JPH04307365A - Method and apparatus for inspecting soldered part - Google Patents

Method and apparatus for inspecting soldered part

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JPH04307365A
JPH04307365A JP3097943A JP9794391A JPH04307365A JP H04307365 A JPH04307365 A JP H04307365A JP 3097943 A JP3097943 A JP 3097943A JP 9794391 A JP9794391 A JP 9794391A JP H04307365 A JPH04307365 A JP H04307365A
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JP
Japan
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transducer
signal
ultrasonic waves
circuit board
soldered
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JP3097943A
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Japanese (ja)
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Chiya Kiyasu
千弥 喜安
Takanori Ninomiya
隆典 二宮
Yasuo Nakagawa
中川 泰夫
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To inspect the flaw of a soldered part by an electron converging and scanning system even with respect to a printed circuit board having an internal structure heterogeneous to an ultrasonic wave. CONSTITUTION:A whole control part 11 calculates the propagation state of an ultrasonic wave in a printed circuit board 1 on the basis of the board structure model preliminarily stored in a board structure memory 12 to calculate a condition for converging an ultrasonic wave to a soldered part 2 and a condition for detecting the ultrasonic wave reflected from the soldered part 2. A plurality of predetermined transducers 6 are controlled on the basis of those conditions to converge an ultrasonic wave to the specific soldered part 2 and the ultrasonic wave reflected from the soldered part 2 is detected to judge the presence of the flaw in a connected part.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品が実装された
回路基板でのはんだ付部の接合状態の良否を検査する方
法及びその装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for inspecting the quality of soldered joints on a circuit board on which electronic components are mounted.

【0002】0002

【従来の技術】一般に、各種電子部品が回路基板に実装
される際には、はんだ付けにより電気的な接続が行われ
る。しかし、これらのはんだ付部にしばしばぬれ不良や
ブリッジ等の欠陥が発生し、断線やショートの原因とな
っている。かかるはんだ付け欠陥の検査方法としては、
従来、目視による方法のほか、可視光、X線、超音波な
どを用いた各種の検査方法が知られている。
2. Description of the Related Art Generally, when various electronic components are mounted on a circuit board, electrical connections are made by soldering. However, defects such as poor wetting and bridges often occur in these soldered parts, causing disconnections and short circuits. The method for inspecting such soldering defects is as follows:
Conventionally, in addition to visual inspection methods, various inspection methods using visible light, X-rays, ultrasonic waves, etc. are known.

【0003】超音波を用いて回路基板上のはんだ付部の
接合状態を検査する方法の例としては、たとえば特開昭
61−93950号公報に記載されている。これは、超
音波振動子で超音波を発生させて回路基板上のはんだ付
部に照射し、透過または反射してくる超音波の強度を測
定することによって接合状態を検査するものである。一
般に、超音波は音響インピーダンスの異なる媒質の界面
でその一部が反射されるが、音響インピーダンスの差が
大きいほど反射強度が大きい。はんだ付部の接合界面に
ぬれ不良等に起因する空気の層が存在する場合には、強
い反射波が生じるが、これは空気の音響インピーダンス
が回路基板やはんだに比べて著しく小さいことによるも
のである。このような原理により、超音波の反射強度を
測定することによつてはんだ付部の欠陥を検出すること
ができる。
An example of a method for inspecting the joint state of soldered parts on a circuit board using ultrasonic waves is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 61-93950. In this method, an ultrasonic vibrator generates ultrasonic waves, irradiates the soldered parts on a circuit board, and measures the intensity of the transmitted or reflected ultrasonic waves to inspect the bonding state. Generally, a portion of the ultrasonic wave is reflected at an interface between media having different acoustic impedances, and the greater the difference in acoustic impedance, the greater the reflected intensity. If there is a layer of air at the joint interface of the soldered part due to poor wetting, etc., strong reflected waves will occur, but this is because the acoustic impedance of air is significantly smaller than that of the circuit board or solder. be. Based on this principle, defects in soldered parts can be detected by measuring the reflected intensity of ultrasonic waves.

【0004】ところで、上記のように超音波によつて微
小な欠陥を検出する場合には、一般に、音響レンズで超
音波ビームを集束させ、それを機械的に走査して検査す
る方法も用いられている。これに対し、超音波ビームを
電子的に集束・走査する方法が知られている。たとえば
、「非破壊検査」  第38巻第12号  pp.10
72〜1078においては、電子部品の検査を目的とし
た電子走査式超音波探傷装置について述べられている。 この装置では、複数の超音波振動子をアレイ状に配列し
たトランスジューサが用いられ、各振動子から発生する
超音波の位相を電子的に制御して超音波ビームを集束さ
せ、駆動する振動子を適宜切り換えることによってビー
ムを走査するようにしている。この電子走査・集束方式
によると、機械走査式に比べて高速な検査が可能となる
By the way, when detecting minute defects using ultrasonic waves as described above, a method is generally used in which the ultrasonic beam is focused with an acoustic lens and then mechanically scanned for inspection. ing. On the other hand, a method is known in which an ultrasound beam is electronically focused and scanned. For example, "Nondestructive Testing" Vol. 38 No. 12 pp. 10
Nos. 72 to 1078 describe electronic scanning ultrasonic flaw detection devices for the purpose of inspecting electronic components. This device uses a transducer with multiple ultrasonic transducers arranged in an array, and electronically controls the phase of the ultrasonic waves generated from each transducer to focus the ultrasound beam and drive the transducers. The beam is scanned by switching as appropriate. This electronic scanning/focusing method enables faster inspection than the mechanical scanning method.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】以上説明した超音波検
出方式では、いずれも、トランスジューサと検査対象部
分の間に存在する伝搬媒質が一様であることが前提とさ
れている。すなわち、超音波は媒質内部で反射や屈折な
どの複雑な挙動を示さないと仮定し、トランスジューサ
から超音波を放射すれば、この超音波は検査対象部分へ
そこまでの距離に応じた一定時間で到達するものと考え
ている。
The ultrasonic detection methods described above are all based on the premise that the propagation medium existing between the transducer and the part to be inspected is uniform. In other words, assuming that ultrasonic waves do not exhibit complex behavior such as reflection or refraction inside the medium, if an ultrasonic wave is emitted from a transducer, this ultrasonic wave will reach the inspection target part in a certain amount of time depending on the distance. I think we will reach it.

