JPH04305178A - 半導体デバイスドライバ回路 - Google Patents

半導体デバイスドライバ回路

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JPH04305178A
JPH04305178A JP3068428A JP6842891A JPH04305178A JP H04305178 A JPH04305178 A JP H04305178A JP 3068428 A JP3068428 A JP 3068428A JP 6842891 A JP6842891 A JP 6842891A JP H04305178 A JPH04305178 A JP H04305178A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はCCDテスタ等におい
て被試験CCD等にアドレス信号等を供給するドライバ
回路に関し、特に各ドライバのL,Hの出力電圧を経済
的な回路構成でかつ高精度に較正できるようにしたもの
である。
【0002】
【従来の技術】CCDテスタ等においては、被試験CC
Dの複数のアドレス端子にそれぞれドライバを通じてア
ドレス信号を供給する必要がある。その際各ドライバの
L(低レベル)およびH(高レベル)の各出力電圧が所
定の許容範囲にあるか否かをチェックし、外れているも
のがあれば電圧調整器を可変して各ドライバの電源端子
に供給する電圧を調整して較正しなければならない。
【0003】図3に示すのは、従来の被試験CCDドラ
イバ回路のブロック図である。タイミング発生器1より
クロック(CLK)がパターン発生器2に供給され、ク
ロックに同期した所定パターンのアドレス信号がドライ
バDV1 乃至DVn に供給される。なお、各ドライ
バDVi (i=1〜n)の入力側または出力側(図で
は入力側)に直流分をカットするためのコンデンサCが
挿入されている。各ドライバDVi の出力はスイッチ
Kai を介して出力端子Oi に供給される。
【0004】電源端子3の低レベルの出力電圧VLは、
各電圧調整器ALiを介して各ドライバDVi のL側
電源端子に供給される。一方、電圧源4の高レベルの出
力電圧VHは、各電圧調整器AHi を介して各ドライ
バDVi のH側電源端子に供給される。各出力端子O
iの電圧はスイッチKbi を介して電圧計5に入力さ
れる。ドライバDV1 のL/Hの出力電圧OL1 /
OH1 はスイッチKa1 及びKb1 をオンにして
電圧計(例えばディジタルボルトメータ)5で測定され
る。もし許容範囲を外れていれば、電圧調整器AL1 
/AH1 によりドライバDV1 の電源電圧を調整し
て較正される。以下同様にして各ドライバDVi の出
力電圧の測定と較正が行われる。
【0005】ドライバDVi のL/Hの出力電圧は、
被試験CCDとのインターフェースがTTLレベルであ
れば公称0V/+5Vであり、またECL(エミッタカ
ップルドロジック)レベルであれば公称−1.8V/−
0.8Vである。電圧調整器ALi の出力電圧VLi
 は例えば−10〜+5Vの範囲で、また電圧調整器A
Hi の出力電圧VHi は例えば+5〜+20Vの範
囲で調整可能とされる。また、これら電圧調整器はプロ
グラマブルに構成されている。
【0006】従来の他のドライバ回路は図4に示すよう
に比較回路CPi (i=1〜n)を用いる回路である
。 図4には図3と対応する部分に同じ符号を付し、重複説
明を省略する。ドライバDVi の出力電圧はスイッチ
Kci (オン)を通じて比較回路CPi に供給され
る。各比較回路CPi にはタイミング発生器1よりそ
の比較動作のタイミングを与えるストローブパルス(S
TV)が供給される。また比較回路CPi には比較電
圧発生器6よりドライバ出力の低レベルの許容範囲を示
す電圧L1 ,L2 (だだしL1 <L2 )及び高
レベルの許容範囲を示す電圧H1 ,H2 (ただしH
1 <H2 )が供給されており、ドライバDVi の
出力電圧OLi ,OHi がそれぞれ前記許容範囲に
入っているか否かストローブパルスSTVのタイミング
において比較判定される。L側、H側電圧共許容範囲内
にあれば、ドライバDVi に印加したパターンと同じ
矩形波信号が比較回路CPi より表示器7に入力され
る。出力電圧OLi /OHi が許容範囲を外れてい
る場合には、電圧調整器ALi /AHi を調整して
較正される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】電圧計5を用いる図3
に示す方法では、電圧計5により電圧レベルOLi /
