JPH04291145A - ガス拡散制御アセンブリ及びその製造方法並びにガスセンサ - Google Patents

ガス拡散制御アセンブリ及びその製造方法並びにガスセンサ

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JPH04291145A
JPH04291145A JP3322373A JP32237391A JPH04291145A JP H04291145 A JPH04291145 A JP H04291145A JP 3322373 A JP3322373 A JP 3322373A JP 32237391 A JP32237391 A JP 32237391A JP H04291145 A JPH04291145 A JP H04291145A
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JP
Japan
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gas
barrier
diffusion
gas inlet
sensor
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JP3322373A
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English (en)
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Bryan S Hobbs
ブライアン スチュワート ホッブス
Yat S Chan
ヤット シェイン チャン
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City Technology Ltd
Original Assignee
City Technology Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/404Cells with anode, cathode and cell electrolyte on the same side of a permeable membrane which separates them from the sample fluid, e.g. Clark-type oxygen sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0011Sample conditioning

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばガスセンサと共
に用いるためのガス拡散制御アセンブリ及びこのような
アセンブリを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ガスセ
ンサの一例として、限界電流原理に従ってガス又は蒸気
の濃度を測定するための電気化学センサがある。このセ
ンサは、検出電極、対抗電極、及び電解質の介在体を有
する電解質セルを備えており、さらに検出電極へのガス
又は蒸気のアクセス率の制限体を含んでいる。このタイ
プの電気化学センサは、英国特許出願GB−A−157
1282及びGB−A−2049952に記載されてい
る。従来より製造されてきた市販の酸素センサは、バリ
アを構成するために毛細管を組み込んでいる。これらの
センサは、大きな成功を収めてきているが、製造に比較
的コストがかかり、特に酸素センサの場合、比較的短い
有効期間を有している。これは、高濃度の酸素が、比較
的大きな電流発生を招き、これが金属製の対抗電極を比
較的急速に消耗させるためである。市販のセンサでは、
また、バルク流(bulk flow) 制限手段とい
うある形態を備えている必要がある。このバルク流制限
手段は、例えば、センサの指向方向を変える際の突然の
圧力変化、吸込み、電極の撓みによって生じる遷移(過
渡)効果を最小限にするための、低い透過性であるが高
い拡散率を有する微細孔質の毛細管被覆用薄膜である。
【0003】より長い有効寿命を得るという必要性は、
より制限的な拡散バリアを要求することとなる。毛細管
の直径をより小さくすることは、製造の困難性を増大さ
せかつ製造コストをより高くすると共により大きなバル
ク流効果を被ることとなる。従って、従来の毛細管バリ
アのこれら制限を克服する異なったバリア設計による装
置が要求されている。
【0004】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の1つの
