JPH0425705A - 光干渉計 - Google Patents
光干渉計Info
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- JPH0425705A JPH0425705A JP13183990A JP13183990A JPH0425705A JP H0425705 A JPH0425705 A JP H0425705A JP 13183990 A JP13183990 A JP 13183990A JP 13183990 A JP13183990 A JP 13183990A JP H0425705 A JPH0425705 A JP H0425705A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光干渉計に関し、特に２つの光路が位相差をも
って変化する際の変移を検出するための長光路長干渉計
に関する。
って変化する際の変移を検出するための長光路長干渉計
に関する。
従来、この種の干渉計はマイケルソン型の干渉計として
知られており、ハーフミラ−と２枚の全反射鏡を用いて
ハーフミラ−と全反射鏡間の距離を正確に測定するため
に使用されてきたもので、たとえば第３図に構成図とし
て示した干渉計が用いられてきた。
知られており、ハーフミラ−と２枚の全反射鏡を用いて
ハーフミラ−と全反射鏡間の距離を正確に測定するため
に使用されてきたもので、たとえば第３図に構成図とし
て示した干渉計が用いられてきた。
入射光Ａはハーフミラ−９により一部は反射されてハー
フミラ−３を通過し、全反射ミラー１とハーフミラ−３
の間で多重回反射された後、一部がハーフミラ−９を透
過し、図中の下方に干渉光Ｂの第１の成分として出力さ
れる。
フミラ−３を通過し、全反射ミラー１とハーフミラ−３
の間で多重回反射された後、一部がハーフミラ−９を透
過し、図中の下方に干渉光Ｂの第１の成分として出力さ
れる。
入射光Ａの内ハーフミラ−９を透過したものはハーフミ
ラ−４を通り全反射ミラー２とハーフミラ−４の間で多
重回反射された後、ハーフミラ−９で反射されたものが
図中の下方に干渉光Ｂの第２の成分として出力される。
ラ−４を通り全反射ミラー２とハーフミラ−４の間で多
重回反射された後、ハーフミラ−９で反射されたものが
図中の下方に干渉光Ｂの第２の成分として出力される。
上述した干渉光Ｂの第１と第２の成分の合成されたもの
が干渉光Ｂとなる。
が干渉光Ｂとなる。
全反射ミラー１とハーフミラ−９間の光学的距離と全反
射ミラー２とハーフミラ−９間の光学的距離の間の差が
測定しようとする光の波長の整数倍であれば上述した２
つの成分は強めあい、また光の１．／２波長の奇数倍で
あれば互いに弱めあう、すなわち上述した第１と第２の
両成分は互いに干渉する。
射ミラー２とハーフミラ−９間の光学的距離の間の差が
測定しようとする光の波長の整数倍であれば上述した２
つの成分は強めあい、また光の１．／２波長の奇数倍で
あれば互いに弱めあう、すなわち上述した第１と第２の
両成分は互いに干渉する。
マイケルソン型の干渉計はこの干渉を利用してハーフミ
ラ−９と全反射ミラー１間の距離と、ハーフミラ−９と
全反射ミラー２の間の距離との間の距離差の正確な測定
に使用されている。
ラ−９と全反射ミラー１間の距離と、ハーフミラ−９と
全反射ミラー２の間の距離との間の距離差の正確な測定
に使用されている。
ハーフミラ−９と全反射ミラー１の間、およびハーフミ
ラ−９と全反射ミラー２の間の距離を大とすれば、これ
らの２つの距離の差をより微細に検出することができる
。
ラ−９と全反射ミラー２の間の距離を大とすれば、これ
らの２つの距離の差をより微細に検出することができる
。
なお、ハーフミラ−３と４はハーフミラ−９と全反射ミ
ラー１または２との間の光学的距離を増大するために必
要に応じて使用されている。
ラー１または２との間の光学的距離を増大するために必
要に応じて使用されている。
上述した従来の光干渉計ではハーフミラ−３と９間の距
離とハーフミラ−４と９間の距離とが等しいとして、全
反射ミラー１と３間の光学的往復距離、すなわち光路長
をＬｌ、全反射ミラー２と４間の光学的往復距離、すな
わち光路長をＬ２、このり、とＬ２との差すなわち距離
差をΔＬとし、この距離ΔＬを光が通過するのに要する
