JPH04249750A - 加熱気化導入装置 - Google Patents
加熱気化導入装置Info
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- JPH04249750A JPH04249750A JP2409446A JP40944690A JPH04249750A JP H04249750 A JPH04249750 A JP H04249750A JP 2409446 A JP2409446 A JP 2409446A JP 40944690 A JP40944690 A JP 40944690A JP H04249750 A JPH04249750 A JP H04249750A
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- Japan
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- temperature
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Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 6
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- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、加熱気化導入装置に係
わり、特に、原子化炉の実際の温度をコントロ―ルでき
るようにした加熱気化導入装置に関する。
わり、特に、原子化炉の実際の温度をコントロ―ルでき
るようにした加熱気化導入装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】第３図は、加熱気化導入装置の従来例構
成説明図であり、図中、１２はベル形のチェンバ―、１
３ａは右側電極、１３ｂは左側電極、１４はキユベット
（加熱炉）、１５はチェンバ―１２内に螺旋上にガスを
噴出するガス流出口、１６ａはガスフロ―メ―タ、１６
ｂは冷却水フロ―スィッチ、１７ａは冷却水導入口、１
７ｂは冷却水導出口、１７ｃはガス導入口、１８ａはプ
ラズマト―チの内室、１８ｂはプラズマト―チの外室、
１８ｃはプラズマト―チの内室、１８はプラズマト―チ
である。
成説明図であり、図中、１２はベル形のチェンバ―、１
３ａは右側電極、１３ｂは左側電極、１４はキユベット
（加熱炉）、１５はチェンバ―１２内に螺旋上にガスを
噴出するガス流出口、１６ａはガスフロ―メ―タ、１６
ｂは冷却水フロ―スィッチ、１７ａは冷却水導入口、１
７ｂは冷却水導出口、１７ｃはガス導入口、１８ａはプ
ラズマト―チの内室、１８ｂはプラズマト―チの外室、
１８ｃはプラズマト―チの内室、１８はプラズマト―チ
である。
【０００３】このような構成からなる従来の加熱気化導
入装置において、キュベット１４から放出される熱によ
ってチェンバ―１２内が加熱されている。また、冷却水
導入口１７ａから導入された冷却水は、左側電極１３ｂ
→右側電極１３ａ→冷却水フロ―スィッチ１６ｂを経て
流れることにより、電極１３ａ，１３ｂを冷却する。キ
ュベット１４に導入口１７ｃから導入されたガスは、ガ
スフロ―メ―タ１６ａを経由しガス流出口１５から噴出
され、チェンバ―１２内を螺旋状に回転し、チェンバ１
２の頭部からプラズマト―チ１８の内室１８に供給され
る。尚、プラズマト―チ１の外室１８ｂと最外室１８ｃ
には図示しないガス調節器を介して図示しないアルゴン
ガス供給源からアルゴンガスが供給されるようになって
いる。
入装置において、キュベット１４から放出される熱によ
ってチェンバ―１２内が加熱されている。また、冷却水
導入口１７ａから導入された冷却水は、左側電極１３ｂ
→右側電極１３ａ→冷却水フロ―スィッチ１６ｂを経て
流れることにより、電極１３ａ，１３ｂを冷却する。キ
ュベット１４に導入口１７ｃから導入されたガスは、ガ
スフロ―メ―タ１６ａを経由しガス流出口１５から噴出
され、チェンバ―１２内を螺旋状に回転し、チェンバ１
２の頭部からプラズマト―チ１８の内室１８に供給され
る。尚、プラズマト―チ１の外室１８ｂと最外室１８ｃ
には図示しないガス調節器を介して図示しないアルゴン
ガス供給源からアルゴンガスが供給されるようになって
