JPH04247250A - 真空槽内の集塵装置 - Google Patents

真空槽内の集塵装置

Info

Publication number
JPH04247250A
JPH04247250A JP3033637A JP3363791A JPH04247250A JP H04247250 A JPH04247250 A JP H04247250A JP 3033637 A JP3033637 A JP 3033637A JP 3363791 A JP3363791 A JP 3363791A JP H04247250 A JPH04247250 A JP H04247250A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electret
dust
filter
nonwoven fabric
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3033637A
Other languages
English (en)
Inventor
Shuji Yamazumi
山住 修司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP3033637A priority Critical patent/JPH04247250A/ja
Publication of JPH04247250A publication Critical patent/JPH04247250A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrostatic Separation (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置や磁気
ディスク等の薄膜形成装置のように、高いクリーン度が
要求される真空機器に用いる集塵装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、真空機器が作動する真空槽内には
、可動機器から出る塵、熱、プラズマ反応により生成し
た反応物質、ウエハのチッピング、装置本体や配管系な
どから出る塵などが発生し、重力により垂直に落下して
底面に堆積する。このような塵は、真空槽の吸気や排気
を開始したり、途中で吸気や排気の速度を変えたりした
時に舞い上がり、ウエハ等の被処理物の上に溜り、欠陥
を生じるなどの問題となる。従来から軸受から出る塵の
防塵装置としてゴムやフエルトなどの軟質材を軸受と軸
の間に介在させる接触形シールがあり(例えば実開昭6
2−194215号公報)、非接触形シールとしてラビ
リンスシールがある(例えば実開昭61−191527
号公報)。一方、堆積した塵には電子ビームを放射して
帯電させ、静電力により電極に強制的に集塵する方法が
ある(例えば特開平2−43980号公報)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記接触形
シールは軸受外部からの塵の侵入は防止できるが、接触
部が摩耗するため、外部への発塵は避けられない。非接
触形シールは小さいながらも隙間を有する構造であるた
め、吸気、排気等の雰囲気圧力が急変した時には塵が外
部に出てくる。一方、電子ビームによる真空中の静電集
塵方法は、微小な面積の塵を集めるのには適しているが
、一般に、半導体製造装置などに用いられる真空槽のよ
うに広い面積の上に堆積した塵を集めるには複数の電子
銃を用いてスキャンさせなければならず、装置が大掛か
りになったり、静電集塵しても電子銃をスキャンさせる
ための可動部からの発塵があって塵が残るという欠点が
あった。本発明は、真空槽の底面の広い範囲にわたって
堆積した塵が槽内の圧力の急変によって舞い上がること
のない、簡単な構造の集塵装置を提供することを目的と
するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、真空槽の底面
に永久帯電したエレクトレット繊維によって構成したエ
レクトレットフィルタを設けたものである。エレクトレ
ットフィルタは上部の繊維密度を粗に、下部の繊維密度
を密にしたエレクトレット繊維の不織布で構成し、エレ
クトレット繊維の単繊維は断面の半分が正に他の半分が
負に帯電処理され、正と負の向く方向がランダムになる
ように不織布を構成したものである。また、エレクトレ
ット繊維はポリプロピレン樹脂、またはポリエステル、
またはポリフッ化ビニリデン樹脂から構成されたもので
ある。
【0005】
【作用】可動部からエレクトレットフィルタに落下して
きた塵がエレクトレット繊維に接近すると、正または負
に帯電した荷電粒子にはエレクトレット繊維の静電気力
によりクーロン力を、無電荷の中性粒子には誘起力を作
用させ、エレクトレット繊維に吸引捕集される。エレク
トレットフィルタを構成する不織布はエレクトレット単
繊維に帯電した正と負の方向がランダムになるようにし
てあるので、塵の荷電粒子は正負にかかわらず捕集され
る。エレクトレットフィルタの上部表面はエレクトレッ
ト繊維の密度が粗く、下部は密度が高く積層されている
ので、塵はフィルタの内部まではいっていく。捕集され
た塵は永久にエレクトレットに吸引され続けるため、真
空槽内の圧力が給・排気などで舞い上がることなくクリ
ーンな雰囲気が維持される。
【0006】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。 図1は本発明の実施例を示す側断面図で、真空槽1の上
方に真空機器2が固定され、底面11にはポリプロピレ
ン樹脂の40μmの繊維径を持った不織布からなるエレ
クトレットフィルタ3が金具31によって固定されてい
る。また、底面11には図示しない真空ポンプに連絡し
ている連絡口12が設けられ、真空槽1内を真空にして
いる。エレクトレットフィルタ3は上部に密度が粗い不
織布4を設け、下部には密度の高い不織布5を設けた2
層構造を備えている。不織布4、5は図2に示すように
、繊維断面61の半分が正(+)に、他の半分が負(−
)に永久帯電したエレクトレット繊維6によって構成さ
れている。真空機器2の軸受などの可動部21から出た
塵7は真空槽1の中で落下し、エレクトレットフィルタ
3の不織布4、5の中に入っていき、静電気力により捕
集される。なお、エレクトレットフィルタ3の上部に密
度が粗い不織布4が設けられているため、塵7はエレク
トレットフィルタ3の内部に深く入り込み、下部に設け
られた密度の高い不織布5によって完全に塵7を捕集す
るので、捕集された塵7は再びエレクトレットフィルタ
3の表面から飛び出すことはない。
【0007】ここで、エレクトレットフィルタ3の1本
の微細なエレクトレット繊維6について集塵の原理を図
2によって説明する。  可動部21からエレクトレッ
トフィルタ3に落下してきた塵7がエレクトレット繊維
6に接近すると、正または負に帯電した荷電粒子7Eに
はエレクトレット繊維6の静電気力によりクーロン力を
、無電荷の中性粒子7Nには誘起力を作用させ、エレク
トレット繊維6に吸引捕集される。捕集された荷電粒子
7Eおよび中性粒子7Nの塵7は永久にエレクトレット
繊維6に吸引され続ける。エレクトレット繊維6の帯電
した正と負の方向がランダムになるように不織布4、5
を構成することにより、荷電粒子7Eは正負にかかわら
ず捕集される。エレクトレット繊維の材料として本実施
例では、120℃で2KVの高電界中で帯電分極させた
ポリプロピレン樹脂を用いた。なお、エレクトレット繊
維の材料としてポリプロピレン樹脂の他に、ポリエステ
ルやポリフッ化ビニリデン樹脂を用いてもよい。
【0008】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、永
久に断面の半分ずつを正と負に帯電したエレクトレット
繊維を編んだ不織布からなるフィルタを真空槽の下部に
固定させているので、底面の広い範囲にわたって落下し
てきた塵はすべて静電気力により永久に捕集され続ける
。したがって、真空槽内の圧力が急変しても塵は舞い上
がることがなく、クリーンな雰囲気が維持されるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す側断面図である。
【図2】本発明の集塵の原理を示す説明図である。
【符号の説明】
1  真空槽 11  底面 12  連絡口 2  真空機器 21  可動部 3  エレクトレットフィルタ 31  金具 4、5  不織布 6  エレクトレット繊維 61  繊維断面 7  塵

