JPH0430576Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0430576Y2 JPH0430576Y2 JP17965885U JP17965885U JPH0430576Y2 JP H0430576 Y2 JPH0430576 Y2 JP H0430576Y2 JP 17965885 U JP17965885 U JP 17965885U JP 17965885 U JP17965885 U JP 17965885U JP H0430576 Y2 JPH0430576 Y2 JP H0430576Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- sample
- rotating
- angle
- incident light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
考案の目的
産業上の利用分野
本考案は、集光させた光をサンプル又は光学部
品等に入射角を変化させながら入射し測定を行な
う反射測定やATR測定で用いる光学系に関し、
特にサンプル又は光学部品等を移動することな
く、最小限の回転鏡を回転させるだけで簡単且つ
確実に入出射角を変化可能な入出射角可変式光学
系に関するものである。
品等に入射角を変化させながら入射し測定を行な
う反射測定やATR測定で用いる光学系に関し、
特にサンプル又は光学部品等を移動することな
く、最小限の回転鏡を回転させるだけで簡単且つ
確実に入出射角を変化可能な入出射角可変式光学
系に関するものである。
従来技術
入出射角可変型のATR測定従来使われている
光学系の代表例を第１，２図に示す。第１図にお
いて、M1〜M4は平面鏡、Ｓはサンプル、I〓は入
射光、I〓〓は出射光で、サンプルＳへの入射角を
変えるためには、平面鏡M1，M3が回転され、平
面鏡M2，M4及びサンプルＳが平行移動されて、
光路が実線から点線へと変更される。
光学系の代表例を第１，２図に示す。第１図にお
いて、M1〜M4は平面鏡、Ｓはサンプル、I〓は入
射光、I〓〓は出射光で、サンプルＳへの入射角を
変えるためには、平面鏡M1，M3が回転され、平
面鏡M2，M4及びサンプルＳが平行移動されて、
光路が実線から点線へと変更される。
第２図において、M1〜M3は平面鏡、Ｐは半円
柱のプリズム、I〓，I〓〓は入，出射光で、この光学
系では平面鏡M3の回転に合わせ、平面鏡M1，
M2をM1′，M2′更にはM1″，M2″へと移動するこ
とによつてプリズムＰへの入射角が変えられる。
又この系ではプリズムＰも回転されて光路を合わ
せるようになつており、反射回数は１回である。
柱のプリズム、I〓，I〓〓は入，出射光で、この光学
系では平面鏡M3の回転に合わせ、平面鏡M1，
M2をM1′，M2′更にはM1″，M2″へと移動するこ
とによつてプリズムＰへの入射角が変えられる。
又この系ではプリズムＰも回転されて光路を合わ
せるようになつており、反射回数は１回である。
考案が解決しようとする問題点
上記のような従来の入出射角可変式光学系で
は、複数の光学部品やサンプルを同時に移動させ
たり回転するのに機械的リンク機構が通常使われ
ている。しかし、リンク機構を用いた光学系で
は、部品や組立が複雑になり、コスト高を招く
他、その取付けのためベース部に長窓が設けら
れ、ガスシールを行ないにくかつた。また、複雑
さ故に寸法を小さくできないため、光学系全体を
試料室内に収めるには試料室のスペースを大きく
取らなければならないという欠点もあつた。
は、複数の光学部品やサンプルを同時に移動させ
たり回転するのに機械的リンク機構が通常使われ
ている。しかし、リンク機構を用いた光学系で
は、部品や組立が複雑になり、コスト高を招く
他、その取付けのためベース部に長窓が設けら
れ、ガスシールを行ないにくかつた。また、複雑
さ故に寸法を小さくできないため、光学系全体を
試料室内に収めるには試料室のスペースを大きく
取らなければならないという欠点もあつた。
従つて本考案の目的は、上記従来方式の欠点を
克服し、簡単且つコンパクトで、確実に動作し、
しかも試料室内のガスパージ、除湿を可能とする
入出射角可変式光学系を提供することにある。
克服し、簡単且つコンパクトで、確実に動作し、
しかも試料室内のガスパージ、除湿を可能とする
入出射角可変式光学系を提供することにある。
考案の構成
問題点を解決するための手段
上記目的を達成するため、本考案による入出射
角可変式光学系は、楕円鏡を固定して設け、該楕
円鏡の一方の焦点上に回転鏡を配置し、他方の焦
点上にサンプル又は光学部品等を配置し、上記回
転鏡の回転によつて入射光を楕円鏡面上で移動さ
せ、サンプル又は光学部品等に入る角度を変化せ
しめることを特徴とするものである。
角可変式光学系は、楕円鏡を固定して設け、該楕
円鏡の一方の焦点上に回転鏡を配置し、他方の焦
点上にサンプル又は光学部品等を配置し、上記回
転鏡の回転によつて入射光を楕円鏡面上で移動さ
せ、サンプル又は光学部品等に入る角度を変化せ
しめることを特徴とするものである。
実施例
以下まず本考案による入出射角可変式光学系の
基本構成を第３図を参照して説明する。
基本構成を第３図を参照して説明する。
図中１が楕円鏡で固定して配置され、２つの焦
点F1，F2を有する。２焦点のうち一方の焦点F2
上に、該焦点を通る鉛直線を軸として回転可能に
鏡２が配置され、他方の焦点F1上にサンプル又
はプリズム等の光学部品、図示例ではサンプルＳ
が配置される。入射光I〓は回転鏡２で反射され、
楕円鏡１を経てサンプルＳに入る。
点F1，F2を有する。２焦点のうち一方の焦点F2