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】然しながら、上記従
来例においては、高温（例えば、１０００〜３０００゜
Ｃ）の温度制御が光センサ―などを用いて行われている
ものの、低温（例えば、常温〜１０００゜Ｃ）の温度制
御では、この領域の温度を測定できる光センサ―が存在
しない。このため、低温では炉の交換などを行った場合
、抵抗値が変化するという欠点があった。この結果、温
度が不正確なものになってしまい、乾燥段階や灰化段階
の再現性が悪くなるという欠点もあった。本発明は、か
かる従来例の欠点などに鑑みてなされたものであり、そ
の課題は、原子化炉の実際の温度をコントロ―ルできる
ようにした加熱気化導入装置を提供することにある。
来例においては、高温（例えば、１０００〜３０００゜
Ｃ）の温度制御が光センサ―などを用いて行われている
ものの、低温（例えば、常温〜１０００゜Ｃ）の温度制
御では、この領域の温度を測定できる光センサ―が存在
しない。このため、低温では炉の交換などを行った場合
、抵抗値が変化するという欠点があった。この結果、温
度が不正確なものになってしまい、乾燥段階や灰化段階
の再現性が悪くなるという欠点もあった。本発明は、か
かる従来例の欠点などに鑑みてなされたものであり、そ
の課題は、原子化炉の実際の温度をコントロ―ルできる
ようにした加熱気化導入装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、加熱気化導入
装置において、電源トランスと、原子化炉と、光学フィ
ルタと、高温用の温度検出器と、低温用の温度検出器と
、高温用の温度検出器の出力を信号変換する第１信号変
換器と、低温用の温度検出器の出力を信号変換する第２
信号変換器と、切換えスィッチと、誤差増幅器と、トリ
ガパルス発生回路と、電力制御スィッチ素子とを設け、
前記原子化炉の温度を前記高温用もしくは低温用の温度
検出器で検出し、これらの検出信号を前記第１および第
２の信号変換器で信号変換して後、前記切換えスィッチ
を介して選択的に前記誤差増幅器に送出し、前記温度設
定用コントロ―ラから送出される設定温度信号との間で
誤差増幅された信号を前記トリガパルス発生回路に送り
、発生したトリガパルスによって電力駆動スィッチが駆
動することより前記課題を解決したものである。
装置において、電源トランスと、原子化炉と、光学フィ
ルタと、高温用の温度検出器と、低温用の温度検出器と
、高温用の温度検出器の出力を信号変換する第１信号変
換器と、低温用の温度検出器の出力を信号変換する第２
信号変換器と、切換えスィッチと、誤差増幅器と、トリ
ガパルス発生回路と、電力制御スィッチ素子とを設け、
前記原子化炉の温度を前記高温用もしくは低温用の温度
検出器で検出し、これらの検出信号を前記第１および第
２の信号変換器で信号変換して後、前記切換えスィッチ
を介して選択的に前記誤差増幅器に送出し、前記温度設
定用コントロ―ラから送出される設定温度信号との間で
誤差増幅された信号を前記トリガパルス発生回路に送り
、発生したトリガパルスによって電力駆動スィッチが駆
動することより前記課題を解決したものである。
【０００６】
【作用】本発明は、次のように作用する。即ち、原子化
炉の温度を温度検出器で検出し、これらの検出信号を信
号変換器で信号変換する。該出力信号は、切換えスィッ
チを介して誤差増幅器に送出される。この誤差増幅器に
は温度設定用コントロ―ラから設定温度信号も入力され
ている。従って、誤差増幅器では、信号変換器の出力信
号と温度設定用コントロ―ラから設定温度信号との誤差
増幅が行われる。このようにして誤差増幅された信号は
トリガパルス発生回路に送られ、ここで発生するトリガ
パルスによって電力駆動スィッチが駆動する。即ち、電
力駆動スィッチによって交流電圧電源の導通間の制御が
行われ、その結果、原子化炉の温度制御が行われる。
炉の温度を温度検出器で検出し、これらの検出信号を信
号変換器で信号変換する。該出力信号は、切換えスィッ
チを介して誤差増幅器に送出される。この誤差増幅器に
は温度設定用コントロ―ラから設定温度信号も入力され
ている。従って、誤差増幅器では、信号変換器の出力信
号と温度設定用コントロ―ラから設定温度信号との誤差
増幅が行われる。このようにして誤差増幅された信号は
トリガパルス発生回路に送られ、ここで発生するトリガ
