JPH04269674A - 伝送線路長測定装置 - Google Patents

伝送線路長測定装置

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JPH04269674A
JPH04269674A JP3030946A JP3094691A JPH04269674A JP H04269674 A JPH04269674 A JP H04269674A JP 3030946 A JP3030946 A JP 3030946A JP 3094691 A JP3094691 A JP 3094691A JP H04269674 A JPH04269674 A JP H04269674A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、遠端開放の伝送線路に
パルスを送出して得られる反射波形から伝送線路長を測
定する伝送線路長測定装置に関し、特に複数の試験ピン
を有する集積回路試験装置等において、該試験ピンに対
応して設置された試験パタン出力/試験結果判定回路か
ら、被試験回路の入出力ピンに至るまでの伝送線路長の
高精度測定等に適した伝送線路長測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路試験装置の試験タイミング精度
を維持するために必要なタイミング補正においては、集
積回路試験装置の試験ピンに対応して設置された試験パ
タン出力/試験結果判定回路から被試験回路の入出力ピ
ンに至る伝送線路長の、試験ピン間バラツキによって生
じるタイミング誤差を補正することが主要な処理項目の
一つとなっている。
【0003】従来においては、このような伝送線路長を
測定するにあたり、特願昭62−309326号に記載
されているような方法が用いられていた。この従来技術
の一例を図4により説明する。
【0004】図4において、2つの位相差検出回路10
1および102を用い、各々、測定したい伝送線路10
0を、遠端開放状態として、これら2つの位相差検出回
路101および102の各一方の入力端A1およびB1
に接続して一定の繰り返し周期を有するパルス信号S1
を入力し、各他方の入力端A2およびB2にはこのパル
ス信号S1とは繰り返し周期がわずかに異なる基準パル
ス信号S2を入力する。一方の位相差検出回路101で
は、入力端A1に現われる階段状の反射波の第一の立上
りエッジのタイミングで、両入力端A1およびA2に供
給される信号間の位相差を比較する。他方の位相差検出
回路102では、入力端B1に現われる階段状の反射波
の第二の立上りエッジのタイミングで、両入力端B1お
よびB2に供給される信号間の位相差を比較する。
【0005】両位相差検出回路101および102から
の位相差情報信号S3およびS4を排他的論理和ゲート
103に供給し、そのゲート出力S5と基準パルス信号
S2とを論理積ゲート104に供給し、この論理積ゲー
ト104からは、位相差信号S3とS4とが一致してい
ないときのみ、当該基準パルス信号S2を有効として出
力する。その有効パルス信号S6をカウンタ105で計
数することによって、階段状の反射波の第一と第二の立
上りエッジ間の時間差を求め、この時間差の値を二分し
て当該伝送線路を往復する伝搬遅延時間とみなしていた
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前述した両位相差検出
回路101および102の位相差情報信号S3とS4と
が一致していない状態としては、位相差情報信号S3お
よびS4の各立上りエッジ部分での不一致状態と、各立
下りエッジ部分での不一致状態が存在する。例えば、入
力信号A1およびB1の立上りエッジで位相差を検出す
る場合には、位相差情報信号S3およびS4の各立上り
エッジは、基準パルス信号S2の立上りエッジを入力信
号A1およびB1の立上りエッジがよぎる時に生じる。 他方、位相差情報信号S3およびS4の各立下りエッジ
は、基準パルス信号S2の立下りエッジを入力信号A1
およびB1の立上りエッジがよぎる時に生じる。
【0007】上記位相差情報信号S3およびS4の立上
