBM703:信越化学工業(株)製)を用
いた。得られたパターン画像は、基板への密着性に劣る
ものであった。Comparative Example 6 The same as in Example 1, except that chloropropyltrimethoxysilane (KBM703, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), which does not contain an amino group, was used as the silane coupling agent. The resulting pattern image had poor adhesion to the substrate.
【0045】[0045]
【発明の効果】本発明によると、ガラス基板と感光性樹
脂層との密着性及び現像性が優れた、画素の欠落、ピン
ホール、色かぶり等の無いカラーフイルターを、簡便な
方法で作成することができる。[Effects of the Invention] According to the present invention, a color filter with excellent adhesion between a glass substrate and a photosensitive resin layer, excellent developability, and no missing pixels, pinholes, color cast, etc. can be produced by a simple method. be able to.
Claims (1)
プリング剤の層を設ける工程、(2)仮支持体上に少な
くともアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する感
光性転写材料の該アルカリ現像型着色光重合性組成物層
を、該ガラス基板上に少なくとも加熱しながら転写する
工程、(3)少なくとも該仮支持体を剥離して除去する
工程、(4)該アルカリ現像型着色光重合性組成物層に
フォトマスクを介して露光する工程、(5)該アルカリ
現像型着色光重合性組成物層の未露光部をアルカリ水溶
液で除去する工程、(6)上記(2)で使用したアルカ
リ現像型着色光重合性組成物層とは異なる色に着色され
たアルカリ現像型着色光重合性組成物層を有する感光性
転写材料を用いて(2)から(5)の工程を繰り返す工
程、を含む工程によりカラーフィルターを製造する方法
において、分子中にアミノ基を含有するシランカップリ
ング剤の水溶液を透明ガラス基板上に設けた後、乾燥さ
せる前に水洗し、乾燥することにより透明ガラス基板上
にシランカツプリング剤の層を設けることを特徴とする
カラーフイルターの製造方法。(1) A step of providing a layer of a silane coupling agent on a transparent glass substrate; (2) A photosensitive transfer material having at least a layer of an alkali-developable colored photopolymerizable composition on a temporary support. Transferring the alkali-developable colored photopolymerizable composition layer onto the glass substrate while heating at least, (3) Peeling and removing at least the temporary support, (4) the alkali-developable colored light. A step of exposing the polymerizable composition layer to light through a photomask, (5) a step of removing the unexposed portion of the alkali-developable colored photopolymerizable composition layer with an aqueous alkaline solution, (6) used in (2) above. A process of repeating steps (2) to (5) using a photosensitive transfer material having an alkali-developable colored photopolymerizable composition layer colored in a different color from the alkali-developable colored photopolymerizable composition layer. In the method of manufacturing a color filter by a process including: providing an aqueous solution of a silane coupling agent containing an amino group in the molecule on a transparent glass substrate, washing with water before drying and drying the transparent glass A method for producing a color filter, comprising providing a layer of a silane coupling agent on a substrate.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010230806A (en) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Sumitomo Chemical Co Ltd | Method for manufacturing polarizing plate, polarizing plate and liquid crystal display |
JP2013117738A (en) * | 2013-02-21 | 2013-06-13 | Sumitomo Chemical Co Ltd | Manufacturing method of polarizing plate |
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-
1991
- 1991-04-16 JP JP8403791A patent/JP3120101B2/en not_active Expired - Fee Related
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