態様によれば、ガス入口と、このガス入口を横切って広
がる多孔質拡散バリアの形態をなしており、ガス入口か
らのガス又は蒸気の流量率の制限体と、上述の入口を通
過して拡散バリアへ入る全てのガス又は蒸気を、このガ
ス入口を通過するアクセス方向に対して横方向外側の成
分を有する通路に沿って、バリアの一部を介して拡散せ
しめる制御手段とを備えたガス拡散制御アセンブリが提
供される。
【0005】多孔質バリアは、バリア通過中はガスがガ
ス相に維持されるガス相拡散バリア、活性孔を介する拡
散がクヌーセン原理に従うべく(即ち、拡散率が分子間
衝突よりも孔壁での衝突によって制御されるように)活
性孔が充分に小さくなっているクヌーセンバリア、又は
これら2つのタイプのバリアの混合体であるかもしれな
い。
【0006】横方向のガス拡散を生じせしめる制御手段
が、バリアに接着されたポリエチレンディスクのような
不浸透性部材からなるかもしれない。
【0007】好ましくは、アセンブリがほぼ対称に形成
され、ガス拡散通路を規定するガス入口が対称軸の中心
に位置される。この場合、横方向のガス拡散を生じせし
める手段は、好ましくは、対称軸に関してほぼ対称に横
方向外側へガスを拡散するように配設される。
【0008】アセンブリが微細孔背面テープと共に検出
電極を有するガスセンサ内に合体される場合、ガスが、
(不浸透性ポリエチレンディスクのような)制御手段に
よって規定される領域の周囲の向こうの位置で電極の微
細孔背面テープに入り、これによって他の大きな拡散抵
抗を全く受けることなくセンサの電気触媒層に入ること
ができるように、検出電極は多孔質拡散バリアに対して
好ましくは平行に配置される。
【0009】従来のセンサにおける指向方向効果は検出
電極の撓みによって引き起こされ得、これがガスのバル
ク流を招くと共にセンサ信号上に過渡電流を生じさせる
結果となる。これら過渡電流の大きさは、拡散バリアの
下流の内部ガス容積に関連する。上述のバリア設計によ
れば、不浸透性ガスアクセス通路を提供することによっ
て、指向方向効果を含むいかなるバルク流効果をも減少
させる。
【0010】本発明の第2の態様によれば、検出電極触
媒層と、対抗電極と、本発明の上述の第1の態様による
ガス拡散制御アセンブリとを備えており、多孔質拡散バ
リアが検出電極触媒層に直接的に固着されているガスセ
ンサが提供される。
【0011】この固着は、直接的な加圧接着によって、
ヒートシーリングによって、又はバリア及び電極間のな
んらかの他の手段によって行われるかもしれない。1つ
の実施態様において、多孔質バリア及び制御手段、例え
ば不浸透性ディスクの複合体は、主拡散バリア及び電極
支持テープの両方として働き、これによって内部ガス容
積が非常に低いレベルに減少されかつ電極の撓みによる
指向方向効果が実質的に排除される。
【0012】本発明の第3の態様によれば、ガス入口と
、このガス入口を横切って広がるガス相拡散バリアの形
態をなしており、ガス入口へのガス又は蒸気の流量率の
制限体と、全てのガス又は蒸気を、上述のガス入口を通
過するアクセス方向に対して横方向成分を有する通路に
沿って、バリアの一部を介してこの入口へ通過せしめる
制御手段とを備えたガス拡散制御アセンブリが提供され
る。
【0013】前と同様に、横方向のガス拡散を生じせし
める制御手段が、バリアに接着されたポリエチレンディ
スクのような不浸透性部材からなるかもしれない。
【0014】本発明のこの第3の態様のアセンブリは、
ガス入口の上流にバリアを設けているため、バリアの拡
散率を正確に制御でき、かつ、このアセンブリが結合し
たガスセンサの場合、センサ信号を調整することができ
る。
【0015】その結果、本発明の第4の態様により、ガ
ス又は蒸気が進むことのできるガス入口を用意し、この
ガス入口へのガス又は蒸気の流量率を制限すべくガス入
口を横切るように多孔質拡散バリアを配置し、この多孔
質拡散バリアに接触して熱可塑性プラスチック部材を配
置し、熱可塑性プラスチック材料がバリアに含浸される
ように、及び/又は望ましい拡散率が達成できるまでバ
リアの孔が圧縮されるように熱可塑性プラスチック部材
及び多孔質拡散バリアを加熱するガス拡散制御アセンブ
リを製造する方法が提供される。
【0016】この調整動作は、現存するアセンブリ(こ
れらはクヌーセンバリアを利用している)においては、
バリアを被覆するための金属が設けられているため簡単
に実施できない。この金属の被覆又はキャップは、孔の
大きさがクヌーセンの寸法まで低減されるようにバリア
を圧縮する。これに対して本発明の第4の態様では、拡
散バリアを露出しており、適切な加熱処理によりバリア