【0006】しかし、一般に、回路基板においては、内
部の配線層の材質がその他の部分と異なっているため、
これを一様な媒質として扱うことはできない。たとえば
、回路基板に超音波を伝搬させた場合、配線層とそれ以
外の部分とでは音速が異なるため、超音波がはんだ付部
に到達するまでの時間は回路基板の内部構造に依存して
変化する。したがって、このような回路基板中において
は、一様な媒質を仮定した従来の方式では、確実な検査
を行なうことができない。
However, in general, in a circuit board, the material of the internal wiring layer is different from that of the other parts.
This cannot be treated as a uniform medium. For example, when ultrasonic waves are propagated through a circuit board, the speed of sound is different between the wiring layer and other parts, so the time it takes for the ultrasonic waves to reach the soldered area varies depending on the internal structure of the circuit board. do. Therefore, in such a circuit board, reliable inspection cannot be performed using the conventional method assuming a uniform medium.

【0007】以上のような理由により、回路基板を介し
てその裏側にあるはんだ付部を検査する場合、従来の電
子集束・走査方式はそのまま適用することはできないと
いう問題がある。
[0007] For the above reasons, when inspecting the soldered parts on the back side of a circuit board, there is a problem in that the conventional electron focusing/scanning method cannot be applied as is.

【0008】本発明の目的は、回路基板が複数の材質か
ら成つて超音波に対し均質な媒質と考えられない場合に
おいても、はんだ付部の接合状態の良否を超音波の電子
集束・電子走査方式によつて検査することができるよう
にしたはんだ付部検査方法及びその装置を提供すること
にある。
An object of the present invention is to use ultrasonic electron focusing and electronic scanning to determine the quality of the bonding state of soldered parts even when the circuit board is made of a plurality of materials and cannot be considered a homogeneous medium for ultrasonic waves. It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for inspecting a soldered part, which can be inspected by a method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、次のような手段により達成される。すな
わち、まず、超音波を伝搬させる回路基板の構造をその
設計情報に基づいてモデル化して記憶しておき、該モデ
ルに基づいて該回路基板中における超音波の伝搬状態を
計算し、該回路基板のはんだ付部に超音波を集束させる
ために必要なトランスジューサの駆動条件を求める。そ
して、その条件に基づいて該トランスジューサを制御し
て超音波を発生させ、特定のはんだ付部に超音波を集束
させる。該はんだ付部で反射した超音波は、該トランス
ジューサで検出して電気信号に変換する。検出した信号
より欠陥を判定するためには、まず、前記モデルに基づ
いて計算された超音波の伝搬状態に基づいて、該トラン
スジューサの検出信号から該はんだ付部からの反射波に
よる信号を抽出し、該信号の強度をもとに欠陥を判定す
る。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention is achieved by the following means. That is, first, the structure of a circuit board that propagates ultrasonic waves is modeled and stored based on its design information, and the propagation state of ultrasonic waves in the circuit board is calculated based on the model. Find the transducer driving conditions necessary to focus the ultrasonic waves on the soldered part. Then, based on the conditions, the transducer is controlled to generate ultrasonic waves, and the ultrasonic waves are focused on a specific soldering part. The ultrasonic waves reflected from the soldered portion are detected by the transducer and converted into electrical signals. In order to determine the defect from the detected signal, first, a signal due to the reflected wave from the soldered part is extracted from the detection signal of the transducer based on the ultrasonic propagation state calculated based on the model. , the defect is determined based on the strength of the signal.

【0010】また、本発明は、検出信号から欠陥を判定
するためには、以下の方法をとることもできる。まず、
前記モデルに基づいて前記はんだ付部に欠陥が存在しな
い場合に前記トランスジューサで検出されるべき信号を
予め計算により求めて記憶しておき、前記トランスジュ
ーサの検出信号と記憶されている該信号とを直接比較し
て差信号を抽出し、この差信号の強度に基づいて欠陥を
判定する。
[0010] Furthermore, the present invention can also employ the following method in order to determine defects from the detection signal. first,
Based on the model, a signal that should be detected by the transducer when there is no defect in the soldered part is calculated in advance and stored, and the detected signal of the transducer and the stored signal are directly connected. A difference signal is extracted by comparison, and a defect is determined based on the strength of this difference signal.

【0011】[0011]

【作用】回路基板の構造を設計情報に基づいてモデル化
し、回路基板中における超音波の伝搬状態を計算すれば
、トランスジューサで発生した超音波が検査対象とする
はんだ付部に到達するまでの時間を予測できる。したが
って、これに基づいて、発生した超音波が一定の時刻に
はんだ付部に到達するようにトランスジューサを制御す
れば、回路基板の構造によらず、目標とするはんだ付部
に超音波を集束させることができる。
[Effect] If the structure of the circuit board is modeled based on the design information and the propagation state of ultrasonic waves in the circuit board is calculated, the time required for the ultrasonic waves generated by the transducer to reach the soldered part to be inspected can be calculated. can be predicted. Therefore, if the transducer is controlled based on this so that the generated ultrasonic waves reach the soldering area at a certain time, the ultrasonic waves can be focused on the target soldering area regardless of the structure of the circuit board. be able to.

