JPH04258827A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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Publication number
JPH04258827A
JPH04258827A JP1878591A JP1878591A JPH04258827A JP H04258827 A JPH04258827 A JP H04258827A JP 1878591 A JP1878591 A JP 1878591A JP 1878591 A JP1878591 A JP 1878591A JP H04258827 A JPH04258827 A JP H04258827A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magneto
film
optical recording
recording medium
recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP1878591A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirokazu Takada
宏和 高田
Katsuji Minagawa
皆川 勝治
Ayako Tani
谷 彩子
Tetsukuni Miyahara
鉄洲 宮原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DIC Corp
JFE Engineering Corp
Original Assignee
NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NKK Corp, Nippon Kokan Ltd, Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd filed Critical NKK Corp
Priority to JP1878591A priority Critical patent/JPH04258827A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザー光の照射により
記録、再生、消去の可能な光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】光磁気記録媒体の記録膜として用いる磁
性体膜としては、従来よりFe、Co等の遷移金属とT
b、Fe、Gd等の重希土類金属との非晶質合金薄膜が
一般に用いられている。この理由は以下の通りである。
【0003】1.半導体レーザーで記録、再生、消去を
行える程度にキュリー温度が低く、かつ通常の保存環境
において、データが十分安定に保存できる程度にキュリ
ー温度が高いこと。
【0004】2.非晶質であるため、再生時に粒界ノイ
ズが生じないこと。
【0005】3.容易に垂直磁化膜となること。
【0006】4.磁気光カー効果もしくはファラデー効
果が大きく、再生時に十分な信号出力が得られること。
【0007】5.スパッタリング、蒸着等の方法で比較
的容易にかつ安定に成膜できること。
【0008】ところが、上記の希土類−遷移金属金属合
金薄膜は、空気中の酸素や水分によってきわめて酸化さ
れ易く、酸化により垂直磁気異方性の低下や飽和磁化の
減少といった磁気特性の劣化、あるいは磁気光学特性の
劣化を示したり、膜の孔食によりピンホール生じたりす
るため、記録データの保存安定性に問題がある。これら
の問題を解決するために、一般に磁気光カー効果のエン
ハンス機能を兼ね備えた誘電体膜で記録膜をはさみ、磁
性体膜の酸化を防止する方法がとられている。
【0009】しかしながら、上記の方法を用いたとして
も、磁性体膜の酸化を完全に防止することはできず、こ
の対策として、例えば、Ti、Cr、Nb、Pt等の金
属を磁性体膜に添加し、磁性体膜自身の耐酸化性を向上
する方法が知られている。特に、特開昭59−3878
0号公報に示されているように、Tiの添加は磁性体膜
の酸化による磁気特性の変化や孔食の発生に対して特に
有効であることがよく知られている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】磁性体膜にTiを多く
添加するほど酸化による孔食の発生や磁気特性の変化を
抑えることができることが知られているが、反面、磁性
体膜中のTi添加量を多くするに従って、キュリー温度
が低下し、さらに磁気光カー効果によるカー回転角が減
少するため、記録特性、特にCN比が低下するという問
