JPH0429374Y2 - - Google Patents
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- JPH0429374Y2 JPH0429374Y2 JP8071986U JP8071986U JPH0429374Y2 JP H0429374 Y2 JPH0429374 Y2 JP H0429374Y2 JP 8071986 U JP8071986 U JP 8071986U JP 8071986 U JP8071986 U JP 8071986U JP H0429374 Y2 JPH0429374 Y2 JP H0429374Y2
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- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この考案は、例えば、磁気ロータリーエンコー
ダ等に適用され、磁気記録媒体に記録された磁気
情報を、固有抵抗値が磁界の変化に応じて変化す
る磁気抵抗素子によつて読み取る磁気エンコーダ
用磁気抵抗センサに関する。[Detailed description of the invention] "Industrial application field" This invention is applied to, for example, magnetic rotary encoders, etc., and allows magnetic information recorded on a magnetic recording medium to be changed in response to changes in the magnetic field. The present invention relates to a magnetoresistive sensor for a magnetic encoder that is read by a magnetoresistive element.
「従来の技術」
周知のように、磁気ロータリーエンコーダは、
入力軸に連結された円盤状の磁気記録媒体と、こ
の磁気記録媒体と所定のギヤツプを隔てて対向
し、磁気記録媒体に記録された磁気情報を読み取
る磁気抵抗センサとから構成されている。この磁
気抵抗センサは、例えば、ガラス基板上に蒸着さ
れたNi−Fe合金などからなる磁気抵抗素子
（MR素子）によつて構成されており、MR素子
の固有抵抗が磁界の変化に伴つて変化する現象、
いわゆる磁気抵抗効果を利用して、磁気記録媒体
上に記録された磁気情報を読み取るようになつて
いる。そして、磁気記録媒体には、その変位方向
（円周方向）に沿つて一定間隔毎に磁気情報が記
録されており、この磁気情報を磁気抵抗センサに
よつて読み取ることにより、磁気記録媒体の回転
量、つまり入力軸の回転量が突出されるようにな
つている。"Prior Art" As is well known, magnetic rotary encoders are
It consists of a disk-shaped magnetic recording medium connected to an input shaft, and a magnetoresistive sensor that faces the magnetic recording medium across a predetermined gap and reads magnetic information recorded on the magnetic recording medium. This magnetoresistive sensor is composed of a magnetoresistive element (MR element) made of, for example, a Ni-Fe alloy deposited on a glass substrate, and the specific resistance of the MR element changes with changes in the magnetic field. The phenomenon of
Magnetic information recorded on a magnetic recording medium is now read using the so-called magnetoresistive effect. Magnetic information is recorded on the magnetic recording medium at regular intervals along its displacement direction (circumferential direction), and by reading this magnetic information with a magnetoresistive sensor, rotation of the magnetic recording medium is detected. In other words, the amount of rotation of the input shaft is projected.
「考案が解決しようとする問題点」
ところで、上述した磁気ロータリーエンコーダ
に適用される磁気抵抗センサにおいては、組み立
て時において、磁気記録媒体との間のギヤツプ量
を正確に調整しなければならない。すなわち、磁
気抵抗センサを構成するMR素子は、磁気記録媒
体から受ける磁界の変化に応じて固有抵抗値が変
化するものであるから、ギヤツプが正確に調整さ
れていないと、MR素子に作用する磁界が変化し
てしまい、磁気記録媒体に記録された磁気情報の
読み出しが正確に行なわれなくなつてしまう。し
かしながら、従来の磁気エンコーダの製造工程に
おいては、MR素子と磁気記録媒体との間のギヤ
ツプが定量的に検出されておらず、例えば、磁気
抵抗センサを磁気記録媒体と対向するように取り
付けた後、磁気記録媒体の回転に伴つてMR素子
から検出される検出信号に基づいて、ギヤツプを
調整する方法が採られていた。このため、ギヤツ
プの調整作業が極めて煩雑であるという問題点が
あり、改善が望まれていた。"Problems to be Solved by the Invention" By the way, in the magnetoresistive sensor applied to the above-described magnetic rotary encoder, the amount of gap between the sensor and the magnetic recording medium must be accurately adjusted during assembly. In other words, the specific resistance of the MR element that makes up the magnetoresistive sensor changes in response to changes in the magnetic field received from the magnetic recording medium, so if the gap is not adjusted accurately, the magnetic field acting on the MR element will change. As a result, the magnetic information recorded on the magnetic recording medium cannot be read out accurately. However, in the conventional manufacturing process of magnetic encoders, the gap between the MR element and the magnetic recording medium is not quantitatively detected. Previously, a method was adopted in which the gap was adjusted based on a detection signal detected from an MR element as the magnetic recording medium rotated. For this reason, there is a problem in that the gap adjustment work is extremely complicated, and an improvement has been desired.