【0012】一方、トランスジューサで検出した信号に
ははんだ付部以外で反射した超音波の信号も含まれてい
る。しかし、前記のモデルにより伝搬状態を計算すれば
、はんだ付部で反射した超音波がトランスジューサに到
達する時間が予測できる。したがって、その時刻でのト
ランスジューサの検出信号を抽出することにより、はん
だ付部で反射された超音波の強度を検出できて、それに
基づいて欠陥を判定することができる。
On the other hand, the signals detected by the transducer also include ultrasonic signals reflected from areas other than the soldered parts. However, by calculating the propagation state using the above model, it is possible to predict the time it takes for the ultrasonic wave reflected from the soldered part to reach the transducer. Therefore, by extracting the detection signal of the transducer at that time, it is possible to detect the intensity of the ultrasonic wave reflected at the soldered part, and it is possible to determine the defect based on this.

【0013】また、前記モデルに基づいて、はんだ付部
に欠陥が存在しない場合に観測されるべき検出信号を予
め求めておき、この結果と実際に検出された信号を直接
比較すると、はんだ付部に欠陥が存在する場合には、比
較結果に差が生じる。これにより、欠陥が判定できる。
[0013] Furthermore, based on the above model, a detection signal that should be observed when there is no defect in the soldered part is obtained in advance, and when this result is directly compared with the actually detected signal, it is found that the soldered part If there is a defect in the sample, there will be a difference in the comparison results. Thereby, defects can be determined.

【0014】[0014]

【実施例】本発明の実施例を説明する前に、まず、図3
により、検査対象とするセラミック基板の一例を説明す
る。同図において、セラミック基板1上には微小な球状
のはんだ付部2が格子状に多数配列されており、それに
よってICチップ3が実装・接続されている。これらの
はんだ付部2においては、ぬれ不良などの欠陥が発生す
る可能性があるが、セラミック基板1とICチップ3に
挟まれているため、外側から目視で確認することはでき
ない。セラミック基板1は多層構造をなし、各層には銅
やタングステンなどの金属からなる配線パターン4が形
成されている。また、セラミック基板1の裏面には、外
部と電気的に接続するためのIOピン5が格子状に配列
されている。
[Example] Before explaining the example of the present invention, first, FIG.
An example of a ceramic substrate to be inspected will be explained below. In the figure, a large number of minute spherical soldering parts 2 are arranged in a grid pattern on a ceramic substrate 1, and an IC chip 3 is mounted and connected thereto. Defects such as poor wetting may occur in these soldering parts 2, but since they are sandwiched between the ceramic substrate 1 and the IC chip 3, they cannot be visually confirmed from the outside. The ceramic substrate 1 has a multilayer structure, and a wiring pattern 4 made of metal such as copper or tungsten is formed in each layer. Further, on the back surface of the ceramic substrate 1, IO pins 5 for electrical connection with the outside are arranged in a grid pattern.

【0015】次に、本発明で採用する電子集束方式につ
いて図2により説明する。同図おいて、この電子集束方
式は、セラミック基板1の裏側からはんだ付部2へ超音
波を照射し、超音波の反射強度をもとに欠陥を検出する
ものである。図には記していないが、ICチップ3の上
面にはICチップ3を冷却するための放熱板などの構造
物が配置されるため、セラミツク基板1の上面から超音
波を照射して欠陥を検出することは困難である。このた
め、ここでは、図示のように、セラミック基板1の裏面
のIOピン5の隙間に超音波の送受信を行なう所定個数
のトランスジューサ6を挿入し、セラミツクス基板1の
表面に直接接触させている。トランスジューサ6は2次
元的に配置する必要があるが、必ずしも規則的でなくて
もよい。しかし、IOピン5が格子状に配列されている
場合には、その隙間に格子状に配列する方法が適当であ
る。各トランスジューサ6からは、後述のように、パル
ス状の超音波が発生され、トランスジューサ6とセラミ
ック基板1との接触点を中心として、球面波が放射状に
広がっていく。その様子は基板表面上に点音源を置いた
場合と等価である。
Next, the electron focusing method employed in the present invention will be explained with reference to FIG. In the figure, this electron focusing method irradiates an ultrasonic wave from the back side of a ceramic substrate 1 to a soldering part 2, and detects defects based on the reflected intensity of the ultrasonic wave. Although not shown in the figure, a structure such as a heat sink for cooling the IC chip 3 is placed on the top surface of the IC chip 3, so ultrasonic waves are irradiated from the top surface of the ceramic substrate 1 to detect defects. It is difficult to do so. For this reason, here, as shown in the figure, a predetermined number of transducers 6 for transmitting and receiving ultrasonic waves are inserted into the gaps between the IO pins 5 on the back surface of the ceramic substrate 1, and brought into direct contact with the surface of the ceramic substrate 1. Although the transducers 6 need to be arranged two-dimensionally, they do not necessarily have to be arranged regularly. However, when the IO pins 5 are arranged in a grid pattern, it is appropriate to arrange them in a grid pattern in the gaps between them. As will be described later, each transducer 6 generates a pulsed ultrasonic wave, and a spherical wave spreads radially around the contact point between the transducer 6 and the ceramic substrate 1. The situation is equivalent to placing a point sound source on the surface of the substrate.