時間をΔｔとすれば、Δｔ＝ΔＬ／Ｃとなる。
離とハーフミラ−４と９間の距離とが等しいとして、全
反射ミラー１と３間の光学的往復距離、すなわち光路長
をＬｌ、全反射ミラー２と４間の光学的往復距離、すな
わち光路長をＬ２、このり、とＬ２との差すなわち距離
差をΔＬとし、この距離ΔＬを光が通過するのに要する
時間をΔｔとすれば、Δｔ＝ΔＬ／Ｃとなる。
ただしＣは光の速度である。
ここで全反射ミラー１または２の内の一方が反射面と垂
直な方向に角周波数ωで振動しているとすると、干渉光
Ｂの振幅ｑは以下の伝達関数Ｇ（ω）に比例して変化す
る。
直な方向に角周波数ωで振動しているとすると、干渉光
Ｂの振幅ｑは以下の伝達関数Ｇ（ω）に比例して変化す
る。
Ｇ （ω） ＝Ｇ−ｓｔｎ（ω−Δｔ／２ ） ／（ω
−Δｔ／２）×ｅづ０社に ただし、Ｇは比例定数である。
−Δｔ／２）×ｅづ０社に ただし、Ｇは比例定数である。
第４図は横軸に角周波数ωをとったときの、Ｇ（ω）の
変化を示す図である。
変化を示す図である。
この図よりわかるように、角周波数ωがＯ付近ではＧ（
ω）は大きいが角周波数ωの増加につれてＧ（ω）は１
／ωに比例して小さくなる。
ω）は大きいが角周波数ωの増加につれてＧ（ω）は１
／ωに比例して小さくなる。
すなわち、従来のこの種の光干渉計で光路長の差が高い
周波数で変化している場合、この干渉計の検出感度が低
下するという欠点があつる。
周波数で変化している場合、この干渉計の検出感度が低
下するという欠点があつる。
本発明の光干渉計はハーフミラ−１個と第１および第２
の全反射ミラーより成るマイケルソン型光干渉計におい
て、前記ハーフミラ−と前記第１の全反射ミラーで構成
される光路上の前記ハーフミラ−寄りにｐ偏光を透過し
５（ｌｉｔ光を前記第２の全反射ミラー寄りに反射する
ように第１の偏光ビームスプリッタを配置し、前記第１
の偏光ビームスプリッタと前記第１の全反射ミラーとの
間に第１の１／４波長板を配置し、前記ハーフミラ−と
前記第２の全反射ミラーとで構成される光路上の前記ハ
ーフミラ−寄りにｐｍ光を透過しＳ偏光を前記第１の全
反射ミラー寄りに反射するように第２の偏光ビームスプ
リッタを配置し、前記第１の全反射ミラーで反射され前
記第１の偏光ビームスプリッタに入射し前記第１の偏光
ビームスプリッタで反射されるＳ偏光を反射し前記第２
の偏光ビームスプリッタに入射するように第３の全反射
ミラーを配置し、前記第２の偏光ビームスプリッタと前
記第２の全反射ミラーとの間で前記第２の偏光ビームス
プリッタ寄りに第２の１／４波長板を配置し、前記第１
の全反射ミラーと前記第１の１／４波長板の間かまたは
前記第２の全反射ミラーと前記第２の１／４波長板との
間の少なくともいずれか一方にハーフミラ−配置し、前
記第１と第２の全反射ミラーの少なくとも一方を光路方
向に機械的に振動可能な構造としたことを特徴とする。
の全反射ミラーより成るマイケルソン型光干渉計におい
て、前記ハーフミラ−と前記第１の全反射ミラーで構成
される光路上の前記ハーフミラ−寄りにｐ偏光を透過し
５（ｌｉｔ光を前記第２の全反射ミラー寄りに反射する
ように第１の偏光ビームスプリッタを配置し、前記第１
の偏光ビームスプリッタと前記第１の全反射ミラーとの
間に第１の１／４波長板を配置し、前記ハーフミラ−と
前記第２の全反射ミラーとで構成される光路上の前記ハ
ーフミラ−寄りにｐｍ光を透過しＳ偏光を前記第１の全
反射ミラー寄りに反射するように第２の偏光ビームスプ
リッタを配置し、前記第１の全反射ミラーで反射され前
記第１の偏光ビームスプリッタに入射し前記第１の偏光
ビームスプリッタで反射されるＳ偏光を反射し前記第２
の偏光ビームスプリッタに入射するように第３の全反射
ミラーを配置し、前記第２の偏光ビームスプリッタと前
記第２の全反射ミラーとの間で前記第２の偏光ビームス
プリッタ寄りに第２の１／４波長板を配置し、前記第１
の全反射ミラーと前記第１の１／４波長板の間かまたは
前記第２の全反射ミラーと前記第２の１／４波長板との
間の少なくともいずれか一方にハーフミラ−配置し、前
記第１と第２の全反射ミラーの少なくとも一方を光路方
向に機械的に振動可能な構造としたことを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の実施例のブロック図である。
