JPH04247250A - 真空槽内の集塵装置 - Google Patents
真空槽内の集塵装置Info
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- JPH04247250A JPH04247250A JP3033637A JP3363791A JPH04247250A JP H04247250 A JPH04247250 A JP H04247250A JP 3033637 A JP3033637 A JP 3033637A JP 3363791 A JP3363791 A JP 3363791A JP H04247250 A JPH04247250 A JP H04247250A
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- electret
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- Pending
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Landscapes
- Electrostatic Separation (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や磁気
ディスク等の薄膜形成装置のように、高いクリーン度が
要求される真空機器に用いる集塵装置に関する。
ディスク等の薄膜形成装置のように、高いクリーン度が
要求される真空機器に用いる集塵装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空機器が作動する真空槽内には
、可動機器から出る塵、熱、プラズマ反応により生成し
た反応物質、ウエハのチッピング、装置本体や配管系な
どから出る塵などが発生し、重力により垂直に落下して
底面に堆積する。このような塵は、真空槽の吸気や排気
を開始したり、途中で吸気や排気の速度を変えたりした
時に舞い上がり、ウエハ等の被処理物の上に溜り、欠陥
を生じるなどの問題となる。従来から軸受から出る塵の
防塵装置としてゴムやフエルトなどの軟質材を軸受と軸
の間に介在させる接触形シールがあり（例えば実開昭６
２−１９４２１５号公報）、非接触形シールとしてラビ
リンスシールがある（例えば実開昭６１−１９１５２７
号公報）。一方、堆積した塵には電子ビームを放射して
帯電させ、静電力により電極に強制的に集塵する方法が
ある（例えば特開平２−４３９８０号公報）。
、可動機器から出る塵、熱、プラズマ反応により生成し
た反応物質、ウエハのチッピング、装置本体や配管系な
どから出る塵などが発生し、重力により垂直に落下して
底面に堆積する。このような塵は、真空槽の吸気や排気
を開始したり、途中で吸気や排気の速度を変えたりした
時に舞い上がり、ウエハ等の被処理物の上に溜り、欠陥
を生じるなどの問題となる。従来から軸受から出る塵の
防塵装置としてゴムやフエルトなどの軟質材を軸受と軸
の間に介在させる接触形シールがあり（例えば実開昭６
２−１９４２１５号公報）、非接触形シールとしてラビ
リンスシールがある（例えば実開昭６１−１９１５２７
号公報）。一方、堆積した塵には電子ビームを放射して
帯電させ、静電力により電極に強制的に集塵する方法が
ある（例えば特開平２−４３９８０号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記接触形
シールは軸受外部からの塵の侵入は防止できるが、接触
部が摩耗するため、外部への発塵は避けられない。非接
触形シールは小さいながらも隙間を有する構造であるた
め、吸気、排気等の雰囲気圧力が急変した時には塵が外
部に出てくる。一方、電子ビームによる真空中の静電集
塵方法は、微小な面積の塵を集めるのには適しているが
、一般に、半導体製造装置などに用いられる真空槽のよ
うに広い面積の上に堆積した塵を集めるには複数の電子
銃を用いてスキャンさせなければならず、装置が大掛か
りになったり、静電集塵しても電子銃をスキャンさせる
ための可動部からの発塵があって塵が残るという欠点が
あった。本発明は、真空槽の底面の広い範囲にわたって
堆積した塵が槽内の圧力の急変によって舞い上がること
のない、簡単な構造の集塵装置を提供することを目的と
するものである。
シールは軸受外部からの塵の侵入は防止できるが、接触
部が摩耗するため、外部への発塵は避けられない。非接
触形シールは小さいながらも隙間を有する構造であるた
め、吸気、排気等の雰囲気圧力が急変した時には塵が外
部に出てくる。一方、電子ビームによる真空中の静電集
塵方法は、微小な面積の塵を集めるのには適しているが
、一般に、半導体製造装置などに用いられる真空槽のよ
うに広い面積の上に堆積した塵を集めるには複数の電子
銃を用いてスキャンさせなければならず、装置が大掛か
りになったり、静電集塵しても電子銃をスキャンさせる
ための可動部からの発塵があって塵が残るという欠点が
あった。本発明は、真空槽の底面の広い範囲にわたって
堆積した塵が槽内の圧力の急変によって舞い上がること
のない、簡単な構造の集塵装置を提供することを目的と
するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空槽の底面
に永久帯電したエレクトレット繊維によって構成したエ