【0016】図4および図5は夫々上記のような等価的
な点音源を実現するトランスジューサの具体例を示した
ものである。図4に示すトランスジューサは、シユー2
3に固定された凹面形状の振動板22aを回路基板表面
に取り付け、振動板22aから超音波を出力して回路基
板の表面に集束させる。回路基板内部では、超音波が集
束点を中心として放射状に伝搬する。このため、この集
束点を等価的な点音源とみなすことができる。図5に示
すトランスジユーサは、凹面振動板を用いる代わりに、
超音波の伝搬速度を異にする2種類の媒質を用いて音響
レンズ24a,24bを構成し、これらによつて振動板
22bからの超音波を回路基板表面に集束させるもので
ある。この場合のトランスジューサとしては平面形状の
振動板22bを用いることができる。
FIGS. 4 and 5 each show a specific example of a transducer that realizes the equivalent point sound source as described above. The transducer shown in FIG.
A concave diaphragm 22a fixed to 3 is attached to the surface of the circuit board, and ultrasonic waves are output from the diaphragm 22a and focused on the surface of the circuit board. Inside the circuit board, ultrasonic waves propagate radially around a focal point. Therefore, this focal point can be regarded as an equivalent point sound source. Instead of using a concave diaphragm, the transducer shown in FIG.
Acoustic lenses 24a and 24b are constructed using two types of media with different ultrasonic propagation velocities, and these are used to focus the ultrasonic waves from the diaphragm 22b onto the surface of the circuit board. In this case, a planar diaphragm 22b can be used as the transducer.

【0017】図2において、回路基板の内部に配線層が
存在せず、超音波にとつて一様な媒質と仮定できるもの
とする。
In FIG. 2, it is assumed that there is no wiring layer inside the circuit board and that it can be assumed to be a uniform medium for ultrasonic waves.

【0018】セラミツク基板1の裏面に配置されたトラ
ンスジューサ6にパルス源8から電圧パルスを与えると
、パルス状の超音波が発生し、球面波として回路基板中
を放射状に伝搬する。この結果、各はんだ付部2には、
そこまでの距離に応じた一定時間後に超音波が到達する
。パルス源11をトリガーするトリガーパルスのタイミ
ングを遅延回路7aでもつてパルス源8毎に異ならせる
ことにより、トランスジューサ6に与えられる電圧パル
スの発生時刻を調節し、各トランスジューサ6から発生
される超音波が特定のはんだ付部2に同時に到達するよ
うにすると、そのはんだ付部2で各トランスジユーサ6
からの超音波の位相が揃い、強い強度の超音波が生ずる
。このようにして特定のはんだ付部2に音場の強度を集
中させることができる。
When a voltage pulse is applied from a pulse source 8 to a transducer 6 disposed on the back surface of the ceramic substrate 1, a pulsed ultrasonic wave is generated and propagates radially through the circuit board as a spherical wave. As a result, each soldering part 2 has
The ultrasound waves arrive after a certain amount of time depending on the distance. By making the timing of the trigger pulse that triggers the pulse source 11 different for each pulse source 8 using the delay circuit 7a, the generation time of the voltage pulse applied to the transducer 6 is adjusted, and the ultrasonic waves generated from each transducer 6 are adjusted. By reaching a particular soldering point 2 at the same time, each transducer 6 at that soldering point 2
The phases of the ultrasonic waves from the two are aligned, and a strong ultrasonic wave is generated. In this way, the intensity of the sound field can be concentrated on a specific soldered portion 2.

【0019】一方、特定のはんだ付部2に欠陥が存在す
ると、集束された超音波から強い反射波が生じ、各トラ
ンスジューサ6に戻つてくる。各トランスジューサ6は
この反射波を検出して電気信号に変換する。このとき、
各トランスジユーサ6では、夫々のはんだ付部2までの
距離に応じて、それぞれある時間差をもって反射波が検
出される。かかる時間差は遅延回路7aによつて送信時
に与えられた電圧パルスの遅延時間差に等しい。したが
って、各トランスジユーサ6の出力信号を増幅回路9で
増幅し、遅延回路10bによってこの時間差を補正して
時間差をなくした後、加算回路10で加算することによ
り、はんだ付部2からの反射波を重ね合わせて検出する
ことができる。
On the other hand, if a defect exists in a particular soldered portion 2, a strong reflected wave is generated from the focused ultrasonic waves and returns to each transducer 6. Each transducer 6 detects this reflected wave and converts it into an electrical signal. At this time,
In each transducer 6, reflected waves are detected with a certain time difference depending on the distance to the respective soldering part 2. This time difference is equal to the delay time difference of the voltage pulses applied by the delay circuit 7a during transmission. Therefore, the output signal of each transducer 6 is amplified by the amplifier circuit 9, this time difference is corrected by the delay circuit 10b to eliminate the time difference, and then added by the adder circuit 10. It is possible to detect waves by superimposing them.

【0020】しかし、図3に示すように、回路基板の内
部に配線層4が存在し、これと周囲の部分との音速が大
きく異なる場合には、超音波は内部で屈折しながらはん
だ付部2に到達し、その到達時間は配線層が存在しない
場合と異なっている。したがって、図2に示した方法を
そのまま適用したのでは、はんだ付部2で各トランスジ
ユーサ6からの超音波は位相が揃わず、そこに集束しな
い。
However, as shown in FIG. 3, if there is a wiring layer 4 inside the circuit board and the sound speed between this layer and the surrounding parts is greatly different, the ultrasonic waves will be refracted inside and reach the soldered parts. 2, and the arrival time is different from that in the case where no wiring layer exists. Therefore, if the method shown in FIG. 2 is applied as is, the phases of the ultrasonic waves from each transducer 6 at the soldering part 2 will not be aligned and will not be focused there.