OHi を測定できるのは、アドレス信号のパルス幅(
1ビット幅)がミリセカンドオーダーまたはそれ以上の
場合である。そのためパルス幅を、実使用状態において
被試験料にアドレス信号を供給している場合より可なり
長くしなければならない。また、このようにパルス幅を
長くすると、ドライバの前または後にコンデンサCが挿
入されているので、ドライバ出力の矩形波に所謂ザグが
発生し、歪んだ波形となるので、実使用状態とほゞ同じ
条件でドライバ出力電圧に対する高精度の測定と較正が
できない欠点がある。
【0008】これに対して比較回路CPi を用いる図
4の回路は、パルス幅がナノセカンドオーダーまでドラ
イバ出力電圧OLi /OHi の測定及び較正が可能
である。しかしながら、比較回路CPi 〜CPn ,
比較電圧発生器6及び表示器7を設けなければならず、
経済的負担が大きくなる。この発明の目的は、ドライバ
の出力電圧を実使用状態にほゞ等しいビット速度におい
て、高精度で測定及び較正できる経済的な回路を実現し
ようとするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明はタイミング発
生器と、パターン発生器と、複数のドライバと、電圧調
整器と、マルチプレクサと、サンプルホールド回路と、
電圧計とを具備する半導体デバイスドライバ回路である
。前記タイミング発生器は、クロック及びストーロブパ
ルスを前記パターン発生器及びサンプルホールド回路に
それぞれ供給するものである。前記パターン発生器は、
前記ドライバに所定パターンのディジタル信号を入力す
るものである。前記マルチプレクサは、前記複数のドラ
イバの出力電圧を入力し、順次その1つを選択して前記
サンプルホールド回路に供給するものである。
【0010】前記サンプルホールド回路は、前記ストロ
ーブパルスに同期して、前記マルチプレクサより入力さ
れるドライバ出力の複数の低レベルビットの電圧または
複数の高レベルビットの電圧をサンプルホールドして、
それらホールドした電圧を前記電圧計に入力する。前記
電圧調整器は、前記電圧計の測定値が許容範囲より外れ
ている場合に、対応するドライバの電源端子に供給する
低レベルまたは高レベルの直流電圧を調整して、そのド
ライバの出力電圧を前記許容範囲内に設定する。
【0011】
【実施例】この発明の実施例を図1に、図3、図4と対
応する部分に同じ符号を付し、重複説明を省略する。こ
の発明では、従来の図3の回路に、マルチプレクサ8と
サンプルホールド回路9とが追加される。パターン発生
器2より被試験CCDの実使用状態とほゞ同じビット長
のアドレスパターンが各ドライバDVi に供給される
。 ドライバDV1 〜DVn の出力は出力電圧較正時に
それぞれスイッチKci (i=1〜n)を介してマル
チプレクサ8の相異なる入力端子に供給され、順次選択
されて、サンプルホールド回路9に入力され、図2に示
すようにストローブパルスSTV(タイミング発生器1
より供給される)が入力されるたびに、その時点の電圧
値がサンプルホールドされる。
【0012】高(低)レベルの出力電圧VHi (VL
i )を較正する際には、図2A(B)に示すようにス
トローブパルス(STV)は高(低)レベル期間のほゞ
中間になるようにタイミングが設定される。サンプルホ
ールド回路9の出力はスイッチK1 を介して電圧計5
に入力される。電圧計5では入力電圧がTa(t1 〜
t2)時間(ミリセカンドオーダー)の間読み込まれて
、正確な測定が行われる。ドライバ出力電圧OLi /
OHi が許容範囲を外れていれば、電圧調整器ALi
 /AHi によって調整される。
【0013】ストローブパルスの周期T1 、即ち図2
のドライバ出力波形の隣接する山と山または谷と谷の間
隔はあまり長くなると、サンプルホールド回路9のホー
ルド電圧が変化してドループ(ザグと類似のもの)が発
生し、測定誤差となるので、ドループが無視できるよう
に、周期T1 は100nS程度以内とされる。この値
は被試験CCDの実使用状態において充分満足される値
であるので問題になることはない。
【0014】マルチプレクサ8の各入力端子にはスイッ
チKci が接続されているが、もしマルチプレクサ8
を省略し、スイッチKci (i=1〜n)を全てサン
プルホールド回路9の共通の入力端子に接続した場合に
は、n個のスイッチとその配線のもつ浮遊容量がその入
力端子にぶらさがることとなるので、高速パルスの波形
がなまり、測定及び較正の誤差の原因となる。マルチプ
レクサ8はこのようなことが起こらないようにしている
【0015】図1の例では、必要に応じスイッチKbi
