JPH04250391A - 放射線検出器 - Google Patents
放射線検出器Info
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- JPH04250391A JPH04250391A JP98991A JP98991A JPH04250391A JP H04250391 A JPH04250391 A JP H04250391A JP 98991 A JP98991 A JP 98991A JP 98991 A JP98991 A JP 98991A JP H04250391 A JPH04250391 A JP H04250391A
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、放射線を検出する固体
検出器を有する放射線検出器に関し、特にノイズの検出
を防止した改良された放射線検出器に関する。
検出器を有する放射線検出器に関し、特にノイズの検出
を防止した改良された放射線検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体等を使用した放射線の固体検出器
は、電離箱やシンチレーションカウンタ等の放射線検出
器に比べ、高分解能かつ高感度の検出器として用いられ
ている。
は、電離箱やシンチレーションカウンタ等の放射線検出
器に比べ、高分解能かつ高感度の検出器として用いられ
ている。
【0003】放射線検出器においては、精度よく検出す
るために被測定信号以外のノイズの検出を抑制すること
が要求される。
るために被測定信号以外のノイズの検出を抑制すること
が要求される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来、被測定物からの
放射線以外の放射線の検出器への侵入を防止するため、
放射線を固体検出素子に導入するための検出窓の大きさ
はできるだけ小さくするようにしていた。
放射線以外の放射線の検出器への侵入を防止するため、
放射線を固体検出素子に導入するための検出窓の大きさ
はできるだけ小さくするようにしていた。
【0005】ところが、外部から直接固体検出素子に入
射しようとするノイズ源は抑制できたとしても、検出窓
から検出器内部に入射した測定対象の放射線が固体検出
素子には直接検出されず、検出器の内壁に照射されると
ノイズが発生する。放射線が内壁の物質を構成する元素
にエネルギを与えることにより、2次的な散乱線が内壁
より発生し、この散乱線が固体検出素子に検出されると
、ノイズ信号となる。
射しようとするノイズ源は抑制できたとしても、検出窓
から検出器内部に入射した測定対象の放射線が固体検出
素子には直接検出されず、検出器の内壁に照射されると
ノイズが発生する。放射線が内壁の物質を構成する元素
にエネルギを与えることにより、2次的な散乱線が内壁
より発生し、この散乱線が固体検出素子に検出されると
、ノイズ信号となる。
【0006】検出器の外筒内壁を構成するのは通常ステ
ンレスであり、この内壁に放射線としてX線が照射され
ることにより、ステンレスの構成元素である鉄(Fe)
やクロム(Cr)、ニッケル(Ni)等のK線が散乱線
として発生し、それらがノイズ源となる。その結果、本
来検出されるべき被測定物からの放射線の信号がノイズ
に隠れて検出不可能となったり、バックグラウンドノイ
ズとして測定精度に影響を与えることになる。
ンレスであり、この内壁に放射線としてX線が照射され
ることにより、ステンレスの構成元素である鉄(Fe)
やクロム(Cr)、ニッケル(Ni)等のK線が散乱線
として発生し、それらがノイズ源となる。その結果、本
来検出されるべき被測定物からの放射線の信号がノイズ
に隠れて検出不可能となったり、バックグラウンドノイ
ズとして測定精度に影響を与えることになる。
【0007】図4は、固体検出素子を使用した従来の放
射線検出器1の内部断面図である。なお、この図4では
固体検出素子への配線や、その他の付属装置については
簡単のため図示を省略してある。放射線検出器1は、円
筒状のステンレス製の外筒2で形成された容器を有する
。容器2の一方の面に測定しようとする放射線(X線)
を導入する検出窓3が設けられている。そして、外筒2
の内部に半導体の固体検出素子4を収納している。 検出窓3から入射したX線5は、直接固体素子4に当り
検出される一方、固体素子4をはずれて外筒2の内壁に
も当る。照射された内壁からは散乱線が発生して、その
散乱線6が固体素子4により検出される。
射線検出器1の内部断面図である。なお、この図4では
固体検出素子への配線や、その他の付属装置については
簡単のため図示を省略してある。放射線検出器1は、円
筒状のステンレス製の外筒2で形成された容器を有する
。容器2の一方の面に測定しようとする放射線(X線)
を導入する検出窓3が設けられている。そして、外筒2
の内部に半導体の固体検出素子4を収納している。 検出窓3から入射したX線5は、直接固体素子4に当り
検出される一方、固体素子4をはずれて外筒2の内壁に
も当る。照射された内壁からは散乱線が発生して、その
散乱線6が固体素子4により検出される。
【0008】図3は、このような従来の放射線検出器1
で銅(Cu)からのX線(Kα線、Kβ線)を検出した
場合のスペクトル図を示す。この場合、本来のCuのK
α線、Kβ線の他に、X線5が内壁に照射されることに
よる外筒2の構成元素のFeとNiの散乱線6のスペク
トルがノイズとして検出されている。測定対象の組成が
不明の場合、このような信号が真の信号なのかノイズな
のか判断することは難しい。
で銅(Cu)からのX線(Kα線、Kβ線)を検出した
場合のスペクトル図を示す。この場合、本来のCuのK
α線、Kβ線の他に、X線5が内壁に照射されることに
よる外筒2の構成元素のFeとNiの散乱線6のスペク
トルがノイズとして検出されている。測定対象の組成が