ハーフミラ−９の反射平面は紙面に垂直で、この反射平
面に垂直な方向と入射光Ａの進行方向とのなす角度は４
５度である。
面に垂直な方向と入射光Ａの進行方向とのなす角度は４
５度である。
この入射光Ａの進行方向とハーフミラ−９の反射面に垂
直な方向との双方を含む面すなわち紙面と平行な面に平
行に電気力線を持つ光波すなわちｐ偏光が入射光Ａとし
てハーフミラ−９に入射するとする。
直な方向との双方を含む面すなわち紙面と平行な面に平
行に電気力線を持つ光波すなわちｐ偏光が入射光Ａとし
てハーフミラ−９に入射するとする。
この入射光Ａの一部はハーフミラ−って反射され上方に
向い偏光ビームスプリッタフに入射する。
向い偏光ビームスプリッタフに入射する。
この偏光ビームスプリッタ７はｐ偏光に対しては透過し
、ｐ偏光とは直交する、すなわち紙面に垂直な電気力線
を持つ光波、すなわちＳ偏光に対してはこれを反射する
ように配置されているので、ハーフミラ−９で反射され
てこの偏光ビームスプリッタ７に達した前述のｐ偏光は
このビームスプリッタ７を透過し、続いて１／４波長板
５を透過し、ハーフミラ−３を透過してから全反射ミラ
ー１で反射され、再びハーフミラ−３に向う。
、ｐ偏光とは直交する、すなわち紙面に垂直な電気力線
を持つ光波、すなわちＳ偏光に対してはこれを反射する
ように配置されているので、ハーフミラ−９で反射され
てこの偏光ビームスプリッタ７に達した前述のｐ偏光は
このビームスプリッタ７を透過し、続いて１／４波長板
５を透過し、ハーフミラ−３を透過してから全反射ミラ
ー１で反射され、再びハーフミラ−３に向う。
ｐ偏光の電気力線はベクトル的に直交する振幅と位相の
等しい２成分の合成と考えることができる。
等しい２成分の合成と考えることができる。
前述の１／４波長板５は内部を透過するｐ偏光の上述し
た電気力線の２成分の内の１成分の位相を他の１成分に
対して相対的に９０度異ならせて透過させるように配置
される。
た電気力線の２成分の内の１成分の位相を他の１成分に
対して相対的に９０度異ならせて透過させるように配置
される。
したがって、１／４波長板５に入射したｐ’Ｊ４光はこ
の１／４波長板５を出たときには円偏波となり、ハーフ
ミラ−３に向い、全反射ミラー１で反射され、ハーフミ
ラ−３を再度透過してから１／４波長板５に再入射する
。
の１／４波長板５を出たときには円偏波となり、ハーフ
ミラ−３に向い、全反射ミラー１で反射され、ハーフミ
ラ−３を再度透過してから１／４波長板５に再入射する
。
この再入射した円偏光はこの１／４波長板５を透過する
とＳ偏光となって、偏光ビームスプリッタフに再入射す
る。
とＳ偏光となって、偏光ビームスプリッタフに再入射す
る。
この再入射したＳ偏光は今度は偏光ビームスプリッタ７
で９０度方向を変えられて反射され、全反射ミラー１０
へ向う。
で９０度方向を変えられて反射され、全反射ミラー１０
へ向う。
このＳ偏光は全反射ミラー１０で９０度方向を変えられ
反射され、偏光ビームスプリッタ８に入射する。
反射され、偏光ビームスプリッタ８に入射する。
この偏光ビームスプリッタ８はＳ偏光に対して９０度方
向を変えて反射し、ｐ偏光に対してはそのまま透過させ
るように配置されているので、偏光ビームスプリッタ８
に入射した前述のＳ偏光は進行方向を９０度変えられて
全反射ミラー２の方向へ反射される。
向を変えて反射し、ｐ偏光に対してはそのまま透過させ
るように配置されているので、偏光ビームスプリッタ８
に入射した前述のＳ偏光は進行方向を９０度変えられて
全反射ミラー２の方向へ反射される。
偏光ビームスプリッタ８で反射された上述のＳ偏光は１
、、／ ４波長板６を透過するにの１／４波長板６は
すでに説明した１／４波長板５と同様に直線偏波である
光波、すなわち、Ｓ偏光とｐ偏光を円偏光に変換するよ
うに配置されている。
、、／ ４波長板６を透過するにの１／４波長板６は
すでに説明した１／４波長板５と同様に直線偏波である
光波、すなわち、Ｓ偏光とｐ偏光を円偏光に変換するよ
うに配置されている。
したがって、偏光ビームスプリッタ８に全反射ミラー１
０から入射し、この偏光ビームスプリッタ８で反射され
た前述のＳ偏光は１／４波長板６を透過すると円偏光と
なりハーフミラ−４を透過し、全反射ミラー２で反射さ
れ、ハーフミラ−４と１／４波長板６を再度透過する。
０から入射し、この偏光ビームスプリッタ８で反射され
