JPH0427873A

JPH0427873A - プローブ

Info

Publication number: JPH0427873A
Application number: JP13293990A
Authority: JP
Inventors: Norio Hidaka; 日高　紀雄
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-05-23
Filing date: 1990-05-23
Publication date: 1992-01-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［概要コ測定用の探針、プローブに関し、遮断周波数を高くすると共に、それが変動しないように
することを目的とし、その一端部側を先端部とする棒状の第１の導体、該第１
の導体の他端部側にその一端部側を固着された導体から
なるバネ性を有する伸縮手段及び該伸縮手段の他端部側
にその一端部側を固着された棒状の第２の導体からなる
中心導体と、前記第１の導体の先端部を除き、前記中心
導体を非接触的に被覆する外導体と、前記外導体と前記
第１の導体との間に配され、前記第１の導体の軸を前記
外導体の軸に一致させ、かつ、前記第１の導体が軸方向
に移動できるように前記第１の導体を支持する第１の誘
電体と、前記外導体と前記第２の導体との間に配され、
前記第２の導体の軸を前記外導体の軸に一致させるよう
に前記第２の導体を固定する第２の誘電体とを具備して
構成する。

［産業上の利用分野コ本発明は、測定用の探針、いわゆるプローブ、より詳し
くは、Ｍ　Ｍ　Ｉ　Ｃ（ｍｏｎｏｌｉｔｈｉｃ　ｍｉｃ
ｒｏｗａｖｅｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔ）
等、高速集積回路の性能評価試験を行う場合に使用して
好適なプローブに関する。

近年、高速集積回路が扱うべき信号は、その周波数を高
くしており、これに対応して、遮断周波数の高いプロー
ブの開発が急がれている。

［従来の技術］従来、プローブとして第３図にその中央縦断端面図を示
すようなものが提案されている。

図中、１はセミリジット型の同軸管、２はコネクタ、３
はガイドチューブであって、このプローブは、同軸管１
とガイドチューブ３との間に、圧縮コイルバネ４を配置
して構成されている。ここに、同軸管１は、銅からなる
中心導体５と、テフロン誘電体６と、銅からなる円筒状
の外導体７とで構成されている。また、ガイドチューブ
３は、しんちゅうにニッケルをメツキして構成されてい
る。なお、このガイドチューブ３は、接地されて使用さ
れる。

第４図は、かかる従来のプローブの使用状態を示す図で
ある０図中、８は測定対象物たるパッケージ化されたＩ
Ｃ１９はセラミック基板、１０はＩＣチップ、１１はボ
ンディングワイヤ、１２は電極（リード）、１３はキャ
ップ、１４はＩＣ８及びプローブを支持する基台であっ
て、プローブのコネクタ２は測定器（図示せず）に接続
される。

［発明が解決しようとする課題］かかる従来のプローブにおいては、同軸管１はガイドチ
ューブ３に対してスライドするように構成されているの
で、同軸管１の外導体７とガイドチューブ３とは部分的
にしか接触されず、外導体７とガイドチューブ３との間
には、接触抵抗、寄生インダクタンスが存在してしまう
。第５図は、その様子を示す等価回路図であって、１５
は接触抵抗、１６は寄生インダクタンス、１７は測定対
象物たる電子素子（例えば、第４図におけるＩＣ８）を
示している。

このように、従来のプローブにおいては、信号路に接触
抵抗１５、寄生インダクタンス１６が存在してしまうた
め、測定時、中心導体５を介して電子素子１７に伝送さ
れる高周波数信号は、これら接触抵抗１５、寄生インダ
クタンス１６によって反射、減衰してしまい、その電力
は３　Ｇ　Ｈｚで入力電力の約半分に減衰してしまう、
ここに近年、高速集積回路は２０　Ｇ　Ｈｚ程度の信号
を扱うようになってきており、かかる従来のプローブを
使用したのでは、高速集積回路の電気的特性を正確に測
定することができないという問題点があった。