不明の場合、このような信号が真の信号なのかノイズな
のか判断することは難しい。
【0009】また、ノイズが大きくテーリングが測定対
象ピークに及ぶと測定対象ピークの面積や位置の読み取
りの精度も低下しやすい。本発明の目的は、このような
容器の内壁の照射により発生する散乱線を抑制し、低ノ
イズの放射線検出器を提供することである。
象ピークに及ぶと測定対象ピークの面積や位置の読み取
りの精度も低下しやすい。本発明の目的は、このような
容器の内壁の照射により発生する散乱線を抑制し、低ノ
イズの放射線検出器を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の放射線検出器においては、容器の内壁に
被検出放射線を吸収して散乱線を発生しない、容器を構
成する物質よりも、高い原子番号を有する所定物質を含
む層を設けた。
めに、本発明の放射線検出器においては、容器の内壁に
被検出放射線を吸収して散乱線を発生しない、容器を構
成する物質よりも、高い原子番号を有する所定物質を含
む層を設けた。
【0011】
【作用】外部容器の内壁に設けた原子番号の大きな所定
物質からなる層は、放射線を受けても散乱線を発生せず
、従って固体検出素子に散乱線がノイズとして与えられ
ることはない。
物質からなる層は、放射線を受けても散乱線を発生せず
、従って固体検出素子に散乱線がノイズとして与えられ
ることはない。
【0012】
【実施例】図1に、本発明の実施例による放射線検出器
の断面図を示す。なお、この図1では、固体検出素子へ
の配線やその他の付属装置については簡単のため図示を
省略してある。
の断面図を示す。なお、この図1では、固体検出素子へ
の配線やその他の付属装置については簡単のため図示を
省略してある。
【0013】放射線検出器10は、円筒状のステンレス
製の外筒12の容器の一方の面に、測定しようとする放
射線を導入する検出窓13が設けられている。外筒12
の内部に半導体の固体検出素子14を収納している。さ
らに、外筒12の内壁には、散乱線を発生しない原子番
号の大きな元素を含む物質の微粉末を含むエポキシ樹脂
の接着剤を塗布した遮蔽層15を設ける。遮蔽層15の
原子番号の大きな元素としては、外筒12の材料元素(
Fe、Ni、Cr等)より大きな原子番号を有し、かつ
測定対象とするエネルギ範囲の放射線によって測定エネ
ルギ範囲内の散乱放射線を生じない元素、たとえばPb
を選ぶ。
製の外筒12の容器の一方の面に、測定しようとする放
射線を導入する検出窓13が設けられている。外筒12
の内部に半導体の固体検出素子14を収納している。さ
らに、外筒12の内壁には、散乱線を発生しない原子番
号の大きな元素を含む物質の微粉末を含むエポキシ樹脂
の接着剤を塗布した遮蔽層15を設ける。遮蔽層15の
原子番号の大きな元素としては、外筒12の材料元素(
Fe、Ni、Cr等)より大きな原子番号を有し、かつ
測定対象とするエネルギ範囲の放射線によって測定エネ
ルギ範囲内の散乱放射線を生じない元素、たとえばPb
を選ぶ。
【0014】検出窓13から入射した放射線5は、直接
固体素子14に当り検出される一方、固体素子14をは
ずれて外筒12の内壁に当るが、入射放射線5は遮蔽層
15により遮蔽されて、散乱線は発生せず、従って、固
体素子14ではノイズが検出されない。
固体素子14に当り検出される一方、固体素子14をは
ずれて外筒12の内壁に当るが、入射放射線5は遮蔽層
15により遮蔽されて、散乱線は発生せず、従って、固
体素子14ではノイズが検出されない。
【0015】図2は、このような実施例の放射線検出器
10を使用して、銅(Cu)からのX線(Kα線、Kβ
線)を検出した場合のスペクトル図を示す。この場合、
図3の従来の装置での検出のように、本来のCuのKα
線、Kβ線の他に、ノイズ成分が検出されることはなく
、低ノイズのスペクトルが検出できる。このため、高精
度の測定が行なえる。
10を使用して、銅(Cu)からのX線(Kα線、Kβ
線)を検出した場合のスペクトル図を示す。この場合、
図3の従来の装置での検出のように、本来のCuのKα
線、Kβ線の他に、ノイズ成分が検出されることはなく
、低ノイズのスペクトルが検出できる。このため、高精
度の測定が行なえる。
【0016】上記の実施例では、遮蔽層15としてPb
を含むエポキシ接着剤を使用したが、Pbの微粉末を含
むアクリル板を外筒12の内壁に設置してもよい。また
、Pbの膜を内壁に敷設してもよい。
を含むエポキシ接着剤を使用したが、Pbの微粉末を含
むアクリル板を外筒12の内壁に設置してもよい。また
、Pbの膜を内壁に敷設してもよい。
【0017】被測定放射線がX線の領域の場合には、散
乱線によるノイズを従来のものに比べ、約1/10に低
減できるPb膜の厚みは、約10ミクロンでよい。たと
えば、CuのKα線(8.04KeV)を測定する場合
には、8.45μm、MoのKα線(17.45KeV
)の測定の場合には、16.9μmの厚みのPb膜をそ
れぞれ用いればよい。また、上記実施例のようなPb微
粉末をエポキシ樹脂やアクリル樹脂に混入させる場合の
Pbの量は、上記Pb膜の場合の量と同一量をエポキシ
ないしはアクリルにそれぞれ混入することによって、同
等の効果を得られる。
乱線によるノイズを従来のものに比べ、約1/10に低
減できるPb膜の厚みは、約10ミクロンでよい。たと
えば、CuのKα線(8.04KeV)を測定する場合
には、8.45μm、MoのKα線(17.45KeV
)の測定の場合には、16.9μmの厚みのPb膜をそ
れぞれ用いればよい。また、上記実施例のようなPb微
粉末をエポキシ樹脂やアクリル樹脂に混入させる場合の
Pbの量は、上記Pb膜の場合の量と同一量をエポキシ
ないしはアクリルにそれぞれ混入することによって、同
等の効果を得られる。
【0018】以上、X線を検出する場合を説明したが、
X線に限らず、同様な構成によって約1KeV以上のエ
ネルギを有する他の放射線の検出できることはいうまで