りエッジ間の位相差と、立下りエッジ間の位相差は、と
もに、当該伝送線路を往復するときの伝搬遅延時間2T
と、パルス信号S1およびS2の繰り返し周期t,t+
dtによって決定され、理想的には2Tを(t+Δt)
/Δt倍に伸長した値に等しくなる。
【0008】しかしながら、実際の位相差検出回路には
固有の検出感度特性が存在し、その検出感度が低下する
ほど、上記位相差には多くの誤差が生じる。
【0009】従って、位相差検出回路101および10
2の検出感度特性に、立上りエッジ−立上りエッジ間の
検出と立上りエッジ−立下りエッジ間の検出とで差異が
生じる場合には、検出感度の劣るエッジ間の位相差検出
結果により多くの誤差が生じ、上記の測定方法ではこの
誤差分が必然的に含まれるという問題を有していた。
【0010】例えば、特願昭62−299037号に記
載されている回路を上述した位相差検出回路に適用すれ
ば、現在の半導体技術を用いれば立上りエッジ−立上り
エッジ間の位相差検出では数ピコ秒の検出感度が実現で
きるが、立上りエッジ−立下りエッジ間の位相差検出で
は原理的に感度が劣り、測定精度上問題となっていた。
【0011】さらに、上述した従来技術では、両位相差
情報信号の不一致期間の一周期分だけに繰り返される基
準パルス信号数が伝送線路長の2倍の量に対応するため
、両位相差情報信号の不一致期間の一周期分だけに繰り
返される基準パルス信号数を計数するか、もしくは計数
した基準パルス信号数が両位相差情報信号の不一致期間
の何周期分の値であるのかを正確に把握する必要がある
。しかしながら、それを実現する機能がなく、位相差検
出回路の入力信号パルス数自体を付加的な手段で制御す
るしか方法がなかった。
【0012】そこで、本発明の目的は、従来の問題点を
解決し、高精度かつ高機能な伝送線路長測定装置を提供
することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、遠端開放の伝送線路にパルスを送
出して得られる反射波形から伝送線路長を測定する伝送
線路長測定装置において、一定の繰り返し周期を有する
遠端開放による階段波と、該階段波とは繰り返し周期が
わずかに異なる基準パルス信号が入力信号として入力さ
れ、該2つの入力信号に対するしきい値が独立に制御可
能で、前記階段波の進行波成分による立上りエッジ、も
しくは立下りエッジ毎に両入力信号間の位相ずれを選択
的に検出する第一の位相差検出回路と、前記階段波と、
前記基準パルス信号が入力信号として入力され、該2つ
の入力信号に対するしきい値が独立に制御可能で、前記
階段波の反射波成分による立上りエッジ、もしくは立下
りエッジ毎に両入力信号間の位相ずれを選択的に検出す
る第二の位相差検出回路と、前記階段波が共通の2入力
信号として入力され、該2つの入力信号に対するしきい
値が独立に制御可能で、前記階段波の反射波成分と進行
波成分の立上りエッジ間、もしくは立下りエッジ間の位
相ずれを選択的に検出する第三の位相差検出回路と、前
記第一,第二および第三の位相差検出回路の各々からの
第一,第二および第三の位相差情報信号をもとに、該第
一の位相差情報信号と該第二の位相差情報信号の立上り
部分で生じている位相ずれ期間、および立下り部分で生
じている位相ずれ期間のいずれか一方を選択的に抽出す
る位相差信号抽出回路と、外部からの要求信号が入力さ
れ、該要求信号が入力された後に前記第一もしくは前記
第二の位相差情報信号の1周期分に相当する期間内でか
つ前記位相差信号抽出回路が抽出した位相ずれ期間のみ
、前記基準パルス信号を有効とする基準パルスゲート回
路と、該基準パルスゲート回路からの出力信号を計数す
るカウンタと、を備えたことを特徴とする。
【0014】
【作用】本発明では、進行波に反射波が重畳された階段
状波形の、進行波によるエッジのタイミングと反射波に
よるエッジのタイミングを個別に、該階段状波形とはわ
ずかに異なる繰り返し周期を有する基準パルスのタイミ
ングと比較し、同時に該進行波によるエッジと該反射波
によるエッジの位相極性を検出し、これらの比較および
検出の結果を用いて、進行波エッジと基準パルスのタイ
ミング比較で得られる位相差情報信号と、反射波と基準
パルスのタイミング比較で得られる位相差情報信号との