の拡散特性を制御できることを認識している。
【0017】本発明の第4の態様による方法で用いられ
る多孔質拡散バリアが、ガス相拡散バリア、クヌーセン
バリア、又はこれら2つのタイプのバリアの混合体から
なるかもしれないことに注目すべきである。
【0018】1つの適用例において、ガス拡散制御アセ
ンブリはガスセンサを構成すべくガス検出デバイスに連
結されており、このアセンブリはガス検出デバイスへの
ガス又は蒸気のアクセス率を制御する。ガス検出デバイ
スは、例えば、限界電流原理に従ってガス又は蒸気の濃
度を測定するための電気化学センサを備えており、さら
にこの検出デバイスが、検出電極、対抗電極、及び電解
質の介在体を有する電解質セルを備えているかもしれな
い。
【0019】本ガスセンサは、等価の毛細管によるセン
サに比して、組立てがより簡単かつ安価であり、より小
さい電流を発生する。例えば酸素センサの場合、従来の
毛細管センサでは空気中(21%の酸素)で1mAのオ
ーダの電流を発生するが、本発明によれば周囲空気中で
0.1mA又はそれ以下のオーダというより小さい電流
を発生するセンサを容易に構成することができる。さら
に、バルク流の問題が著しく低減され、毛細管を省くこ
とができる。これは、より安価でよりコンパクトな構成
を導くこととなる。
【0020】本発明の第5の態様によれば、検出電極を
有するガス検出デバイスと、この検出デバイスへのガス
通路の一部を構成するガス入口と、多孔質拡散バリアの
形態をなしており、ガス検出デバイスへのガス又は蒸気
のアクセス率の制限体と、全てのガス又は蒸気を、ガス
入口を通過するアクセス方向に対して横方向成分を有す
る通路に沿って、バリアの一部を介して拡散せしめる手
段とを含む第1のサブアセンブリ、対抗電極を含む第2
のサブアセンブリ、及び前記第1及び第2のサブアセン
ブリが設けられており、検出電極及び対抗電極にそれぞ
れ接続された電気的コンタクトを含む第3のサブアセン
ブリを備えたガスセンサが提供される。
【0021】好ましくは、第1のサブアセンブリが本発
明の第1又は第3の態様によるもしくは本発明の第4の
態様により製造されたガス拡散制御アセンブリを備えて
いる。
【0022】典型的には、本発明の全ての態様において
、多孔質拡散バリアは、一般的なディスク状の形状を有
しているが、いくつかの場合には、半円又は1/4円の
ようにストリップ形又は扇形の形状であり得る。
【0023】
【実施例】添付の図面を参照して本発明による電気化学
ガスセンサのいくつかの実施例を以下に説明する。
【0024】その一部が図1に示されているセンサは、
長さ約3mm及び直径約2mmを有するガスアクセス孔
2を具備する円形の頂部プレート1(直径約30mm)
を含んでいる。拡散バリアを規定する直径約10mm及
び厚さ約0.18mmの多孔質PTFEディスク3がプ
レート1にヒートシールされている。拡散バリアは、純
ガス相拡散バリア、クヌーセンの原理で動作するバリア
、又はこれらの特性を組み合わせたバリアかもしれない
。ガスは、アクセス孔2を介して入り、拡散バリア3へ
通過する。このガスは、バリア3の下側にヒートシール
されたポリエチレンディスク4(直径7mm及び厚さ0
.1mm)によって、バリア3を直ちに直線的に通過す
ることが妨げられる。多孔質PTFEの背面テープ5(
直径19mm及び厚さ0.18mm)がディスク4にヒ
ートシールされており、検出電極触媒層6(直径19m
m及び厚さ0.18mm)がテープ5に取り付けられて
いる。領域7内において触媒層6に電解質が接触する。 電解質がバリア3に達することを防止するために、8で
示す背面テープ5の表面の環状部分は頂部プレート1に
ヒートシールされている(図1では離隔して示されてい
る)。センサは、また、金属製の対抗電極と、電極間の
セパレータに吸収された電解質による介在体と、この図
には示されてない適当な格納金物とを含んでいる。 センサは、図6に示すタイプの一般的な電気回路に接続
されている。この回路において、検出電極6(Sと示さ
れている)及び対抗電極Cは負荷抵抗RL の両端に接
続されている。電極での電気化学反応が、抵抗RL を
含む回路を介して電極間を流れる電流を発生させる。こ
の設計のセンサによって発生せしめられる電流は、セン
サがさらされている雰囲気の酸素濃度に比例しており、
従って端子41間の電圧値は、酸素濃度の直接測定値を
提供する。この電圧は、直接的に測定されるか、又は必
要に応じて増幅される。図6は非常に単純化された図で
あるがこのタイプのガスセンサと共に用いる典型的な一
般の回路を表していることを理解すべきである。
【0025】バリア3に入ったガスが、ディスク3内を