レクトレットフィルタを設けたものである。エレクトレ
ットフィルタは上部の繊維密度を粗に、下部の繊維密度
を密にしたエレクトレット繊維の不織布で構成し、エレ
クトレット繊維の単繊維は断面の半分が正に他の半分が
負に帯電処理され、正と負の向く方向がランダムになる
ように不織布を構成したものである。また、エレクトレ
ット繊維はポリプロピレン樹脂、またはポリエステル、
またはポリフッ化ビニリデン樹脂から構成されたもので
ある。
に永久帯電したエレクトレット繊維によって構成したエ
レクトレットフィルタを設けたものである。エレクトレ
ットフィルタは上部の繊維密度を粗に、下部の繊維密度
を密にしたエレクトレット繊維の不織布で構成し、エレ
クトレット繊維の単繊維は断面の半分が正に他の半分が
負に帯電処理され、正と負の向く方向がランダムになる
ように不織布を構成したものである。また、エレクトレ
ット繊維はポリプロピレン樹脂、またはポリエステル、
またはポリフッ化ビニリデン樹脂から構成されたもので
ある。
【０００５】
【作用】可動部からエレクトレットフィルタに落下して
きた塵がエレクトレット繊維に接近すると、正または負
に帯電した荷電粒子にはエレクトレット繊維の静電気力
によりクーロン力を、無電荷の中性粒子には誘起力を作
用させ、エレクトレット繊維に吸引捕集される。エレク
トレットフィルタを構成する不織布はエレクトレット単
繊維に帯電した正と負の方向がランダムになるようにし
てあるので、塵の荷電粒子は正負にかかわらず捕集され
る。エレクトレットフィルタの上部表面はエレクトレッ
ト繊維の密度が粗く、下部は密度が高く積層されている
ので、塵はフィルタの内部まではいっていく。捕集され
た塵は永久にエレクトレットに吸引され続けるため、真
空槽内の圧力が給・排気などで舞い上がることなくクリ
ーンな雰囲気が維持される。
きた塵がエレクトレット繊維に接近すると、正または負
に帯電した荷電粒子にはエレクトレット繊維の静電気力
によりクーロン力を、無電荷の中性粒子には誘起力を作
用させ、エレクトレット繊維に吸引捕集される。エレク
トレットフィルタを構成する不織布はエレクトレット単
繊維に帯電した正と負の方向がランダムになるようにし
てあるので、塵の荷電粒子は正負にかかわらず捕集され
る。エレクトレットフィルタの上部表面はエレクトレッ
ト繊維の密度が粗く、下部は密度が高く積層されている
ので、塵はフィルタの内部まではいっていく。捕集され
た塵は永久にエレクトレットに吸引され続けるため、真
空槽内の圧力が給・排気などで舞い上がることなくクリ
ーンな雰囲気が維持される。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示す側断面図で、真空槽１の上
方に真空機器２が固定され、底面１１にはポリプロピレ
ン樹脂の４０μｍの繊維径を持った不織布からなるエレ
クトレットフィルタ３が金具３１によって固定されてい
る。また、底面１１には図示しない真空ポンプに連絡し
ている連絡口１２が設けられ、真空槽１内を真空にして
いる。エレクトレットフィルタ３は上部に密度が粗い不
織布４を設け、下部には密度の高い不織布５を設けた２
層構造を備えている。不織布４、５は図２に示すように
、繊維断面６１の半分が正（＋）に、他の半分が負（−
）に永久帯電したエレクトレット繊維６によって構成さ
れている。真空機器２の軸受などの可動部２１から出た
塵７は真空槽１の中で落下し、エレクトレットフィルタ
３の不織布４、５の中に入っていき、静電気力により捕
集される。なお、エレクトレットフィルタ３の上部に密
度が粗い不織布４が設けられているため、塵７はエレク
トレットフィルタ３の内部に深く入り込み、下部に設け
られた密度の高い不織布５によって完全に塵７を捕集す
るので、捕集された塵７は再びエレクトレットフィルタ
３の表面から飛び出すことはない。
方に真空機器２が固定され、底面１１にはポリプロピレ
ン樹脂の４０μｍの繊維径を持った不織布からなるエレ
クトレットフィルタ３が金具３１によって固定されてい
る。また、底面１１には図示しない真空ポンプに連絡し
ている連絡口１２が設けられ、真空槽１内を真空にして
いる。エレクトレットフィルタ３は上部に密度が粗い不
織布４を設け、下部には密度の高い不織布５を設けた２
層構造を備えている。不織布４、５は図２に示すように
、繊維断面６１の半分が正（＋）に、他の半分が負（−
）に永久帯電したエレクトレット繊維６によって構成さ
れている。真空機器２の軸受などの可動部２１から出た
塵７は真空槽１の中で落下し、エレクトレットフィルタ
３の不織布４、５の中に入っていき、静電気力により捕
集される。なお、エレクトレットフィルタ３の上部に密
度が粗い不織布４が設けられているため、塵７はエレク
トレットフィルタ３の内部に深く入り込み、下部に設け
られた密度の高い不織布５によって完全に塵７を捕集す
るので、捕集された塵７は再びエレクトレットフィルタ
３の表面から飛び出すことはない。
【０００７】ここで、エレクトレットフィルタ３の１本
の微細なエレクトレット繊維６について集塵の原理を図
２によって説明する。 可動部２１からエレクトレッ
トフィルタ３に落下してきた塵７がエレクトレット繊維
６に接近すると、正または負に帯電した荷電粒子７Ｅに
はエレクトレット繊維６の静電気力によりクーロン力を
、無電荷の中性粒子７Ｎには誘起力を作用させ、エレク