この考案は上述した事情に鑑みてなされたもの
で、MR素子と磁気記録媒体との間のギヤツプを
定量的に検出することができ、これによりギヤツ
プの調整作業の簡便化を図つた磁気エンコーダ用
磁気抵抗センサを提供することを目的としてい
る。 This idea was made in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to quantitatively detect the gap between the MR element and the magnetic recording medium, thereby simplifying the gap adjustment work. The purpose is to provide a magnetoresistive sensor.
「問題点を解決するための手段」
この考案は、磁気記録媒体に記録された磁気情
報を、固有抵抗値が磁界の変化に応じて変化する
磁気抵抗素子によつて読み取る磁気エンコーダ用
磁気抵抗センサにおいて、前記磁気抵抗素子が設
けられた基板上に、前記磁気記録媒体と前記磁気
抵抗素子の間のギヤツプ量に対応した静電容量を
検出するための静電容量検出用電極を設けたこと
を特徴としている。"Means for solving the problem" This invention is a magnetoresistive sensor for magnetic encoders that reads magnetic information recorded on a magnetic recording medium using a magnetoresistive element whose specific resistance value changes according to changes in the magnetic field. In the above, a capacitance detection electrode for detecting a capacitance corresponding to a gap amount between the magnetic recording medium and the magnetoresistive element is provided on the substrate on which the magnetoresistive element is provided. It is a feature.
「作用」
静電容量検出用電極と磁気記録媒体との間の静
電容量を検出することにより、磁気抵抗素子と磁
気記録媒体の間のギヤツプ量が定量的に検出さ
れ、これにより、ギヤツプ量を自動的に調整する
ことが可能となり、ギヤツプの調整作業の簡便化
が図られる。"Operation" By detecting the capacitance between the capacitance detection electrode and the magnetic recording medium, the amount of gap between the magnetoresistive element and the magnetic recording medium is quantitatively detected. This makes it possible to automatically adjust the gap, thereby simplifying the gap adjustment work.
「実施例」
以下、図面を参照し、この考案の実施例を説明
する。"Embodiments" Hereinafter, embodiments of this invention will be described with reference to the drawings.
第１図イおよびロはこの考案の一実施例の構成
を示す図である。これらの図において、１は長方
形状のガラス製の電気絶縁基板であり、この電気
絶縁基板１の上面（以下、MR素子構成面と呼
ぶ）１ａには、薄膜状の一対のMR素子２，２が
真空蒸着またはスパツタリング法などによつて形
成されている。各MR素子２はNi−Fe合金また
はNi−Co合金等によつて構成されており、MR
素子構成面１ａの中央部に位置する検出部２ａ
と、検出部２ａの両端からMR素子構成面１ａの
一辺１ｂにまで至る端子部２ｂ，２ｂとから構成
されている。 FIGS. 1A and 1B are diagrams showing the structure of an embodiment of this invention. In these figures, reference numeral 1 denotes a rectangular electrically insulating substrate made of glass, and on the upper surface (hereinafter referred to as MR element forming surface) 1a of this electrically insulating substrate 1, a pair of thin film MR elements 2, 2 are arranged. is formed by vacuum evaporation or sputtering. Each MR element 2 is made of Ni-Fe alloy or Ni-Co alloy, etc.
Detection section 2a located at the center of element configuration surface 1a
and terminal portions 2b extending from both ends of the detection portion 2a to one side 1b of the MR element forming surface 1a.
また、MR素子構成面１ａ上には、各MR素子
２の検出部２ａを囲むようにして、３個の電極
３，４，５が各々形成されている。これらの電極
３，４，５はMR素子２と同じ合金材料によつて
構成されており、MR素子２と同様に真空蒸着ま
たはスパツタリング法などによつて形成されてい
る。この場合、電極３，４は一辺１ｂに対向する
他辺１ｃの両端部に形成された検出部３ａ，４ａ
と、これらの検出部３ａ，４ａから一辺１ｂにま
で至る端子部３ｂ，４ｂとから構成されており、
また、電極５は一辺１ｂに沿つて形成されてい
る。以上によつて磁気抵抗センサ６が構成されて
いる。なお、この一実施例においては、磁気抵抗
センサ６の外形寸法を縦9.0mm×横13.0mm×厚さ
1.1mmとしている。 Further, three electrodes 3, 4, and 5 are formed on the MR element forming surface 1a so as to surround the detection portion 2a of each MR element 2. These electrodes 3, 4, and 5 are made of the same alloy material as the MR element 2, and similarly to the MR element 2, are formed by vacuum evaporation or sputtering. In this case, the electrodes 3 and 4 are provided at detection portions 3a and 4a formed at both ends of the other side 1c opposite to the one side 1b.