不一致状態のうち、該2つの位相差情報信号の立上りエ
ッジ間もしくは立下りエッジ間の不一致状態のいずれか
一方を選択的に抽出し、かつ、外部からの測定要求信号
が入力された後に該抽出した不一致期間の一周期分だけ
、該基準パルス信号を計数することによって、該進行波
エッジと反射波エッジのタイミング差、すなわち伝送線
路長を測定する。
【0015】従って、該位相差検出回路の検出感度が、
同一極性のエッジ間での検出と逆極性のエッジ間での検
出とで異なっていても、感度の高い検出結果のみを測定
結果として採用できるため、位相差検出回路の特性を最
大限に活用でき、高精度な伝送線路長の測定が可能とな
る。しかもまた、入力信号のパルス数を制御することな
く、確実に伝送線路長に対応する計数値が得られる。
【0016】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。
【0017】図1に本発明の基本回路構成の一実施例を
示す。図2には図1に示した本発明の基本回路構成の一
実施例の各部における信号を例示するタイムチャートを
示す。両図面に基づいて以下に実施例を説明する。
【0018】伝送遅延時間Tの伝送線路100の遠端を
開放して得られる階段波RFの立上りエッジにおいて、
第一のエッジすなわち進行波によるエッジをa、第二の
エッジすなわち反射波によるエッジをbとする。これら
エッジaおよびbには2Tだけタイミングのずれがある
【0019】図1において、1,2および3は、入力信
号のしきい値制御が可能な位相差検出回路である。位相
差検出回路1には、前記進行波による立上りエッジaと
タイミング比較パルスPRの立上りエッジとの位相差を
比較すべく、両信号が被測定入力信号として加えられる
。ここで、図2に示すように、入力信号しきい値を決め
る基準レベル入力VR11およびVR12として、進行
波による立上りエッジの中間レベルおよびタイミング比
較パルスPRの中間レベルを、ぞれぞれ、設定する。
【0020】位相差検出回路2には、前記反射波による
立上りエッジbとタイミング比較パルスPRの立上りエ
ッジとの位相差を比較すべく、両信号が被測定入力信号
として加えられる。ここで、図2に示すように、入力信
号しきい値を決める基準レベル入力VR21およびVR
22として、反射波による立上りエッジの中間レベルお
よびタイミング比較パルスPRの中間レベルを、それぞ
れ、設定する。
【0021】同様に、位相差検出回路3には、前記進行
波による立上りエッジaと前記反射波による立上りエッ
ジbの位相差を比較すべく、前記階段波信号が共通の被
測定入力信号として加えられる。ここで、図2に示すよ
うに、入力信号しきい値を決める基準レベル入力VR3
1およびVR32として、進行波による立上りエッジの
中間レベルおよび反射波による立上りエッジの中間レベ
ルを、それぞれ、設定する。
【0022】位相差検出回路1および2は、図2に示す
ように、タイミング比較パルスPRのタイミングが他方
のタイミングに比べて遅れているときに正の位相差情報
としてハイレベルを出力し、逆の場合は、負の位相差情
報としてローレベルを出力するNRZ(Non  Re
turn  Zero)の位相差情報信号Q+とその反
転信号Q−をそれぞれ出力する。
【0023】一方、位相差検出回路3の動作も位相差検
出回路1または2のそれと同様であり、反射波による立
上りエッジタイミングは進行波による立上りエッジタイ
ミングに比べて遅れているから、正の位相差情報として
Q+にはハイレベル、Q−にはローレベルのNRZ信号
を定常的に出力する。
【0024】ここで、階段波RFおよびタイミング比較
パルスPRの繰り返し周期がそれぞれtおよびt+dt
であると仮定すると、両信号の繰り返し周期の差はdt
であるから、両信号の位相関係は一周期毎にdtずつず
れていく。従って、位相差検出回路1および2の各々の
出力信号Q+およびQ−の周期はt+dtを(t+dt
)/dt倍に伸張したものとなり、位相差検出回路1の
出力信号Q+およびQ−と位相差検出回路2の出力信号
Q+およびQ−との位相関係は、周期と同様に、進行波
によるエッジaと反射波によるエッジbとの時間差2T