【0021】本発明は、このように回路基板の内部に配
線層が存在する場合の伝搬時間の変化を予め求めておき
、これでもつて各トランスジユーサからの超音波の発生
タイミングを適宜設定して、図6のように、超音波を所
定のはんだ付部に集束させるものである。
[0021] In this way, the present invention determines in advance the change in propagation time when there is a wiring layer inside the circuit board, and by this, the generation timing of ultrasonic waves from each transducer can be set appropriately. As shown in FIG. 6, the ultrasonic wave is focused on a predetermined soldering part.

【0022】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。図1は本発明によるはんだ付部検査方法及びその装
置の一実施例を示す構成図であつて、11は全体制御部
、12はメモリ、13はトリガ−パルス発生部、14a
、14bはトランスジユーサ選択部、15はゲート部、
16はピーク検出部、17は欠陥判定部であり、前出の
図面に対応する部分には同一符号をつけている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a soldered joint inspection method and apparatus according to the present invention, in which 11 is an overall control section, 12 is a memory, 13 is a trigger pulse generator, and 14a
, 14b is a transducer selection section, 15 is a gate section,
16 is a peak detection section, 17 is a defect determination section, and parts corresponding to those in the previous drawings are given the same reference numerals.

【0023】同図において、検査装置全体は全体制御部
11によって制御される。この全体制御部11は制御手
順や処理方法をプログラムしたコンピュータにより構成
されている。まず、全体制御部11は検査対象となるは
んだ付部2の1つを定め、全てのトランスジユーサ6の
中からこれの検査に用いるいくつかのトランスジューサ
6を決定し、トランスジューサ選択部14a,14bを
動作させて決定されたトランスジューサ6を夫々対応す
るパルス源8および増幅回路9に接続する。かかるトラ
ンスジューサ6の選択は、検査するはんだ付部2からの
距離が近い順に必要な個数選択する方法で実現できる。
In the figure, the entire inspection apparatus is controlled by an overall control section 11. This overall control section 11 is constituted by a computer programmed with control procedures and processing methods. First, the overall control unit 11 determines one of the soldering parts 2 to be inspected, determines some transducers 6 to be used for inspection from among all the transducers 6, and transducer selection units 14a, 14b. The determined transducers 6 are connected to the corresponding pulse sources 8 and amplifier circuits 9, respectively. Such selection of transducers 6 can be realized by selecting the necessary number of transducers in descending order of distance from the soldered portion 2 to be inspected.

【0024】次に、全体制御部11は、メモリ12に予
め記憶されている検査しようとする図示の回路基板の基
板構造モデルをもとに、選択された各トランスジューサ
6からはんだ付部2に至る超音波の伝搬距離を計算して
その伝搬に要する時間を求める。ここでは、説明を簡単
にするため、回路基板中に1層の配線層4が存在するも
のとするが、この場合の伝搬時間は、図7に示すように
厚さDのセラミック基板1の内部に厚さdの配線層4が
存在するモデルを考えると、次のように求められる。す
なわち、同図において、いま、セラミック基板1と配線
層4の音速を夫々v1 、v2 とし、超音波の送信点
をOとして、点Oを原点として座標をとり、受信点をR
(x,D)とし、配線層4の界面における超音波の入射
角をα、出射角をβすると、図8に示す式1、式2が成
り立つ。また、点Oから点Rに至る超音波の伝搬時間T
は図8の式3で与えられ、式1、式2を数値計算により
解いてα、βを求め、これらを式3に代入することによ
り、伝搬時間Tが求められる。
Next, the overall control unit 11 controls the process from each selected transducer 6 to the soldering part 2 based on the board structure model of the illustrated circuit board to be inspected, which is stored in advance in the memory 12. Calculate the propagation distance of the ultrasonic wave and find the time required for its propagation. Here, in order to simplify the explanation, it is assumed that one wiring layer 4 exists in the circuit board, but the propagation time in this case is as shown in FIG. Considering a model in which there is a wiring layer 4 with a thickness d, the following equation is obtained. That is, in the figure, the sound velocities of the ceramic substrate 1 and the wiring layer 4 are now v1 and v2, respectively, the transmitting point of the ultrasonic wave is O, the coordinates are taken with point O as the origin, and the receiving point is R.
(x, D), the incident angle of the ultrasonic wave at the interface of the wiring layer 4 is α, and the outgoing angle is β, then Equations 1 and 2 shown in FIG. 8 hold. Also, the propagation time T of the ultrasonic wave from point O to point R
is given by Equation 3 in FIG. 8, and by solving Equations 1 and 2 numerically to obtain α and β, and substituting these into Equation 3, the propagation time T can be obtained.

【0025】以上のようにして選択された各トランスジ
ューサに対する伝搬時間Tを求め、Cを適当な定数とす
ると、所定のはんだ付部2に各トランスジユーサ6から
の超音波が集中するための遅延回路7a、7bの遅延時
間τは図8の式4のように決定される。
If the propagation time T for each transducer selected as described above is determined and C is a suitable constant, then the delay required for the ultrasonic waves from each transducer 6 to concentrate on a predetermined soldering part 2 is determined. The delay time τ of the circuits 7a and 7b is determined as shown in Equation 4 of FIG.