また、接触抵抗１５、寄生インダクタンス１６は、同軸
管１のスライドによって、その値が変動してしまうため
、遮断周波数が変動し、この点からしても、正確な測定
を行うことができないという問題点があった。

本発明は、かかる点に鑑み、遮断周波数を高くすると共
に、それが変動しないようにしたプローブを提供するこ
とを目的とする。

［課題を解決するための手段］本発明によるプローブは、その構成要素を、例えば、実
施例図面第１図に対応させて説明すると、その一端部側
を先端部１９Ａとする棒状の第１の導体１９、この第１
の導体１９の他端部側にその一端部側を固着された導体
からなるバネ性を有する伸縮手段（例えば、ベローズ）
２１及びこの伸縮手段２１の他端部側にその一端部側を
固着された棒状の第２の導体２０からなる中心導体］８
と、第１の導体１９の先端部１９Ａを除き、中心導体１
８を非接触的に被覆する円筒状の外導体２２と、この外
導体２２と第１の導体１９との間に配され、第１の導体
１９の軸を外導体２２の軸に一致させ、かつ、第１の導
体１９が軸方向に移動できるように第１の導体１９を支
持する第１の誘電体２８と、外導体２２と第２の導体２
０との間に配され、第２の導体２０の軸を外導体２２の
軸に一致させるように第２の導体２０を固定する第２の
誘電体２９とを具備して構成される。

［作用コ本発明においては、第１の導体１９の先端部１９Ａを測
定対象物たる電子素子の電極に押し付けると、第１の導
体１９は後方に移動して、伸縮手段２１はバネ性をもっ
て収縮する。したがって、第１の導体１９の先端部１９
Ａと電子素子の電極との良好な接触が確保され、る。な
お、第１の導体１９の先端部１９Ａを電子素子の電極か
ら離したときは、伸縮手段２１は復元し、第１の導体１
９は元の位置に戻る。このように、本発明によれば、第
３図従来例のようにガイドチューブ３を設けなくとも、
第１の導体１９の先端部１９Ａと測定対象物たる電子素
子の電極との良好な接触を確保することができる。

［実施例］以下、第１図及び第２図を参照して、本発明の一実施例
につき説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す中央縦断端面図であっ
て、図中、１８は中央導体を示している。

この中央導体１８は、銅からなる棒状の導体１９．２０
と、リン青銅からなるベローズ２１とで構成されており
、導体１９．２０とベローズ２１とは固着されている。

なお、導体１９は、その後端部１９Ｂを円錐台形に形成
され、ベローズ２１との固着強度が高くなるようにされ
ている。

また、２２は中心導体１８を静電シールドするために円
筒状に形成された外導体であって、導体１９の先端部１
９Ａを除き、中心導体１８を非接触的に被覆している。

また、この外導体２２の後端部にはコネクタ２３が一体
として形成されている。なお、このコネクタ２３の係止
片２４には、ネジ挿通孔２５が形成されており、第２図
に示すように、ネジ２６をネジ挿通孔２５を介して基台
１４に形成されたネジ孔２７に螺着させることによって
プローブ本体を基台１４に固定できるようにされている
。

また、２８はテフロン誘電体であって、このテフロン誘
電体２８は、導体１９の軸を外導体２２の軸に一致させ
るように導体１９を支持するものであるが、本実施例に
おいては、このテフロン誘電体２８は、導体１９が軸方
向にスライドできるように導体１９を支持している。