上に、該焦点を通る鉛直線を軸として回転可能に
鏡２が配置され、他方の焦点F1上にサンプル又
はプリズム等の光学部品、図示例ではサンプルＳ
が配置される。入射光I〓は回転鏡２で反射され、
楕円鏡１を経てサンプルＳに入る。
ここで回転鏡２を反時計回りに回転すると、入
射光は楕円鏡１の楕円面上に沿つて移動するが、
楕円の特性上楕円鏡で反射された光は必ず焦点
F1つまりサンプルＳ上に集光する。そして、入
射光が楕円面上に沿つて移動するにつれ、サンプ
ルＳへの入射角が変化する。すなわち、１枚の回
転鏡２を回転させるだけで、入射角を任意に可変
できる。尚、鏡２の回転部分に目盛を付けておけ
ば、サンプルへの入射角が読取り可能である。
射光は楕円鏡１の楕円面上に沿つて移動するが、
楕円の特性上楕円鏡で反射された光は必ず焦点
F1つまりサンプルＳ上に集光する。そして、入
射光が楕円面上に沿つて移動するにつれ、サンプ
ルＳへの入射角が変化する。すなわち、１枚の回
転鏡２を回転させるだけで、入射角を任意に可変
できる。尚、鏡２の回転部分に目盛を付けておけ
ば、サンプルへの入射角が読取り可能である。
次に、本考案を具体的に実施した例を第４図に
ついて説明する。
ついて説明する。
図中１０は分光器等の光学ベース、１１は試料
室の外壁で、この外壁で囲まれた空間内に本考案
の光学系が配置される。つまり、第１，２楕円鏡
１２，１３が固定して対面配置され、第１，２鏡
１４，１５が上記回転鏡２と同じく回転可能に配
置されている。第１回転鏡１４が第１楕円鏡１２
の一方の焦点F1上に位置する一方、第２回転鏡
１５が第２楕円鏡１３の一方の焦点F2′上に位置
する。
室の外壁で、この外壁で囲まれた空間内に本考案
の光学系が配置される。つまり、第１，２楕円鏡
１２，１３が固定して対面配置され、第１，２鏡
１４，１５が上記回転鏡２と同じく回転可能に配
置されている。第１回転鏡１４が第１楕円鏡１２
の一方の焦点F1上に位置する一方、第２回転鏡
１５が第２楕円鏡１３の一方の焦点F2′上に位置
する。
一対の対面楕円鏡１２，１３の間にプリズムＰ
が配置され、プリズムＰの入射面が第１楕円鏡１
２の他方の焦点F1上に、プリズムＰの出射面が
第２楕円鏡１３の他方の焦点F1′上にそれぞれ位
置する。第１，２回転鏡１４，１５は回転台１
６，１７上に取り付けられ、それぞれ角度可変レ
バー１８，１９を介し駆動カム２０，２１によつ
て所望に連動回転される。
が配置され、プリズムＰの入射面が第１楕円鏡１
２の他方の焦点F1上に、プリズムＰの出射面が
第２楕円鏡１３の他方の焦点F1′上にそれぞれ位
置する。第１，２回転鏡１４，１５は回転台１
６，１７上に取り付けられ、それぞれ角度可変レ
バー１８，１９を介し駆動カム２０，２１によつ
て所望に連動回転される。
入射光I〓は第１回転鏡１４と第１楕円鏡１２を
経てプリズムＰの入射面に入り、出射光I〓〓はプ
リズムＰの出射面から第２楕円鏡１３と第２回転
鏡１５を経て取り出される。第１，２回転鏡１
４，１５は回転台１６，１７を連動回転させるこ
とによつて、プリズムＰへの入射角が可変である
と共に、出射光を一定の方向に取り出すことがで
きる。
経てプリズムＰの入射面に入り、出射光I〓〓はプ
リズムＰの出射面から第２楕円鏡１３と第２回転
鏡１５を経て取り出される。第１，２回転鏡１
４，１５は回転台１６，１７を連動回転させるこ
とによつて、プリズムＰへの入射角が可変である
と共に、出射光を一定の方向に取り出すことがで
きる。
考案の効果
以上述べたように、本考案によれば、最小限の
回転をさせるだけで入射角を変えられ、複雑なレ
バー機構を必要としないため、構成が簡単で且つ
コンパクトな入出射角可変式光学系が得られる。
従つて、狭い試料室への組込みが可能になる他、
長窓を必要としないためガスシールが容易とな
り、試料室内のガスパージ、除湿もより容易に行
なえる。組立や調整が簡単になり、コストダウン
も可能なのは勿論である。
回転をさせるだけで入射角を変えられ、複雑なレ
バー機構を必要としないため、構成が簡単で且つ
コンパクトな入出射角可変式光学系が得られる。
従つて、狭い試料室への組込みが可能になる他、
長窓を必要としないためガスシールが容易とな
り、試料室内のガスパージ、除湿もより容易に行
なえる。組立や調整が簡単になり、コストダウン
も可能なのは勿論である。
第１，２図は従来の入出射角可変式光学系を示
す図、第３図は本考案の基本構成を示す図、第４
図は本考案を具体的に実施した入出射角可変式光
学系を示す図である。 １，１２，１３……楕円鏡、２，１４，１５…
…回転鏡、１６〜２１……回転手段、Ｓ……サン
プル、Ｐ……プリズム、１１……試料室外壁。
す図、第３図は本考案の基本構成を示す図、第４
図は本考案を具体的に実施した入出射角可変式光
学系を示す図である。 １，１２，１３……楕円鏡、２，１４，１５…
…回転鏡、１６〜２１……回転手段、Ｓ……サン
プル、Ｐ……プリズム、１１……試料室外壁。
Claims (1)
- 楕円鏡の一方の焦点上に回転鏡を配置し、他方
の焦点上にサンプルを配置し、上記回転鏡の回転
によつて入射光を楕円鏡面上で移動させ、固定位
置のサンプルに入る入射光の角度を変化せしめる
ことを特徴とした入射光可変光学測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17965885U JPH0430576Y2 (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17965885U JPH0430576Y2 (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286546U JPS6286546U (ja) | 1987-06-02 |
