JPH04240535A - Polygon scanner inspecting circuit - Google Patents

Polygon scanner inspecting circuit

Info

Publication number
JPH04240535A
JPH04240535A JP2301491A JP2301491A JPH04240535A JP H04240535 A JPH04240535 A JP H04240535A JP 2301491 A JP2301491 A JP 2301491A JP 2301491 A JP2301491 A JP 2301491A JP H04240535 A JPH04240535 A JP H04240535A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polygon mirror
data
circuit
sample
polygon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2301491A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Susumu Emori
江森 晋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Copal Electronics Corp
Original Assignee
Copal Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Copal Electronics Co Ltd filed Critical Copal Electronics Co Ltd
Priority to JP2301491A priority Critical patent/JPH04240535A/en
Publication of JPH04240535A publication Critical patent/JPH04240535A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

PURPOSE:To simplify a large and complicate polygon scanner inspecting means, to directly view the final data and to confirm the changing state of the inclining amount of the surface of a polygon mirror at real time. CONSTITUTION:This inspecting circuit is comprised of a detector 8 which detects the position of beams incident upon a surface 5a of a polygon mirror 5, an operational circuit 12 to which signals from the detector 8 are input through an amplifier 10 and which outputs the changing amount of the position of incidence of the light upon the polygon mirror as an analog signal, and a data converting circuit 17 which samples analog signals by means of two sample- holders 16, 18 for an interval of one plane of the rotating polygon mirror 5 and confirms the difference of the sample data outputs from the sample holders thereby to obtain a voltage signal indicating the inclining amount of the adjacent surface of the polygon mirror.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】光走査に採用されるポリゴンスキ
ャナのポリゴンミラ(回転多面鏡)の相互のミラ面の精
度検査に用いられるポリゴンスキャナ検査回路に関する
The present invention relates to a polygon scanner inspection circuit used for inspecting the accuracy of mutual mirror surfaces of polygon mirrors (rotating polygon mirrors) of a polygon scanner used for optical scanning.

【0002】0002

【従来の技術】従来より使用されているこの種の検査回
路を図4に示す。直流電源2よりモータドライバ3へ供
給された電流により回転するポリゴンスキャナ4のポリ
ゴンミラ5の面5aに光源6よりのビームが反射し、こ
の反射光は順次半導体等よりなる光位置検出器8へ入射
し、位置変位アナログ電圧信号として出力し、増幅器1
0、同期回路11を経てA/D変換器13により論理信
号に変換し、コンピュータ15において計算処理して、
回転するポリゴンミラ5の面倒れ状況を知るものである
。この方法により電子回路への負担を軽減し、ソフトウ
ェアによる処理に依存していた。又データの取り込みは
サンプルクロックによるものである。
2. Description of the Related Art A conventionally used test circuit of this type is shown in FIG. The beam from the light source 6 is reflected on the surface 5a of the polygon mirror 5 of the polygon scanner 4 which is rotated by the current supplied from the DC power supply 2 to the motor driver 3, and this reflected light is sequentially sent to the optical position detector 8 made of semiconductor or the like. input, output as a position displacement analog voltage signal, and output it as a position displacement analog voltage signal to amplifier 1.
0, converted into a logical signal by an A/D converter 13 via a synchronous circuit 11, and subjected to calculation processing in a computer 15,
This is to know the tilt status of the rotating polygon mirror 5. This method reduces the burden on electronic circuits and relies on software processing. Also, data is taken in using a sample clock.

【0003】0003

【発明の解決しようとする課題】上述の従来例において
は、コンピュータを採用しているので、必然的にシステ
ム自体が大型となり、それだけコストの上昇を招くもの
であり、且つ変位量検出から最終データ出力までを直視
することができないため、実時間での変化状況を確認す
ることが困難である等の問題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] In the above-mentioned conventional example, since a computer is used, the system itself inevitably becomes large-sized, leading to an increase in cost. Since the output cannot be directly viewed, there have been problems such as difficulty in checking changes in real time.