【0026】次に、全体制御部11はトリガ−パルス発
生部13に指示を与えてトリガ−パルスを発生させる。 このトリガーパルスは各遅延回路7aに同時に供給され
て夫々設定された時間だけ遅延され、パルス源8を駆動
する。これにより、パルス源8は夫々所定のタイミング
で高電圧パルスを発生し、トランスジューサ選択部14
aを介してトランスジューサ6に加えられる。かかる電
圧パルスにより、選択されたトランスジューサ6は超音
波パルスを発生して回路基板中に放射する。放射された
超音波は、先に説明した原理により、検査対象となるは
んだ付部2に集束され、欠陥の状態に応じて反射波が発
生する。反射された超音波は再びトランスジューサ6に
到達して電気信号に変換される。これらの電気信号はト
ランスジューサ選択部14bを通り、増幅回路9に供給
されて増幅される。増幅回路9の出力信号は全体制御部
11の指示に基づいて送信時と同じ遅延時間だけ遅延回
路7bで遅延され、加算部10で加算される。ゲート部
15は、全体制御部11の制御により、加算部10の出
力信号を一定の時間幅で選択し、所定のはんだ付部2で
生じた反射波による信号だけを抽出する。ピーク検出部
16はゲート部15の出力信号のピーク値を検出する。 このピーク値がはんだ付部2における反射強度を表わし
ており、欠陥判定部17は、このピーク値が一定値以上
のとき欠陥と判定する。
Next, the overall control section 11 instructs the trigger pulse generating section 13 to generate a trigger pulse. This trigger pulse is simultaneously supplied to each delay circuit 7a, delayed by a set time, and drives the pulse source 8. As a result, each pulse source 8 generates a high voltage pulse at a predetermined timing, and the transducer selection unit 14
a to the transducer 6. Such voltage pulses cause the selected transducer 6 to generate and radiate ultrasonic pulses into the circuit board. The emitted ultrasonic waves are focused on the soldered portion 2 to be inspected according to the principle described above, and reflected waves are generated depending on the state of the defect. The reflected ultrasound waves reach the transducer 6 again and are converted into electrical signals. These electrical signals pass through the transducer selection section 14b, are supplied to the amplifier circuit 9, and are amplified. The output signals of the amplifier circuit 9 are delayed by the delay circuit 7b by the same delay time as at the time of transmission based on instructions from the overall control section 11, and added by the addition section 10. Under the control of the overall control section 11, the gate section 15 selects the output signal of the addition section 10 in a fixed time width, and extracts only the signal due to the reflected wave generated at a predetermined soldering section 2. The peak detection section 16 detects the peak value of the output signal of the gate section 15. This peak value represents the reflection intensity at the soldered portion 2, and the defect determining section 17 determines that it is a defect when this peak value is equal to or greater than a certain value.

【0027】以上の手順、処理を各はんだ付部2につい
て順次行なうことにより、各はんだ付部2について欠陥
の検査がなされる。
By sequentially performing the above-described procedures and processing on each soldered portion 2, each soldered portion 2 is inspected for defects.

【0028】なお、この実施例では、トリガーパルスの
遅延時間をはんだ付部1点毎に計算しながら検査するよ
うに説明したが、各はんだ付部に対して設定する遅延時
間を予め計算してすべて求めておき、これらを全体制御
部11に記憶しておくことにより、検査時の処理時間を
短縮できる。
In this embodiment, the delay time of the trigger pulse was explained to be calculated and inspected for each soldered part, but the delay time to be set for each soldered part should be calculated in advance. By calculating all the information and storing them in the overall control unit 11, the processing time during inspection can be shortened.

【0029】この実施例では、電子集束を行なうと同時
に、はんだ付部に応じて集束点の位置を電子的に変更し
て検査を行なっている。このように機械的なビーム走査
を行わないため、高速な検査が可能である。
In this embodiment, while electron focusing is performed, inspection is performed by electronically changing the position of the focusing point depending on the soldered area. Since mechanical beam scanning is not performed in this way, high-speed inspection is possible.

【0030】図9は本発明によるはんだ付部検査方法及
びその装置の他の実施例を示す構成図であつて、18は
参照信号算出部、19は参照信号記憶部、20は比較部
であり、図1に対応する部分には同一符号をつけて重複
する説明を省略する。
FIG. 9 is a block diagram showing another embodiment of the soldering part inspection method and apparatus according to the present invention, in which 18 is a reference signal calculation section, 19 is a reference signal storage section, and 20 is a comparison section. , parts corresponding to those in FIG. 1 are given the same reference numerals and redundant explanations will be omitted.

【0031】同図において、反射波による信号の検出の
際、各トランスジューサ6の出力信号が予め記憶されて
いる参照信号と直接比較され、その差に基づいて図1と
同様の処理が行なわれる。この点が図1の実施例と異な
っている。かかる参照信号は、はんだ付部2に欠陥が存
在しない場合に検出されるべきトランスジユーサ6の出
力波形であり、予めメモリ12の基板構造モデルに基づ
いて参照信号算出部18で計算されて参照信号記憶部1
9に記憶されている。比較部20はかかる参照信号を参
照信号記憶部19から読み出してトランスジユーサ6の
出力信号と直接比較する。
In the figure, when detecting a signal by a reflected wave, the output signal of each transducer 6 is directly compared with a reference signal stored in advance, and the same processing as in FIG. 1 is performed based on the difference. This point differs from the embodiment shown in FIG. This reference signal is the output waveform of the transducer 6 that should be detected when there is no defect in the soldered portion 2, and is calculated in advance by the reference signal calculation unit 18 based on the board structure model in the memory 12 and is referred to as the output waveform of the transducer 6. Signal storage unit 1
It is stored in 9. The comparator 20 reads out the reference signal from the reference signal storage 19 and directly compares it with the output signal of the transducer 6.