た前述のＳ偏光は１／４波長板６を透過すると円偏光と
なりハーフミラ−４を透過し、全反射ミラー２で反射さ
れ、ハーフミラ−４と１／４波長板６を再度透過する。
この円偏光は１／４波長板６を透過したとき、ｐ偏光に
変換されて偏光ビームスプリッタ８に入射することにな
る。
変換されて偏光ビームスプリッタ８に入射することにな
る。
したがって、このｐ偏光はそのまま偏光ビームスプリッ
タ８を透過し、ハーフミラ−９で一部反射され、干渉光
Ｂの第１の成分として出力される。
タ８を透過し、ハーフミラ−９で一部反射され、干渉光
Ｂの第１の成分として出力される。
ｐ偏光の入射光Ａの内でハーフミラ−９を透過した成分
は、まず、偏光ビームスプリッタ８を透過し１／４波長
板６を透過するとき、円偏光となりハーフミラ−４を透
過し、全反射ミラー２で反射されハーフミラ−４を通り
１／４波長板６を通過するとＳ偏光となり偏光ビームス
プリッタ８で反射され、全反射ミラー１０に向う。
は、まず、偏光ビームスプリッタ８を透過し１／４波長
板６を透過するとき、円偏光となりハーフミラ−４を透
過し、全反射ミラー２で反射されハーフミラ−４を通り
１／４波長板６を通過するとＳ偏光となり偏光ビームス
プリッタ８で反射され、全反射ミラー１０に向う。
続いて、このｓｌｊ光は全反射ミラー１０で反射されて
、偏光ビームスブリッタフに入射し、この偏光ビームス
プリッタ７で反射され、１／４波長板５で円偏光に変換
され、ハーフミラ−３を透過し、全反射ミラー１で反射
され、ハーフミラ−３を通り、１／４波長板５を透過す
るどきｐ偏光となり、偏光ビームスプリッタ７を透過し
ハーフミラ−９を透過したものが干渉光Ｂの第２の成分
となる。
、偏光ビームスブリッタフに入射し、この偏光ビームス
プリッタ７で反射され、１／４波長板５で円偏光に変換
され、ハーフミラ−３を透過し、全反射ミラー１で反射
され、ハーフミラ−３を通り、１／４波長板５を透過す
るどきｐ偏光となり、偏光ビームスプリッタ７を透過し
ハーフミラ−９を透過したものが干渉光Ｂの第２の成分
となる。
ここで、ハーフミラ−９と３間の光学的距離とハーフミ
ラ−９と４間の光学的距離が等しいとする。
ラ−９と４間の光学的距離が等しいとする。
全反射ミラー１は固定しておき、全反射ミラー２をこの
ミラーの反射鏡面と垂直な方向に機械的に角周波数ωで
振動させる。
ミラーの反射鏡面と垂直な方向に機械的に角周波数ωで
振動させる。
ただし、この全反射ミラー２を振動させる前に、すでに
説明した全反射ミラー１とハーフミラ−３間の往復の光
路長Ｌ１に対して全反射ミラー２とハーフミラ−４間の
往復の光路長Ｌ２を等しくしておく。
説明した全反射ミラー１とハーフミラ−３間の往復の光
路長Ｌ１に対して全反射ミラー２とハーフミラ−４間の
往復の光路長Ｌ２を等しくしておく。
また、この全反射ミラー２の機械的な振動によりハーフ
ミラ−４に対して全反射ミラー２が最接近する位置から
最も遠ざかる位置までの間を光波が往復するのに要する
時閉を２π／′ωの整数倍となるように全反射ミラー２
の機械的振動の角周波数ωを設定すれば、入射光Ａの内
で最初にハーフミラ−９で反射され、全反射ミラー１で
反射されてから全反射ミラー２に達し、ハーフミラ−９
で反射されて出力する干渉光Ｂの第１成分と、入射光Ａ
の内で、ハーフミラ−９を透過し最初に全反射ミラー２
で反射され、次に全反射ミラー１で反射され、ハーフミ
ラ−９を透過して出力する干渉光Ｂの第２の成分との間
の光路長の差はすでに説明した第３図の従来のこの種の
光干渉計で出力される干渉光Ｂの第１の成分と第２の成
分との間の光路長の差の２倍となる。
ミラ−４に対して全反射ミラー２が最接近する位置から
最も遠ざかる位置までの間を光波が往復するのに要する
時閉を２π／′ωの整数倍となるように全反射ミラー２
の機械的振動の角周波数ωを設定すれば、入射光Ａの内
で最初にハーフミラ−９で反射され、全反射ミラー１で
反射されてから全反射ミラー２に達し、ハーフミラ−９
で反射されて出力する干渉光Ｂの第１成分と、入射光Ａ
の内で、ハーフミラ−９を透過し最初に全反射ミラー２
で反射され、次に全反射ミラー１で反射され、ハーフミ
ラ−９を透過して出力する干渉光Ｂの第２の成分との間
の光路長の差はすでに説明した第３図の従来のこの種の
光干渉計で出力される干渉光Ｂの第１の成分と第２の成