| JPH0430576Y2 true JPH0430576Y2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=31122907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17965885U Expired JPH0430576Y2 (ja) | 1985-11-21 | 1985-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430576Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002174591A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Jasco Corp | 全反射測定装置 |
| EP2798322B1 (en) * | 2011-12-31 | 2020-07-15 | J.A. Woollam Co., Inc. | Terahertz ellipsometer system, and method of use |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48146U (ja) * | 1971-05-24 | 1973-01-05 | ||
| JPS597922A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 光ビ−ムプリンタ |
-
1985
- 1985-11-21 JP JP17965885U patent/JPH0430576Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS48146U (ja) * | 1971-05-24 | 1973-01-05 | ||
| JPS597922A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-17 | Hitachi Ltd | 光ビ−ムプリンタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6286546U (ja) | 1987-06-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3491366A (en) | Variable angle attachment for infrared reflection spectroscopy | |
| US5106196A (en) | Single adjustment specular reflection accessory for spectroscopy | |
| JP2004294136A (ja) | Ｘ線回折装置 | |
| JP3468623B2 (ja) | Ｘ線回折装置の光学系切換装置 | |
| JPH0248054B2 (ja) | ||
| CN102359818A (zh) | 红外光谱干涉仪和采用该干涉仪的红外光谱仪 | |
| US3837726A (en) | Camera for making holograms | |
| JPH0430576Y2 (ja) | ||
| US5262845A (en) | Optical accessory for variable angle reflection spectroscopy | |
| US4676652A (en) | Multiple pass optical system | |
| JPH11316333A (ja) | 光路長調整器 | |
| US4461017A (en) | Fluorescent X-ray device | |
| JP4120050B2 (ja) | 光学特性検出装置 | |
| JPH0518686Y2 (ja) | ||
| US4490041A (en) | Device for applying radiation at adjustable angles | |
| US7177025B2 (en) | Measuring specular reflectance of a sample | |
| JP2001041822A (ja) | 干渉分光光度計 | |
| GB2091900A (en) | Device for applying radiation at adjustable angles, monochromators | |
| JP2654990B2 (ja) | シュリーレン装置 | |
| JP3098806B2 (ja) | Ｘ線分光装置およびｅｘａｆｓ測定装置 | |
| JP2002372456A (ja) | 赤外分光光度計 | |
| US10444140B1 (en) | Theta-theta sample positioning stage with application to sample mapping using reflectometer, spectrophotometer or ellipsometer system | |
| US2256103A (en) | Optical projecting apparatus | |
| CN114354544A (zh) | 一种半透明材料双向散射分布函数测量装置及方法 | |
| JPH0612335B2 (ja) | 分光測色装置の光学系 |