【0004】0004

【課題を解決するための手段】そこで本発明においては
、現実の変位量検出の動きを実時間で把握することを目
的とするもので、この目的を達成するための手段を以下
に提供する。回転するポリゴンミラ面に反射した光を光
位置検出器で検出し、更に増幅器を経て演算回路より出
力するポリゴンミラ面への光入射位置変化量のアナログ
電圧信号となし、このアナログ電圧信号を回転するポリ
ゴンミラの1面間隔で、2つのサンプルホールダでサン
プルし、この2つのサンプルホールダよりのサンプリン
グデーター出力の差分を確認することにより隣接するポ
リゴンミラ面の面倒れ量を表示する電圧信号を得るデー
タ変換回路を提供し、更にこの回路よりの出力に判定回
路又は表示回路を接続し、表示回路によりポリゴンミラ
隣接面の面倒れ量を実時間で直視することを可能とする
手段を具えたポリゴンスキャナ検査回路である。
[Means for Solving the Problems] Accordingly, an object of the present invention is to grasp the movement of actual displacement detection in real time, and means for achieving this object are provided below. The light reflected on the rotating polygon mirror surface is detected by an optical position detector, and then an analog voltage signal representing the amount of change in the light incident position on the polygon mirror surface is outputted from an arithmetic circuit via an amplifier, and this analog voltage signal is rotated. Samples are taken with two sample holders at intervals of one surface of the polygon mirror to be used, and by checking the difference in the sampling data output from these two sample holders, a voltage signal indicating the amount of surface tilt of adjacent polygon mirror surfaces is obtained. A polygon provided with a means for providing a data conversion circuit, further connecting a determination circuit or a display circuit to the output of this circuit, and allowing the display circuit to directly view the amount of surface tilt of adjacent surfaces of the polygon mirror in real time. This is a scanner inspection circuit.

【0005】[0005]

【作用】光位置変化量のアナログ電圧信号を、同期クロ
ックパルス発生器とデータセレクタを用いて、一走査ご
とにトグルする同期信号となし、この信号により位置電
圧をサンプリングする。ポリゴンミラの面nと隣接する
面n+1でのデータのサンプリングが行われる。この2
つのサンプリングの差分を差動増幅器でとり、その後更
に全波整流することにより、正の隣接するポリゴンミラ
の面の相互角度を電圧として直視することができる。
[Operation] The analog voltage signal representing the amount of change in optical position is converted into a synchronization signal that toggles every scan using a synchronization clock pulse generator and a data selector, and the position voltage is sampled using this signal. Data sampling is performed on the surface n+1 adjacent to the surface n of the polygon mirror. This 2
By taking the difference between the two samplings using a differential amplifier and then performing full-wave rectification, it is possible to directly view the mutual angle of the positive adjacent polygon mirror surfaces as a voltage.

【0006】[0006]

【実施例】以下添付図面を参照して、本発明のポリゴン
スキャナ検査回路の一実施例を説明する。図1(A),
(B)において、直流電源2に接続するモータドライバ
3により所定速度で回転するポリゴンスキャナ4のポリ
ゴンミラ(回転多面鏡)5の面5aに光源6よりのビー
ムが順次入射、反射し、これらの反射光は光位置検出器
8で光電流となる。光位置検出器8の半導体位置検出素
子(ポジション  センシテイブ  ディテクタ  P
SD)で検出した光電流Y1,Y2は増幅器10で増幅
し、演算回路12へ入力される。この光電流Y1,Y2
との入射位置の関係は次式の通りである。 上式においてLは素子の長さの1/2である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the polygon scanner inspection circuit of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Figure 1(A),
In (B), the beams from the light source 6 are sequentially incident on and reflected by the surface 5a of the polygon mirror (rotating polygon mirror) 5 of the polygon scanner 4, which is rotated at a predetermined speed by the motor driver 3 connected to the DC power source 2. The reflected light becomes a photocurrent at the optical position detector 8. Semiconductor position detection element of optical position detector 8 (position sensitive detector P
Photocurrents Y1 and Y2 detected by SD) are amplified by an amplifier 10 and input to an arithmetic circuit 12. This photocurrent Y1, Y2
The relationship between the incident position and the following equation is as follows. In the above formula, L is 1/2 of the length of the element.

【0007】Y1,Y2信号は演算回路12へ入力され
上式の演算の結果アナログ位置電圧信号14が得られる
。 この時点では位置量としてそのまま使用することはでき
ない。そこでこの信号をデータ変換回路17の同期クロ
ックパルス発生器22とデータセレクタ20により光位
置検出器8への光入射タイミングで同期をとって、サン
プリングすることにより正確な位置電圧値が得られるも
のである。
The Y1 and Y2 signals are input to an arithmetic circuit 12, and an analog position voltage signal 14 is obtained as a result of the above calculation. At this point, it cannot be used as is as a positional quantity. Therefore, an accurate position voltage value can be obtained by sampling this signal by synchronizing it with the timing of light incidence on the optical position detector 8 using the synchronous clock pulse generator 22 and data selector 20 of the data conversion circuit 17. be.

