JPH0424087U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0424087U JPH0424087U JP6562390U JP6562390U JPH0424087U JP H0424087 U JPH0424087 U JP H0424087U JP 6562390 U JP6562390 U JP 6562390U JP 6562390 U JP6562390 U JP 6562390U JP H0424087 U JPH0424087 U JP H0424087U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- amplifier
- electrodes
- detected
- capacitor
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例である静電容量形
検出器の断面図、第２図はその電気回路図、第３
図は従来の静電容量形検出器の断面図、第４図は
その電気回路図である。 １０……被検出物体、１１……温度検出回路、
Ａ……増幅器、Ｄ……可変容量形ダイオード、Ｒ
……可変抵抗器。
検出器の断面図、第２図はその電気回路図、第３
図は従来の静電容量形検出器の断面図、第４図は
その電気回路図である。 １０……被検出物体、１１……温度検出回路、
Ａ……増幅器、Ｄ……可変容量形ダイオード、Ｒ
……可変抵抗器。
Claims (1)
- 検出電極とこれに対向する接地電極との間に被
検出物体が接近することにより生じる前記両電極
間の静電容量の変化に基づいて被検出物体の有無
、厚さなどを検出する静電容量形検出器であつて
、増幅器と、この増幅器の入力側に接続され、基
準コンデンサと被検出物体の存在により発生する
前記両電極間の静電容量および第１、第２のコイ
ルからなるブリツジ回路と、前記増幅器の出力側
に接続され、コンデンサと第３のコイルを並列接
続してなる共振回路とよりなり、前記両電極間の
静電容量の変化に対応して共振回路を起動または
停止させるものにおいて、前記基準コンデンサと
して可変容量形ダイオードを用い、前記ブリツジ
回路に可変抵抗器を介して温度検出回路を接続し
たことを特徴とする静電容量形検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6562390U JPH0424087U (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6562390U JPH0424087U (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0424087U true JPH0424087U (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=31597616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6562390U Pending JPH0424087U (ja) | 1990-06-21 | 1990-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0424087U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017003557A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電容量測定用のセンサチップ及び同センサチップを備えた測定器 |
-
1990
- 1990-06-21 JP JP6562390U patent/JPH0424087U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017003557A (ja) * | 2015-06-11 | 2017-01-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電容量測定用のセンサチップ及び同センサチップを備えた測定器 |
| TWI692636B (zh) * | 2015-06-11 | 2020-05-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 靜電電容測量用之感應晶片及具備該感應晶片之測量器 |