もない。
X線に限らず、同様な構成によって約1KeV以上のエ
ネルギを有する他の放射線の検出できることはいうまで
もない。
【0019】以上、実施例に沿って本発明を説明したが
、本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば
、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業
者には自明であろう。
、本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば
、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業
者には自明であろう。
【0020】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれば
、放射線検出器の容器の内壁に、被検出放射線を吸収し
て散乱線を発生しない、容器を構成する物質よりもより
高い原子番号を有する所定物質を含む層を設けることに
より、簡単な構成で、内壁による散乱線の検出を抑制し
て、ノイズを低減できる。よって高いS/N比を有する
高精度な放射線検出器を得ることができる。
、放射線検出器の容器の内壁に、被検出放射線を吸収し
て散乱線を発生しない、容器を構成する物質よりもより
高い原子番号を有する所定物質を含む層を設けることに
より、簡単な構成で、内壁による散乱線の検出を抑制し
て、ノイズを低減できる。よって高いS/N比を有する
高精度な放射線検出器を得ることができる。
【図1】本発明の実施例による放射線検出器の断面図で
ある。
ある。
【図2】本発明の実施例の放射線検出器でX線を測定し
た場合のスペクトルの例である。
た場合のスペクトルの例である。
【図3】従来の放射線検出器でX線を測定した場合のス
ペクトルの例である。
ペクトルの例である。
【図4】従来の放射線検出器の断面図である。
1、10 放射線検出器(全体)
2、12 外筒
3、13 検出窓
4、14 固体検出素子
5 放射線
6 散乱線
15 外筒内壁を構成する元素より大きな原子番号の
物質を含む遮蔽層
物質を含む遮蔽層
Claims (2)
- 【請求項1】 放射線検出用の固体検出素子(14)
と、前記固体検出素子(14)を収納し、被検出放射線
(5)を前記固体検出器(14)に入射可能にする開口
部(13)を有する容器(12)と、前記容器(12)
の内壁に設けられ、前記開口部(13)を通過した放射
線(5)を吸収し、該放射線(5)による散乱線を発生
しない、前記容器(12)を構成する物質よりも高い原
子番号を持つ所定の物質を含む層(15)とを有する放
射線検出器。 - 【請求項2】 前記層(15)が鉛の微粉末を含むエ
ポキシ樹脂またはアクリル樹脂の層である請求項1の放
射線検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP98991A JPH04250391A (ja) | 1991-01-09 | 1991-01-09 | 放射線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP98991A JPH04250391A (ja) | 1991-01-09 | 1991-01-09 | 放射線検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04250391A true JPH04250391A (ja) | 1992-09-07 |
Family
ID=11489007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP98991A Withdrawn JPH04250391A (ja) | 1991-01-09 | 1991-01-09 | 放射線検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04250391A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006322745A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Shimadzu Corp | フラットパネル型の放射線検出器 |
JP2009257797A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Shimadzu Corp | エネルギ分散型x線検出装置 |
JP2010197404A (ja) * | 2000-07-04 | 2010-09-09 | Canon Inc | 放射線撮像装置及びシステム |
-
1991
- 1991-01-09 JP JP98991A patent/JPH04250391A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010197404A (ja) * | 2000-07-04 | 2010-09-09 | Canon Inc | 放射線撮像装置及びシステム |
JP2006322745A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Shimadzu Corp | フラットパネル型の放射線検出器 |
JP4631534B2 (ja) * | 2005-05-17 | 2011-02-16 | 株式会社島津製作所 | フラットパネル型の放射線検出器 |
JP2009257797A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Shimadzu Corp | エネルギ分散型x線検出装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |