JPH04250391A

JPH04250391A - 放射線検出器

Info

Publication number: JPH04250391A
Application number: JP98991A
Authority: JP
Inventors: Yoshimasa Horii; 義正堀井; Yoshiaki Tanida; 義明谷田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1991-01-09
Filing date: 1991-01-09
Publication date: 1992-09-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放射線を検出する固体
検出器を有する放射線検出器に関し、特にノイズの検出
を防止した改良された放射線検出器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体等を使用した放射線の固体検出器
は、電離箱やシンチレーションカウンタ等の放射線検出
器に比べ、高分解能かつ高感度の検出器として用いられ
ている。

【０００３】放射線検出器においては、精度よく検出す
るために被測定信号以外のノイズの検出を抑制すること
が要求される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来、被測定物からの
放射線以外の放射線の検出器への侵入を防止するため、
放射線を固体検出素子に導入するための検出窓の大きさ
はできるだけ小さくするようにしていた。

【０００５】ところが、外部から直接固体検出素子に入
射しようとするノイズ源は抑制できたとしても、検出窓
から検出器内部に入射した測定対象の放射線が固体検出
素子には直接検出されず、検出器の内壁に照射されると
ノイズが発生する。放射線が内壁の物質を構成する元素
にエネルギを与えることにより、２次的な散乱線が内壁
より発生し、この散乱線が固体検出素子に検出されると
、ノイズ信号となる。

【０００６】検出器の外筒内壁を構成するのは通常ステ
ンレスであり、この内壁に放射線としてＸ線が照射され
ることにより、ステンレスの構成元素である鉄（Ｆｅ）
やクロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）等のＫ線が散乱線
として発生し、それらがノイズ源となる。その結果、本
来検出されるべき被測定物からの放射線の信号がノイズ
に隠れて検出不可能となったり、バックグラウンドノイ
ズとして測定精度に影響を与えることになる。

【０００７】図４は、固体検出素子を使用した従来の放
射線検出器１の内部断面図である。なお、この図４では
固体検出素子への配線や、その他の付属装置については
簡単のため図示を省略してある。放射線検出器１は、円
筒状のステンレス製の外筒２で形成された容器を有する
。容器２の一方の面に測定しようとする放射線（Ｘ線）
を導入する検出窓３が設けられている。そして、外筒２
の内部に半導体の固体検出素子４を収納している。検出窓３から入射したＸ線５は、直接固体素子４に当り
検出される一方、固体素子４をはずれて外筒２の内壁に
も当る。照射された内壁からは散乱線が発生して、その
散乱線６が固体素子４により検出される。

【０００８】図３は、このような従来の放射線検出器１
で銅（Ｃｕ）からのＸ線（Ｋα線、Ｋβ線）を検出した
場合のスペクトル図を示す。この場合、本来のＣｕのＫ
α線、Ｋβ線の他に、Ｘ線５が内壁に照射されることに
よる外筒２の構成元素のＦｅとＮｉの散乱線６のスペク
トルがノイズとして検出されている。測定対象の組成が
不明の場合、このような信号が真の信号なのかノイズな
のか判断することは難しい。

【０００９】また、ノイズが大きくテーリングが測定対
象ピークに及ぶと測定対象ピークの面積や位置の読み取
りの精度も低下しやすい。本発明の目的は、このような
容器の内壁の照射により発生する散乱線を抑制し、低ノ
イズの放射線検出器を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の放射線検出器においては、容器の内壁に
被検出放射線を吸収して散乱線を発生しない、容器を構
成する物質よりも、高い原子番号を有する所定物質を含
む層を設けた。

【００１１】

【作用】外部容器の内壁に設けた原子番号の大きな所定
物質からなる層は、放射線を受けても散乱線を発生せず
、従って固体検出素子に散乱線がノイズとして与えられ
ることはない。

【００１２】

【実施例】図１に、本発明の実施例による放射線検出器
の断面図を示す。なお、この図１では、固体検出素子へ
の配線やその他の付属装置については簡単のため図示を
省略してある。