【0008】本発明に係る回路は、データのサンプリン
グから、隣接するポリゴンミラの面の面倒れ角度量を電
圧値として求めるものであり、一対のサンプルホールド
手段16,18と差動増幅器24、全波整流手段26と
より構成されるものである。前述のように同期クロック
パルス発生器22とデータセレクタ20により1走査毎
トグルする同期信号はデータセレクタ20を経て、第1
サンプルホールダ16、第2サンプルホールダ18へ供
給され、それぞれポリゴンミラ5の面5aを一面おきに
データホールドする。例えば、第1サンプルホールダ1
6はポリゴンミラ5の2走査の間データを保持し、第2
サンプルホールダ18の出力と比較する。すなわち順次
に演算回路12より出力するアナログ位置電圧信号14
は相互に作動する前記サンプルホールダ16,18へ交
互に入力し、ポリゴンミラ5の面5a毎のデータを保持
し、同期クロックパルス発生器22、データセレクタ2
0によりサンプリングの切り替えを行い、得たサンプル
データは差動増幅器24へ入力し、これらの信号の差分
となることにより、ポリゴンミラの隣接面のデータの差
が得られる。しかし、この差分データ出力は正負に振れ
る信号であるから、この差分データ出力を全波整流器2
6で全波整流し、差分データの絶対値を得るものである
。更に差分データの絶対値信号に電圧リファレンスをも
つコンパレータ等を接続すれば、判定器32として役立
ち、又アナログ表示器30を接続すれば、ポリゴンミラ
の隣接面の実時間の変化量をモニタする。この様にして
リアルタイムでポリゴンミラの隣接面の変化量を直視す
ることができる。
The circuit according to the present invention obtains the angle of inclination of the surfaces of adjacent polygon mirrors as a voltage value from data sampling. It is composed of a wave rectifying means 26. As mentioned above, the synchronization signal that toggles every scan by the synchronization clock pulse generator 22 and the data selector 20 passes through the data selector 20 and is sent to the first
The data is supplied to a sample holder 16 and a second sample holder 18, and holds data on every other surface 5a of the polygon mirror 5, respectively. For example, the first sample holder 1
6 holds data for two scans of the polygon mirror 5, and
Compare with the output of the sample holder 18. That is, the analog position voltage signal 14 sequentially output from the arithmetic circuit 12
are alternately input to the sample holders 16 and 18 which operate mutually, and hold data for each surface 5a of the polygon mirror 5.
Sampling is switched by 0, and the obtained sample data is input to the differential amplifier 24, and by becoming a difference between these signals, a difference in data on adjacent surfaces of the polygon mirror is obtained. However, since this differential data output is a signal that swings positive and negative, this differential data output is sent to the full-wave rectifier 2.
6 performs full-wave rectification to obtain the absolute value of the difference data. Furthermore, if a comparator or the like having a voltage reference is connected to the absolute value signal of the difference data, it will serve as a determiner 32, and if an analog display 30 is connected, the amount of change in the adjacent surface of the polygon mirror can be monitored in real time. In this way, the amount of change in the adjacent surfaces of the polygon mirror can be directly observed in real time.