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  真空機器の下方に設けた真空槽の集塵
    装置において、前記真空槽の底面に永久帯電したエレク
    トレット繊維によって構成したエレクトレットフィルタ
    を設けたことを特徴とする真空槽内の集塵装置。
  2. 【請求項2】  前記エレクトレットフィルタが上部の
    繊維密度を粗に、下部の繊維密度を密にしたエレクトレ
    ット繊維の不織布で構成された請求項1記載の真空槽内
    の集塵装置。
  3. 【請求項3】  前記エレクトレット繊維の断面の半分
    を正に他の半分を負に帯電処理し、前記エレクトレット
    繊維の電荷の符号の向く方向がランダムになるように不
    織布を構成した請求項1または2記載の真空槽内の集塵
    装置。
  4. 【請求項4】  前記エレクトレット繊維がポリプロピ
    レン樹脂、またはポリエステル、またはポリフッ化ビニ
    リデン樹脂から構成された請求項1から3までのいずれ
    か1項に記載の真空槽内の集塵装置。
JP3033637A 1991-02-01 1991-02-01 真空槽内の集塵装置 Pending JPH04247250A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3033637A JPH04247250A (ja) 1991-02-01 1991-02-01 真空槽内の集塵装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3033637A JPH04247250A (ja) 1991-02-01 1991-02-01 真空槽内の集塵装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04247250A true JPH04247250A (ja) 1992-09-03

Family

ID=12391970

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3033637A Pending JPH04247250A (ja) 1991-02-01 1991-02-01 真空槽内の集塵装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04247250A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5112677A (en) Electret sheet and a method for the production of the same
ES2337979T3 (es) Procedimiento y proceso para separar materiales en forma de particulas y/o gotas de un flujo de gas.
US5565179A (en) Electrostatic particle removal and characterization
JPH10180021A (ja) 静電フィルター
US5410122A (en) Use of electrostatic forces to reduce particle contamination in semiconductor plasma processing chambers
Hebner et al. Structure of the ion wakefield in dusty plasmas
CN110947239A (zh) 一种熔纺无纺布滤材及其制备方法
KR20010020278A (ko) 기류반송장치
US6057774A (en) Smoke alarm with anti-dust screen
JPH04247250A (ja) 真空槽内の集塵装置
US5421901A (en) Method and apparatus for cleaning a web
EP0515414B1 (en) Web cleaning apparatus
JP2595586B2 (ja) エレクトレットフィルターおよびその製造方法
US2844214A (en) Electrostatic precipitator
JP4663406B2 (ja) 試料ホルダとそれを用いた検査装置及び検査方法
JPH0614549U (ja) クロスローラ軸受の防塵装置
CN211536869U (zh) 一种复合静电棉滤材
JPH09327672A (ja) 除塵方法及び除塵器並びに集塵シ−ト
JPS5933670B2 (ja) 被加工物表面への固体薄膜製造装置
JP2015112585A (ja) フィルタ帯電処理装置およびフィルタ帯電処理方法
JPS6215204Y2 (ja)
TWI832977B (zh) 洗淨用構件及其製造方法
JP3020872U (ja) 静電式空気清浄装置
JPS58202527A (ja) 半導体製造装置
JPS6283016A (ja) 濾材