を(t+dt)/dt倍に伸張したものとなる。
【0025】次に、符号4は位相差信号抽出回路を示す
。この位相差信号抽出回路4の一実施例として、図1で
は、否定論理和ゲート41,42,43,44および4
5によって構成している。以下にこの位相差信号抽出回
路の構成と動作を説明する。
【0026】位相差検出回路1の出力信号Q+と位相差
検出回路2の出力信号Q−、および位相差検出回路1の
出力信号Q−と位相差検出回路2の出力信号Q+の各々
の否定論理和を論理ゲート41および42で取る。論理
ゲート41の出力としては、図2に示すように、位相差
検出回路1の出力信号Q+と位相差検出回路2の出力信
号Q+との間の立下りエッジ間のタイミング差が生じて
いる期間だけハイレベルが生じる。論理ゲート42の出
力としては、図2に示すように、位相差検出回路1の出
力信号Q+と位相差検出回路2の出力信号Q+との間の
立上りエッジ間のタイミング差が生じている期間だけハ
イレベルが生じる。
【0027】さらに、例えば、論理ゲート41の出力と
位相差検出回路3の出力信号Q+、および論理ゲート4
2の出力と位相差検出回路3の出力信号Q−の各々の否
定論理和を論理ゲート43および44で取ると、回路3
の出力信号Q+にはハイレベルが定常的に出力されてい
るから論理ゲート43の出力はローレベルに固定される
。一方、回路3の出力信号Q−には、図2に示すように
、ローレベルが定常的に出力されているから論理ゲート
44の出力としては、論理ゲート41の出力の反転信号
、すなわち位相差検出回路1の出力信号Q+と位相差検
出回路2の出力信号Q+との間の立下りエッジ間のタイ
ミング差が生じている期間だけローレベルが生じ、この
期間を抽出できる。従って、さらに論理ゲート45で論
理ゲート43の出力と論理ゲート44の出力との否定論
理和を取ると、図2に示すように、論理ゲート45によ
り、位相差検出回路1の出力信号Q+と位相差検出回路
2の出力信号Q+との間の立上りエッジ間のタイミング
差が生じている期間だけを抽出できる。
【0028】なお、位相差検出回路3の出力信号Q+と
Q−の接続を逆転すれば、論理ゲート45の出力には、
位相差検出回路1の出力信号Q+と位相差検出回路2の
出力信号Q+との間の立下りエッジ間のタイミング差が
生じている期間だけローレベルが生じ、この期間を抽出
できる。従って、位相差検出回路1および2の検出特性
において、立上りエッジ間での検出感度と、立上りエッ
ジ−立下りエッジ間での検出感度に差異があっても、位
相差検出回路3の出力信号Q+とQ−の接続方法の選択
に応じて、検出感度の高い成分の情報だけを抽出するこ
とができ、以て高精度な位相差検出が可能となる。
【0029】次に、符号5は基準パルスゲート回路を示
し、この回路5は図3に示す例の如き構成の論理回路5
1および否定論理和ゲート52より構成される。この基
準パルスゲート回路の構成および動作を図3に示す一実
施例を用いて以下に説明する。
【0030】基準パルスゲート回路5は、リセット優先
セットリセットフリップフロップ53および54,強制
リセット付きトグルフリップフロップ55、および論理
和ゲート56および57より成る論理回路51と否定論
理和ゲート52によって構成されている。
【0031】ここで、フリップフロップ53,54およ
び55はすべてクロック入力の立上りエッジをセンスし
て出力信号QおよびQBが確定するものと仮定する。ま
ず、図2に示すように、リセット信号RSTによってこ
れらフリップフロップ53,54および55が初期化さ
れる。
【0032】測定要求信号T1がハイになると、この信
号T1を受けるフリップフロップ53のQB出力がロー
レベルになる。図2に示すように、このQB出力と位相
差検出回路1のQ+信号が論理和ゲート57を介してト
グルフリップフロップ55のクロック端子に印加される
。トグルフリップフロップ55のQB出力は位相差検出
回路1のQ+信号の立上りエッジで反転するから、位相
差検出回路1のQ+信号の2度目の立上りエッジでトグ
ルフリップフロップ55のQB出力は再びハイレベルに
反転する。このQB出力は、フリップフロップ54のセ
ット端子に供給され、そのQ出力がハイレベルに反転す
