JPH043007A - 光学素子保持枠 - Google Patents
光学素子保持枠Info
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- JPH043007A JPH043007A JP10584490A JP10584490A JPH043007A JP H043007 A JPH043007 A JP H043007A JP 10584490 A JP10584490 A JP 10584490A JP 10584490 A JP10584490 A JP 10584490A JP H043007 A JPH043007 A JP H043007A
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- optical element
- optical
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Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 9
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光学素子保持枠、詳しくは、光学素子をその
光軸に直角な当り面と保持枠の受け面とが当接しＩ；状
態で保持する保持枠が光学装置の保持枠取り付け面に取
り付けられる光学素子保持枠に関し、特に光学装置に取
り付けた場合に光学素子の位置精度を要求される、例え
ばレーザ干渉測定器における測定光または参照光の反射
光学素子の保持枠として好適に用いられる光学素子保持
枠に関する。
光軸に直角な当り面と保持枠の受け面とが当接しＩ；状
態で保持する保持枠が光学装置の保持枠取り付け面に取
り付けられる光学素子保持枠に関し、特に光学装置に取
り付けた場合に光学素子の位置精度を要求される、例え
ばレーザ干渉測定器における測定光または参照光の反射
光学素子の保持枠として好適に用いられる光学素子保持
枠に関する。
従来の上述のような光学素子保持枠は、光学装置の保持
枠取り付け面に取り付けられる保持枠の当接面が光学素
子の当り面と当接する保持枠の受け面とは光軸方向にず
れているものであった。そのため、保持枠が光学装置に
取り付けられて温度変化があると、保持枠の当接面と受
け面の光軸方向距離の温度変化による伸縮によって保持
枠が保持している光学素子の光軸方向位置が変動すると
言う問題があった。この問題を解消するために、保持枠
に線膨張率が通常の金属材料等の１０−’に一’程度よ
り小さい特殊な材料を用いるようにした場合は、保持枠
のコストが非常に高くなるし、加工性も悪くなったり、
材料のヤング率が低くて保持枠としては剛性が不十分な
ものになったりすると言う問題が新たに生ずる。まｔ；
、保持枠の線膨張率が光学素子に用いられるカラスや石
英等の線膨張率１Ｏ−６〜１０−７に一’程度と余り違
っても光学素子に光軸と直角の方向の熱応力やガタが生
じ易くなる。
枠取り付け面に取り付けられる保持枠の当接面が光学素
子の当り面と当接する保持枠の受け面とは光軸方向にず
れているものであった。そのため、保持枠が光学装置に
取り付けられて温度変化があると、保持枠の当接面と受
け面の光軸方向距離の温度変化による伸縮によって保持
枠が保持している光学素子の光軸方向位置が変動すると
言う問題があった。この問題を解消するために、保持枠
に線膨張率が通常の金属材料等の１０−’に一’程度よ
り小さい特殊な材料を用いるようにした場合は、保持枠
のコストが非常に高くなるし、加工性も悪くなったり、
材料のヤング率が低くて保持枠としては剛性が不十分な
ものになったりすると言う問題が新たに生ずる。まｔ；
、保持枠の線膨張率が光学素子に用いられるカラスや石
英等の線膨張率１Ｏ−６〜１０−７に一’程度と余り違
っても光学素子に光軸と直角の方向の熱応力やガタが生
じ易くなる。
本発明は、上述の問題の解消を目的とし、保持枠か通常
の金属材料等から成るものであっても、温度変化による
光学素子の光軸方向位置変動のない光学素子保持枠の提
供を目的とする。
の金属材料等から成るものであっても、温度変化による
光学素子の光軸方向位置変動のない光学素子保持枠の提
供を目的とする。
本発明は、光学素子をその光軸に直角な当り面と保持枠
の受け面とが当接した状態で保持する保持枠か光学装置
の保持枠取り付け面に取り付けられる光学素子保持枠に
おいて、前記取り付け面への保持枠の当接面を前記受け
面と同一平面上に形成したことを特徴とする光学素子保
持枠にあり、この構成によって前記目的を達成する。
の受け面とが当接した状態で保持する保持枠か光学装置
の保持枠取り付け面に取り付けられる光学素子保持枠に
おいて、前記取り付け面への保持枠の当接面を前記受け
面と同一平面上に形成したことを特徴とする光学素子保
持枠にあり、この構成によって前記目的を達成する。
すなわち、本発明の光学素子保持枠は、光学装置の保持
枠取り付け面への保持枠の当接面を保持枠に嵌装される