【0032】なお、参照信号記憶部19に記憶される参
照信号として、欠陥が存在しないサンプルを検出して得
られた波形を与えておくことも可能である。この実施例
によると、欠陥が存在する場合にのみ大きな差信号が現
われるので、欠陥判定の精度を向上させることができる
という利点がある。
Note that it is also possible to provide a waveform obtained by detecting a sample with no defects as the reference signal stored in the reference signal storage section 19. According to this embodiment, since a large difference signal appears only when a defect exists, there is an advantage that the accuracy of defect determination can be improved.

【0033】図10は本発明によるはんだ付部検査方法
及びその装置の他の実施例を示す構成図であつて、21
は画像記憶部であり、図1に対応する部分には同一符号
をつけて重複する説明を省略する。
FIG. 10 is a block diagram showing another embodiment of the soldering part inspection method and apparatus according to the present invention, and includes
1 is an image storage unit, and parts corresponding to those in FIG. 1 are given the same reference numerals and redundant explanations will be omitted.

【0034】この実施例は、反射強度の2次元的な分布
を画像として検出し、それを解析することによって欠陥
を検出するものであり、画像記憶部21が設けられてい
ること以外は図1の実施例と同様である。
In this embodiment, defects are detected by detecting a two-dimensional distribution of reflection intensity as an image and analyzing it. This is similar to the embodiment.

【0035】図10において、超音波の集束位置を電子
走査方式により2次元的に走査して、反射強度の分布を
画像として検出し、これを画像記憶部21に記憶する。 欠陥判定部17はその画像の特徴を解析し、それに基づ
いて欠陥を判定する。たとえば、はんだ付部2の接合面
積を計測すれば、その大きさによって接合不良を判定す
ることができる。この実施例によると、欠陥の大きさや
種類などに関して、より詳細な分類が可能になるという
利点がある。
In FIG. 10, the focal position of the ultrasonic waves is two-dimensionally scanned by an electronic scanning method, and the distribution of reflection intensity is detected as an image, which is stored in the image storage section 21. The defect determination unit 17 analyzes the characteristics of the image and determines defects based on the characteristics. For example, if the joint area of the soldered portion 2 is measured, a joint failure can be determined based on the size. This embodiment has the advantage that it is possible to perform more detailed classification regarding the size and type of defects.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路基板が複数の材質から成り、超音波の媒質として一
様と考えられない場合においても、はんだ付部の接合状
態の良否を超音波を用いて電子集束・電子走査方式で検
査することができる。したがって、従来、検査が困難で
あった回路基板の裏側のはんだ付部についても、欠陥検
査が行えるという優れた効果が得られる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention,
Even in cases where the circuit board is made of multiple materials and cannot be considered as a uniform medium for ultrasonic waves, the quality of the soldered joints can be inspected using ultrasonic waves using electronic focusing and electronic scanning methods. . Therefore, an excellent effect can be obtained in that defect inspection can be performed even on the soldered portion on the back side of the circuit board, which has conventionally been difficult to inspect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明によるはんだ付部検査方法及びその装置
の一実施例を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a soldering part inspection method and apparatus according to the present invention.

【図2】電子集中方式の原理説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of the principle of the electron concentration method.

【図3】セラミツク基板の一例を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing an example of a ceramic substrate.

【図4】点音源トランスジューサの一具体例を示す構成
図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a specific example of a point source transducer.

【図5】点音源トランスジューサの他の具体例を示す構
成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram showing another specific example of a point source transducer.

【図6】回路基板に配線層が存在する場合の電子集束方
式の説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram of an electron focusing method when a wiring layer is present on the circuit board.

【図7】超音波伝搬モデルの説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of an ultrasound propagation model.

【図8】図7のモデルでの計算式を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a calculation formula for the model of FIG. 7;

【図9】本発明によるはんだ付部検査方法及びその装置
の他の実施例を示す構成図である。
FIG. 9 is a configuration diagram showing another embodiment of the soldering part inspection method and apparatus according to the present invention.