分との間の光路長の差の２倍となる。
すなわち、機械的に振動をしている測定対象に対しても
、上述したようにこの振動の角周波数とその振動幅の間
の関係を適切に設定することにより、光干渉計の測定感
度を向上させることができる。
、上述したようにこの振動の角周波数とその振動幅の間
の関係を適切に設定することにより、光干渉計の測定感
度を向上させることができる。
今迄の説明では、全反射ミラーｌは固定されているが、
この全反射ミラー１もこの全反射ミラー１の反射面と垂
直な方向に、全反射ミラー２と同時に同一の角周波数で
振動してしていても上述したと同様な効果がある。
この全反射ミラー１もこの全反射ミラー１の反射面と垂
直な方向に、全反射ミラー２と同時に同一の角周波数で
振動してしていても上述したと同様な効果がある。
ただし、全反射ミラー１がハーフミラ−３に接近すると
きには全反射ミラー２はハーフミラ−４より遠ざかるよ
うに、すなわち、これらの全反射ミラーｌと２の機械的
振動の位相関係を設定しておく必要がある。
きには全反射ミラー２はハーフミラ−４より遠ざかるよ
うに、すなわち、これらの全反射ミラーｌと２の機械的
振動の位相関係を設定しておく必要がある。
全反射ミラー２が角周波数ωで前述したように機械的に
振動をしているとき、干渉光Ｂの光の振幅ｑは以下の伝
達関数ＧＡ（ω）に比例する。
振動をしているとき、干渉光Ｂの光の振幅ｑは以下の伝
達関数ＧＡ（ω）に比例する。
ＱＡ（ω） ＝Ｇｐ・２・ｅ ””／ ｊ ωΔｔ（ｅ
Ｊ２ω”＋１）／ｊωΔｔ ただし、ＧＰは比例定数とする。
Ｊ２ω”＋１）／ｊωΔｔ ただし、ＧＰは比例定数とする。
第２図はωの変化に対する伝達関数ＧＡ（ω）の変化の
様子を示した図である。
様子を示した図である。
ωがＯであるとき、すなわち、全反射ミラー１と２の両
方とも機械的に固定されているときには、ＧＡ（ω）は
０である。
方とも機械的に固定されているときには、ＧＡ（ω）は
０である。
全反射ミラー１丈たは全反射ミラー２の内の少なくとも
１つが角速度ωで振動しているときにはω＝π／Δｔで
ＧＡ（ω）は最大となる。
１つが角速度ωで振動しているときにはω＝π／Δｔで
ＧＡ（ω）は最大となる。
すなわち、上述のミラーの機械的変化量に応じて、この
機械的変化の角周波数ωを選択すれば上述の干渉光Ｂの
振幅を最大とすることができる。
機械的変化の角周波数ωを選択すれば上述の干渉光Ｂの
振幅を最大とすることができる。
光に対する透過率の異なるハーフミラ−を複数個用意し
ておき、これらの中からハーフミラ−３または４として
適当なものを選択して使用することによって、光が全反
射ミラー１とハーフミラ−３の間埜たは全反射ミラー２
とハーフミラ−４の間を往復する時間を変化させ、光が
光路長Ｌ１を往復するのに要する時間と光路長Ｌ２を往
復するのに要する時間の差、すなわちΔｔを所望の値に
設定することにより角周波数ωの選択を行うことができ
る。
ておき、これらの中からハーフミラ−３または４として
適当なものを選択して使用することによって、光が全反
射ミラー１とハーフミラ−３の間埜たは全反射ミラー２
とハーフミラ−４の間を往復する時間を変化させ、光が
光路長Ｌ１を往復するのに要する時間と光路長Ｌ２を往
復するのに要する時間の差、すなわちΔｔを所望の値に
設定することにより角周波数ωの選択を行うことができ
る。
今迄の説明ではハーフミラ−３と４を用いたがこれらの
ハーフミラ−の代りに小孔付ミラーを使用することもで
きる。
ハーフミラ−の代りに小孔付ミラーを使用することもで
きる。
以上説明したように本発明によれば、従来のマイケルソ
ン型の光干渉計の光路上に偏光ビームスプリッタと１／
４波長板を挿入することによって測定対象物が機械的に
振動している場合の干渉の検出感度を向上させることが
でき、測定対象物が振動しているときでも、従来の干渉
計よりも正確に光路長の差を測定することができる。
ン型の光干渉計の光路上に偏光ビームスプリッタと１／
４波長板を挿入することによって測定対象物が機械的に
振動している場合の干渉の検出感度を向上させることが
でき、測定対象物が振動しているときでも、従来の干渉
計よりも正確に光路長の差を測定することができる。
第１図は本発明の実施例の構成図、第２図は第１図の干
渉光の特性を示す図、第３図は従来のこの種の光干渉計
の構成図、第４図は第３図の構成の干渉計の干渉光の振