【００１３】放射線検出器１０は、円筒状のステンレス
製の外筒１２の容器の一方の面に、測定しようとする放
射線を導入する検出窓１３が設けられている。外筒１２
の内部に半導体の固体検出素子１４を収納している。さ
らに、外筒１２の内壁には、散乱線を発生しない原子番
号の大きな元素を含む物質の微粉末を含むエポキシ樹脂
の接着剤を塗布した遮蔽層１５を設ける。遮蔽層１５の
原子番号の大きな元素としては、外筒１２の材料元素（
Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ等）より大きな原子番号を有し、かつ
測定対象とするエネルギ範囲の放射線によって測定エネ
ルギ範囲内の散乱放射線を生じない元素、たとえばＰｂ
を選ぶ。

【００１４】検出窓１３から入射した放射線５は、直接
固体素子１４に当り検出される一方、固体素子１４をは
ずれて外筒１２の内壁に当るが、入射放射線５は遮蔽層
１５により遮蔽されて、散乱線は発生せず、従って、固
体素子１４ではノイズが検出されない。

【００１５】図２は、このような実施例の放射線検出器
１０を使用して、銅（Ｃｕ）からのＸ線（Ｋα線、Ｋβ
線）を検出した場合のスペクトル図を示す。この場合、
図３の従来の装置での検出のように、本来のＣｕのＫα
線、Ｋβ線の他に、ノイズ成分が検出されることはなく
、低ノイズのスペクトルが検出できる。このため、高精
度の測定が行なえる。

【００１６】上記の実施例では、遮蔽層１５としてＰｂ
を含むエポキシ接着剤を使用したが、Ｐｂの微粉末を含
むアクリル板を外筒１２の内壁に設置してもよい。また
、Ｐｂの膜を内壁に敷設してもよい。

【００１７】被測定放射線がＸ線の領域の場合には、散
乱線によるノイズを従来のものに比べ、約１／１０に低
減できるＰｂ膜の厚みは、約１０ミクロンでよい。たと
えば、ＣｕのＫα線（８．０４ＫｅＶ）を測定する場合
には、８．４５μｍ、ＭｏのＫα線（１７．４５ＫｅＶ
）の測定の場合には、１６．９μｍの厚みのＰｂ膜をそ
れぞれ用いればよい。また、上記実施例のようなＰｂ微
粉末をエポキシ樹脂やアクリル樹脂に混入させる場合の
Ｐｂの量は、上記Ｐｂ膜の場合の量と同一量をエポキシ
ないしはアクリルにそれぞれ混入することによって、同
等の効果を得られる。

【００１８】以上、Ｘ線を検出する場合を説明したが、
Ｘ線に限らず、同様な構成によって約１ＫｅＶ以上のエ
ネルギを有する他の放射線の検出できることはいうまで
もない。

【００１９】以上、実施例に沿って本発明を説明したが
、本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば
、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業
者には自明であろう。

【００２０】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれば
、放射線検出器の容器の内壁に、被検出放射線を吸収し
て散乱線を発生しない、容器を構成する物質よりもより
高い原子番号を有する所定物質を含む層を設けることに
より、簡単な構成で、内壁による散乱線の検出を抑制し
て、ノイズを低減できる。よって高いＳ／Ｎ比を有する
高精度な放射線検出器を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による放射線検出器の断面図で
ある。

【図２】本発明の実施例の放射線検出器でＸ線を測定し
た場合のスペクトルの例である。

【図３】従来の放射線検出器でＸ線を測定した場合のス
ペクトルの例である。

【図４】従来の放射線検出器の断面図である。

【符号の説明】

１、１０　　放射線検出器（全体）２、１２　　外筒３、１３　　検出窓４、１４　　固体検出素子５　　放射線６　　散乱線１５　　外筒内壁を構成する元素より大きな原子番号の
物質を含む遮蔽層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　放射線検出用の固体検出素子（１４）
と、前記固体検出素子（１４）を収納し、被検出放射線
（５）を前記固体検出器（１４）に入射可能にする開口
部（１３）を有する容器（１２）と、前記容器（１２）
の内壁に設けられ、前記開口部（１３）を通過した放射
線（５）を吸収し、該放射線（５）による散乱線を発生
しない、前記容器（１２）を構成する物質よりも高い原
子番号を持つ所定の物質を含む層（１５）とを有する放
射線検出器。
【請求項２】　　前記層（１５）が鉛の微粉末を含むエ
ポキシ樹脂またはアクリル樹脂の層である請求項１の放
射線検出器。