JP2794242B2 - Photosensitive transfer material and image forming method - Google Patents

Photosensitive transfer material and image forming method

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JP2794242B2
JP2794242B2 JP8887592A JP8887592A JP2794242B2 JP 2794242 B2 JP2794242 B2 JP 2794242B2 JP 8887592 A JP8887592 A JP 8887592A JP 8887592 A JP8887592 A JP 8887592A JP 2794242 B2 JP2794242 B2 JP 2794242B2
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resin layer
layer
photosensitive
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transfer material
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、凹凸のある基体に乾式
転写するのに適当な感光性転写材料、及びそれを用いた
画像形成方法に関する。本発明に成る感光性転写材料及
び画像形成方法は、液晶表示体等に使用するカラーフィ
ルターの作成や、プリント配線基板の作成に好適に用い
られる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive transfer material suitable for dry transfer to an uneven substrate, and an image forming method using the same. INDUSTRIAL APPLICABILITY The photosensitive transfer material and the image forming method according to the present invention are suitably used for producing a color filter used for a liquid crystal display or the like and for producing a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】基体に感光性樹脂層を転写するための画
像形成材料は、例えば特公昭56−40824から公知
である。これはプリント配線、凹版凸版印刷版、ネーム
プレート、多色試し刷り見本、オフセット印刷版及びス
クリーン印刷ステンシル等の製造に用いられる。転写材
料は支持体、分離層、光重合性層から成り、基体と光重
合性層を張合わせ、その後仮支持体のみを引き剥がし、
分離層を通して露光、現像し基体の上に画像を形成す
る。この場合、分離層は酸素遮断の役割を果し、空気中
の露光に対して有利に働き、またその厚みも0.5μm
から5μm程度と非常に薄いので解像力の面でも問題は
ない。しかし、転写される基体上にある程度の凹凸が存
在する場合には、その上に非常に薄い光重合性層を転写
する際に光重合性層と基体の間に気泡等がとじ込められ
てしまい、転写不良を起こす。
2. Description of the Related Art An image forming material for transferring a photosensitive resin layer to a substrate is known, for example, from JP-B-56-40824. It is used in the manufacture of printed wiring, intaglio letterpress printing plates, name plates, multicolor test print samples, offset printing plates, screen printing stencils, and the like. The transfer material is composed of a support, a separation layer, and a photopolymerizable layer, the substrate and the photopolymerizable layer are laminated, and then only the temporary support is peeled off.
Exposure and development are performed through the separation layer to form an image on the substrate. In this case, the separation layer plays a role of blocking oxygen, works favorably for exposure in air, and has a thickness of 0.5 μm.
Since it is as thin as about 5 μm, there is no problem in terms of resolution. However, if there is a certain degree of unevenness on the substrate to be transferred, bubbles and the like are trapped between the photopolymerizable layer and the substrate when a very thin photopolymerizable layer is transferred thereon. Causes poor transfer.

【0003】特開平2−213849には、支持体と感
光性樹脂層の間にポリビニルアルコール誘導体等の中間
層を設けた転写材料が開示されているが、それらは仮支
持体との剥離性、溶解特性の改良を目的としており、下
地に凹凸がある場合の転写性については何等考慮されて
いない。
[0003] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-213849 discloses a transfer material in which an intermediate layer such as a polyvinyl alcohol derivative is provided between a support and a photosensitive resin layer. The purpose is to improve the dissolution characteristics, and no consideration is given to the transferability when the base has irregularities.

【0004】特開昭63−309946には、永久支持
体上の微少な不規則性または、永久支持体上もしくは転
写層上または両者の上にある微少なゴミ、ホコリ等の粒
子により永久支持体に対する転写層の十分な接着が妨げ
られるので、転写不良を生じること、この好ましくない
接着不良の防止のため、圧縮性の一時支持体を使用する
ことが記載されている。この方法は確かに有効ではある
が、室温で非粘着性の感光性樹脂層をその層の厚みと同
様な厚みの凹凸を持った永久支持体上に気泡を生じる事
なく転写するにはまだまだ不十分であった。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-309946 discloses a method for preparing a permanent support by using fine irregularities on the permanent support or fine particles such as dust and dirt on the permanent support, the transfer layer, or both. It is described that insufficient adhesion of the transfer layer to the toner is prevented, so that poor transfer is caused, and to prevent this undesired poor adhesion, use of a compressible temporary support is described. Although this method is effective, it is still not enough to transfer a non-adhesive photosensitive resin layer at room temperature onto a permanent support having irregularities of the same thickness as that of the layer without bubbles. Was enough.

【0005】特願平3−120228には、仮支持体、
特にゼラチン下塗りしたプラスチツクフイルムの上に、
熱可塑性樹脂層、分離層、感光性樹脂層を、この順設け
た感光性転写材料を用いて、感光性樹脂層を支持体に密
着させた後、仮支持体と熱可塑性樹脂層を同時に剥離除
去して感光性樹脂樹脂層を支持体に転写する方法が開示
されているが、この方法では、熱可塑性樹脂層と分離層
の剥離性を制御することが必ずしも容易ではなく、剥離
作業の自動化等の面から、十分に満足できる方法とは言
い難かつた。
Japanese Patent Application No. 3-120228 discloses a temporary support,
Especially on a plastic film with gelatin undercoat,
After the thermoplastic resin layer, the separation layer, and the photosensitive resin layer are adhered to the support using the photosensitive transfer material provided in this order, the temporary support and the thermoplastic resin layer are simultaneously peeled off. Although a method of removing and transferring the photosensitive resin layer to the support is disclosed, in this method, it is not always easy to control the releasability of the thermoplastic resin layer and the separation layer. In view of the above, it was difficult to say that the method was sufficiently satisfactory.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の第一の目的
は、感光性転写材料の感光性樹脂層を仮支持体から永久
支持体へ転写する際に、微小なゴミ・気泡・永久支持体
の段差等に起因する転写不良が無いように転写可能で、
かつ仮支持体と申し分のない離型性を示し、同時に空気
中の露光を可能ならしめる感光性転写材料、及びその材
料を用いた画像形成方法を提供することである。本発明
の第二の目的は、基板の汚れの無い画像を与える感光性
転写材料、及びその材料を用いた画像形成方法を提供す
ることである。本発明の第三の目的は、仮支持体の剥離
時の帯電によるシヨツクやゴミの付着を防止することの
できる感光性転写材料、及びそれを用いた画像形成方法
を提供することである。本発明の第四の目的は、画素を
現像する現像液の疲労や現像むらを防止するための、画
像形成方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide a method for transferring a photosensitive resin layer of a photosensitive transfer material from a temporary support to a permanent support. It is possible to transfer so that there is no transfer failure due to the step of
Another object of the present invention is to provide a photosensitive transfer material which exhibits satisfactory releasability from a temporary support and at the same time enables exposure in air, and an image forming method using the material. A second object of the present invention is to provide a photosensitive transfer material which gives an image free from contamination of a substrate, and an image forming method using the material. A third object of the present invention is to provide a photosensitive transfer material capable of preventing a shock or dust from adhering due to charging when the temporary support is peeled off, and an image forming method using the same. A fourth object of the present invention is to provide an image forming method for preventing fatigue and uneven development of a developer for developing pixels.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の第一、第二の目
的は、仮支持体上に、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、
中間層、感光性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性樹脂
層と該仮支持体の間の接着力が最も小さいことを特徴と
する感光性転写材料、及びこの感光性転写材料を用い、
感光性樹脂層と永久支持体を少なくとも加熱しながら、
必要に応じて加圧しながら密着させた後、該仮支持体と
熱可塑性樹脂層の界面で剥離し、該感光性樹脂層に該熱
可塑性樹脂層と該中間層を介してパターン露光し、現像
して該永久支持体上に画像を形成することを特徴とする
画像形成方法により達成された。本発明の第三の目的
は、上記感光性転写材料において、該仮支持体の表面電
気抵抗が1013Ω以下であることを特徴とする感光性転
写材料により達成された。本発明の第四の目的は、アル
カリ可溶な熱可塑性樹脂層及び中間層を現像することが
でき、且つ感光性樹脂層は実質的に現像しない現像液を
用いてアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層及び中間層を除去
し、次いで、感光性樹脂層を現像する画像形成方法によ
り達成された。以下、本発明について詳細に説明する。
The first and second objects of the present invention are to provide an alkali-soluble thermoplastic resin layer on a temporary support,
An intermediate layer and a photosensitive resin layer are provided in this order, using a photosensitive transfer material characterized by having the smallest adhesive force between the thermoplastic resin layer and the temporary support, and the photosensitive transfer material,
While heating the photosensitive resin layer and the permanent support at least,
After being adhered while applying pressure if necessary, peeled off at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer, pattern-exposed the photosensitive resin layer via the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, and developed. Thus, an image is formed on the permanent support by an image forming method. The third object of the present invention has been attained by the photosensitive transfer material, wherein the surface electrical resistance of the temporary support is 10 13 Ω or less. A fourth object of the present invention is to provide an alkali-soluble thermoplastic resin using a developer that can develop an alkali-soluble thermoplastic resin layer and an intermediate layer, and that does not substantially develop a photosensitive resin layer. This was achieved by an image forming method in which the layer and the intermediate layer were removed, and then the photosensitive resin layer was developed. Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0008】本発明の感光性転写材料の仮支持体として
は、熱可塑性樹脂層と申分の無い剥離性を有し、化学的
および熱的に安定であって、また可撓性の物質で構成さ
れるべきであり、具体的にはテフロン、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリ
プロピレン等薄いシートもしくはこれらの積層物が好ま
しい。良好な剥離性を得るためには、グロー放電等の表
面処理はせず、またゼラチン等の下塗も設けない。仮支
持体の厚みは5μm〜300μmが適当であり、好まし
くは20μm〜150μmである。
[0008] The temporary support of the photosensitive transfer material of the present invention is made of a flexible substance which has a satisfactory releasability from the thermoplastic resin layer, is chemically and thermally stable, and is flexible. It should be constituted, and specifically, a thin sheet such as Teflon, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene or a laminate thereof is preferable. To obtain good releasability, no surface treatment such as glow discharge is performed, and no undercoat such as gelatin is provided. The thickness of the temporary support is suitably from 5 μm to 300 μm, and preferably from 20 μm to 150 μm.

【0009】感光性転写材料の転写条件によつては、転
写中に熱可塑性樹脂が周囲にはみ出して永久支持体を汚
染することがある。この現象を防止するためには、これ
らの熱可塑性樹脂の内、アルカリ水溶液に溶解するもの
が好ましい。アルカリ水溶液に溶解するものであれば、
後の処理により容易に除去することが可能だからであ
る。アルカリ水溶液は本発明の感光性樹脂のアルカリ現
像液と同じものでもよいし、異なっていてもよい。ま
た、本発明のアルカリ水溶液とはアルカリ性物質の希薄
水溶液であるが、さらに水と混和性の有機溶剤を少量添
加したものも含まれる。 適当なアルカリ性物質はアル
カリ金属水酸化物類(例えば水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば炭酸ナトリ
ウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(炭酸
水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケ
イ酸塩類(ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)アルカ
リ金属メタケイ酸塩類(メタケイ酸ナトリウム、メタケ
イ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノール
アミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラア
ルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えばテトラメ
チルアンモニウムヒドロキシド)または燐酸三ナトリウ
ムである。アルカリ性物質の濃度は、0.01重量%〜
30重量%であり、pHは8〜14が好ましい。適当な
水と混和性の有機溶剤は、メタノール、エタノール、2
−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジア
セトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレ
ングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコ
ール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノ
ン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチ
ルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチル
ホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロ
ラクタム、N−メチルピロリドンである。水と混和性の
有機溶剤の濃度は0.1重量%〜30重量%である。ま
たさらに公知の界面活性剤を添加することができる。界
面活性剤の濃度は0.01重量%〜10重量%が好まし
い。
[0009] Depending on the transfer conditions of the photosensitive transfer material, the thermoplastic resin may protrude to the surroundings during transfer and contaminate the permanent support. In order to prevent this phenomenon, among these thermoplastic resins, those which dissolve in an aqueous alkali solution are preferable. If it can be dissolved in an alkaline aqueous solution,
This is because it can be easily removed by a later process. The alkaline aqueous solution may be the same as or different from the alkaline developer of the photosensitive resin of the present invention. The aqueous alkaline solution of the present invention is a dilute aqueous solution of an alkaline substance, and includes a solution to which a small amount of an organic solvent miscible with water is further added. Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate), Alkali metal silicates (sodium silicate, potassium silicate) alkali metal metasilicates (sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, Tetramethylammonium hydroxide) or trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is 0.01% by weight or more.
30% by weight, and the pH is preferably 8 to 14. Suitable water-miscible organic solvents are methanol, ethanol,
-Propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide Dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam and N-methylpyrrolidone. The concentration of the water-miscible organic solvent is 0.1% to 30% by weight. Further, a known surfactant can be added. The concentration of the surfactant is preferably 0.01% by weight to 10% by weight.

【0010】熱可塑性樹脂層を構成する樹脂は、実質的
な軟化点が80℃以下である。軟化点が80℃以下のア
ルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアク
リル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと(メ
タ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルト
ルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化
物、ポリ(メタ)アクリル酸エステル、(メタ)アクリ
ル酸ブチルと酢酸ビニル等の(メタ)アクリル酸エステ
ル共重合体などのケン化物、から少なくとも1つ選ばれ
るのが好ましいが、さらに「プラスチック性能便覧」
(日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形
工業連合会編著、工業調査会発行、1968年10月2
5日発行)による軟化点が約80℃以下の有機高分子の
うちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができ
る。また軟化点が80℃以上の有機高分子物質において
もその有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある
各種の可塑剤を添加して実質的な軟化点を80℃以下に
下げることも可能である。またこれらの有機高分子物質
中に仮支持体との接着力を調節するために実質的な軟化
点が80℃を越えない範囲で各種のポリマーや過冷却物
質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤、等を加え
ることが可能である。好ましい可塑剤の具体例として
は、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコー
ル、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジ
ブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレ
ジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフ
ォスフェートを挙げることができる。熱可塑性樹脂層の
厚みは6μm以上である。この理由としては熱可塑性樹
脂層の厚みが5μm以下であると1μm以上の下地の凹
凸を完全に吸収することが不可能であるためである。ま
た、上限については、現像性、製造適性から約100μ
m以下、好ましくは約50μm以下である。
The resin constituting the thermoplastic resin layer has a substantial softening point of 80 ° C. or less. Examples of the alkali-soluble thermoplastic resin having a softening point of 80 ° C. or lower include a saponified product of ethylene and an acrylate copolymer, a saponified product of styrene and a (meth) acrylate copolymer, and vinyltoluene and (meth) acrylic. At least one selected from a saponified acid ester copolymer, a poly (meth) acrylate, and a saponified material such as a (meth) acrylate copolymer such as butyl (meth) acrylate and vinyl acetate. Preferable but more “Plastic Performance Handbook”
(Edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, October 2, 1968
Among them, organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or lower and soluble in an alkaline aqueous solution can be used. In addition, even in the case of an organic polymer substance having a softening point of 80 ° C. or higher, various plasticizers compatible with the polymer substance are added to the organic polymer substance to lower the substantial softening point to 80 ° C. or lower. Is also possible. In addition, in order to adjust the adhesive force with the temporary support in these organic polymer substances, various polymers and supercooled substances, adhesion improvers or surfactants, as long as the substantial softening point does not exceed 80 ° C, It is possible to add a release agent and the like. Specific examples of preferred plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate. The thickness of the thermoplastic resin layer is 6 μm or more. The reason for this is that if the thickness of the thermoplastic resin layer is 5 μm or less, it is impossible to completely absorb the unevenness of the base of 1 μm or more. The upper limit is about 100 μm from the viewpoint of developability and manufacturing suitability.
m, preferably about 50 μm or less.

【0011】中間層としては水またはアルカリ水溶液に
分散または溶解し、低い酸素透過性を示すものであれば
良く、公知のものが使用できる。例えば、特開昭46−
2121号や特公昭56−40824号の各明細書に記
載のポリビニルエーテル/無水マレイン酸重合体、カル
ボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロー
スエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポ
リビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポ
リアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリア
クリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重
合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性
塩、スチレン/マレイン酸の共重合体、およびマレイネ
ート樹脂さらにこれらの2種以上の組み合わせが挙げら
れる。特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリ
ビニルピロリドンの組み合わせである。ポリビニルアル
コールは鹸化率が80%以上であるものが好ましく、ポ
リビニルピロリドンの含有量は中間層固形分の1重量%
〜75重量%が好ましく、より好ましくは1重量%〜6
0重量%、更に好ましくは10重量%〜50重量%であ
る。1重量%未満では、感光性樹脂層との十分な密着が
得られず、75重量%を越えると、酸素遮断能が低下す
る。中間層の厚みは非常に薄く、約0.1〜5μm、特
に0.5〜2μmである。約0.1μm未満だと酸素の
透過性が高すぎ、約5μmを越えると、現像時または中
間層除去時に時間がかかりすぎる。
The intermediate layer may be any one which disperses or dissolves in water or an aqueous alkali solution and has low oxygen permeability, and known ones can be used. For example, JP-A-46-
No. 2121 and JP-B-56-40824, polyvinyl ether / maleic anhydride polymer, water-soluble salts of carboxyalkyl cellulose, water-soluble cellulose ethers, water-soluble salts of carboxyalkyl starch, polyvinyl alcohol, Water-soluble salts of the group consisting of polyvinylpyrrolidone, various polyacrylamides, various water-soluble polyamides, water-soluble salts of polyacrylic acid, gelatin, ethylene oxide polymers, various starches and the like, styrene / maleic acid Copolymers, maleate resins, and combinations of two or more of these. Particularly preferred is a combination of polyvinyl alcohol and polyvinyl pyrrolidone. The polyvinyl alcohol preferably has a saponification rate of 80% or more, and the content of polyvinylpyrrolidone is 1% by weight of the solid content of the intermediate layer.
To 75% by weight, more preferably 1% to 6% by weight.
0% by weight, more preferably 10% by weight to 50% by weight. If the amount is less than 1% by weight, sufficient adhesion to the photosensitive resin layer cannot be obtained, and if it exceeds 75% by weight, the oxygen barrier ability decreases. The thickness of the intermediate layer is very thin, about 0.1-5 μm, especially 0.5-2 μm. If it is less than about 0.1 μm, the oxygen permeability is too high, and if it exceeds about 5 μm, it takes too much time during development or when removing the intermediate layer.

【0012】感光性樹脂層は少なくとも150℃以下の
温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可
塑性であることが好ましい。公知の光重合性組成物を用
いた層の大部分はこの性質を有するが、公知層の一部
は、熱可塑性結合剤の添加あるいは相溶性の可塑剤の添
加によって更に改質することができる。本発明の感光性
樹脂層の素材としては公知の、例えば特願平2−822
62に記載されている感光性樹脂がすべて使用できる。
具体的には、ネガ型ジアゾ樹脂とバインダーからなる感
光性樹脂層、光重合性組成物、アジド化合物とバインダ
ーとからなる感光性樹脂組成物、桂皮酸型感光性樹脂組
成物等が挙げられる。その中でも特に好ましいのは光重
合性樹脂である。その光重合性樹脂は光重合開始剤、光
重合性モノマーおよびバインダーを基本構成要素として
含む。また、感光性樹脂としてはアルカリ水溶液により
現像可能なものと、有機溶剤により現像可能なものが知
られているが、公害防止、労働安全性の確保の観点から
アルカリ水溶液現像可能なものが好ましい。
The photosensitive resin layer is preferably softened or tacky at least at a temperature of 150 ° C. or lower, and is preferably thermoplastic. Most of the layers using known photopolymerizable compositions have this property, but some of the known layers can be further modified by the addition of thermoplastic binders or compatible plasticizers. . As the material of the photosensitive resin layer of the present invention, known materials, for example, Japanese Patent Application No. 2-822
All photosensitive resins described in No. 62 can be used.
Specific examples include a photosensitive resin layer comprising a negative type diazo resin and a binder, a photopolymerizable composition, a photosensitive resin composition comprising an azide compound and a binder, a cinnamic acid type photosensitive resin composition, and the like. Among them, a photopolymerizable resin is particularly preferable. The photopolymerizable resin contains a photopolymerization initiator, a photopolymerizable monomer and a binder as basic components. As the photosensitive resin, those which can be developed with an aqueous alkali solution and those which can be developed with an organic solvent are known, but those which can be developed with an aqueous alkali solution are preferable from the viewpoint of preventing pollution and ensuring labor safety.

【0013】本発明の感光性樹脂層のアルカリ現像液と
しては、アルカリ性物質の希薄水溶液であるが、さらに
水と混和性の有機溶剤を少量添加したものも含まれる。
適当なアルカリ性物質はアルカリ金属水酸化物類(例え
ば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属
炭酸塩類(例えば炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、ア
ルカリ金属重炭酸塩類(炭酸水素ナトリウム、炭酸水素
カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(ケイ酸ナトリウ
ム、ケイ酸カリウム)アルカリ金属メタケイ酸塩類(メ
タケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタ
ノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールア
ミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒド
ロキシド類(例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキ
シド)または燐酸三ナトリウムである。アルカリ性物質
の濃度は、0.01重量%〜30重量%であり、pHは
8〜14が好ましい。適当な水と混和性の有機溶剤は、
メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロ
パノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレ
ングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチ
ルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエ
チルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、
γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチル
アセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチ
ル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロ
リドンである。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1重
量%〜30重量%である。またさらに公知の界面活性剤
を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01
重量%〜10重量%が好ましい。現像液は、浴液として
も、あるいは噴霧液としても用いることができる。光重
合性遮光材料層の未硬化部分を除去するには現像液中で
回転ブラシで擦るか湿潤スポンジで擦るなどの方法を組
み合わせることができる。現像液の液温度は通常室温付
近から40℃が好ましい。現像処理の後に水洗工程を入
れることも可能でる。
The alkali developing solution for the photosensitive resin layer of the present invention is a dilute aqueous solution of an alkaline substance, and may further include a small amount of an organic solvent miscible with water.
Suitable alkaline substances include alkali metal hydroxides (eg, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (eg, sodium carbonate, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate), Alkali metal silicates (sodium silicate, potassium silicate) alkali metal metasilicates (sodium metasilicate, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, Tetramethylammonium hydroxide) or trisodium phosphate. The concentration of the alkaline substance is 0.01% by weight to 30% by weight, and the pH is preferably 8 to 14. Suitable water-miscible organic solvents are
Methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether, benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone,
γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, and N-methylpyrrolidone. The concentration of the water-miscible organic solvent is 0.1% to 30% by weight. Further, a known surfactant can be added. Surfactant concentration is 0.01
% By weight is preferred. The developer can be used as a bath solution or a spray solution. To remove the uncured portion of the photopolymerizable light-shielding material layer, a method such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in a developer can be combined. The temperature of the developer is usually preferably around room temperature to 40 ° C. A water washing step can be added after the development processing.

【0014】現像は、熱可塑性樹脂層、中間層および感
光性樹脂層を一度に処理してもよいが、現像むらや感光
性樹脂層現像時の現像液疲労を少なくするため、熱可塑
性樹脂層および中間層を先に現像除去した後で感光性樹
脂層の現像を行ってもよい。熱可塑性樹脂層および中間
層の現像液は、前記溶剤もしくは水性の現像液が用いら
れるが、該熱可塑性樹脂層および中間層の現像の際に感
光性樹脂層に影響の少ない現像液を用いることが好まし
い。これは、熱可塑性樹脂層及び中間層と感光性樹脂層
との間に溶解速度の差を持つ現像液を選ぶことにより、
また液温、スプレー圧、擦りの力など現像処理条件を組
み合わせることによって達成できる。例えば、感光性樹
脂層の現像に要する最小の時間が、熱可塑性樹脂層およ
び中間層の現像に要する最小時間の2倍以上になるよう
な現像液を熱可塑性樹脂層および中間層の現像液として
選べば、感光性樹脂層が実質的に現像されることなく熱
可塑性樹脂層および中間層のみを現像除去する事ができ
る。その後さらに感光性樹脂層用の現像液で現像するこ
とによって、該感光性樹脂用現像液が熱可塑性樹脂およ
び中間層の現像で疲労することなく、さらに感光性樹脂
層の現像の際前もって熱可塑性樹脂および中間層を除去
しているので、同一現像液で一度に現像する場合に比べ
て、基板内での熱可塑性樹脂層の現像むらに起因する感
光性樹脂層の現像むらは発生せず現像状態の均一な画像
が得られる。熱可塑性樹脂層および中間層は、水または
前記現像液で剥離除去させてもよい。剥離除去の方法は
浴液、スプレー、および現像液中で回転ブラシや湿潤し
たスポンジで擦るなどの方法を組み合わせることができ
る。
In the development, the thermoplastic resin layer, the intermediate layer and the photosensitive resin layer may be treated at one time. However, in order to reduce uneven development and fatigue of the developing solution during the development of the photosensitive resin layer, the thermoplastic resin layer is preferably used. The development of the photosensitive resin layer may be performed after the development and removal of the intermediate layer. As the developing solution for the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, the solvent or the aqueous developing solution is used. When the thermoplastic resin layer and the intermediate layer are developed, a developing solution having little influence on the photosensitive resin layer is used. Is preferred. This is achieved by selecting a developer having a dissolution rate difference between the thermoplastic resin layer and the intermediate layer and the photosensitive resin layer.
It can also be achieved by combining development processing conditions such as liquid temperature, spray pressure and rubbing force. For example, a developing solution in which the minimum time required for developing the photosensitive resin layer is twice or more the minimum time required for developing the thermoplastic resin layer and the intermediate layer is used as the developing solution for the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. If selected, it is possible to develop and remove only the thermoplastic resin layer and the intermediate layer without substantially developing the photosensitive resin layer. Then, by further developing with a developing solution for the photosensitive resin layer, the developing solution for the photosensitive resin does not become fatigued in the development of the thermoplastic resin and the intermediate layer, and the thermoplastic resin is developed in advance in the development of the photosensitive resin layer. Because the resin and the intermediate layer are removed, the development of the photosensitive resin layer does not occur due to the uneven development of the thermoplastic resin layer in the substrate as compared with the case of developing with the same developer at once. An image with a uniform state can be obtained. The thermoplastic resin layer and the intermediate layer may be peeled and removed with water or the developer. The peeling and removing method can be combined with a method such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in a bath solution, a spray, or a developer.

【0015】感光性樹脂層には更に、染料、顔料を添加
することができる。すべての顔料は感光性樹脂層中に均
一に分散されており、好ましくは5μm以下の粒径、特
に好ましくは1μm以下の粒径を有していなければなら
ない。カラーフィルターの作成に当たっては、顔料とし
ては0.5μm以下の粒径のものが好ましい。好ましい
染料ないし顔料の例は次の通りである。ビクトリア・ピ
ュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン
(C.I.41000)、ファット・ブラックHB
(C.I.26150)、モノライト・エローGT
(C.I.ピグメントエロー12)、パーマネント・エ
ローGR(C.I.ピグメント・エロー17)、パーマ
ネント・エローHR(C.I.ピグメント・エロー8
3)、パーマネント・カーミンFBB(C.I.ピグメ
ント・レッド146)、ホスターバームレッドESB
(C.I.ピグメント・バイオレット19)、パーマネ
ント・ルビーFBH(C.I.ピグメント・レッド1
1)ファステル・ピンクBスプラ(C.I.ピグメント
・レッド81)モナストラル・ファースト・ブルー
(C.I.ピグメント・ブルー15)、モノライト・フ
ァースト・ブラックB(C.I.ピグメント・ブラック
1)及びカーボン。さらにカラーフィルターを形成する
のに適当な顔料としては、C.I.ピグメント・レッド
97、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピ
グメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド
168、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.
ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッ
ド192、C.I.ピグメント・レッド215、C.
I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・グ
リーン36、C.I.ピグメント・ブルー15:1、
C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメ
ント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブルー2
2、C.I.ピグメント・ブルー60、C.I.ピグメ
ント・ブルー64を挙げることができる。
A dye and a pigment can be further added to the photosensitive resin layer. All pigments must be uniformly dispersed in the photosensitive resin layer and have a particle size of preferably 5 μm or less, particularly preferably 1 μm or less. In preparing a color filter, a pigment having a particle size of 0.5 μm or less is preferable. Examples of preferred dyes and pigments are as follows. Victoria Pure Blue BO (CI. 42595), Auramine (CI. 41000), Fat Black HB
(CI26150), Monolight Yellow GT
(C.I. Pigment Yellow 12), Permanent Yellow GR (C.I. Pigment Yellow 17), Permanent Yellow HR (C.I. Pigment Yellow 8)
3), permanent carmine FBB (CI Pigment Red 146), Hoster Balm Red ESB
(CI Pigment Violet 19), Permanent Ruby FBH (CI Pigment Red 1)
1) Fastel Pink B Supra (CI Pigment Red 81) Monastral Fast Blue (CI Pigment Blue 15), Monolight First Black B (CI Pigment Black 1) And carbon. Further, pigments suitable for forming a color filter include C.I. I. Pigment Red 97, C.I. I. Pigment Red 122, C.I. I. Pigment Red 149, C.I. I. Pigment Red 168, C.I. I. Pigment Red 177, C.I. I.
Pigment Red 180, C.I. I. Pigment Red 192, C.I. I. Pigment Red 215, C.I.
I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Blue 15: 1,
C. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I. Pigment Blue 15: 6, C.I. I. Pigment Blue 2
2, C.I. I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pigment Blue 64.

【0016】また感光性樹脂層の上には、貯蔵の際の汚
染や損傷から保護するために薄い被覆シートを設けるこ
とが好ましい。被覆シートは仮支持体と同じかまたは類
似の材料からなっても良いが、感光性樹脂層から容易に
分離されねばならない。被覆シート材料としては例えば
シリコーン紙、ポリオレフィンもしくはポリテトラフル
オルエチレンシートが適当である。被覆シートの厚みは
約5〜100μmであるのが好ましい。特に好ましくは
10〜30μm厚のポリエチレンまたはポリプロピレン
フィルムである。
Further, it is preferable to provide a thin covering sheet on the photosensitive resin layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The cover sheet may be made of the same or similar material as the temporary support, but must be easily separated from the photosensitive resin layer. Suitable coating sheet materials are, for example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheets. The thickness of the covering sheet is preferably about 5 to 100 μm. Particularly preferred is a polyethylene or polypropylene film having a thickness of 10 to 30 μm.

【0017】本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に
熱可塑性樹脂層溶液を施し、乾燥することにより熱可塑
性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹
脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布
し、乾燥し、その後感光性樹脂層を中間層を溶解しない
溶剤で塗布、乾燥して設ける。または別の被覆シート上
に感光性樹脂層を設けて、前記の仮支持体上に熱可塑性
樹脂層及び中間層を有するシートの両方のシートを中間
層と感光性樹脂層が接するように相互に貼り合わせるこ
とまたは、別の被覆シートとして、熱可塑性樹脂層を有
する仮支持体を用意し、この熱可塑性樹脂層を、被覆シ
ート上の感光性樹脂層及び中間層からなるシートの中間
層とを貼り合わせることにより有利に製造される。
In the photosensitive transfer material of the present invention, a thermoplastic resin layer solution is applied to a temporary support and dried to form a thermoplastic resin layer. Thereafter, the thermoplastic resin layer is not dissolved on the thermoplastic resin layer. A solution of an intermediate layer material composed of a solvent is applied and dried, and then the photosensitive resin layer is provided by applying and drying with a solvent that does not dissolve the intermediate layer. Alternatively, a photosensitive resin layer is provided on another covering sheet, and both sheets of the thermoplastic resin layer and the sheet having the intermediate layer on the temporary support are mutually bonded so that the intermediate layer and the photosensitive resin layer are in contact with each other. Laminating or preparing a temporary support having a thermoplastic resin layer as another covering sheet, and combining this thermoplastic resin layer with the photosensitive resin layer on the covering sheet and the intermediate layer of the sheet composed of the intermediate layer. It is advantageously manufactured by laminating.

【0018】ここで、永久支持体上に感光性転写材料の
感光性樹脂層を張り合わせた後で仮支持体を剥そうとす
ると、フイルムと人体が帯電して不快な電撃シヨツクを
受けることがあり、更に、この帯電のために周囲からゴ
ミを吸い寄せて引き続く露光工程で未露光部が生じ、ピ
ンホールの原因となることがある。本発明の感光性転写
材料においては、帯電を防止するため、仮支持体の少な
くとも一方の面に導電性層を設けてその表面電気抵抗を
1013Ω以下としたか、あるいは仮支持体自体に導電性
を付与してその表面電気抵抗を1013Ω以下としたもの
を用いることが好ましい。仮支持体に導電性を付与する
には、仮支持体中に導電性物質を含有させれば良い。例
えば、金属酸化物の微粒子や帯電防止剤を練り込んでお
く方法が好適である。金属酸化物としては、酸化亜鉛、
酸化チタン、酸化錫、酸化アルミニウム、酸化インジウ
ム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化バリウム、酸化
モリブデンの中から選ばれた少なくとも1種の結晶性金
属酸化物、及び/またはその複合酸化物の微粒子であ
る。帯電防止剤としては例えば、アニオン界面活性剤と
してアルキル燐酸塩系(例えば、花押石鹸(株)のエレ
クトロストリッパーA、第一工業製薬(株)のエレノン
No19等が、両性界面活性剤としてベタイン系(例え
ば、第一工業製薬(株)のアモーゲンK、等)が、非イ
オン界面活性剤としてポリオキシエチレン脂肪酸エステ
ル系(例えば、日本油脂(株)のニツサンノニオンL、
等)、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系(例え
ば、花王石鹸(株)のエマルゲン106、120、14
7、420、220、905、910、日本油脂(株)
のニツサンノニオンE、等)が有用である。その他、非
イオン界面活性剤としてポリオキシエチレンアルキルフ
ェノールエーテル系、多価アルコール脂肪酸エステル
系、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル系、
ポリオキシエチレンアルキルアミン系等のものが用いら
れる。支持体上に導電性層を設ける場合には、導電性層
としては公知のものの中から適宜選択して用いる事がで
きるが、特に導電性物質として、ZnO、TiO2 、S
nO2、Al23、In23、SiO2、MgO、Ba
O、MoO3 の中から選ばれた少なくとも1種の結晶性
金属酸化物、及び/またはその複合酸化物の微粒子を含
有させる方法が、湿度に影響されない導電性を示すので
好ましい。結晶性金属酸化物またはその複合酸化物の微
粒子は、その体積抵抗が107 Ω・cm以下である事が
好ましく、特に105Ω・cm以下である事が好まし
い。また、その粒子サイズは、0.01〜0.7μm、
特に0.02〜0.5μmである事が好ましい。
Here, if the temporary support is to be peeled off after the photosensitive resin layer of the photosensitive transfer material is stuck on the permanent support, the film and the human body may be charged and an unpleasant electric shock may occur. In addition, due to the charging, dust may be attracted from the surroundings and an unexposed portion may be formed in a subsequent exposure process, which may cause a pinhole. In the photosensitive transfer material of the present invention, in order to prevent electrification, a conductive layer is provided on at least one surface of the temporary support to reduce its surface electric resistance to 10 13 Ω or less, or to the temporary support itself. It is preferable to use a conductive material having a surface electric resistance of 10 13 Ω or less. In order to impart conductivity to the temporary support, a conductive substance may be contained in the temporary support. For example, a method in which metal oxide fine particles and an antistatic agent are kneaded is suitable. As metal oxides, zinc oxide,
Fine particles of at least one crystalline metal oxide selected from titanium oxide, tin oxide, aluminum oxide, indium oxide, silicon oxide, magnesium oxide, barium oxide, and molybdenum oxide, and / or a composite oxide thereof. . Examples of the antistatic agent include alkyl phosphates as anionic surfactants (for example, Electrostripper A of Hanashi Soap Co., Ltd., Eleanon No19 of Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., betaine-based amphoteric surfactants). For example, Amogen K of Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.) is a polyoxyethylene fatty acid ester (for example, Nitsan Nonion L of Nippon Oil & Fats Co., Ltd.) as a nonionic surfactant.
Etc.), polyoxyethylene alkyl ethers (for example, Emulgen 106, 120, 14 of Kao Soap Co., Ltd.)
7, 420, 220, 905, 910, NOF Corporation
Nitsusan nonion E, etc.) are useful. In addition, as a nonionic surfactant, polyoxyethylene alkylphenol ether type, polyhydric alcohol fatty acid ester type, polyoxyethylene sorbitan fatty acid ester type,
A polyoxyethylene alkylamine type or the like is used. When a conductive layer is provided on the support, the conductive layer can be appropriately selected from known ones. In particular, ZnO, TiO 2 , S
nO 2 , Al 2 O 3 , In 2 O 3 , SiO 2 , MgO, Ba
A method of containing fine particles of at least one kind of crystalline metal oxide selected from O and MoO 3 and / or a composite oxide thereof is preferable because it shows conductivity that is not affected by humidity. The fine particles of the crystalline metal oxide or the composite oxide thereof preferably have a volume resistance of 10 7 Ω · cm or less, particularly preferably 10 5 Ω · cm or less. The particle size is 0.01 to 0.7 μm,
In particular, the thickness is preferably 0.02 to 0.5 μm.

【0019】導電性の結晶性金属酸化物及びその複合酸
化物の微粒子の製造方法については、特開昭56−14
3430号に詳細に記載されているが、それらについて
略述すれば、第1に金属酸化物微粒子を焼成により作製
し、導電性を向上させる異種原子の存在下で熱処理する
方法、第2に焼成により金属酸化物微粒子を製造すると
きに導電性を向上させる為の異種原子を共存させる方
法、第3に焼成により金属微粒子を製造する際に雰囲気
中の酸素濃度を下げて、酸素欠陥を導入する方法等であ
る。異種原子を含む例としてはZnOに対してAl、I
n等、TiO2に対してはNb、Ta等、SnO2に対し
ては、Sb、Nb、ハロゲン元素等が挙げられる。異種
原子の添加量は0.01〜30mol%の範囲が好まし
く、0.1〜10mol%が特に好ましい。導電性粒子
の使用量は0.05g/m2〜20g/m2がよく、0.
1g/m2〜10g/m2が特に好ましい。
A method for producing fine particles of a conductive crystalline metal oxide and a composite oxide thereof is disclosed in JP-A-56-14.
No. 3430, which is briefly described below. First, a method in which metal oxide fine particles are produced by firing and heat treatment is performed in the presence of a heteroatom for improving conductivity, and secondly, firing is performed. Third, a method of coexisting heteroatoms for improving conductivity when producing metal oxide fine particles, and thirdly, introducing oxygen defects by lowering the oxygen concentration in the atmosphere when producing metal fine particles by firing. Method. Examples including heteroatoms include Al, I
For example, Nb and Ta for TiO 2 and Sb, Nb and a halogen element for SnO 2 . The addition amount of the hetero atom is preferably in the range of 0.01 to 30 mol%, particularly preferably 0.1 to 10 mol%. The amount of the conductive particles used is preferably 0.05 g / m 2 to 20 g / m 2 .
1g / m 2 ~10g / m 2 is particularly preferred.

【0020】本発明に係る導電性層には、バインダーと
して、ゼラチン、セルロースナイトレート、セルロース
トリアセテート、セルロースジアセテート、セルロース
アセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオ
ネート等のようなセルロースエステル、塩化ビニリデ
ン、塩化ビニル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビ
ニル、アルキル(アルキル基C1〜C4)アクリレート、
ビニルピロリドン等を含むホモポリマーまたは、共重合
体、可溶性ポリエステル、ポリカーボネート、可溶性ポ
リアミド等を使用することができる。これらのバインダ
ー中への導電性粒子の分散に際しては、チタン系分散剤
或いはシラン系分散剤のような分散液を添加してもよ
い。またバインダー架橋剤等を加えても何らさしつかえ
はない。チタン系分散剤としては、米国特許4,06
9,192号、同4,080,353号等に記載されて
いるチタネート系カップリング剤、及びプレンアクト
(商品名:味の素(株)製)等を挙げる事ができる。シ
ラン系分散剤としては、例えばビニルトリクロルシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メ
トキシエトキシ)シラン、γ−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン等が知られており「シランカップリング
剤」として信越化学(株)等から市販されている。バイ
ンダー架橋剤としては、例えば、エポキシ系架橋剤、イ
ソシアネート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、エポキシ
系架橋剤等を挙げる事ができる。本発明における好まし
い導電性層は、導電性微粒子をバインダーに分散させ支
持体上に設けることにより、または支持体に下引処理を
ほどこし、その上に伝導性微粒子を被着させることによ
り設けることができる。
In the conductive layer according to the present invention, as binders, cellulose esters such as gelatin, cellulose nitrate, cellulose triacetate, cellulose diacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate, vinylidene chloride, chloride Vinyl, styrene, acrylonitrile, vinyl acetate, alkyl (alkyl group C1 -C4) acrylate,
A homopolymer containing vinylpyrrolidone or the like, a copolymer, a soluble polyester, a polycarbonate, a soluble polyamide, or the like can be used. When the conductive particles are dispersed in these binders, a dispersion such as a titanium-based dispersant or a silane-based dispersant may be added. Even if a binder crosslinking agent or the like is added, there is no problem. As a titanium-based dispersant, US Pat.
Titanate-based coupling agents described in JP-A Nos. 9,192 and 4,080,353, and Plenact (trade name, manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) and the like can be mentioned. Known silane-based dispersants include, for example, vinyltrichlorosilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and the like. It is commercially available from Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. as "silane coupling agent". Examples of the binder crosslinking agent include an epoxy-based crosslinking agent, an isocyanate-based crosslinking agent, an aziridine-based crosslinking agent, and an epoxy-based crosslinking agent. The preferred conductive layer in the present invention may be provided by dispersing conductive fine particles in a binder and providing the support on a support, or applying a subbing treatment to the support, and applying the conductive fine particles thereon. it can.

【0021】本発明において導電性層が支持体の感光性
樹脂層とは反対側の面に設けられる場合には、耐傷性を
良好なものとするために、導電性層の上に更に疎水性重
合体層を設ける事が好ましい。この場合、疎水性重合体
層は、有機溶剤に溶解した溶液または水性ラテックスの
状態で塗布すればよく、塗布量は乾燥重量にして0.0
5g/m2〜1g/m2程度がよい。疎水性重合体として
は、セルロースエステル(例えばニトロセルロース、セ
ルロースアセテート)、塩化ビニル、塩化ビニリデン、
ビニルアクリレート等を含むビニル系ポリマーや有機溶
剤可溶性ポリアミド、ポリエステル等のポリマーを挙げ
る事ができる。この層には、すべり性を付与するための
すべり剤、例えば特開昭55−79435号に記載があ
るような有機カルボン酸アミド等を使用しても差しつか
えないし、またマット剤等を加えることも何ら支障はな
い。このような疎水性重合体層を設けても本発明の導電
性層の効果は実質的に影響を受けない。 下塗層を設け
る場合には、特開昭51−135526号、米国特許
3,143,421号、同3,586,508号、同
2,698,235号、同3,567,452号等に記
載されているような塩化ビニリデン系共重合体、特開昭
51−114120号、米国特許3,615,556号
等に記載されているようなブタジエン等のジオレフイン
系共重合体、特開昭51−58469号等に記載されて
いるようなグリシジルアクリレートまたはグリシジルメ
タアクリレート含有共重合体、特開昭48−24923
号等に記載されているようなポリアミド・エピクロルヒ
ドリン樹脂、特開昭50−39536号に記載されてい
るような無水マレイン酸含有共重合体等を用いる事がで
きる。本発明においては、また、特開昭56−8250
4号、特開昭56−143443号、特開昭57−10
4931号、特開昭57−118242号、特開昭58
−62647号、特開昭60−258541号等に示さ
れている導電性層も適宜用いる事ができる。
In the present invention, when the conductive layer is provided on the surface of the support opposite to the photosensitive resin layer, a hydrophobic layer is further formed on the conductive layer in order to improve the scratch resistance. It is preferable to provide a polymer layer. In this case, the hydrophobic polymer layer may be applied in the form of a solution dissolved in an organic solvent or an aqueous latex, and the coating amount is 0.0
5g / m 2 ~1g / m 2 about is good. Examples of the hydrophobic polymer include cellulose esters (eg, nitrocellulose, cellulose acetate), vinyl chloride, vinylidene chloride,
Examples include vinyl-based polymers containing vinyl acrylate and the like, and polymers such as polyamides and polyesters soluble in organic solvents. In this layer, a slipping agent for imparting a sliding property, for example, an organic carboxylic acid amide as described in JP-A-55-79435 may be used, or a matting agent may be added. No problem at all. Even if such a hydrophobic polymer layer is provided, the effect of the conductive layer of the present invention is not substantially affected. When an undercoat layer is provided, JP-A-51-135526, U.S. Pat. Nos. 3,143,421, 3,586,508, 2,698,235, and 3,567,452, etc. Vinylidene chloride-based copolymers such as described in JP-A-51-114120, butadiene-based copolymers such as butadiene as described in U.S. Pat. Glycidyl acrylate or glycidyl methacrylate-containing copolymers described in JP-A-51-58469 and the like;
Polyamide / epichlorohydrin resin as described in JP-A No. 50-39536 and a maleic anhydride-containing copolymer as described in JP-A-50-39536 can be used. In the present invention, the method disclosed in JP-A-56-8250
4, JP-A-56-143443, JP-A-57-10
No. 4931, JP-A-57-118242, JP-A-58
The conductive layers described in JP-A-62647 and JP-A-60-258541 can also be used as appropriate.

【0022】導電性層を、仮支持体フィルムと同一また
は異なったプラスチック原料に含有せしめ、仮支持体用
フィルムを押し出す際に同時に共押し出しした場合に
は、接着性、耐傷性に優れた導電性層を容易に得る事が
できるので、この場合には前記の疎水性重合体層や下塗
層を設ける必要がなく、本発明における導電性層の特に
好ましい実施態様である。導電性層を塗布する場合に
は、ローラーコート、エアナイフコート、グラビアコー
ト、バーコート、カーテンコート等、通常の方法が採用
できる。本発明の画像形成材料を使用して帯電による静
電ショックを防止するためには、導電性層または導電性
を付与した支持体の表面電気抵抗値を1013Ω以下とす
る事が必要であり、特に1012Ω以下とする事が好まし
い。
When the conductive layer is contained in the same or different plastic raw material as the temporary support film and is simultaneously co-extruded when the temporary support film is extruded, the conductive layer has excellent adhesion and scratch resistance. Since the layer can be easily obtained, in this case, it is not necessary to provide the hydrophobic polymer layer or the undercoat layer, which is a particularly preferred embodiment of the conductive layer in the present invention. When applying the conductive layer, a usual method such as a roller coat, an air knife coat, a gravure coat, a bar coat, a curtain coat and the like can be adopted. In order to prevent electrostatic shock due to charging using the image forming material of the present invention, the surface electric resistance of the conductive layer or the support provided with conductivity needs to be 10 13 Ω or less. In particular, it is preferable to set it to 10 12 Ω or less.

【0023】滑り性を良化するため、または該感光性樹
脂層の仮支持体裏面との不都合な接着を防止するため、
仮支持体の裏面に公知の微粒子含有滑り性組成物や、シ
リコーン化合物を含有する離型剤組成物、等を塗布する
ことも有用である。
In order to improve the slipperiness or to prevent inadvertent adhesion of the photosensitive resin layer to the back surface of the temporary support,
It is also useful to apply a known fine particle-containing slipping composition, a release agent composition containing a silicone compound, or the like to the back surface of the temporary support.

【0024】支持体の、熱可塑性樹脂層を設けない側の
面に導電性層を設ける場合には、該熱可塑性樹脂層と支
持体の接着力を上げるため、支持体に、例えばグロー放
電処理、コロナ処理、紫外線照射処理などの表面処理、
フェノール性物質、ポリ塩化ビニリデン樹脂、スチレン
ブタジエンゴム、ゼラチン等の下塗り処理、さらにこれ
らの処理を組み合わせた処理を行うことができる。熱可
塑性樹脂がアルカリ可溶性である場合には、これらの中
で、コロナ処理後にゼラチンを下塗りしたポリエチレン
テレフタレートフィルムが特に優れた密着を与えるので
好ましい。その場合のゼラチン層の好ましい厚みは0.
01μm〜2μmである。
In the case where a conductive layer is provided on the surface of the support on which the thermoplastic resin layer is not provided, in order to increase the adhesive force between the thermoplastic resin layer and the support, for example, a glow discharge treatment is applied to the support. Surface treatment such as corona treatment, ultraviolet irradiation treatment,
An undercoating treatment of a phenolic substance, polyvinylidene chloride resin, styrene-butadiene rubber, gelatin or the like, and a treatment combining these treatments can be performed. In the case where the thermoplastic resin is alkali-soluble, among these, a polyethylene terephthalate film subbed with gelatin after corona treatment is particularly preferred because it gives particularly excellent adhesion. In that case, the preferred thickness of the gelatin layer is 0.1.
It is from 01 μm to 2 μm.

【0025】次ぎに、本発明の感光性転写材料を用いた
画像形成方法について説明する。先ず、感光性転写材料
の被覆シートを取除き、感光性樹脂層を加圧、加温下で
基体上に貼り合わせる。貼り合わせには、従来公知のラ
ミネーター、真空ラミネーターが使用でき、より生産性
を高めるためには、オートカツトラミネーターの使用も
可能である。その後仮支持体を剥がした後で、所定のマ
スク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介して露光し、次
いで現像する。現像は公知の方法で溶剤もしくは水性の
現像液、特にアルカリ水溶液に浸漬するか、スプレーか
らの現像液の噴霧を与えること、さらにブラシでのこす
りまたは超音波を照射しつつ処理することで行なわれ
る。異なる色に着色した感光性樹脂層を有する感光性転
写材料を用い、この工程を複数回繰り返せば多色画像を
形成することができる。
Next, an image forming method using the photosensitive transfer material of the present invention will be described. First, the cover sheet of the photosensitive transfer material is removed, and the photosensitive resin layer is bonded to the substrate under pressure and heat. Conventionally known laminators and vacuum laminators can be used for lamination, and an auto-cut laminator can be used to further increase the productivity. Thereafter, after the temporary support is peeled off, exposure is performed through a predetermined mask, a thermoplastic resin layer, and an intermediate layer, and then development is performed. The development is carried out by immersing in a solvent or an aqueous developer, particularly an alkaline aqueous solution, or applying a spray of the developer from a spray, and further rubbing with a brush or irradiating with an ultrasonic wave by a known method. . By using a photosensitive transfer material having a photosensitive resin layer colored in different colors and repeating this process a plurality of times, a multicolor image can be formed.

【0026】本発明の感光性転写材料の主な用途はプリ
ント配線基板の作成の他、多色画像、特に液晶デイスプ
レー用等のカラーフィルター作成やカラーフィルターの
保護層作成に都合が良い。プリント配線基板の作成に
は、基体として公知の銅張り積層板が用いられ、カラー
フィルターの作成のためには、基体としては、公知のガ
ラス板、表面に酸化珪素皮膜を形成したソーダガラス板
などが用いられる。以下、本発明を実施例を用いて更に
詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定される
ものではない。
The main use of the photosensitive transfer material of the present invention is not only for the production of a printed wiring board but also for the production of a color filter for a multicolor image, especially for a liquid crystal display, and the production of a protective layer for a color filter. For the production of a printed wiring board, a known copper-clad laminate is used as a substrate, and for the production of a color filter, a known glass plate, a soda glass plate having a silicon oxide film formed on its surface, etc. Is used. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

【0027】[0027]

【実施例】【Example】

実施例1 厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム
仮支持体の上に下記の処方H1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設け
た。
Example 1 A coating solution having the following formulation H1 was applied on a polyethylene terephthalate film temporary support having a thickness of 100 μm.
After drying, a thermoplastic resin layer having a dry film thickness of 20 μm was provided.

【0028】 熱可塑性樹脂層処方H1: メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =55/28.8/11.7/4.5、重量平均分子量=90000) 15重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 テトレエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 ベンゾフェノン 1.0重量部 メチルエチルケトン 30重量部Thermoplastic resin layer formulation H1: methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymer composition ratio (molar ratio) = 55 / 28.8 / 11.7 / 4.5; Weight average molecular weight = 90000) 15 parts by weight Polypropylene glycol diacrylate (average molecular weight = 822) 6.5 parts by weight Tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts by weight p-toluenesulfonamide 0.5 parts by weight Benzophenone 1.0 parts by weight 30 parts by weight of methyl ethyl ketone

【0029】次に上記熱可塑性樹脂層上に下記処方B1
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が1.6μ
m厚の中間層を設けた。 中間層処方B1: ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 130重量部 ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製PVP、K−90) 60重量部 弗素系界面活性剤(旭硝子(株)社製サーフロンS−131) 10重量部 蒸留水 3350重量部
Next, the following formulation B1 was placed on the thermoplastic resin layer.
And dried to a dry film thickness of 1.6 μm.
An intermediate layer having a thickness of m was provided. Intermediate layer formulation B1: Polyvinyl alcohol (PVA205 manufactured by Kuraray Co., saponification rate = 80%) 130 parts by weight Polyvinylpyrrolidone (PVP, K-90 manufactured by GAF Corporation) 60 parts by weight Fluorinated surfactant (Asahi Glass Co., Ltd.) 10 parts by weight of distilled water 3350 parts by weight

【0030】上記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する4
枚の仮支持体の上に、それぞれ表1の処方を有する、黒
色(Bl層用)、赤色(R層用)、緑色(G層用)及び
青色(B層用)の4色の感光性溶液を塗布、乾燥させ、
乾燥膜厚が2μmの着色感光性樹脂層を形成した。
4 having the above-mentioned thermoplastic resin layer and intermediate layer
Photosensitivity of four colors of black (for the B1 layer), red (for the R layer), green (for the G layer) and blue (for the B layer), each having the formulation shown in Table 1, on one temporary support Apply and dry the solution,
A colored photosensitive resin layer having a dry film thickness of 2 μm was formed.

【0031】[0031]

【表1】 [Table 1]

【0032】さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピ
レン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、赤色、青
色、緑色および黒色感光性転写材料を作成した。
Further, a cover sheet of polypropylene (thickness: 12 μm) was pressed on the photosensitive resin layer to prepare red, blue, green and black photosensitive transfer materials.

【0033】この感光性転写材料を用いて、以下の方法
でカラーフィルターを作成した。赤色感光性転写材料の
被覆シートを剥離し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板
(厚さ1.1mm)にラミネーター(大成ラミネータ
(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8kg/cm
2)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続い て仮支持
体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去
した。次に所定のフォトマスクを介して露光し、1%炭
酸ナトリウム水溶液で現像して不要部を除去し、ガラス
基板上に赤色画素パターンを形成した。次いで、赤色画
素パターンが形成されたガラス基板上に、緑色感光性転
写材料を上記と同様にして貼り合わせ、剥離、露光、現
像を行ない、緑色画素パターンを形成した。同様な工程
を青色、黒色感光性転写材料で繰り返し、透明ガラス基
板上にカラーフィルターを形成した。これらの工程にお
いて、仮支持体は熱可塑性樹脂層からの申し分の無い剥
離性を示し、得られたカラーフィルターは画素の欠落が
なく、下地との密着性が良好で、更に汚れも無かった。
Using this photosensitive transfer material, a color filter was prepared by the following method. The coating sheet of the red photosensitive transfer material was peeled off, and the photosensitive resin layer surface was pressed on a transparent glass substrate (thickness: 1.1 mm) using a laminator (VP-II manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.) (0.8 kg / cm
2 ), bonding was performed by heating (130 ° C.), and then peeled off at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer, and the temporary support was removed. Next, exposure was performed through a predetermined photomask, and development was performed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate to remove unnecessary portions, thereby forming a red pixel pattern on a glass substrate. Next, a green photosensitive transfer material was adhered to the glass substrate on which the red pixel pattern was formed in the same manner as described above, and peeling, exposing, and developing were performed to form a green pixel pattern. A similar process was repeated with a blue and black photosensitive transfer material to form a color filter on a transparent glass substrate. In these steps, the temporary support showed satisfactory releasability from the thermoplastic resin layer, and the obtained color filter had no missing pixels, had good adhesion to the base, and had no stain.

【0034】実施例2 実施例1と同じ方法により、赤色、青色、緑色および黒
色感光性転写材料を作成した。この感光性材料を用い
て、実施例1と同じ方法でガラス基板(厚さ1.1m
m)に該赤色の感光性材料を貼り合わせ、続いて仮支持
体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去
した。次に所定のフォトマスクを介して露光後、1%ト
リエタノールアミン水溶液に浸漬し、浸漬したままスポ
ンジで軽く擦ることにより熱可塑性樹脂層および中間層
を剥離除去した。さらに1%炭酸ナトリウム水溶液で感
光性樹脂層を現像して不要部を除去し、ガラス基板上に
赤色画素パターンを形成した。同様な工程を緑色、青
色、黒色感光性転写材料で繰り返し、透明ガラス基板上
にカラーフィルターを形成した。得られたカラーフィル
ターは画素の欠落や色むらがなく、下地との密着性が良
好で、更に汚れも無かった。
Example 2 In the same manner as in Example 1, red, blue, green and black photosensitive transfer materials were prepared. Using this photosensitive material, a glass substrate (thickness: 1.1 m) was formed in the same manner as in Example 1.
In m), the red photosensitive material was bonded, and then peeled off at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer to remove the temporary support. Next, after exposure through a predetermined photomask, the film was immersed in a 1% aqueous solution of triethanolamine, and the thermoplastic resin layer and the intermediate layer were peeled off by rubbing lightly with a sponge while immersing. Further, the photosensitive resin layer was developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate to remove unnecessary portions, thereby forming a red pixel pattern on a glass substrate. A similar process was repeated with green, blue and black photosensitive transfer materials to form a color filter on a transparent glass substrate. The obtained color filter was free from missing pixels and uneven colors, had good adhesion to the base, and was free of stains.

【0035】比較例1 100μm厚PETの上に実施例1で示した熱可塑性樹
脂層を設けずにポリエチレンテレフタレートフィルム上
に実施例1の中間層と感光性樹脂層をこの順で設けた赤
色、緑色、青色および黒色感光性転写材料を作成した。
実施例1と同様に各色感光性転写材料を貼り合わせ、露
光、現像を繰り返し、透明ガラス基板上にカラーフィル
ターを作成した。この場合、2色目以降の貼り合わせ時
に気泡が残り、画素の欠落が認められ、また画素中に気
泡が残っているものが存在するので下地との密着も悪か
った。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 The intermediate layer and the photosensitive resin layer of Example 1 were provided in this order on a polyethylene terephthalate film without providing the thermoplastic resin layer shown in Example 1 on 100 μm thick PET. Green, blue and black photosensitive transfer materials were prepared.
In the same manner as in Example 1, the photosensitive transfer materials of the respective colors were bonded together, and exposure and development were repeated to form a color filter on a transparent glass substrate. In this case, air bubbles remained when the second and subsequent colors were bonded, and missing pixels were observed. In addition, some air bubbles remained in the pixels, so that adhesion to the base was poor.

【0036】実施例3 20μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上
に、実施例1と同じ処方の熱可塑性樹脂層を同様にして
10μmの乾燥厚みで塗布した。この上に実施例1の中
間層を同様にして、1.5μmの厚みで設けた。この中
間層の上に、下記の感光性樹脂層塗液を塗布し、乾燥し
20μm厚のフォトレジスト層を形成した。
Example 3 A 20 μm thick polyethylene terephthalate film was coated with a thermoplastic resin layer having the same formulation as in Example 1 to a dry thickness of 10 μm in the same manner. On this, the intermediate layer of Example 1 was similarly provided with a thickness of 1.5 μm. On the intermediate layer, the following photosensitive resin layer coating solution was applied and dried to form a 20 μm-thick photoresist layer.

【0037】 感光性樹脂層塗液処方: メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリ レート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/28. 8/11.7/4.5、重量平均分子量=90000) 15重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 テトレエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 1,4−ビス(N,N−ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 0.04重量部 ベンゾフェノン 1.0重量部 マラカイトグリーン蓚酸塩 0.02重量部 3−モルホリノメチル−1−フェニルトリアゾール−2−チオン 0.01重量部 ロイコクリスタルバイオレット 0.2重量部 トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1重量部 メチルエチルケトン 30重量部Formulation of coating solution for photosensitive resin layer: Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymer composition ratio (molar ratio) = 55 / 28.8 / 11.7 / 4. 5, weight average molecular weight = 90000) 15 parts by weight Polypropylene glycol diacrylate (average molecular weight = 822) 6.5 parts by weight Tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts by weight p-toluenesulfonamide 0.5 parts by weight 1,4- Bis (N, N-diethylamino) benzophenone 0.04 parts by weight Benzophenone 1.0 parts by weight Malachite green oxalate 0.02 parts by weight 3-morpholinomethyl-1-phenyltriazole-2-thione 0.01 parts by weight Leuco crystal violet 0.2 parts by weight tribromomethyl Phenyl sulfone 0.1 parts by weight methyl ethyl ketone 30 parts by weight

【0038】最後に該フォトレジスト層上に20μm厚
のポリエチレンフィルム材料を積層し、ドライフィルム
フォトレジストを作成した。銅表面を整面した銅張り積
層板上に、該ドライフィルフォトレジスト材料のポリエ
チレンフィルムを剥離した後で、ヒートロールラミネー
ターを用いて、該フォトレジスト層を密着しつつ、気泡
の入らないようにラミネートした。表面のポリエチレン
テレフタレートフィルムを剥離し、除去した後で(ポリ
エチレンテレフタレートフイルムの剥離性は良好であっ
た)、オーク社製、プリンターを用い、所望のプリント
基板の回路パターンを有する、フォトマスクを介して、
紫外線露光した後で、1%炭酸ナトリウム水溶液のスプ
レーを用いて、現像し、銅張り積層板上に配線パターン
を有するエッチングレジストを形成した。きわめて高解
像力で、剥がれなどの欠陥のない配線パターンのレジス
ト像が得られた。塩化第二銅エッチャントをスプレーす
ることにより、該エッチングレジストにより覆われてい
ない、銅部分を溶解した後で、残留するエッチングレジ
ストのみを、2%水酸化ナトリウム水溶液のスプレーに
より除去した。こうしてガラスエポキシ樹脂板上に高解
像力で高精度の銅のプリント配線が形成された。
Finally, a polyethylene film material having a thickness of 20 μm was laminated on the photoresist layer to prepare a dry film photoresist. After peeling off the polyethylene film of the dry-fill photoresist material on the copper-clad laminate having the copper surface adjusted, using a heat roll laminator, the photoresist layer is adhered to prevent bubbles from entering. Laminated. After peeling and removing the polyethylene terephthalate film on the surface (the peelability of the polyethylene terephthalate film was good), using a printer manufactured by Oak Co., Ltd., through a photomask having a desired printed circuit board circuit pattern ,
After being exposed to ultraviolet light, development was performed using a spray of a 1% aqueous sodium carbonate solution to form an etching resist having a wiring pattern on the copper-clad laminate. A resist image of a wiring pattern having extremely high resolution and having no defects such as peeling was obtained. After dissolving the copper portion not covered by the etching resist by spraying a cupric chloride etchant, only the remaining etching resist was removed by spraying a 2% aqueous sodium hydroxide solution. Thus, a high-resolution and high-precision copper printed wiring was formed on the glass epoxy resin plate.

【0039】比較例2 実施例2と同様にし、但し今回は熱可塑性樹脂層を設け
ない感光性転写材料を作成した。この感光性転写材料を
用いて、実施例2と同様に整面した銅張り積層板上に、
レジストパターンを形成したところ、パターン画像は得
られたが、画像の基板への密着不良が多く、実用性の無
いものであった。
Comparative Example 2 A photosensitive transfer material was prepared in the same manner as in Example 2 except that no thermoplastic resin layer was provided this time. Using this photosensitive transfer material, on a copper-clad laminate having the same surface as in Example 2,
When a resist pattern was formed, a pattern image was obtained, but there were many poor adhesions of the image to the substrate, and it was not practical.

【0040】実施例4 実施例1に記載の処方H1よりなる、厚さ15μmの熱
可塑性樹脂層を用いた以外は実施例1と同じ方法で多色
画像を形成したが、その際の各色の転写時における気泡
のこりは全く認められず、いずれの画像形状にも欠陥が
なく、またピンホールも認められない多色画像がガラス
板上に得られた。
Example 4 A multicolor image was formed in the same manner as in Example 1 except that a thermoplastic resin layer having a thickness of 15 μm and having the formulation H1 described in Example 1 was used. A bubble was not observed at the time of transfer at all, and there was no defect in any of the image shapes, and a multicolor image without pinholes was obtained on the glass plate.

【0041】実施例5 20μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上
に、実施例1の熱可塑性樹脂層を同様にして10μmの
乾燥厚みで塗布した。この上に実施例1の中間層を同様
にして、1.5μmの厚みで設けた。この中間層の上
に、下記の感光性樹脂層塗液を塗布し、乾燥し10μm
厚のフォトレジスト層を形成した。 メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリ レート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/28. 8/11.7/4.5、重量平均分子量=90000) 15重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 テトレエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 1,4−ビス(N,N−ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 0.04重量部 ベンゾフェノン 1.0重量部 マラカイトグリーン蓚酸塩 0.02重量部 3−モルホリノメチル−1−フェニルトリアゾール−2−チオン 0.01重量部 ロイコクリスタルバイオレット 0.2重量部 トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1重量部 メチルエチルケトン 30重量部 最後に該フォトレジスト層上に20μm厚のポリエチレ
ンフィルム材料を積層し、ドライフィルムフォトレジス
トを作成した。該ドライフィルフォトレジスト材料のポ
リエチレンフィルムを剥離した後、銅表面を整面した銅
張り積層板上に、該フォトレジスト層を密着しつつ、ヒ
ートロールラミネーターを用いて、気泡の入らないよう
にラミネートした。表面のポリエチレンテレフタレート
フィルムを剥離し、除去した後で(ポリエチレンテレフ
タレートフィルムの剥離性は良好であった)、オーク社
製、プリンターを用い、所望のプリント基板の回路パタ
ーンを有するフォトマスクを介して紫外線露光した後
で、1%炭酸ナトリウム水溶液のスプレーを用いて現像
し、銅張り積層板上に配線パターンを有するレジストを
形成した。このとき、基板の周囲に熱可塑性樹脂層の滲
み出しによる残留は観察されなかった。そしてきわめて
高解像力で、剥がれなどの欠陥のない配線パターンのレ
ジスト像が得られた。塩化第二銅エッチャントをスプレ
ーすることにより、該レジストにより覆われていない銅
部分を溶解した後で、残留するレジストのみを、2%水
酸化ナトリウム水溶液のスプレーにより除去した。こう
してガラスエポキシ樹脂板上に高解像力で高精度の銅の
プリント配線が形成された。
Example 5 The thermoplastic resin layer of Example 1 was applied to a 20 μm thick polyethylene terephthalate film in a dry thickness of 10 μm in the same manner. On this, the intermediate layer of Example 1 was similarly provided with a thickness of 1.5 μm. On the intermediate layer, the following photosensitive resin layer coating solution is applied, dried, and
A thick photoresist layer was formed. Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymer composition ratio (molar ratio) = 55 / 28.8 / 11.7 / 4.5, weight average molecular weight = 90000) 15 parts by weight Polypropylene glycol diacrylate (average molecular weight = 822) 6.5 parts by weight Tetraethylene glycol dimethacrylate 1.5 parts by weight p-toluenesulfonamide 0.5 parts by weight 1,4-bis (N, N-diethylamino) benzophenone 0. 04 parts by weight Benzophenone 1.0 parts by weight Malachite green oxalate 0.02 parts by weight 3-morpholinomethyl-1-phenyltriazole-2-thione 0.01 parts by weight Leuco crystal violet 0.2 parts by weight Tribromomethylphenylsulfone 0 .1 parts by weight methyl e Tilketone 30 parts by weight Finally, a 20 μm-thick polyethylene film material was laminated on the photoresist layer to prepare a dry film photoresist. After peeling off the polyethylene film of the dry-fill photoresist material, the photoresist layer is adhered onto a copper-clad laminate having a copper-surfaced surface, and laminated using a heat roll laminator to prevent bubbles from entering. did. After the polyethylene terephthalate film on the surface is peeled off and removed (the peelability of the polyethylene terephthalate film was good), ultraviolet light was passed through a photomask having a circuit pattern of a desired printed circuit board using a printer manufactured by Oak Corporation. After the exposure, the resist was developed using a 1% aqueous solution of sodium carbonate to form a resist having a wiring pattern on the copper-clad laminate. At this time, no residue due to seepage of the thermoplastic resin layer was observed around the substrate. Then, a resist image of a wiring pattern having extremely high resolution and having no defect such as peeling was obtained. After dissolving the copper portion not covered by the resist by spraying a cupric chloride etchant, only the remaining resist was removed by spraying a 2% aqueous sodium hydroxide solution. Thus, a high-resolution and high-precision copper printed wiring was formed on the glass epoxy resin plate.

【0042】比較例3 実施例1に記載の処方に代え次のような処方の熱可塑性
樹脂組成物を用いた。 ダイヤナールBR85(三菱レイヨン(株)製アクリル樹脂、重量平均分子量 =250000) 1.8重量部 ダイヤナールBR77(三菱レイヨン(株)製アクリル樹脂、重量平均分子量 =80000 1.2重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート 1.22重量部 テトラエチレングリコールジアクリレート 0.5重量部 p−トルエンスルホンアミド 0.32重量部 ベンゾフェノン 0.008重量部 メチルエチルケトン 12.6重量部 以下、実施例1と同じ方法で多色画像を形成したが、こ
の場合転写時に熱可塑性樹脂層が染みだしてラミネータ
ーのロールを汚し、その後の転写工程でガラス基板を汚
す故障が発生した。この処方の熱可塑性樹脂層はアルカ
リ可溶性ではないので、アルカリ水溶液で現像除去する
ことはできなかった。
Comparative Example 3 In place of the formulation described in Example 1, a thermoplastic resin composition having the following formulation was used. Diamond BR85 (Acrylic resin manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., weight average molecular weight = 250,000) 1.8 parts by weight Diamond BR BR (Acrylic resin manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., weight average molecular weight = 80000 1.2 parts by weight Trimethylolpropane 1.22 parts by weight of triacrylate 0.5 parts by weight of tetraethylene glycol diacrylate 0.32 parts by weight of p-toluenesulfonamide 0.008 parts by weight of benzophenone 12.6 parts by weight of methyl ethyl ketone An image was formed, but in this case, the thermoplastic resin layer permeated during transfer, soiling the laminator roll and causing a failure to stain the glass substrate in the subsequent transfer process.The thermoplastic resin layer of this formulation is not alkali-soluble So it can not be removed by development with alkaline aqueous solution Did not.

【0043】比較例4 実施例3と同様にし、但し今回は比較例3の熱可塑性樹
脂層を設けた感光性転写材料を作成した。この感光性転
写材料を用いて、実施例3と同様に整面した銅張り積層
板上に、レジストパターンを形成したところ、ファイン
な画像が得られたが、画像部の周囲に熱可塑性樹脂層の
滲み出しに基づく残留物があった。エッチングしたとこ
ろ、この残留物の下部の銅はエッチングされずに残って
しまった。
Comparative Example 4 A photosensitive transfer material provided with the thermoplastic resin layer of Comparative Example 3 was prepared in the same manner as in Example 3. Using this photosensitive transfer material, a resist pattern was formed on a copper-clad laminate having the same surface as in Example 3, and a fine image was obtained. However, a thermoplastic resin layer was formed around the image area. There was a residue due to bleeding. Upon etching, the copper under the residue remained unetched.

【0044】比較例5 実施例1と同様にし、ただし今回は中間層として、ポリ
ビニルピロリドンを含有しない下記処方を用いて作製し
た。 ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 190重量部 弗素系界面活性剤(旭硝子(株)社製サーフロンS−131) 10重量部 蒸留水 3350重量部 こうして赤色、青色、緑色および黒色感光性転写材料を
作成した。赤色感光性転写材料のカバーフィルムを剥離
し、感光性樹脂層面を透明ガラス基板(厚さ1.1ミ
リ)にラミネーター(大成ラミネータ(株)製VP−I
I)を用いて加圧(0.8kg/cm2)、加熱(13
0℃)して貼り合わせ、続いて、仮支持体除去するた
め、仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離ししよう
としたが、この層間では剥すことができず、一部が赤色
感光性樹脂層と中間層の間で剥がれてしまった。この透
明ガラス基板上の中間層が欠落した部分では赤色感光性
樹脂層は酸素の影響を受けてしまい、感度が著しく低下
した。
Comparative Example 5 The procedure of Example 1 was repeated except that the intermediate layer was prepared using the following formulation containing no polyvinylpyrrolidone. Polyvinyl alcohol (PVA205 manufactured by Kuraray Co., Ltd., saponification rate = 80%) 190 parts by weight Fluorine-based surfactant (Surflon S-131 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) 10 parts by weight Distilled water 3350 parts by weight Red, blue and green And a black photosensitive transfer material. The cover film of the red photosensitive transfer material is peeled off, and the photosensitive resin layer surface is laminated on a transparent glass substrate (thickness: 1.1 mm) with a laminator (VP-I manufactured by Taisei Laminator Co., Ltd.).
I) using pressure (0.8 kg / cm2) and heating (13
(0 ° C.) and bonding, and then, in order to remove the temporary support, an attempt was made to peel off at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer. Peeling occurred between the photosensitive resin layer and the intermediate layer. In the portion of the transparent glass substrate where the intermediate layer was missing, the red photosensitive resin layer was affected by oxygen, and the sensitivity was significantly reduced.

【0045】実施例6〜10 以下の方法により、100μ厚ポリエチレンテレフタレ
ートフィルムの片面に表面抵抗の異なる導電性層を設け
た試料(a)〜(f)を作成した。
Examples 6 to 10 Samples (a) to (f) in which conductive layers having different surface resistances were provided on one side of a 100 μm thick polyethylene terephthalate film were prepared by the following methods.

【0046】試料(a)の作製 塩化第二錫水和物65重量部と三塩化アンチモン1.5
重量部をエタノール1000重量部に溶解して均一溶液
を得た。この溶液に1Nの水酸化ナトリウム水溶液を前
記溶液のpHが3になるまで滴下してコロイド状酸化第
二錫と酸化アンチモンの共沈澱を50゜Cに24時間放
置し赤褐色のコロイド状沈澱を得た。この沈澱を遠心分
離により分離した。過剰なイオンを除くため沈澱に水を
加え遠心分離によって水洗した。この操作を3回繰り返
し過剰イオンを除去した。この沈澱100重量部を水
1,000重量部に混合し、650゜Cに加熱した焼成
炉中へ噴霧し平均粒子径=0.15μmの青味がかった
導電性微粒子を得た。上記導電性微粒子を下記処方で、
ペイントシェーカー((株)東洋精材製作所製)で5時
間分散した。 上記導電性微粒子 200重量部 サランF−310(塩化ビニリデン系共重合体、旭ダウ(株)製商品名) 10重量部 メチルエチルケトン 150重量部 この分散液を用い次の処方の塗布液を調製し、厚みが1
00μmのポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥
塗布量が1.3g/m2になるように塗布し、130゜
Cで2分間乾燥した。 上記分散液 15重量部 サランF−310 3重量部 メチルエチルケトン 100重量部 シクロヘキサノン 20重量部 m−クレゾール 5重量部 更にこの層の上に次の処方の液を乾燥塗布量が0.2g
/m2になるように塗布し、130゜Cで1分間乾燥し
た。 セルローズトリアセテート 1重量部 メチレンジクロリド 60重量部 エチレンジクロリド 40重量部 エルカ酸アミド 0.01重量部 この試料(a)の表面電気抵抗値を絶縁抵抗測定器(川
口電極社製VE−30型)で測定したところ25゜C、
25%RHで7×108Ωであった。
Preparation of Sample (a) 65 parts by weight of stannic chloride hydrate and 1.5 parts of antimony trichloride
Parts by weight were dissolved in 1000 parts by weight of ethanol to obtain a homogeneous solution. A 1N aqueous solution of sodium hydroxide was added dropwise to the solution until the pH of the solution became 3, and the coprecipitate of colloidal stannic oxide and antimony oxide was left at 50 ° C. for 24 hours to obtain a red-brown colloidal precipitate. Was. This precipitate was separated by centrifugation. Water was added to the precipitate to remove excess ions, and the precipitate was washed with water by centrifugation. This operation was repeated three times to remove excess ions. 100 parts by weight of the precipitate was mixed with 1,000 parts by weight of water and sprayed into a firing furnace heated to 650 ° C. to obtain bluish conductive fine particles having an average particle diameter of 0.15 μm. The conductive fine particles in the following formulation,
The mixture was dispersed for 5 hours using a paint shaker (manufactured by Toyo Seiki Seisaku-sho, Ltd.). 200 parts by weight of the conductive fine particles Saran F-310 (vinylidene chloride-based copolymer, trade name of Asahi Dow Co., Ltd.) 10 parts by weight Methyl ethyl ketone 150 parts by weight Using this dispersion, a coating liquid having the following formulation was prepared. Thickness 1
It was coated on a 00 μm polyethylene terephthalate film so that the dry coating amount was 1.3 g / m 2, and dried at 130 ° C. for 2 minutes. 15 parts by weight of the above-mentioned dispersion liquid 3 parts by weight of Saran F-310 100 parts by weight of methyl ethyl ketone 20 parts by weight of cyclohexanone 5 parts by weight of m-cresol Further, a liquid of the following formulation is applied on this layer by a dry coating amount of 0.2 g.
/ M 2 and dried at 130 ° C for 1 minute. Cellulose triacetate 1 part by weight Methylene dichloride 60 parts by weight Ethylene dichloride 40 parts by weight Erucamide 0.01 part by weight The surface electric resistance value of this sample (a) was measured with an insulation resistance measuring instrument (VE-30 type manufactured by Kawaguchi Electrode Co., Ltd.). After that, 25 ゜ C,
7 × 10 8 Ω at 25% RH.

【0047】試料(b)〜(f)の作成 上記導電性微粒子の添加量を変えて、試料(b)〜
(f)を作成した。それぞれの電気抵抗値は表2の通り
であった。
Preparation of Samples (b) to (f) Samples (b) to (f) were prepared by changing the amount of the conductive fine particles.
(F) was created. The respective electric resistance values are as shown in Table 2.

【0048】 表2 試料(b) 1010Ω 試料(c) 1011Ω 試料(d) 1012Ω 試料(e) 1013Ω 試料(f) 109 ΩTable 2 Sample (b) 10 10 Ω Sample (c) 10 11 Ω Sample (d) 10 12 Ω Sample (e) 10 13 Ω Sample (f) 10 9 Ω

【0049】仮支持体として上記の試料(a)〜(f)
のフィルムを用い、導電性層とは反対側の面に、実施例
4と同じ熱可塑性樹脂層、中間層、および感光性樹脂層
を設けた。さらに上記感光性樹脂層の上にポリプロピレ
ン(厚さ12μm)のカバーフィルムを圧着し、赤色、
青色、緑色および黒色感光性転写材料を作成した。上記
の様に作成した感光性転写材料を用いて、実施例1と同
様にしてカラーフィルターを作成した。得られたカラー
フィルターは画素の欠落もなく、下地との密着性も良好
であった。さらに、仮支持体剥離時に静電ショックも感
じなかった。
The above samples (a) to (f) were used as temporary supports.
And the same thermoplastic resin layer, intermediate layer, and photosensitive resin layer as in Example 4 were provided on the surface opposite to the conductive layer. Further, a cover film of polypropylene (thickness: 12 μm) is pressed on the photosensitive resin layer,
Blue, green and black photosensitive transfer materials were prepared. Using the photosensitive transfer material prepared as described above, a color filter was prepared in the same manner as in Example 1. The obtained color filter had no missing pixels and had good adhesion to the base. Furthermore, no electrostatic shock was felt when the temporary support was peeled off.

【0050】比較例6 何の処理もしていない100μm厚のポリエチレンテレ
フタレートフィルムを用いた他は実施例6と同様にし
て、感光転写材料を作製した。この感光性転写材料を用
いて、実施例1と同じ方法でカラーフィルターを作製す
るに当たり、仮支持体を剥離する際に強い電撃ショック
を感じた。また得られたカラーフィルターはゴミの付着
に基づく画素中のピンホールがあった。
Comparative Example 6 A photosensitive transfer material was produced in the same manner as in Example 6, except that a 100 μm-thick polyethylene terephthalate film without any treatment was used. When a color filter was produced using this photosensitive transfer material in the same manner as in Example 1, a strong shock was felt when the temporary support was peeled off. Further, the obtained color filter had a pinhole in the pixel due to the adhesion of dust.

【0051】比較例7 既述の通り、表面電気抵抗が1014Ωとなるように導電
性粒子の添加量を減らしたことの他は、試料(a)と同
様にして試料(f)を作製し、これを用いて実施例6と
同様にして感光性転写材料を作製した。この感光性転写
材料を用いて、実施例1と同様にカラーフィルターを作
製するに当たり、仮支持体と熱可塑性樹脂層を剥離する
際に強い電撃ショックを感じた。また得られたカラーフ
ィルターはゴミの付着に基づく画素中のピンホールがあ
った。
Comparative Example 7 As described above, a sample (f) was prepared in the same manner as the sample (a) except that the amount of the conductive particles added was reduced so that the surface electric resistance was 10 14 Ω. Using this, a photosensitive transfer material was prepared in the same manner as in Example 6. When a color filter was produced using this photosensitive transfer material in the same manner as in Example 1, a strong shock was felt when the temporary support and the thermoplastic resin layer were peeled off. Further, the obtained color filter had a pinhole in the pixel due to the adhesion of dust.

【0052】比較例8 100μm厚PETの上に実施例1で示した熱可塑性樹
脂層を5μm膜厚で設け、さらに実施例1の中間層と感
光性樹脂層をこの順で設けた赤色、緑色、青色および黒
色感光性転写材料を作成した。実施例1と同様に各色感
光性転写材料を貼り合わせ、露光、現像を繰り返し、透
明ガラス基板上にカラーフィルターを作成した。この場
合、2色目以降の貼り合わせ時に気泡が残り、画素の欠
落が認められ、また画素中に気泡が残っているものが存
在するので下地との密着も悪かった。
Comparative Example 8 The thermoplastic resin layer shown in Example 1 was provided in a thickness of 5 μm on PET having a thickness of 100 μm, and the intermediate layer and the photosensitive resin layer of Example 1 were further provided in this order. , Blue and black photosensitive transfer materials were prepared. In the same manner as in Example 1, the photosensitive transfer materials of the respective colors were bonded together, and exposure and development were repeated to form a color filter on a transparent glass substrate. In this case, air bubbles remained when the second and subsequent colors were bonded, and missing pixels were observed. In addition, some air bubbles remained in the pixels, so that adhesion to the base was poor.