【0009】次に隣接面倒れデータ判定、同期タイミン
グチャートを図示する図2を参照して本発明に係る回路
を説明する。図1(B)に図示のアナログ位置電圧信号
14は図2に示すアナログ入力信号であって、正弦波状
の電圧信号である。このアナログ入力信号はポリゴンミ
ラ面の同期信号に同期して得られる光入射位置信号であ
る。このアナログ入力信号の波形のピーク電圧各々が、
光入射位置として有効な量である。隣接する一面毎のア
ナログ入力電圧のピーク値を記憶するのに2個の第1、
第2アナログサンプルホールダ16,18を用い、第1
サンプルホールダ16はポリゴンミラ5の奇数面、第2
サンプルホールダ18は偶数面よりの光位置検出器8へ
の光入射位置をそれぞれ記憶する。ポリゴンミラ5が奇
数面より形成されているときは1回転毎に奇数面と偶数
面が入れ替わるが、第1,第2サンプルホールダ16,
18はそれぞれの特異性をもたず、同一であるから、何
等問題は生じない。アナログ入力信号のピーク値の記憶
は同期クロックパルス発生器22で生成したポリゴンミ
ラ5の面5a毎のサンプルパルスによって行われる。第
1、又第2サンプルホールダ16,18に交互にデータ
をホールドするためには、データセレクタ20によるサ
ンプリング切り替え信号により、ポリゴンミラ5の面5
aの1面おきに第1、第2サンプルホールダ16,18
へのそれぞれのサンプルパルス切り替えを行う。図2に
図示のように、サンプルパルスはアナログ入力信号の波
高ピーク値に同期してポリゴンミラ面ごとに生成される
。このサンプルパルスをサンプリング切り替え信号によ
り第1、第2サンプルホールダ16,18に交互に分配
する。その結果ポリゴンミラのある面の取り込みデータ
をn番目のデータとすると、このデータは第1サンプル
ホールダ16に、又n+1番目のデータは第2サンプル
ホールダ18にホールドされ、n+2番目のデータは第
1サンプルホールダ16、n+3番目のデータは第2サ
ンプルホールダ18にホールドされるように、交互にデ
ータホールドが実行される。すなわち一つのサンプルホ
ールダは2面間の一つのデータを保持するが、二つのサ
ンプルホールダが一面づつずれてデータホールドするの
で、隣り合う面への光入射位置の差を比較することが可
能である。
Next, a circuit according to the present invention will be explained with reference to FIG. 2, which shows a timing chart for determining adjacent tilt data and synchronizing. The analog position voltage signal 14 shown in FIG. 1(B) is the analog input signal shown in FIG. 2, and is a sinusoidal voltage signal. This analog input signal is a light incident position signal obtained in synchronization with the synchronization signal of the polygon mirror surface. Each peak voltage of the waveform of this analog input signal is
This is an effective amount for the light incident position. To store the peak value of the analog input voltage for each adjacent side, two
Using the second analog sample holder 16, 18, the first
The sample holder 16 is placed on the odd-numbered side of the polygon mirror 5, the second
The sample holder 18 stores the positions of light incident on the optical position detector 8 from even-numbered surfaces. When the polygon mirror 5 is formed of odd-numbered faces, the odd-numbered faces and even-numbered faces are exchanged every rotation, but the first and second sample holders 16,
18 have no uniqueness and are the same, so no problem arises. The peak value of the analog input signal is stored using sample pulses generated by the synchronous clock pulse generator 22 for each surface 5a of the polygon mirror 5. In order to hold data alternately in the first and second sample holders 16 and 18, a sampling switching signal from the data selector 20 is used to hold the data on the surface of the polygon mirror 5.
The first and second sample holders 16 and 18 are placed on every other side of a.
Perform each sample pulse switch to . As shown in FIG. 2, sample pulses are generated for each polygon mirror surface in synchronization with the wave height peak value of the analog input signal. This sample pulse is alternately distributed to the first and second sample holders 16 and 18 by a sampling switching signal. As a result, if the captured data of a certain surface of the polygon mirror is the n-th data, this data is held in the first sample holder 16, the n+1-th data is held in the second sample holder 18, and the n+2-th data is held in the first sample holder 18. Data holding is performed alternately such that the (n+3)th data of the sample holder 16 is held in the second sample holder 18. In other words, one sample holder holds one piece of data between two surfaces, but since the two sample holders hold the data one side at a time, it is possible to compare the difference in the light incident position on adjacent surfaces. .

【0010】第1、第2サンプルホールダ16,18の
出力を差動増幅器24へ入力して、各々のサンプルホー
ルダのサンプルデータの差分を得ることにより隣接する
ポリゴンミラ面の電圧信号を得ることができる。偶数番
目と奇数番目のアナログ入力信号のピーク値の大小関係
は不定であるから、(図2差分信号参照)作動増幅器2
4よりの出力は両極性データとなる。この両極性データ
を一方向データとするために、全波整流器26で全波整
流して、最終出力(図2整流信号)を得るものである。
By inputting the outputs of the first and second sample holders 16 and 18 to the differential amplifier 24 and obtaining the difference between the sample data of each sample holder, it is possible to obtain the voltage signal of the adjacent polygon mirror surface. can. Since the magnitude relationship between the peak values of the even-numbered and odd-numbered analog input signals is uncertain (see differential signal in Figure 2), the operational amplifier 2
The output from 4 becomes bipolar data. In order to convert this bipolar data into unidirectional data, it is full-wave rectified by a full-wave rectifier 26 to obtain a final output (rectified signal in FIG. 2).