 (i=1〜n)を切り換えて、ドライバ出力電圧を電
圧計5で直接測定できるようにしているが、省略しても
よい。図1では電圧計5の入力端子にn個のスイッチK
b1〜Kbn がぶら下がるが、この場合の浮遊容量は
、サンプルホールド回路9の出力電圧の測定にはほとん
ど影響を与えない。その理由は、サンプルホールド回路
9より電圧計5に供給される電圧は、その時間間隔がm
sオーダーと大きく、またその時間的変動がほとんどな
い信号だからである。
【0016】図1では基準電源10がスイッチK2 ,
K3 を順次介してマルチプレクサ8の入力端子に接続
され、共通電位点がスイッチK4 を介してスイッチK
2 とK3 の接続点Pに接続され、また接続点Pはス
イッチK5 を介して電圧計5の入力端子に接続した場
合が示されている。この場合には、スイッチK2 〜K
5 を操作して、基準電圧Es及び共通電位を先ず電圧
計5で直接測定し、次にマルチプレクサ8,サンプルホ
ールド回路9及びスイッチK1 を通して入力する電圧
を測定すれば、測定系のオフセットが分かるので、オフ
セットがなくなるように例えばサンプルホールド回路9
の利得を調整することにより、測定系の精度を向上でき
る。
【0017】なお、電圧計5の測定データをコンピュー
タに入力し、コンピュータ制御によって電圧調整器の出
力電圧を自動的に調整するようにしてもよい。
【0018】
【発明の効果】この発明によれば、電圧計5を使用する
従来の図3の回路に、スイッチKc1 〜Kcn ,マ
ルチプレクサ8,サンプルホールド回路9及びスイッチ
K1 を追加することにより、高速なアドレス信号の状
態でドライバ出力電圧の測定及び較正を行えるので、デ
ータ速度を実使用状態に合わせることができると共に高
速であるが故にドライバの出力に従来のようなザグが発
生することもなく、高精度の測定と較正が可能となる。
【0019】またマルチプレクサ8やサンプルホールド
回路9は各1個あればよく、ドライバDVi に対応し
た比較回路CPi と比較電圧発生器6及び表示器7を
用いる従来の図4の場合より、経済的なドライバ回路を
実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示すブロック図。
【図2】図1の要部の波形図。
【図3】従来のCCDドライバ回路のブロック図。
【図4】従来の他のCCDドライバ回路のブロック図。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  タイミング発生器と、パターン発生器
    と、複数のドライバと、電圧調整器と、マルチプレクサ
    と、サンプルホールド回路と、電圧計とを具備する半導
    体デバイスドライバ回路であって、前記タイミング発生
    器は、クロック及びストーロブパルスを前記パターン発
    生器及びサンプルホールド回路にそれぞれ供給するもの
    であり、前記パターン発生器は、前記ドライバに所定パ
    ターンのディジタル信号を入力するものであり、前記マ
    ルチプレクサは、前記複数のドライバの出力電圧を入力
    し、順次その1つを選択して前記サンプルホールド回路
    に供給するものであり、前記サンプルホールド回路は、
    前記ストローブパルスに同期して、前記マルチプレクサ
    より入力されるドライバ出力の複数の低レベルビットの
    電圧または複数の高レベルビットの電圧をサンプルホー
    ルドして、それらホールドした電圧を前記電圧計に入力
    するものであり、前記電圧調整器は、前記電圧計の測定
    値が許容範囲より外れている場合に、対応するドライバ
    の電源端子に供給する低レベルまたは高レベルの直流電
    圧を調整して、そのドライバの出力電圧を前記許容範囲
    内に設定するものであることを特徴とする、半導体デバ
    イスドライバ回路。
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WO1997024622A1 (fr) * 1994-07-15 1997-07-10 Advantest Corporation Circuit electronique a broche d'entree/sortie
US6064242A (en) * 1995-12-28 2000-05-16 Advantest Corp. I/O pin electronics circuit having a pair of drivers

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