横方向に通過するようにディスク4によって強いられ、
かつポリエチレンディスク4によってカバーされていな
いバリア下側部分から出ていくことが図1から分るであ
ろう。次いでガスは、環状領域9を介してテープ5に入
り、その後、検出電極触媒6に達する。
【0026】電気触媒部分6を横切るガス拡散束の拡が
りを促進させるために、低い拡散抵抗の付加的「拡散体
」薄膜(図1には示されていない)が、PTFEの背面
テープ5とポリエチレンディスク4及び多孔質PTFE
ディスク3の複合体との間に随意に設けられるかもしれ
ない。
【0027】バリア3を通るより長い通路を経てガスを
流すことは、ガスをアクセス孔2から直接的に電極触媒
6へ通す場合よりもより小さな電流をより簡単に発生さ
せることができ、従って金属製の対抗電極の寿命を延ば
し得ることが知られている。さらに、この装置はバルク
流効果を最小とすることができ、従来のセンサに比して
構成が簡単であるため、製造が比較的安価となる。
【0028】ディスク3がバリアであると記述したが、
テープ5も制限体として働くことができる。ただし、テ
ープ5が電解質の流れに対するバリアとして働くとすれ
ば、このテープ5は制限体としては最小の効果を好まし
くは有するべきである。
【0029】図2は、図1に示すセンサに類似してはい
るが、この場合は多孔質PTFEディスク3(直径19
mm及び厚さ0.18mm)が、図1の例におけるテー
プ5の代わりに背面テープとしても働き、ポリエチレン
ディスク4が電極触媒層6内に埋め込まれているセンサ
の一部を示している。
【0030】図1の例では、多数のヒートシール工程が
要求される。しかしながら、PTFEディスク3にヒー
トシールされるべきポリエチレンディスク4にとって、
正しいガス拡散通路を確実に得られるようにすることは
必須である。
【0031】図2の例は、ヒートシール工程の数が減少
せしめられているためより好ましい。実際に、単一のヒ
ートシール機械を1回用いるだけで、PTFEディスク
3及びプレート1間とポリエチレンディスク4及びディ
スク3間とのヒートシールを行うことが可能である。こ
の後者の装置は、必要なのが単一のヒートシール工程で
あることのみならず、内部自由ガス空間を実質的に排除
しており構成部品間の相対的な動きに起因する指向方向
効果が生じないであろうことから最も好ましい。
【0032】図3は、完全なセンサを図1の例に比例し
ていない分解図で表している。この例において、プレー
ト1はセンサを囲繞ハウジングにシール可能とするため
のOリング溝30を具備しており、ガスアクセス孔2は
小水滴を排除するように働く多孔質VYONプラグ10
が挿入されている対抗穴31に連通している。
【0033】構成要素1〜10は第1のサブアセンブリ
SA1を形成している。第2のサブアセンブリSA2は
、薄いプラスチック絶縁クリップ13内に固定された、
広げられたステンレススチールメッシュのディスクによ
る電流コレクタ12を伴うプリフォームされた多孔質P
bウール陽極11(対抗電極)を備えている。サブアセ
ンブリSA1及びSA2は、それらの間にセパレータ1
4を伴って互いに連結されている。
【0034】第3のサブアセンブリSA3は、カップ形
状を有するABSカン18を備えている。1対のNi−
PCBピン15及び16は、検出電極触媒層6及び陽極
11にそれぞれ接触するようにベースプレート(カン1
8)の底を通過して伸長している。ピン15及び検出電
極触媒層6間の接続は、Ni箔電流コレクタ17を介し
て行われる。
【0035】センサは、サブアセンブリSA2をサブア
センブリSA3内に設置することによって組み立てられ
る。次いでカン18は電解質で満たされる。その後、サ
ブアセンブリSA2及びSA1間のセパレータ14と共
にサブアセンブリSA1がカン18内に設置される。セ
パレータは、電解質で侵潤された状態となるであろう。
【0036】本発明を2電極センサに関連して記述して
きたが、本発明は参照電極をさらに具備した3電極セン
サについて適用することもできる点に注目すべきである
。さらに、本センサは、酸素について用いて特に適切で
あるが、検出電極において電気化学的に反応する他のい
かなるガスについても用いることができる。検出電極で
陽極的に反応する一酸化炭素、硫化水素のようなガスを
用いる場合、金属製の対抗電極は、電気化学的還元(陰
極)反応に耐えることのできる適切な電極に置き換える
必要がある。
【0037】図4は、ガスセンサの他の例を表している
。ポリエチレンディスク20(直径12mm及び厚さ0
.10mm)が、2つの多孔質PTFEディスク21及
び22(直径19mm及び厚さ0.18mm)間にサン
ドイッチされており、それらの接触表面は、図にドット