題点があった。このため、磁性体膜の耐酸化性の向上を
目的として添加できるTiの添加量は記録膜全体に対し
て原子数比で約5%が限度であり、これ以上添加を行な
うとカー回転角が低下することによりCN比が著しく低
下し、光磁気記録媒体として実用には適さないという問
題点があった。
【0011】本発明が解決しようとする課題は、記録特
性、耐酸化性及び保存安定性に優れた光磁気記録膜を有
する光磁気記録媒体を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、記録特性
を損なうことなく、磁性体膜にできるだけ多量のTiを
添加し、より信頼性の高い光磁気媒体を作製する方法に
ついて鋭意研究を行った結果、Tiの添加量に見合うだ
け記録膜中のCoの組成比を増加させれば良いというこ
とを見いだした。即ち、本発明は上記課題を解決するた
めに、基板上に光磁気記録膜を形成した光磁気記録媒体
において、前記光磁気記録膜はR−Fe−Co−Ti合
金からなり、前記RはTbもしくはDyのうち一種類以
上であり、かつ組成式をRaFebCocTidと表わ
したとき、c/d>1.3であることを特徴とする光磁
気記録媒体を提供する。
【0013】本発明によれば記録膜にTiを5原子%以
上添加した場合であっても、耐酸化性が大きく信頼性の
高い光磁気記録膜を得ることができる。本発明における
磁性体膜はフェリ磁性であり、重希土類金属と遷移金属
の組成比で決まる補償組成を有する。ここで本発明の磁
性体膜のRの含有量は補償組成以上でも以下でも良いが
、特に補償組成以下(R、Fe、Coの総原子数に対し
て約23%以下)とすることにより、CN比が高く、ジ
ッタ及びエラー率が低いといった良好な記録を行なうこ
とができる。
【0014】本発明における記録膜は、上記の磁性体膜
単層においても十分に高い耐酸化性を示すが、磁気光効
果を大きくし、かつ磁性体層を保護する目的で磁性体膜
の両側もしくは片側、すなわち磁性体膜に対して記録、
再生、消去のためのレーザー光の入射側に透明で屈折率
の高い誘電体膜を設けても良い。さらに磁性体膜を透過
した光のファラデー効果も利用して再生するために、磁
性体膜に対してレーザー光の入射側とは反対側に、誘電
体膜を介して、もしくは介さないで反射膜を設ける構造
としても良い。
【0015】
【実施例】以下、実施例及び比較例を用いて本発明を更
に詳細に説明する。 (実施例1〜7)本実施例における光磁気記録膜の層構
成を第1図に示した。
【0016】本記録膜はスパッタ法によってグルーブの
形成された円板上のポリカーボネート基板上に成膜され
たものであって、到達真空度を7×10−7Torr、
基板とターゲット間の距離を90mmとし、基板を回転
させながら各層を順次成膜した。ここにおいて、第1の
誘電体層である基板側のSiN層は、Siターゲットを
用い、ArとN2ガス雰囲気において、RFスパッタ法
にて約80nmの厚さに、次の磁性体層は、TbFeC
o合金ターゲットを用い、Arガス雰囲気中において、
DCスパッタ法にて約25nmの厚さに、第2の誘電体
層である3層目のSiN層は、基板側のSiN層と同条
件で約20nmの厚さに、最後の反射層は、Al合金タ
ーゲットを用い、Arガス雰囲気中でDCスパッタ法に
て約50nmの厚さに、それぞれ成膜を行った。尚、磁
性体膜中のCo及びTiの含有量はTbFeCoターゲ
ット上にCo及びTiの小板を配置することにより調節
を行った。
【0017】次に、以上の方法で成膜した記録膜上にさ
らにスピンコート法でUV硬化樹脂(大日本インキ化学
社製「SD−301」)を塗布し、光磁気ディスクの作
製を行った。得られたディスクの評価は以下の手順で行
った。
【0018】まず、作製直後のディスクのCN比の評価
を行った。測定条件は、レーザー波長830nm、対物
レンズのNA0.53、ディスク回転数1800rpm
 、記録周波数3.7MHz 、測定半径30mm、バ
イアス磁界250G、記録レーザーパワー6.0mWと
した。この結果を表−1に示した。
【0019】
【表1】
【0020】CN比は再生信号のジッタ、エラー率等の
点からディスク全面において48dB以上であることが
好ましいが、この結果より磁性体膜の組成式をTbaF
ebCocTid と表わした場合、c/d>1.3とすると、Tiの含有
量を10原子%以上にした場合であっても48dB以上
の高いCN比が得られることが理解できる。
【0021】次に、上記のディスクを80℃、85%R
Hの恒温恒湿器中に5000時間放置することによる温
湿度試験を行った。表−2に温湿度試験前後に記録、再
生を行って得られたバイトエラー率の結果を示した。
【0022】
