JPH04249842A - 電子レンズ - Google Patents
電子レンズInfo
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- JPH04249842A JPH04249842A JP41747190A JP41747190A JPH04249842A JP H04249842 A JPH04249842 A JP H04249842A JP 41747190 A JP41747190 A JP 41747190A JP 41747190 A JP41747190 A JP 41747190A JP H04249842 A JPH04249842 A JP H04249842A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- iron
- pole
- pole piece
- cobalt
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- Withdrawn
Links
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 14
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co] Chemical compound [Fe].[Co] QVYYOKWPCQYKEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 8
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 abstract description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、非点収差のないビ
ームを作成する低コストの電子レンズに関する。
ームを作成する低コストの電子レンズに関する。
【０００２】
【従来の技術】 図３は電子顕微鏡装置等に使用され
ている電子レンズの断面図を示したものである。該電子
レンズはコイル１，ヨーク２，ポールピース上磁極３ａ
，ポールピース下磁極３ｂによって構成されている。
ている電子レンズの断面図を示したものである。該電子
レンズはコイル１，ヨーク２，ポールピース上磁極３ａ
，ポールピース下磁極３ｂによって構成されている。
【０００３】さて、前記ポールピース上磁極３ａ，下磁
極３ｂは、磁束を集め非常に強い磁界を作る為に設けら
れる事から、飽和磁束密度の高い金属、例えば、鉄コバ
ルトを使用して製作される。
極３ｂは、磁束を集め非常に強い磁界を作る為に設けら
れる事から、飽和磁束密度の高い金属、例えば、鉄コバ
ルトを使用して製作される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 しかし、前記鉄コ
バルトは非常に高価なものなので、ポールピース製作に
可成のコストがかかる。そこで、各磁極３ａ，３ｂの先
端部４ａ，４ｂを鉄コバルトで製作し、該先端部以外の
部分５ａ，５ｂを純鉄で製作して互いを図４に示すよう
に重ね合わせてポールピースを製作する事により、高価
な鉄コバルトを節約する事が考えられる。しかしながら
、該純鉄部と鉄コバルト部を均一に接触する事は難しく
、この互いの接触面の隙間から磁束が洩れてしまい磁界
分布の不均一を起こす。この結果、荷電粒子ビーム源（
図示せず）から射出され、電子レンズを通過したビーム
は非点収差のあるビームとなる。 本発明はこの様な
点に鑑みて成されたもので、その目的は、非点収差のな
いビームを作成する低コストの電子レンズを提供する事
にある。
バルトは非常に高価なものなので、ポールピース製作に
可成のコストがかかる。そこで、各磁極３ａ，３ｂの先
端部４ａ，４ｂを鉄コバルトで製作し、該先端部以外の
部分５ａ，５ｂを純鉄で製作して互いを図４に示すよう
に重ね合わせてポールピースを製作する事により、高価
な鉄コバルトを節約する事が考えられる。しかしながら
、該純鉄部と鉄コバルト部を均一に接触する事は難しく
、この互いの接触面の隙間から磁束が洩れてしまい磁界
分布の不均一を起こす。この結果、荷電粒子ビーム源（
図示せず）から射出され、電子レンズを通過したビーム
は非点収差のあるビームとなる。 本発明はこの様な
点に鑑みて成されたもので、その目的は、非点収差のな
いビームを作成する低コストの電子レンズを提供する事
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 その為に本発明は、
ポールピースの各磁極を磁性材料と飽和磁束密度の高い
磁性材料の焼結体で成し、該各々の磁極を飽和磁束密度
の高い磁性材料の焼結体部分が対向するように配置した
。
ポールピースの各磁極を磁性材料と飽和磁束密度の高い
磁性材料の焼結体で成し、該各々の磁極を飽和磁束密度
の高い磁性材料の焼結体部分が対向するように配置した
。
【０００６】
【実施例】 図１は本発明の要部の一実施例を示した
ポールピースの磁極の概略図である。図中６は焼結で成
した鉄コバルト部、７，８は焼結で成した純鉄部である
。 この様な磁極を製作するには、鉄コバルト粉末と純鉄粉
末を押型中へ一定重量だけ層状に充填し、プレスにより
上下方向から適宜圧力で圧縮し、該圧縮された粉末成型
体を高温で加熱する。図２はこの様にして得られた圧縮
体の断面図を示したものである。そして、この様な焼結
後の圧縮体を機械加工により図１に示すような形状に加
工する。
ポールピースの磁極の概略図である。図中６は焼結で成
した鉄コバルト部、７，８は焼結で成した純鉄部である
。 この様な磁極を製作するには、鉄コバルト粉末と純鉄粉
末を押型中へ一定重量だけ層状に充填し、プレスにより
上下方向から適宜圧力で圧縮し、該圧縮された粉末成型
体を高温で加熱する。図２はこの様にして得られた圧縮
体の断面図を示したものである。そして、この様な焼結
後の圧縮体を機械加工により図１に示すような形状に加
工する。
【０００７】この様な焼結で成した鉄コバルト部６と純
鉄部７の接合面には隙間ができる事はない。従って、こ
の様にして２つの磁極を製作し、例えば、図３に示す如
き電子レンズのポールピースとして使用すれば、荷電粒
子ビーム源（図示せず）から射出され、該電子レンズを
通過するビームは非点収差のないビームとなる。
鉄部７の接合面には隙間ができる事はない。従って、こ
の様にして２つの磁極を製作し、例えば、図３に示す如
き電子レンズのポールピースとして使用すれば、荷電粒
子ビーム源（図示せず）から射出され、該電子レンズを
通過するビームは非点収差のないビームとなる。
【０００８】尚、ポールピースの磁極だけではなく、磁
極と一緒にヨークも焼結により製作すれば、磁界分布の
均一は更に良くなる。
極と一緒にヨークも焼結により製作すれば、磁界分布の
均一は更に良くなる。
【０００９】
【発明の効果】 本発明は、ポールピースの各磁極を
磁性材料と飽和磁束密度の高い磁性材料の焼結体で成し
、該各々の磁極を飽和磁束密度の高い磁性材料の焼結体
部分が対向するように配置したので、該焼結で成した磁
性材料部と飽和磁束密度の高い磁性材料部の接触面には
隙間ができない。この結果、接触面の隙間から磁束が洩
れ磁界分布の不均一を起こす事はないので、電子レンズ
を通過したビームは非点収差のないビームとなる。
磁性材料と飽和磁束密度の高い磁性材料の焼結体で成し
、該各々の磁極を飽和磁束密度の高い磁性材料の焼結体
部分が対向するように配置したので、該焼結で成した磁
性材料部と飽和磁束密度の高い磁性材料部の接触面には
隙間ができない。この結果、接触面の隙間から磁束が洩
れ磁界分布の不均一を起こす事はないので、電子レンズ
を通過したビームは非点収差のないビームとなる。
【００１０】又、飽和磁束密度の高い磁性材料だけでは
なく、該材料と磁性材料を使用してポールピースを製作
したので、飽和磁束密度の高い磁性材料を使用する量が
少なくなり、コストがかからない。
なく、該材料と磁性材料を使用してポールピースを製作
したので、飽和磁束密度の高い磁性材料を使用する量が
少なくなり、コストがかからない。
【図１】 本発明の要部の一実施例を示したポールピ
ースの磁極の概略図である。
ースの磁極の概略図である。
【図２】 焼結により製作された圧縮体の断面図であ
る。
る。
【図３】 電子レンズの断面図である。
【図４】 本発明の電子レンズの断面図である。
１…コイル、２…ヨーク、３ａ…ポールピース上磁極、
３ｂ…ポールピース下磁極、４ａ，４ｂ，６…鉄コバル
ト部、５ａ，５ｂ，７，８…純鉄部
３ｂ…ポールピース下磁極、４ａ，４ｂ，６…鉄コバル
ト部、５ａ，５ｂ，７，８…純鉄部
Claims (1)
- 【請求項１】 コイル，ヨーク，ポールピース上磁極
，ポールピース下磁極から成る電子レンズにおいて、前
記ポールピースの各磁極を磁性材料と飽和磁束密度の高
い磁性材料の焼結体で成し、該各々の磁極を飽和磁束密
度の高い磁性材料の焼結体部分が対向するように配置し
た電子レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41747190A JPH04249842A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41747190A JPH04249842A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 電子レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249842A true JPH04249842A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=18525568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41747190A Withdrawn JPH04249842A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007281017A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Jeol Ltd | 軟磁性材料及び軟磁性材料の製造方法 |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP41747190A patent/JPH04249842A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007281017A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Jeol Ltd | 軟磁性材料及び軟磁性材料の製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980312 |