で示すように、ポリエチレン及びPTFE間で(ヒート
)シールされている。
【0038】ガスは、ディスク21及び22の周囲から
入り、主(ガス相)拡散バリアを構成するディスク22
に沿って横断方向(横方向)に拡散せしめら、次いでセ
ンサ本体24に形成されたオリフィス23(直径2mm
及び長さ3mmを有する非制限体)を通る。ディスク2
0とディスク21及び22とのサンドイッチ体は、セン
サ本体24内にシールされており、このシールされた領
域がドットで示されている。
【0039】オリフィス23を通過するガスは、随意に
設けられる拡散体25(直径12mm及び厚さ0.18
mm)、多孔質PTFEの背面テープ26(直径19m
m及び厚さ0.8mm)を通って電気触媒層27(直径
12mm及び厚さ0.18mm)内へ入りそこで電気化
学反応が行われる。
【0040】図4に示す装置は、サブアセンブリとして
形成可能であり、上側のPTFEディスク21に対して
ヒートシールシューを当てることにより単一のヒートシ
ール工程で異なる構成要素を図示のように互いにヒート
シールすることができる。このシューを当てる場合、デ
ィスク21及び22の拡散抵抗に影響を与えるべくポリ
エチレンディスク20がこれらディスクの孔に部分的に
含浸されるように制御された状態で行うことができる。 加えて又は選択的に、ヒートシールは、ディスク21及
び22の孔を部分的に閉じて、その結果、拡散抵抗を増
大するように設定することができる。
【0041】図4に示したサブアセンブリは、図3に示
したSA1のサブアセンブリに代えてこの図3に示すタ
イプの完全なガスセンサに合体することができる。
【0042】図5は、ガスセンサのさらに他の例を表し
ており、この例において、広いフランジ51を有するね
じ50は、金属キャップ53内の穴52に螺合されてい
る。PTFEワッシャ54がフランジ51及びキャップ
53間にサンドイッチされている。実際、ガスは、PT
FEワッシャ54を通って横方向内側へねじ50の軸部
に向かって拡散し、次いでねじ山を介し穴52を貫通し
て浸透する。この構成による大きな利点の1つは、ねじ
50を単に回しワッシャ54の圧縮を調整することによ
って拡散率が比較的容易に制御できることにある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の例の一部の部分的に分解した縦
方向断面図である。
【図2】本発明の第2の例の一部の縦方向断面図である
【図3】本発明の第3の例の部分的に分解した縦方向断
面図である。
【図4】本発明の第4の例の一部の縦方向断面図である
【図5】本発明の第5の例の一部の縦方向断面図である
【図6】2電極ガスセンサが接続される簡単な回路の回
路図である。
【符号の説明】
1  頂部プレート 2  ガスアクセス孔 3、21、22  多孔質PTFEディスク4、20 
 ポリエチレンディスク 5、26  多孔質PTFE背面テープ6  検出電極
触媒層 10  プラグ 11  多孔質Pbウール陽極 12  電流コレクタ 13  絶縁クリップ 14  セパレータ 15、16  Ni−PCBピン 17  Ni箔電流コレクタ 18  ABSカン 23  オリフィス 24  センサ本体 25  拡散体 27  電気触媒層 50  ねじ 51  フランジ 52  穴 53  金属キャップ 54  PTFEワッシャ

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  ガス入口(2)と、該ガス入口を横切
    って広がる多孔質拡散バリアの形態をなしており、該ガ
    ス入口からのガス又は蒸気の流量率の制限体(3)と、
    前記入口を通過して前記拡散バリアへ入る全てのガス又
    は蒸気を、前記ガス入口を通過するアクセス方向に対し
    て横方向外側の成分を有する通路に沿って、前記バリア
    の一部を介して拡散せしめる制御手段(4)とを備えた
    ことを特徴とするガス拡散制御アセンブリ。
  2. 【請求項2】  前記バリア(3)が、ガス相拡散バリ
    ア、クヌーセンバリア、又は該2つのタイプのバリアの
    混合体を備えた請求項1に記載のアセンブリ。
  3. 【請求項3】  ガス入口(23)と、該ガス入口を横
    切って広がるガス相拡散バリア(22)の形態をなして
    おり、該ガス入口へのガス又は蒸気の流量率の制限体と
    、全てのガス又は蒸気を、前記ガス入口を通過するアク
    セス方向に対して横方向成分を有する通路に沿って、前
    記バリアの一部を介して前記入口へ通過せしめる制御手
    段(20)とを備えたことを特徴とするガス拡散制御ア