パルスによって電力駆動スィッチが駆動する。即ち、電
力駆動スィッチによって交流電圧電源の導通間の制御が
行われ、その結果、原子化炉の温度制御が行われる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明について図を用いて詳細に説明
する。第１図は本発明実施例の構成回路図であり、図中
、１は電源トランス、２は原子化炉、３ａ，３ｂは光学
フィルタ、４ａは高温用の温度検出器、４ｂは低温用の
温度検出器、５ａ，５ｂは信号変換器、６は切換えスィ
ッチ、７は誤差増幅器、８はんど設定用コントロ―ラ、
トリガパルス発生回路、９はトリガパルス発生回路、１
０は電力制御スィッチ素子である。
する。第１図は本発明実施例の構成回路図であり、図中
、１は電源トランス、２は原子化炉、３ａ，３ｂは光学
フィルタ、４ａは高温用の温度検出器、４ｂは低温用の
温度検出器、５ａ，５ｂは信号変換器、６は切換えスィ
ッチ、７は誤差増幅器、８はんど設定用コントロ―ラ、
トリガパルス発生回路、９はトリガパルス発生回路、１
０は電力制御スィッチ素子である。
【０００８】第２図は温度検出器４ａ，４ｂで検出され
る原子化炉２の温度Ｔと信号変換器５ａ，５ｂの出力Ｖ
の関係を示す検出特性曲線図であり、図中、縦軸は出力
Ｖを示し横軸は温度Ｔを示している。また、領域Ａは１
０００゜Ｃ以下の温度領域を示し、領域Ｂは１０００゜
Ｃ〜３０００゜Ｃの温度領域を示している。更に、特性
曲線ＥのＣ部分は信号変換器５ａの出力に対応し、特性
曲線ＥのＤ部分は信号変換器５ｂの出力に対応している
。尚、温度１００００ Ｃの場合には、出力Ｖｓ を示
すことを表している。
る原子化炉２の温度Ｔと信号変換器５ａ，５ｂの出力Ｖ
の関係を示す検出特性曲線図であり、図中、縦軸は出力
Ｖを示し横軸は温度Ｔを示している。また、領域Ａは１
０００゜Ｃ以下の温度領域を示し、領域Ｂは１０００゜
Ｃ〜３０００゜Ｃの温度領域を示している。更に、特性
曲線ＥのＣ部分は信号変換器５ａの出力に対応し、特性
曲線ＥのＤ部分は信号変換器５ｂの出力に対応している
。尚、温度１００００ Ｃの場合には、出力Ｖｓ を示
すことを表している。
【０００９】第１図のような構成からなる本発明の実施
例において、原子化炉２の温度を温度検出器４ａ，４ｂ
で検出し、これらの検出信号を信号変換器５ａ，５ｂで
信号変換する。信号変換器５ａ，５ｂの出力信号は、切
換えスィッチ６を介して誤差増幅器７に送出される。こ
こで、切換えスィッチ６の切換えは低温領域と高温領域
の境界（例えば、第２図の１０００゜Ｃのライン）で行
われるようになっている。即ち、信号変換器５ａ，５ｂ
の出力が第２図の特性曲線Ｅのように表わされる場合、
信号変換器５ａ，５ｂの出力が出力Ｖｓ を超えるか、
或いは出力Ｖｓ より低くなったときに切換えスィッチ
６が切り換えられる。
例において、原子化炉２の温度を温度検出器４ａ，４ｂ
で検出し、これらの検出信号を信号変換器５ａ，５ｂで
信号変換する。信号変換器５ａ，５ｂの出力信号は、切
換えスィッチ６を介して誤差増幅器７に送出される。こ
こで、切換えスィッチ６の切換えは低温領域と高温領域
の境界（例えば、第２図の１０００゜Ｃのライン）で行
われるようになっている。即ち、信号変換器５ａ，５ｂ
の出力が第２図の特性曲線Ｅのように表わされる場合、
信号変換器５ａ，５ｂの出力が出力Ｖｓ を超えるか、
或いは出力Ｖｓ より低くなったときに切換えスィッチ
６が切り換えられる。
【００１０】一方、誤差増幅器７には温度設定用コント
ロ―ラ８から設定温度信号も入力されている。従って、
誤差増幅器７では、信号変換器５ａ，５ｂの出力信号と
温度設定用コントロ―ラ８から設定温度信号との誤差増
幅が行われる。このようにして誤差増幅された信号（即
ち、誤差増幅器７の出力）はトリガパルス発生回路９に
送られ、トリガパルス発生回路９から送出されるトリガ
パルスによって電力駆動スィッチ１０が駆動する。即ち
、電力駆動スィッチ１０によって交流電圧電源１１の導
通間の制御が行われ、その結果、原子化炉１の温度制御
が行われる。尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能である。
ロ―ラ８から設定温度信号も入力されている。従って、
誤差増幅器７では、信号変換器５ａ，５ｂの出力信号と
温度設定用コントロ―ラ８から設定温度信号との誤差増
幅が行われる。このようにして誤差増幅された信号（即