また、２９もテフロン誘電体であるが、このテフロン誘
電体２９は、導体２０の軸を外導体２２の軸に一致させ
るように導体２０を固着して保持している。

なお、導体１９の後端部１９Ｂ、ベローズ２１及び導体
２０の前端部２ＯＡと、外導体２２との間は中空部３０
とされている。

このように構成された本実施例のプローブは、例えば、
第２図に示すような状態で使用される。

なお、本実施例においては、基台１４には、前述したネ
ジ孔２７のほか、段差３１が形成されている。

ここに、導体１９の先端部１９Ａを電子素子、例えば、
ＩＣ８の電極１２に押し付けると、導体１９は後方にス
ライドして、ベローズ２１はバネ性をもって収縮する。

したがって、導体１９の先端部１９ＡとＩＣ８の電極１
２との良好な接触が図られる。また、導体１９の先端部
１９ＡをＩＣ８の電極１２から離したときは、ベローズ
２１は復元し、導体１９は元の位置に戻る。なお、ベロ
ーズ２１が収縮することによって起こる中心導体１８の
特性インピーダンスの変化は、きわめて小さく、これを
無視することができる。

このように、本実施例によれば、第３図従来例のように
ガイドチューブを設ける必要がないので、第３・図従来
例の場合に存在してしまうガイドチュ−ブと外導体との
間の接触抵抗及び寄生インダクタンスは存在せず、ガイ
ドチューブと外導体との間の接触抵抗及び寄生インダク
タンスによる高周波数信号の反射、減衰は起こらない、
したがって、遮断周波数を高く、例えば、２０　Ｇ　Ｈ
ｚ以上にすることができると共に、それが変動しないよ
うにすることができる。

また、本実施例によれば、コネクタ２３を基台１４に固
定することによってプローブ本体を基台１４に固定する
ことができるので、プローブの軸を固定させ、安定な状
態で測定を行うことができる。

なお、上述の実施例においては、バネ性を有する伸縮手
段としてベローズ２１を使用した場合につき述べたが、
この代わりに、圧縮コイルバネ等を使用することもでき
る。

［発明の効果］本発明によれば、ガイドチューブを設ける必要がないの
で、ガイドチューブを設ける場合に存在してしまうガイ
ドチューブと外導体との間の接触抵抗及び寄生インダク
タンスが存在せず、このため、ガイドチューブと外導体
との間の接触抵抗及び寄生インダクタンスによる高周波
数信号の反射、減衰を回避し、遮断周波数を高くするこ
とができると共に、それが変動しないようにすることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるプローブの一実施例を示す中央縦
断端面図、第２図は本発明の一実施例の使用状態を示す断端面図、第３図は従来のプローブを示す中央縦断端面図、第４図
は従来のプローブの使用状態を示す断端面図、第５図は従来のプローブが有する問題点を説明するため
の図である。１８・・・中心導体９・・・導体（第１の導体）０・・・導体（第２の導体）１・・・ベローズ（伸縮手段）２・・・外導体

Claims

【特許請求の範囲】１、その一端部側を先端部（１９Ａ）とする棒状の第１
の導体（１９）、該第１の導体（１９）の他端部側にそ
の一端部側を固着された導体からなるバネ性を有する伸
縮手段（２１）及び該伸縮手段（２１）の他端部側にそ
の一端部側を固着された棒状の第２の導体（２０）から
なる中心導体（１８）と、前記第１の導体（１９）の先端部（１９Ａ）を除き、前
記中心導体（１８）を非接触的に被覆する外導体（２２
）と、該外導体（２２）と前記第１の導体（１９）との間に配
され、前記第１の導体（１９）の軸を前記外導体（２２
）の軸に一致させ、かつ、前記第１の導体（１９）が軸
方向に移動できるように前記第１の導体（１９）を支持
する第１の誘電体（２８）と、前記外導体（２２）と前記第２の導体（２０）との間に
配され、前記第２の導体（２０）の軸を前記外導体（２
２）の軸に一致させるように前記第２の導体（２０）を
固定する第２の誘電体（２９）とを具備してなることを
特徴とするプローブ。２、測定対象物支持手段（１４）に固定する固定手段（
２５、２６）を具備してなることを特徴とする請求項１
記載のプローブ。