    センブリ。
  4. 【請求項4】  前記ガス入口が、ねじのねじ山の周囲
    の螺旋状通路によって規定される請求項3に記載のアセ
    ンブリ。
  5. 【請求項5】  前記バリアが、その拡散特性を制御す
    るために前記ねじの回転によって圧縮可能である請求項
    4に記載のアセンブリ。
  6. 【請求項6】  前記制御手段が、不浸透性部材(4)
    を備えている請求項1から5のいずれか1項に記載のア
    センブリ。
  7. 【請求項7】  前記不浸透性部材(4)が、前記バリ
    アに接着されたプラスチックディスクである請求項6に
    記載のアセンブリ。
  8. 【請求項8】  ガス又は蒸気が進むことのできるガス
    入口(23)を用意し、該ガス入口へのガス又は蒸気の
    流量率を制限すべく該ガス入口を横切るように多孔質拡
    散バリア(22)を配置し、該多孔質拡散バリアに接触
    して熱可塑性プラスチック部材を配置し、熱可塑性プラ
    スチック材料が前記バリアに含浸されるように及び/又
    は望ましい拡散率が達成できるまでバリアの孔が圧縮さ
    れるように前記熱可塑性プラスチック部材及び前記多孔
    質拡散バリアを加熱することを特徴とするガス拡散制御
    アセンブリを製造する方法。
  9. 【請求項9】  ガス検出デバイスと、該ガス検出デバ
    イスへのガス又は蒸気のアクセス率を制御するための請
    求項1から7のいずれか1項に記載の又は請求項8の方
    法によって製造されるガス拡散制御アセンブリとを備え
    たことを特徴とするガスセンサ。
  10. 【請求項10】  前記ガス検出デバイスが、限界電流
    原理に従ってガス又は蒸気の濃度を測定するための電気
    化学センサを備えており、さらに該検出デバイスが、検
    出電極、対抗電極、及び電解質の介在体を有する電解質
    セルを備えている請求項9に記載のセンサ。
  11. 【請求項11】  検出電極触媒層と、対抗電極と、請
    求項1、2、又は6に記載のガス拡散制御アセンブリと
    を備えており、前記多孔質拡散バリアが前記検出電極触
    媒層に直接的に固着されていることを特徴とするガスセ
    ンサ。
  12. 【請求項12】  前記多孔質バリア及び前記制御手段
    が、拡散バリア及び検出電極支持体の両方として働く請
    求項11に記載のセンサ。
  13. 【請求項13】  検出電極を有するガス検出デバイス
    と、該検出デバイスへのガス通路の一部を構成するガス
    入口と、多孔質拡散バリアの形態をなしており、前記ガ
    ス検出デバイスへのガス又は蒸気のアクセス率の制限体
    と、全てのガス又は蒸気を、前記ガス入口を通過するア
    クセス方向に対して横方向成分を有する通路に沿って、
    前記バリアの一部を介して拡散せしめる手段とを含む第
    1のサブアセンブリ(SA1)、対抗電極を含む第2の
    サブアセンブリ(SA2)、及び前記第1及び第2のサ
    ブアセンブリが設けられており、前記検出電極及び前記
    対抗電極にそれぞれ接続された電気的コンタクトを含む
    第3のサブアセンブリ(SA3)を備えたことを特徴と
    するガスセンサ。
  14. 【請求項14】  検出電極を有するガス検出デバイス
    と、該検出デバイスへのガス通路の一部を構成するガス
    入口と、多孔質拡散バリアの形態をなしており、前記ガ
    ス検出デバイスへのガス又は蒸気のアクセス率の制限体
    と、全てのガス又は蒸気を、前記ガス入口を通過するア
    クセス方向に対して横方向成分を有する通路に沿って、
    前記バリアの一部を介して拡散せしめる手段とを含む第
    1のサブアセンブリ(SA1)、対抗電極を含む第2の
    サブアセンブリ(SA2)、及び前記第1及び第2のサ
    ブアセンブリが設けられており、前記検出電極及び前記
    対抗電極にそれぞれ接続された電気的コンタクトを含む
    第3のサブアセンブリ(SA3)を備えており、前記第
    1のサブアセンブリが請求項1から7のいずれか1項に
    記載のガス拡散制御アセンブリを備えたことを特徴とす
    るガスセンサ。
JP3322373A 1990-11-12 1991-11-12 ガス拡散制御アセンブリ及びその製造方法並びにガスセンサ Withdrawn JPH04291145A (ja)

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