トレット繊維６に吸引捕集される。捕集された荷電粒子
７Ｅおよび中性粒子７Ｎの塵７は永久にエレクトレット
繊維６に吸引され続ける。エレクトレット繊維６の帯電
した正と負の方向がランダムになるように不織布４、５
を構成することにより、荷電粒子７Ｅは正負にかかわら
ず捕集される。エレクトレット繊維の材料として本実施
例では、１２０℃で２ＫＶの高電界中で帯電分極させた
ポリプロピレン樹脂を用いた。なお、エレクトレット繊
維の材料としてポリプロピレン樹脂の他に、ポリエステ
ルやポリフッ化ビニリデン樹脂を用いてもよい。
の微細なエレクトレット繊維６について集塵の原理を図
２によって説明する。 可動部２１からエレクトレッ
トフィルタ３に落下してきた塵７がエレクトレット繊維
６に接近すると、正または負に帯電した荷電粒子７Ｅに
はエレクトレット繊維６の静電気力によりクーロン力を
、無電荷の中性粒子７Ｎには誘起力を作用させ、エレク
トレット繊維６に吸引捕集される。捕集された荷電粒子
７Ｅおよび中性粒子７Ｎの塵７は永久にエレクトレット
繊維６に吸引され続ける。エレクトレット繊維６の帯電
した正と負の方向がランダムになるように不織布４、５
を構成することにより、荷電粒子７Ｅは正負にかかわら
ず捕集される。エレクトレット繊維の材料として本実施
例では、１２０℃で２ＫＶの高電界中で帯電分極させた
ポリプロピレン樹脂を用いた。なお、エレクトレット繊
維の材料としてポリプロピレン樹脂の他に、ポリエステ
ルやポリフッ化ビニリデン樹脂を用いてもよい。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、永
久に断面の半分ずつを正と負に帯電したエレクトレット
繊維を編んだ不織布からなるフィルタを真空槽の下部に
固定させているので、底面の広い範囲にわたって落下し
てきた塵はすべて静電気力により永久に捕集され続ける
。したがって、真空槽内の圧力が急変しても塵は舞い上
がることがなく、クリーンな雰囲気が維持されるという
効果がある。
久に断面の半分ずつを正と負に帯電したエレクトレット
繊維を編んだ不織布からなるフィルタを真空槽の下部に
固定させているので、底面の広い範囲にわたって落下し
てきた塵はすべて静電気力により永久に捕集され続ける
。したがって、真空槽内の圧力が急変しても塵は舞い上
がることがなく、クリーンな雰囲気が維持されるという
効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す側断面図である。
【図２】本発明の集塵の原理を示す説明図である。
１ 真空槽
１１ 底面
１２ 連絡口
２ 真空機器
２１ 可動部
３ エレクトレットフィルタ
３１ 金具
４、５ 不織布
６ エレクトレット繊維
６１ 繊維断面
７ 塵
Claims (4)
- 【請求項１】 真空機器の下方に設けた真空槽の集塵
装置において、前記真空槽の底面に永久帯電したエレク
トレット繊維によって構成したエレクトレットフィルタ
を設けたことを特徴とする真空槽内の集塵装置。 - 【請求項２】 前記エレクトレットフィルタが上部の
繊維密度を粗に、下部の繊維密度を密にしたエレクトレ
ット繊維の不織布で構成された請求項１記載の真空槽内
の集塵装置。 - 【請求項３】 前記エレクトレット繊維の断面の半分
を正に他の半分を負に帯電処理し、前記エレクトレット
繊維の電荷の符号の向く方向がランダムになるように不
織布を構成した請求項１または２記載の真空槽内の集塵
装置。 - 【請求項４】 前記エレクトレット繊維がポリプロピ
レン樹脂、またはポリエステル、またはポリフッ化ビニ
リデン樹脂から構成された請求項１から３までのいずれ
か１項に記載の真空槽内の集塵装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3033637A JPH04247250A (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 真空槽内の集塵装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3033637A JPH04247250A (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 真空槽内の集塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04247250A true JPH04247250A (ja) | 1992-09-03 |
Family
ID=12391970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3033637A Pending JPH04247250A (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 真空槽内の集塵装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04247250A (ja) |
-
1991
- 1991-02-01 JP JP3033637A patent/JPH04247250A/ja active Pending
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