光学素子の光軸に直角な当り面に当接する保持枠の受け
面と同一平面上にあるように形成しているから、温度変
化かあっても保持枠に嵌装された光学素子の当り面か光
学装置の保持枠取り付け面位置から動かず、したがって
光学素子の光軸方向位置が変動することはない。
枠取り付け面への保持枠の当接面を保持枠に嵌装される
光学素子の光軸に直角な当り面に当接する保持枠の受け
面と同一平面上にあるように形成しているから、温度変
化かあっても保持枠に嵌装された光学素子の当り面か光
学装置の保持枠取り付け面位置から動かず、したがって
光学素子の光軸方向位置が変動することはない。
以下、本発明を図示例によって説明する。
第１図および第２図は本発明の光学素子保持枠の１例を
示す光学素子挿入口と反対側の平面図および半分を断面
で示した側面図、第３図は本発明の光学素子保持枠を用
いたレーザ干渉測定器の１例を示す構成概要図である。
示す光学素子挿入口と反対側の平面図および半分を断面
で示した側面図、第３図は本発明の光学素子保持枠を用
いたレーザ干渉測定器の１例を示す構成概要図である。
第１．２図において、ｌは保持枠本体、２は光軸に直角
な反射面２ａを有する光学素子である。
な反射面２ａを有する光学素子である。
光学素子２は、保持枠本体ｌの挿入口ｌａから、反射面
２ａを前面にして反射面２ａの周縁部の当り面２ｂか保
持枠本体ｌの受け面ｔｂに当接するまで挿入される。そ
して、次に光学素子２の背面の周縁部に当接する弾性体
リング３を挿入口１ａから挿入し、最後に弾性体リング
３を押す抜は止めリング４を挿入口１ａから圧入するこ
とによって、光学素子２は当り面２ｂが保持枠本体ｌの
受け面Ｉｂに当接した状態で図示のように保持枠本体ｌ
に保持される。
２ａを前面にして反射面２ａの周縁部の当り面２ｂか保
持枠本体ｌの受け面ｔｂに当接するまで挿入される。そ
して、次に光学素子２の背面の周縁部に当接する弾性体
リング３を挿入口１ａから挿入し、最後に弾性体リング
３を押す抜は止めリング４を挿入口１ａから圧入するこ
とによって、光学素子２は当り面２ｂが保持枠本体ｌの
受け面Ｉｂに当接した状態で図示のように保持枠本体ｌ
に保持される。
保持枠本体ｌは、光学装置への取り付け用孔ｌＣが設け
られた取り付け用７ランジ部１ｄを有し、その７リング
部１ｄの挿入口ｌａ側の面を光学装置の保持枠取り付け
面への当接面１ｅとし、当接面ｌｅを受け面１ｂの延長
面に形成している。したがって、温度変化かあっても、
光学素子２の当り面２ｂすなわち反射面２ａの位置は常
に光学装置の保持枠取り付け面の位置に一致する。
られた取り付け用７ランジ部１ｄを有し、その７リング
部１ｄの挿入口ｌａ側の面を光学装置の保持枠取り付け
面への当接面１ｅとし、当接面ｌｅを受け面１ｂの延長
面に形成している。したがって、温度変化かあっても、
光学素子２の当り面２ｂすなわち反射面２ａの位置は常
に光学装置の保持枠取り付け面の位置に一致する。
第３図の光学装置は、安定化レーザ５からのレーザ光を
ヒームスプリツタ６で２分割すると共に、それぞれ参照
光路の固定のコーナキューブ２１と測定光路の移動のコ
ーナキューブ２２によって反射されて来た゛参照光と測
定光とを合わせて干渉縞計数測長回路９の受光素子に入
射して、干渉縞計数測長回路９で干渉縞を計数し測定光
路の光路長を測定する干渉縞計数型のレーザ測長計であ
る。この例では、コーナキューブ２１と２２かそれぞれ
入射面の周縁部を保持枠本体ｌの受け面１ｂに当接させ
て保持枠本体１に保持されており、そしてコーナキュー
ブ２１を保持した保持枠本体ｌか固定部材７の参照光路
に直角な保持枠取り付け面７ａに当接面１ｅを当接させ
て取り付けられていて、コーナキューブ２２を保持した
保持枠本体ｌが測定光路に平行に矢印方向に移動する移
動部材８の測定光路に直角な保持枠取り付け面８ａに当
接面１ｅを当接させて取り付けられている。したがって
、温度変化かあっても、コーナキューブ２１と２２の入
射面位置は常にそれぞれ固定部材７の保持枠取り付け面
７ａの位置と移動部材８の保持枠取り付け面８ａの位置
に一致するから、正確な測長を行うことができる。
ヒームスプリツタ６で２分割すると共に、それぞれ参照
光路の固定のコーナキューブ２１と測定光路の移動のコ
ーナキューブ２２によって反射されて来た゛参照光と測
定光とを合わせて干渉縞計数測長回路９の受光素子に入
射して、干渉縞計数測長回路９で干渉縞を計数し測定光
路の光路長を測定する干渉縞計数型のレーザ測長計であ
る。この例では、コーナキューブ２１と２２かそれぞれ
入射面の周縁部を保持枠本体ｌの受け面１ｂに当接させ
て保持枠本体１に保持されており、そしてコーナキュー
ブ２１を保持した保持枠本体ｌか固定部材７の参照光路
に直角な保持枠取り付け面７ａに当接面１ｅを当接させ
て取り付けられていて、コーナキューブ２２を保持した
保持枠本体ｌが測定光路に平行に矢印方向に移動する移
動部材８の測定光路に直角な保持枠取り付け面８ａに当
接面１ｅを当接させて取り付けられている。したがって
、温度変化かあっても、コーナキューブ２１と２２の入