【図10】本発明によるはんだ付部検査方法及びその装
置のさらに他の実施例を示す構成図である。
FIG. 10 is a configuration diagram showing still another embodiment of the soldering part inspection method and apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  セラミック基板 2  はんだ付部 3  ICチップ 4  配線層 5  IOピン 6  トランスジューサ 7a,7b  遅延回路 8  パルス源 9  増幅回路 10  加算部 11  全体制御部 12  基板構造モデル 13  トリガ−パルス発生部 14a,14b  トランスジューサ選択部15  ゲ
ート部 16  ピーク検出部 17  欠陥判定部 18  参照信号算出部 19  参照信号記憶部 20  比較部 21  画像記憶部
1 Ceramic substrate 2 Soldering section 3 IC chip 4 Wiring layer 5 IO pin 6 Transducer 7a, 7b Delay circuit 8 Pulse source 9 Amplification circuit 10 Adding section 11 Overall control section 12 Board structure model 13 Trigger pulse generation section 14a, 14b Transducer Selection unit 15 Gate unit 16 Peak detection unit 17 Defect determination unit 18 Reference signal calculation unit 19 Reference signal storage unit 20 Comparison unit 21 Image storage unit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  回路基板に超音波を照射し、該回路基
板上のはんだ付部の接合状態の良否を検査するはんだ付
部検査方法において、該回路基板の構造をその設計情報
に基づいてモデル化して予め記憶しておき、該モデルに
基づいて該回路基板中における超音波の伝搬状態を計算
し、その結果から該はんだ付部に超音波を集束させるた
めに必要なトランスジューサの駆動条件を求め、その条
件に基づいて該トランスジューサを制御することにより
超音波を発生させて特定の該はんだ付部に集束させ、該
はんだ付部で反射した超音波を該トランスジューサで検
出して電気信号に変換し、前記モデルに基づいて計算し
た超音波の伝搬状態より、該はんだ付部で反射した超音
波が該トランスジューサで検出されるべき時刻を予測し
、該トランスジューサの出力信号から該はんだ付部から
の反射波による信号を抽出し、該信号の強度に基づいて
欠陥を判定することを特徴とするはんだ付部検査方法。
1. A soldering part inspection method in which a circuit board is irradiated with ultrasonic waves to inspect the quality of the joints of soldered parts on the circuit board, wherein the structure of the circuit board is modeled based on its design information. calculate the propagation state of ultrasonic waves in the circuit board based on the model, and use the results to determine the driving conditions of the transducer necessary to focus the ultrasonic waves on the soldered part. , by controlling the transducer based on the conditions, ultrasonic waves are generated and focused on the specific soldering area, and the ultrasonic waves reflected from the soldering area are detected by the transducer and converted into electrical signals. , from the propagation state of the ultrasound calculated based on the model, predict the time at which the ultrasound reflected from the soldering part should be detected by the transducer, and predicting the time at which the ultrasound reflected from the soldering part should be detected from the output signal of the transducer. 1. A method for inspecting a soldered joint, which comprises extracting a signal caused by a wave and determining a defect based on the intensity of the signal.
【請求項2】  請求項1において、前記モデルに基づ
いて前記はんだ付部に欠陥が存在しない場合の前記トラ
ンスジューサから出力される信号を予め計算により求め
て記憶しておき、前記トランスジューサの検出信号と記
憶されている該信号とを直接比較して差信号を抽出し、
該差信号の強度に基づいて欠陥を判定するすることを特
徴とするはんだ付部検査方法。
2. In claim 1, a signal output from the transducer when there is no defect in the soldered portion is calculated and stored in advance based on the model, and the signal is calculated and stored in advance as the detection signal of the transducer. Directly compare the stored signal to extract a difference signal,
A method for inspecting a soldered joint, characterized in that a defect is determined based on the intensity of the difference signal.
【請求項3】  回路基板に超音波を照射し、該回路基
板上のはんだ付部の接合状態の良否を検査するはんだ付
部検査装置において、該基板の構造をその設計情報に基
づいたモデルを記憶する記憶手段と、該モデルに基づい
て該回路基板中における超音波の伝搬状態を計算し、そ
の結果から該はんだ付部に超音波を集束させるために必
要なトランスジューサの駆動条件を求める演算手段と、
その条件に基づいて該トランスジューサを制御して超音
波の発生と検出を行なうようにする制御手段と、該モデ
ルに基づいて計算した超音波の伝搬状態より、該はんだ
付部で反射した超音波が該トランスジューサで検出され
るべき時刻を予測する演算手段と、該演算手段の出力を
もとに該トランスジューサの出力信号から該はんだ付部
からの反射波による信号を抽出する手段と、該信号の強
度に基づいて欠陥を判定する欠陥判定手段とを備えたこ
とを特徴とするはんだ付部検査装置。
3. A soldering part inspection device that irradiates ultrasonic waves onto a circuit board to inspect the quality of the joints of the soldered parts on the circuit board, in which a model of the structure of the board is created based on the design information. a storage means for storing, and a calculation means for calculating the propagation state of the ultrasonic waves in the circuit board based on the model, and calculating from the results the drive conditions of the transducer necessary for focusing the ultrasonic waves on the soldering part. and,
A control means for controlling the transducer to generate and detect ultrasonic waves based on the conditions, and a propagation state of the ultrasonic waves calculated based on the model. a calculation means for predicting the time to be detected by the transducer; a means for extracting a signal due to a reflected wave from the soldering part from the output signal of the transducer based on the output of the calculation means; and an intensity of the signal. 1. A soldering part inspection device comprising: a defect determining means for determining a defect based on.
【請求項4】  請求項3において、前記モデルに基づ
いて計算した超音波の伝搬状態より、前記はんだ付部に
欠陥が存在しない場合に前記トランスジューサで検出さ
れるべき信号を予測する演算手段と、該演算手段による
予測結果を記憶する記憶手段と、前記トランスジユーサ
が検出した信号と記憶手段に記憶されている信号とを直
接比較して差信号を抽出する比較手段とを設け、前記欠
陥判定手段が該比較手段からの該差信号の強度に基づい
て欠陥を判定することを特徴とするはんだ付部検査装置
4. An arithmetic means for predicting a signal to be detected by the transducer when there is no defect in the soldered portion, from a propagation state of the ultrasonic wave calculated based on the model, according to claim 3; A storage means for storing the prediction result by the calculation means, and a comparison means for directly comparing the signal detected by the transducer and the signal stored in the storage means to extract a difference signal, A soldering part inspection device characterized in that means determines a defect based on the intensity of the difference signal from the comparing means.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011018696A (en) * 2009-07-07 2011-01-27 Hitachi Ltd Electronic component assembly and production system
JPWO2016035630A1 (en) * 2014-09-03 2017-04-27 株式会社村田製作所 Component built-in board and board inspection method

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