る。このQ出力はリセット信号RSTと共に論理和ゲー
ト56を介してフリップフロップ53のリセット端子に
供給される。したがって、このフリップフロップ53を
リセットし、それ以後のトグルフリップフロップ55の
クロック入力は禁止される。
【0033】かくして、トグルフリップフロップ55の
QB出力には測定要求信号T1が印加された直後に位相
差検出回路1のQ+出力の一周期分だけがハイレベルと
なる信号が出力される。このQB出力,タイミング比較
パルスPRおよび否定論理和ゲート45の出力を否定論
理和ゲート52に供給すると、図2に示すような出力が
得られる。
【0034】前記位相差信号抽出回路4で抽出された位
相差情報信号は、前記階段波RFとタイミング比較パル
スPRが入力され続ける限り、位相差検出回路1および
2の出力信号Q+やQ−の信号周期で繰り返される。
【0035】そこで、例えば図3に示すような基準パル
スゲート回路5においては、外部からの測定要求信号T
1が印加されると、その印加後に、論理回路51により
位相差検出回路1のQ+出力の一周期分だけを抽出し、
その抽出出力信号と、位相差信号抽出回路4から前記位
相差情報信号と、タイミング比較パルスPRとの否定論
理和を論理ゲート52で取れば、位相差検出回路1のQ
+出力と位相差検出回路2のQ+出力との間の立上りエ
ッジ間のタイミング差が生じている期間の一周期分だけ
の間に送出されるタイミング比較パルスPRのパルスを
抽出できる。
【0036】従って、さらにカウンタ6で論理ゲート5
2からの出力パルスの個数を計数し、計数値がNであっ
たとすれば、位相差検出回路1のQ+出力と位相差検出
回路2のQ+出力との間の立上りエッジ間のタイミング
差が生じている期間をタイミング比較パルスPRの周期
(t+dt)のN倍として認識できる。
【0037】ところで、上述したように、位相差検出回
路1の出力信号Q+およびQ−と位相差検出回路2の出
力信号Q+およびQ−との位相関係は、進行波によるエ
ッジaと反射波によるエッジbとの時間差2Tを(t+
dt)/dt倍に伸張したものであるから、以下の等式
が成り立つ。
【0038】 2T×(t+dt)/dt=N×(t+dt)これより
測定すべき値、すなわち伝送線路長Tは次式のごとく測
定値Nと設定した入力信号との間の周期差dtによって
求めることができる。
【0039】T=N×dt/2 以上の説明においては、階段波RFの立上りエッジにお
ける、進行波によるエッジaと反射波によるエッジbの
時間差を求めることによって、階段波RFが伝搬した伝
送線路長Tを求める場合について、本発明の実施例を述
べたが、階段波RFの立下りエッジにおける、進行波に
よるエッジaと反射波によるエッジbの時間差を求める
ことによっても同様に伝送線路長Tを求めることができ
る。その場合には、上述した説明において、位相差検出
回路1,2および3として、入力信号の立下りエッジ間
の位相差を比較する回路を用いれば、全く同様の手順に
よって、伝送線路長Tを求めることができる。
【0040】あるいはまた、位相差検出回路1,2およ
び3として、入力信号の立下りエッジ間の位相差比較と
立上りエッジ間の位相差比較を選択的に制御可能な回路
を用いてもよい。
【0041】測定精度を支配する要因としては、入力さ
れる階段波RFとタイミングパルス信号PRの繰り返し
周期安定度と、上述した、位相差検出回路1,2および
3の検出感度特性が挙げられる。前者については、信号
源として周波数分解能1Hz、周波数安定度1×10−
11 /分程度の性能を有する市販のシンセサイザを用
いれば、例えば、繰り返し周波数を50MHz±1Hz
(50000000±1Hz)と50.002000M
Hz±1Hz(50002000±1Hz)に設定すれ
ば、分解能は0.8ps±0.0004psに設定でき
る。後者については、上述したように、例えば特願昭6
2−299037号に記載された回路を位相差検出回路
に適用すれば、現在の半導体技術を用いれば数ピコ秒の
検出感度が実現できる。従って、測定分解能と時間精度
がともにピコ秒オーダの伝送線路長測定が本発明によっ
て実現できる。
【0042】
【発明の効果】以上の説明から明らかなごとく、本発明