射面位置は常にそれぞれ固定部材７の保持枠取り付け面
７ａの位置と移動部材８の保持枠取り付け面８ａの位置
に一致するから、正確な測長を行うことができる。
本発明の光学素子保持枠は、反射面を有する光学素子を
保持した上述の例に限らず、レンズを保持するものであ
ってもよい。また取り付け用７ランジ部の挿入口とは反
対側の面が受け面と同−千面上の当接面になっているも
のでも、挿入口を側壁に設けていて、光学素子が光軸と
直角の方向から保持枠に挿入され、しかる後に弾性部材
によって光学素子を光軸方向に押して光学素子の当り面
を保持枠の受け面に当接させ保持するものでもよい。
保持した上述の例に限らず、レンズを保持するものであ
ってもよい。また取り付け用７ランジ部の挿入口とは反
対側の面が受け面と同−千面上の当接面になっているも
のでも、挿入口を側壁に設けていて、光学素子が光軸と
直角の方向から保持枠に挿入され、しかる後に弾性部材
によって光学素子を光軸方向に押して光学素子の当り面
を保持枠の受け面に当接させ保持するものでもよい。
本発明によれば、保持枠に線膨張率の特別に小さい材料
を用いる必要がないから保持枠を安価に構成することが
できて、しかも温度変化に拘らず常に光学素子の基準当
り面位置が光学装置の保持枠取り付け面位置に一致する
と言う優れた効果が得られる。
を用いる必要がないから保持枠を安価に構成することが
できて、しかも温度変化に拘らず常に光学素子の基準当
り面位置が光学装置の保持枠取り付け面位置に一致する
と言う優れた効果が得られる。
第１図および第２図は本発明の光学素子保持枠の１例を
示す光学素子挿入口と反対側の平面図および半分を断面
で示した側面図、第３図は本発明の光学素子保持枠を用
いたレーザ干渉測定器の１例を示す構成概要図である。 ｌ・・・保持枠本体 １ａ・・・挿入口１ｂ・・・
受け面 １ｃ・・取り付け用孔ｌｄ・取り付け
用７う〕７部 ｌｅ−当接面 ２・・光学素子２ａ・・・反射
面 ２ｂ・・当り面３・・弾性体リング ４
・・・抜は止めりング５・・安定化レーザ ６・・ヒ
ームヌプリンタ７・・・固定部材 ８・・・移動
部材７ ａ、 ８ ａ・・・保持枠取り付け面９・・・
干渉縞計数測長回路 ２１．２２・・・コーナキューブ
示す光学素子挿入口と反対側の平面図および半分を断面
で示した側面図、第３図は本発明の光学素子保持枠を用
いたレーザ干渉測定器の１例を示す構成概要図である。 ｌ・・・保持枠本体 １ａ・・・挿入口１ｂ・・・
受け面 １ｃ・・取り付け用孔ｌｄ・取り付け
用７う〕７部 ｌｅ−当接面 ２・・光学素子２ａ・・・反射
面 ２ｂ・・当り面３・・弾性体リング ４
・・・抜は止めりング５・・安定化レーザ ６・・ヒ
ームヌプリンタ７・・・固定部材 ８・・・移動
部材７ ａ、 ８ ａ・・・保持枠取り付け面９・・・
干渉縞計数測長回路 ２１．２２・・・コーナキューブ
Claims (2)
- （１）光学素子をその光軸に直角な当り面と保持枠の受
け面とが当接した状態で保持する保持枠が光学装置の保
持枠取り付け面に取り付けられる光学素子保持枠におい
て、前記取り付け面への保持枠の当接面を前記受け面と
同一平面上に形成したことを特徴とする光学素子保持枠
。 - （２）前記光学素子がレーザ干渉測定器の測定光または
参照光を反射する光学素子である特許請求の範囲第１項
記載の光学素子保持枠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10584490A JPH043007A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 光学素子保持枠 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10584490A JPH043007A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 光学素子保持枠 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH043007A true JPH043007A (ja) | 1992-01-08 |
Family
ID=14418329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10584490A Pending JPH043007A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 光学素子保持枠 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH043007A (ja) |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP10584490A patent/JPH043007A/ja active Pending
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