【表2】
【0023】表−2に示した結果から、磁性体膜中のT
iの含有量が多いほど温湿度試験前後のバイトエラー率
の変化が小さく、信頼性の高いディスクとなっているこ
とが理解できる。この理由は、磁性体膜のTi添加量を
多くするほど磁性体膜の酸化による孔食の発生、磁気特
性の劣化が強く抑制されるためであると考えられる。
【0024】以上のように信頼性が高く、かつ記録特性
が良好な記録膜を得るためには磁性体膜中のTiの含有
量を多くし、かつCoとTiの原子数比が1.3を超え
るようにすれば良いことが理解できる。
【0025】(比較例1〜3)実施例1〜7と同様にし
て、基板上に第1の誘電体層、磁性体層、第2の誘電体
層、反射層を順次形成して記録膜を作製した。ここで、
磁性体層成膜時にTbFeCoターゲット上にTiの小
板のみを配置し、磁性体膜中にTiのみの添加を行った
。以上の方法で成膜を行った記録膜上にさらにスピンコ
ート法でUV硬化樹脂を塗布し、実施例1〜7と同様の
方法でCN比の測定を行った。この結果を表−3に示し
た。
【0026】
【表3】
【0027】表−2に示した結果から、磁性体膜中のT
iの含有量を増やし、磁性体層の組成式をTbaFeb
CocTidと表したときのc/dが1.3以下になる
とCN比が低くなることが理解できる。
【0028】(実施例8、9及び比較例4)実施例1〜
7と同様にして、基板上に第1の誘電体層、磁性体層、
第2の誘電体層、反射層を順次形成して記録膜を作製し
た。その際、磁性体層成膜時のターゲットをDyFeC
oとし、これにTi及びCoの小板を配置して組成の調
節を行った。以上の方法で成膜を行った記録膜上にスピ
ンコート法でUV硬化樹脂を塗布し、実施例1〜7と同
様の方法でCN比の測定を行った。ここで、c/d=1
.44、2.36とした場合の結果を実施例8、9に、
c/d=1.05とした場合の結果を比較例4として表
−4に示した。
【0029】
【表4】
【0030】表−4に示した結果から、磁性体膜がDy
aFebCocTidであってもc/d>1.3を満た
すと48dB以上の高いCN比を示すことが理解できる
【0031】
【発明の効果】本発明の光磁気記録媒体は、記録、再生
、消去特性に優れ、かつ、耐酸化性にも優れている。 従って、本発明の光磁気記録媒体によれば、より信頼性
の高い光磁気記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光磁気記録膜の層構成を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
1  基板 2  第1の誘電体層 3  磁性体層 4  第2の誘電体層 5  反射層

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  基板上に光磁気記録膜を形成した光磁
    気記録媒体において、前記光磁気記録膜はR−Fe−C
    o−Ti合金からなり、前記RはTbもしくはDyのう
    ち一種類以上であり、かつ組成式をRaFebCocT
    idと表わしたとき、c/d>1.3であることを特徴
    とする光磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】  上記光磁気記録膜として、希土類金属
    Rの含有量が補償組成以下であることを特徴とする請求
    項1記載の光磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】  Tiの含有量が5原子%以上であるこ
    とを特徴とする請求項1又は2記載の光磁気記録媒体。
JP1878591A 1991-02-12 1991-02-12 光磁気記録媒体 Pending JPH04258827A (ja)

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JP1878591A JPH04258827A (ja) 1991-02-12 1991-02-12 光磁気記録媒体

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JPH04258827A true JPH04258827A (ja) 1992-09-14

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JP1878591A Pending JPH04258827A (ja) 1991-02-12 1991-02-12 光磁気記録媒体

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