ち、誤差増幅器７の出力）はトリガパルス発生回路９に
送られ、トリガパルス発生回路９から送出されるトリガ
パルスによって電力駆動スィッチ１０が駆動する。即ち
、電力駆動スィッチ１０によって交流電圧電源１１の導
通間の制御が行われ、その結果、原子化炉１の温度制御
が行われる。尚、本発明は上述の実施例に限定されるこ
となく種々の変形が可能である。
【００１１】
【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば、低温（例えば、常温〜１０００゜Ｃ）においても原
子化炉の実温度を非接触で高精度に制御できるような構
成であるため、乾燥段階や灰化段階の再現性を改善でき
る利点がある。従って、本発明実施例を例えば高周波誘
導結合プラズマ質量分析計に装着すると、分析結果の再
現性を向上できるようになる。
ば、低温（例えば、常温〜１０００゜Ｃ）においても原
子化炉の実温度を非接触で高精度に制御できるような構
成であるため、乾燥段階や灰化段階の再現性を改善でき
る利点がある。従って、本発明実施例を例えば高周波誘
導結合プラズマ質量分析計に装着すると、分析結果の再
現性を向上できるようになる。
【図１】本発明実施例の構成回路図である。
【図２】特性曲線図である。
【図３】従来例の構成説明図である。
１ 電源トランス
２ 原子化炉
３ａ，３ｂ 光学フィルタ
４ａ，４ｂ 温度検出器
５ａ，５ｂ 信号変換器
６ 切換えスィッチ
７ 誤差増幅器
８ 温度設定用コントロ―ラ
９ トリガパルス発生回路
１０ 電力制御スィッチ素子
１２ ベル形のチェンバ―
１３ａ 右側電極
１３ｂ 左側電極
１４ キユベット
１５ ガス流出口
Claims (1)
- 【請求項１】高周波誘導結合プラズマを用いた分析計な
どの元素分析計に装着され固体試料を気化して該元素分
析計に供給する加熱気化導入装置において、電源トラン
スと、原子化炉と、光学フィルタと、高温用の温度検出
器と、低温用の温度検出器と、高温用の温度検出器の出
力を信号変換する第１信号変換器と、低温用の温度検出
器の出力を信号変換する第２信号変換器と、切換えスィ
ッチと、誤差増幅器と、トリガパルス発生回路と、電力
制御スィッチ素子とを具備し、前記原子化炉の温度を前
記高温用もしくは低温用の温度検出器で検出し、これら
の検出信号を前記第１および第２の信号変換器で信号変
換して後、前記切換えスィッチを介して選択的に前記誤
差増幅器に送出し、前記温度設定用コントロ―ラから送
出される設定温度信号との間で誤差増幅された信号を前
記トリガパルス発生回路に送り、発生したトリガパルス
によって前記電力駆動スィッチが駆動することを特徴と
する加熱気化導入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409446A JPH04249750A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 加熱気化導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2409446A JPH04249750A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 加熱気化導入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04249750A true JPH04249750A (ja) | 1992-09-04 |
Family
ID=18518784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2409446A Pending JPH04249750A (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 加熱気化導入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04249750A (ja) |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP2409446A patent/JPH04249750A/ja active Pending
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