幅の特性を示す図である。
渉光の特性を示す図、第３図は従来のこの種の光干渉計
の構成図、第４図は第３図の構成の干渉計の干渉光の振
幅の特性を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ハーフミラー１個と第１および第２の全反射ミラー
より成るマイケルソン型光干渉計において、前記ハーフ
ミラーと前記第１の全反射ミラーで構成される光路上の
前記ハーフミラー寄りにｐ偏光を透過しｓ偏光を前記第
２の全反射ミラー寄りに反射するように第１の偏光ビー
ムスプリッタを配置し、前記第１の偏光ビームスプリッ
タと前記第１の全反射ミラーとの間に第１の１／４波長
板を配置し、前記ハーフミラーと前記第２の全反射ミラ
ーとで構成される光路上の前記ハーフミラー寄りにｐ偏
光を透過しｓ偏光を前記第１の全反射ミラー寄りに反射
するように第２の偏光ビームスプリッタを配置し、前記
第１の全反射ミラーで反射され前記第１の偏光ビームス
プリッタに入射し前記第１の偏光ビームスプリッタで反
射されるｓ偏光を反射し前記第２の偏光ビームスプリッ
タに入射するように第３の全反射ミラーを配置し、前記
第２の偏光ビームスプリッタと前記第２の全反射ミラー
との間で前記第２の偏光ビームスプリッタ寄りに第２の
１／４波長板を配置し、前記第１の全反射ミラーと前記
第１の１／４波長板の間かまたは前記第２の全反射ミラ
ーと前記第２の１／４波長板との間の少なくともいずれ
か一方にハーフミラー配置し、前記第１と第２の全反射
ミラーの少なくとも一方を光路方向に機械的に振動可能
な構造としたことを特徴とする光干渉計。 ２、請求項１記載の光干渉計において、前記第１の全反
射ミラーと前記第１の１／４波長板との間または前記第
２の全反射ミラーと前記第２の１／４波長板の間の少な
くとも一方に配置されるハーフミラーの代りに小孔付ミ
ラーを配置したことを特徴とする光干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13183990A JPH0425705A (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 光干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13183990A JPH0425705A (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 光干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425705A true JPH0425705A (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=15067309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13183990A Pending JPH0425705A (ja) | 1990-05-22 | 1990-05-22 | 光干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425705A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162539A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
| JP2009244227A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
-
1990
- 1990-05-22 JP JP13183990A patent/JPH0425705A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009162539A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
| JP2009244227A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
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