によれば、位相検出回路の検出感度が、同一極性のエッ
ジ間と逆極性のエッジ間とで異なっていても、位相差検
出回路の特性を最大限に活用でき、高精度な伝送線路長
の測定が可能となる。しかもまた、本発明によれば、入
力信号のパルス数を制御することなく、確実に伝送線路
長に対応する計数値が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における伝送線路長測定装置の基本回路
構成の一実施例を示す回路ブロック図である。
【図2】本発明における伝送線路長測定装置の動作原理
を示すタイムチャートである。
【図3】本発明における基準パルスゲート回路に適用可
能な回路構成の一実施例を示す回路ブロック図である。
【図4】従来技術の一例を示す回路ブロック図である。
【符号の説明】
100  伝送線路 RF  遠端を開放して得られる階段波PR  タイミ
ング比較パルス a  階段波RFの進行波による立上りエッジb  階
段波RFの反射波による立上りエッジ1,2,3  位
相差検出回路 4  位相差信号抽出回路 5  基準パルスゲート回路 6  カウンタ VR11,VR12  位相差検出回路1の入力信号し
きい値を決める基準レベル入力 VR21,VR22  位相差検出回路2の入力信号し
きい値を決める基準レベル入力 VR31,VR32  位相差検出回路3の入力信号し
きい値を決める基準レベル入力 Q+  位相差検出回路の位相差情報信号Q−  位相
差検出回路の位相差情報信号Q+の論理反転信号 41,42,43,44,45,52  否定論理和ゲ
ート 51  論理回路 53,54  リセット優先セットリセットフリップフ
ロップ 55  強制リセット付きトグルフリップフロップ56
,57  論理和ゲート RST  リセット信号 T1  測定要求信号 101,102  位相差検出回路 103  排他的論理和ゲート 104  論理積ゲート 105  カウンタ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  遠端開放の伝送線路にパルスを送出し
    て得られる反射波形から伝送線路長を測定する伝送線路
    長測定装置において、一定の繰り返し周期を有する遠端
    開放による階段波と、該階段波とは繰り返し周期がわず
    かに異なる基準パルス信号が入力信号として入力され、
    該2つの入力信号に対するしきい値が独立に制御可能で
    、前記階段波の進行波成分による立上りエッジ、もしく
    は立下りエッジ毎に両入力信号間の位相ずれを選択的に
    検出する第一の位相差検出回路と、前記階段波と、前記
    基準パルス信号が入力信号として入力され、該2つの入
    力信号に対するしきい値が独立に制御可能で、前記階段
    波の反射波成分による立上りエッジ、もしくは立下りエ
    ッジ毎に両入力信号間の位相ずれを選択的に検出する第
    二の位相差検出回路と、前記階段波が共通の2入力信号
    として入力され、該2つの入力信号に対するしきい値が
    独立に制御可能で、前記階段波の反射波成分と進行波成
    分の立上りエッジ間、もしくは立下りエッジ間の位相ず
    れを選択的に検出する第三の位相差検出回路と、前記第
    一,第二および第三の位相差検出回路の各々からの第一
    ,第二および第三の位相差情報信号をもとに、該第一の
    位相差情報信号と該第二の位相差情報信号の立上り部分
    で生じている位相ずれ期間、および立下り部分で生じて
    いる位相ずれ期間のいずれか一方を選択的に抽出する位
    相差信号抽出回路と、外部からの要求信号が入力され、
    該要求信号が入力された後に前記第一もしくは前記第二
    の位相差情報信号の1周期分に相当する期間内でかつ前
    記位相差信号抽出回路が抽出した位相ずれ期間のみ、前
    記基準パルス信号を有効とする基準パルスゲート回路と
    、該基準パルスゲート回路からの出力信号を計数するカ
    ウンタと、を備えたことを特徴とする伝送線路長測定装
    置。
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