and terminal portions 3b, 4b extending from these detection portions 3a, 4a to one side 1b,
Further, the electrode 5 is formed along one side 1b. The magnetoresistive sensor 6 is configured as described above. In this embodiment, the external dimensions of the magnetoresistive sensor 6 are 9.0 mm long x 13.0 mm wide x thick.
It is set to 1.1mm.
このように構成された磁気抵抗センサ６を用い
て、MR素子２と磁気記録媒体との間のギヤツプ
量を検出する場合は、第２図に示すように、磁気
ロータリーエンコーダの入力軸７と、磁気抵抗セ
ンサ６の各電極３，４，５とを、検出回路９に
各々電気的に接続し、また第３図に示すように磁
気抵抗センサ６を配置すると、上記検出回路９は
静電容量に基づいて、入力軸７に連結された磁気
記録媒体８と各電極３，４，５の間のギヤツプ量
G1，G2，G3を各々検出するもので、入力軸７と
各電極３，４，５との間の静電容量を各々検出す
ることにより、ギヤツプ量G1，G2，G3に各々対
応した検出信号S1，S2，S3を出力する。これら検
出信号S1，S2，S3により磁気記録媒体８と磁気抵
抗センサ６との間のギヤツプ量、および磁気記録
媒体８に対する磁気抵抗センサ６の傾き具合が検
出される。 When detecting the gap amount between the MR element 2 and the magnetic recording medium using the magnetoresistive sensor 6 configured as described above, as shown in FIG. 2, the input shaft 7 of the magnetic rotary encoder, When the electrodes 3, 4, and 5 of the magnetoresistive sensor 6 are electrically connected to the detection circuit 9, and the magnetoresistive sensor 6 is arranged as shown in FIG. Based on the amount of gap between the magnetic recording medium 8 connected to the input shaft 7 and each electrode 3, 4, 5,
By detecting the capacitance between the input shaft 7 and each electrode 3, 4 , 5, the gap amount G 1 , G 2 , G 3 is detected. Detection signals S 1 , S 2 , and S 3 corresponding to , respectively, are output. The amount of gap between the magnetic recording medium 8 and the magnetoresistive sensor 6 and the degree of inclination of the magnetoresistive sensor 6 with respect to the magnetic recording medium 8 are detected by these detection signals S 1 , S 2 , and S 3 .
ここで、上述した磁気抵抗センサ６を適用した
磁気ロータリーエンコーダの製造工程において
は、検出回路９から出力される検出信号S1，S2，
S3に基づいて、磁気抵抗センサ６の下面の、第３
図に矢印Ａ，Ｂ，Ｃで示す３点を矢印方向に調整
する。この場合、検出信号S1，S2，S3が全て定め
られた規定値となるように調整を行う。これによ
り、磁気抵抗センサ６と磁気記録媒体８との間の
ギヤツプ量が規定の値に調整され、かつ磁気抵抗
センサ６が磁気記録媒体８に対して平行となるよ
うに調整される。この場合、MR素子２と磁気記
録媒体８との間のギヤツプ量が定量的に検出され
るので、組み立て作業員が手作業でギヤツプ量を
調整するのではなく、機械的なギヤツプ調整機構
等によつてギヤツプ量を自動的に調整することが
可能となる。 Here, in the manufacturing process of the magnetic rotary encoder to which the above-described magnetoresistive sensor 6 is applied, the detection signals S 1 , S 2 ,
S 3 on the bottom surface of the magnetoresistive sensor 6.
Adjust the three points indicated by arrows A, B, and C in the figure in the direction of the arrows. In this case, the detection signals S 1 , S 2 , and S 3 are adjusted so that they all have predetermined values. As a result, the gap amount between the magnetoresistive sensor 6 and the magnetic recording medium 8 is adjusted to a specified value, and the magnetoresistive sensor 6 is adjusted to be parallel to the magnetic recording medium 8. In this case, the gap amount between the MR element 2 and the magnetic recording medium 8 is detected quantitatively, so instead of the assembly worker manually adjusting the gap amount, a mechanical gap adjustment mechanism or the like is used. Therefore, it becomes possible to automatically adjust the gap amount.