【0053】比較例9 熱可塑性樹脂層の厚みが5μmである以外は実施例2と
同様にして感光性転写材料を作成した。この感材を用い
て実施例2と同様な方法で整面した銅張り積層板上にレ
ジストパターンを形成したところ、パターン画像は得ら
れたが、画像の基板への密着不良が多く、実用性のない
物であった。
Comparative Example 9 A photosensitive transfer material was prepared in the same manner as in Example 2 except that the thickness of the thermoplastic resin layer was 5 μm. When a resist pattern was formed on a copper-clad laminate having the surface adjusted by the same method as in Example 2 using this photosensitive material, a pattern image was obtained. There was no thing.

【0054】[0054]

【発明の効果】本発明の感光性転写材料では、転写され
る感光性樹脂層及び中間層と仮支持体の間に、仮支持体
と申し分のない離型性を示す、クツシヨン作用を有する
熱可塑性樹脂層(CU層)を設けた層構成を有し、基板に
凹凸があつても気泡残りが無い転写が可能であり、簡便
な転写法で質の優れた単色もしくは多色のパターンを形
成することができる。該熱可塑性樹脂層がアルカリ可溶
性なので、引き続く処理によりこれを容易に除去でき、
基板の汚れが生じない。また、仮支持体に導電性を付与
し、表面電気抵抗を1013Ω以下にすると、取扱時に電
撃シヨツクがなく、ゴミの付着による故障も生じない。
更に、熱可塑性樹脂層及び中間層と、感光性樹脂層を別
々に現像(2段現像)するので、現像ムラや現像液の過
度の疲労を防ぐことができる。
According to the photosensitive transfer material of the present invention, a heat-sensitive material having a cushioning effect between the temporary support and the photosensitive resin layer or intermediate layer to be transferred, exhibiting a satisfactory releasability from the temporary support. It has a layer structure with a plastic resin layer (CU layer), and can transfer without any bubbles even if the substrate has irregularities, and forms a high-quality monochromatic or multicolor pattern by a simple transfer method. can do. Since the thermoplastic resin layer is alkali-soluble, it can be easily removed by a subsequent treatment,
No contamination of the substrate occurs. Further, when the temporary support is provided with conductivity and the surface electric resistance is set to 10 13 Ω or less, there is no electric shock during handling, and no trouble occurs due to adhesion of dust.
Furthermore, since the thermoplastic resin layer, the intermediate layer, and the photosensitive resin layer are separately developed (two-step development), development unevenness and excessive fatigue of the developer can be prevented.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−213849(JP,A) 特開 平2−77746(JP,A) 特開 平3−33746(JP,A) 特開 昭56−25732(JP,A) 特開 平2−236551(JP,A) 特開 平3−17650(JP,A) 特開 平5−72724(JP,A) 特開 平5−80503(JP,A) 米国特許4530896(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03F 7/004 513 G03F 7/11────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-2-213849 (JP, A) JP-A-2-77746 (JP, A) JP-A-3-33746 (JP, A) JP-A-56- 25732 (JP, A) JP-A-2-236551 (JP, A) JP-A-3-17650 (JP, A) JP-A-5-72724 (JP, A) JP-A-5-80503 (JP, A) US Patent 4,530,896 (US, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G03F 7/004 513 G03F 7/11

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 仮支持体上に、軟化点80℃以下、厚み
6μm以上のアルカリ可溶な熱可塑性樹脂層、水または
アルカリ水溶液に分散または溶解する厚み0.1〜5μ
mの中間層、感光性樹脂層をこの順に設け、該熱可塑性
樹脂層と該仮支持体の間の接着力が最も小さいことを特
徴とする感光性転写材料。
1. An alkali-soluble thermoplastic resin layer having a softening point of 80 ° C. or less and a thickness of 6 μm or more, and a thickness of 0.1 to 5 μm dispersed or dissolved in water or an aqueous alkali solution, on a temporary support.
m, wherein an intermediate layer and a photosensitive resin layer are provided in this order, and the adhesive force between the thermoplastic resin layer and the temporary support is the smallest.
【請求項2】 請求項1において、該中間層が酸素に対
してわずかな透過性を有するに過ぎないことを特徴とす
る感光性転写材料。
2. A photosensitive transfer material according to claim 1, wherein said intermediate layer has only a slight permeability to oxygen.
【請求項3】 請求項1もしくは請求項2において、該
中間層が少なくとも水もしくは水溶液に可溶性もしくは
分散性であることを特徴とする感光性転写材料。
3. The photosensitive transfer material according to claim 1, wherein the intermediate layer is soluble or dispersible in at least water or an aqueous solution.
【請求項4】 請求項3において、該中間層が、中間層
固形分の1〜75重量%のポリビニルピロリドンを含む
ことを特徴とする感光性転写材料。
4. The photosensitive transfer material according to claim 3, wherein the intermediate layer contains 1 to 75% by weight of the solid content of the intermediate layer of polyvinylpyrrolidone.
【請求項5】 請求項1において、該仮支持体の少なく
とも一方の面に導電性層を設けるかもしくは該仮支持体
に導電性を付与することにより、該仮支持体の表面電気
抵抗が1013Ω以下であることを特徴とする感光性転写
材料。
5. The temporary support according to claim 1, wherein a conductive layer is provided on at least one surface of the temporary support or conductivity is imparted to the temporary support, so that the temporary support has a surface electric resistance of 10%. A photosensitive transfer material having a resistance of 13 Ω or less.
【請求項6】 請求項1、請求項2、請求項3、請求項
4もしくは請求項5の感光性転写材料を用い、該感光性
樹脂層と永久支持体を少なくとも加熱しながら密着させ
た後、該仮支持体と熱可塑性樹脂層の界面で剥離し、該
感光性樹脂層に該熱可塑性樹脂層と該中間層を介してパ
ターン露光し、現像して該永久支持体上に画像を形成す
ることを特徴とする画像形成方法。
6. The photosensitive transfer material according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, wherein the photosensitive resin layer and the permanent support are brought into close contact with each other while heating at least. Peeling off at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer, pattern-exposing the photosensitive resin layer via the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, and developing to form an image on the permanent support An image forming method.
【請求項7】 感光性樹脂層が異なる色に着色された請
求項1、請求項2、請求項3、請求項4、もしくは請求
項5の感光性転写材料を用い、請求項6の工程を2回以
上繰り返すことを特徴とする画像形成方法。
7. The method according to claim 1, wherein the photosensitive resin layer is colored in different colors using the photosensitive transfer material according to claim 1, 2, 3, 4 or 5. An image forming method, wherein the method is repeated two or more times.
【請求項8】 請求項1、請求項2、請求項3、請求項
4もしくは請求項5の感光性転写材料を用い、該感光性
樹脂層と永久支持体を少なくとも加熱しながら密着させ
た後、該仮支持体と熱可塑性樹脂層の界面で剥離し、該
感光性樹脂層に該熱可塑性樹脂層と該中間層を介してパ
ターン露光後、該熱可塑性樹脂層および中間層を現像除
去し、次いで該感光性樹脂層を現像することを特徴とす
る画像形成方法。
8. After using the photosensitive transfer material of claim 1, 2, 3, 4 or 5, the photosensitive resin layer and the permanent support are brought into close contact with each other while heating at least. Peeling off at the interface between the temporary support and the thermoplastic resin layer, pattern exposure to the photosensitive resin layer through the thermoplastic resin layer and the intermediate layer, and development and removal of the thermoplastic resin layer and the intermediate layer And then developing the photosensitive resin layer.
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US08/216,327 US5397678A (en) 1992-04-09 1994-03-23 Image formation method using a photosensitive transfer material
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6881529B2 (en) 2001-05-14 2005-04-19 Fuji Photo Film Co., Ltd. Positive photoresist transfer material and method for processing surface of substrate using the transfer material
US7435531B2 (en) 2002-05-20 2008-10-14 Fujifilm Corporation Image forming material

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0580503A (en) * 1991-06-25 1993-04-02 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive transfer material and image forming method
JP3847494B2 (en) 1998-12-14 2006-11-22 シャープ株式会社 Manufacturing method of two-dimensional image detector
JP4111717B2 (en) 2002-01-29 2008-07-02 富士フイルム株式会社 Reflective color filter and manufacturing method thereof
JP2003302765A (en) 2002-04-09 2003-10-24 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive transfer material
JP4076845B2 (en) 2002-11-21 2008-04-16 富士フイルム株式会社 Photosensitive transfer material
JP5079995B2 (en) 2005-08-26 2012-11-21 株式会社ジャパンディスプレイイースト Transmission type liquid crystal display device and manufacturing method thereof
US20110123929A1 (en) 2007-01-23 2011-05-26 Fujifilm Corporation Oxime compound, photosensitive composition, color filter, production method for the color filter, and liquid crystal display element
CN101679394B (en) 2007-05-11 2013-10-16 巴斯夫欧洲公司 Oxime ester photoinitiators
CN102702073B (en) 2007-05-11 2015-06-10 巴斯夫欧洲公司 Oxime ester photoinitiators
CN105175315B (en) 2009-03-23 2018-08-28 巴斯夫欧洲公司 Photo-corrosion-resisting agent composition
JP5650951B2 (en) * 2010-08-18 2015-01-07 三菱製紙株式会社 Method for producing resist pattern
US9051397B2 (en) 2010-10-05 2015-06-09 Basf Se Oxime ester
TWI520940B (en) 2010-10-05 2016-02-11 巴地斯顏料化工廠 Oxime ester
CN103443072B (en) 2011-01-28 2016-05-18 巴斯夫欧洲公司 Comprise the polymerisable compound of oxime sulfonates as thermal curing agents
KR102006041B1 (en) 2011-12-07 2019-07-31 바스프 에스이 Oxime ester photoinitiators
KR101831798B1 (en) 2012-05-09 2018-02-26 바스프 에스이 Oxime ester photoinitiators
US10234761B2 (en) 2013-07-08 2019-03-19 Basf Se Oxime ester photoinitiators
EP3044208B1 (en) 2013-09-10 2021-12-22 Basf Se Oxime ester photoinitiators
JP6664383B2 (en) 2014-08-29 2020-03-13 ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se Oxime sulfonate derivatives
US9994538B2 (en) 2015-02-02 2018-06-12 Basf Se Latent acids and their use
US20220121113A1 (en) 2019-01-23 2022-04-21 Basf Se Oxime ester photoinitiators having a special aroyl chromophore
CN115210219A (en) 2020-03-04 2022-10-18 巴斯夫欧洲公司 Oxime ester photoinitiators

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4530896A (en) 1970-03-03 1985-07-23 Shipley Company Inc. Photosensitive laminate

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE883410A (en) * 1979-06-15 1980-11-21 Du Pont SOLVENT-DEVELOPABLE PHOTORESIST FILM
JP2646698B2 (en) * 1988-09-13 1997-08-27 三菱化学株式会社 Image forming material and image forming method
US5100757A (en) * 1988-10-21 1992-03-31 Hoechst Celanese Corporation Method for forming a colored image on a degradable sheet material
DE3842028A1 (en) * 1988-12-14 1990-06-28 Basf Ag PHOTORESIST FILM WITH A LASTING INTERMEDIATE LAYER
JPH0317650A (en) * 1989-06-15 1991-01-25 Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The Image forming method
JP2857710B2 (en) * 1989-06-29 1999-02-17 コニカ株式会社 Method of forming multicolor color proofing sheet
JP2873889B2 (en) * 1991-01-29 1999-03-24 富士写真フイルム株式会社 Photosensitive transfer material and image forming method
JPH0580503A (en) * 1991-06-25 1993-04-02 Fuji Photo Film Co Ltd Photosensitive transfer material and image forming method

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4530896A (en) 1970-03-03 1985-07-23 Shipley Company Inc. Photosensitive laminate

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6881529B2 (en) 2001-05-14 2005-04-19 Fuji Photo Film Co., Ltd. Positive photoresist transfer material and method for processing surface of substrate using the transfer material
US7435531B2 (en) 2002-05-20 2008-10-14 Fujifilm Corporation Image forming material

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