「考案の効果」
以上説明したように、この考案によれば、磁気
記録媒体に記録された磁気情報を、固有抵抗値が
磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗素子によつ
て読み取る磁気エンコーダ用磁気抵抗センサにお
いて、前記磁気抵抗素子が設けられた基板上に、
前記磁気記録媒体と前記磁気抵抗素子の間のギヤ
ツプに対応した静電容量を検出するための静電容
量検出用電極を設けたので、静電容量検出用電極
と磁気記録媒体との間の静電容量を検出すること
により、磁気抵抗素子と磁気記録媒体の間のギヤ
ツプ量が定量的に検出され、これにより、ギヤツ
プ量を自動的に調整することが可能となり、ギヤ
ツプの調整作業の簡便化を図ることができるとい
う効果が得られる。"Effects of the invention" As explained above, according to this invention, magnetic encoders that read magnetic information recorded on a magnetic recording medium using a magnetoresistive element whose specific resistance value changes in accordance with changes in the magnetic field. In the magnetoresistive sensor, on the substrate on which the magnetoresistive element is provided,
Since a capacitance detection electrode is provided to detect capacitance corresponding to the gap between the magnetic recording medium and the magnetoresistive element, the static between the capacitance detection electrode and the magnetic recording medium is By detecting the capacitance, the amount of gap between the magnetoresistive element and the magnetic recording medium can be quantitatively detected, which makes it possible to automatically adjust the amount of gap, simplifying the work of adjusting the gap. The effect is that it is possible to achieve the following.
第１図イおよびロはこの考案の一実施例の構成
を示す正面図および側面図、第２図および第３図
は同実施例による磁気抵抗センサ６を用いてギヤ
ツプ量の調整を行う際の構成を示すブロツク図お
よび斜視図である。
１……電気絶縁基板（基板）、１ａ……MR素
子構成面、２……MR素子（磁気抵抗素子）、２
ａ……検出部、２ｂ……端子部、３，４，５……
電極（静電容量検出用電極）、６……磁気抵抗セ
ンサ、７……入力軸、８……磁気記録媒体、９…
…検出回路、G1，G2，G3……ギヤツプ。
1A and 1B are front and side views showing the configuration of an embodiment of this invention, and FIGS. 2 and 3 are diagrams showing the configuration when adjusting the gap amount using the magnetoresistive sensor 6 according to the same embodiment. FIG. 2 is a block diagram and a perspective view showing the configuration. 1... Electrical insulating substrate (substrate), 1a... MR element configuration surface, 2... MR element (magnetoresistive element), 2
a...Detection section, 2b...Terminal section, 3, 4, 5...
Electrode (capacitance detection electrode), 6... Magnetoresistive sensor, 7... Input shaft, 8... Magnetic recording medium, 9...
...detection circuit, G 1 , G 2 , G 3 ... gap.
Claims (1)
抗値が磁界の変化に応じて変化する磁気抵抗素子
によつて読み取る磁気エンコーダ用磁気抵抗セン
サにおいて、前記磁気抵抗素子が設けられた基板
上に、前記磁気記録媒体と前記磁気抵抗素子の間
のギヤツプ量に対応した静電容量を検出するため
の静電容量検出用電極を設けたことを特徴とする
磁気エンコーダ用磁気抵抗センサ。 In a magnetoresistive sensor for a magnetic encoder that reads magnetic information recorded on a magnetic recording medium using a magnetoresistive element whose specific resistance value changes according to changes in the magnetic field, on a substrate on which the magnetoresistive element is provided, A magnetoresistive sensor for a magnetic encoder, characterized in that a capacitance detection electrode is provided for detecting capacitance corresponding to a gap amount between the magnetic recording medium and the magnetoresistive element.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8071986U JPH0429374Y2 (en) | 1986-05-28 | 1986-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8071986U JPH0429374Y2 (en) | 1986-05-28 | 1986-05-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62193333U JPS62193333U (en) | 1987-12-09 |
| JPH0429374Y2 true JPH0429374Y2 (en) | 1992-07-16 |
Family
ID=30931781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8071986U Expired JPH0429374Y2 (en) | 1986-05-28 | 1986-05-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0429374Y2 (en) |
-
1986
- 1986-05-28 JP JP8071986U patent/JPH0429374Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62193333U (en) | 1987-12-09 |
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