【0011】[0011]

【効果】本発明によれば、演算回路よりのポリゴンミラ
への光入射位置変化量のアナログ信号を、2つのサンプ
ルホールダでサンプルし、このサンプリングの差分を確
認することによりポリゴンミラの面倒れ量を表す電圧信
号を得る回路を提供すると共に、この回路に判定回路又
は表示回路を接続し、表示回路により、ポリゴンミラ隣
接面の面倒れ量をリアルタイムで直視することができる
ものであるから、簡単な回路構成によりポリゴンミラの
隣接面の面倒れ量を確認するとともにリアルタイムで面
倒れ量を直視できる。従来例のような複雑且つ大型なア
ナログ信号の変換手段を必要としない簡易型検査回路を
得ることができる。
[Effect] According to the present invention, the analog signal representing the amount of change in the position of light incident on the polygon mirror from the arithmetic circuit is sampled using two sample holders, and by checking the difference in sampling, the amount of surface tilt of the polygon mirror can be determined. In addition to providing a circuit that obtains a voltage signal representing With this circuit configuration, it is possible to check the amount of surface inclination of the adjacent surfaces of the polygon mirror and directly view the amount of surface inclination in real time. It is possible to obtain a simple inspection circuit that does not require a complicated and large analog signal conversion means as in the conventional example.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1(A)】本発明にかかるポリゴンスキャナ検査回
路のブロック図。
FIG. 1(A) is a block diagram of a polygon scanner inspection circuit according to the present invention.

【図1(B)】図1(A)のデータ変換回路の詳細を示
すブロック図。
FIG. 1(B) is a block diagram showing details of the data conversion circuit of FIG. 1(A).

【図2】本発明に係るポリゴンミラ隣接面の面倒れデー
タ判定のための波形のタイミングチャート。
FIG. 2 is a timing chart of waveforms for determining surface tilt data of adjacent surfaces of a polygon mirror according to the present invention.

【図3】本発明に係るポリゴンミラの隣接面のアナログ
入力信号による差分を示すチャート。
FIG. 3 is a chart showing the difference between adjacent surfaces of the polygon mirror according to the present invention according to an analog input signal.

【図4】従来例のポリゴンスキャナ検査回路のブロック
図。
FIG. 4 is a block diagram of a conventional polygon scanner inspection circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5    ポリゴンミラ 5a  ポリゴンミラ反射面 8    光位置検出器 10  増幅器 12  演算回路 14  アナログ位置電圧信号 16  第1サンプルホールダ 17  データ変換回路 18  第2サンプルホールダ 20  データセレクタ 22  同期クロックパルス発生器 24  差動増幅器 26  全波整流器 30  表示器 32  判定器 5 Polygon Mira 5a Polygon mirror reflective surface 8 Optical position detector 10 Amplifier 12 Arithmetic circuit 14 Analog position voltage signal 16 First sample holder 17 Data conversion circuit 18 Second sample holder 20 Data selector 22 Synchronous clock pulse generator 24 Differential amplifier 26 Full wave rectifier 30 Display 32 Judgment device

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  ポリゴンミラの面に入射したビーム位
置を検出する光位置検出器と光位置検出器よりの信号を
増幅器を経て入力しポリゴンミラの光入射位置変化量の
アナログ信号として出力する演算回路と前記アナログ信
号を回転するポリゴンミラの1面間隔で2つのサンプル
ホールダでサンプリングし、この2つのサンプルホール
ダよりのサンプルデータ出力の差分を確認することによ
り、隣接するポリゴンミラ面の面倒れ量を表す電圧信号
を得るデータ変換回路とよりなるポリゴンスキャナ検査
回路。
1. An optical position detector that detects the position of the beam incident on the surface of the polygon mirror, and a calculation that inputs the signal from the optical position detector via an amplifier and outputs it as an analog signal of the amount of change in the light incident position of the polygon mirror. The circuit and the analog signal are sampled with two sample holders at one surface interval of the rotating polygon mirror, and by checking the difference in the sample data output from these two sample holders, the amount of surface tilt of adjacent polygon mirror surfaces can be determined. A polygon scanner inspection circuit consisting of a data conversion circuit that obtains a voltage signal representing .
【請求項2】  演算回路よりのアナログ位置電圧信号
の交流波形ピーク値を記憶することを可能とする一対の
サンプルホールダと、前記ピーク値をサンプルホールダ
がホールドするためのサンプルパルスを発生する同期ク
ロックパルス発生器と、前記一対のサンプルホールダを
交互にデータをホールドせしめるためにサンプリングパ
ルスの切り替え信号を発するデータセレクタと、前記一
対のサンプルホールダでホールドしたデータの差分を得
る差動増幅器と、前記差動増幅器よりの両極性データを
一方向のデータに全波整流する全波整流器とを具えたデ
ータ変換回路を有する請求項1記載のポリゴンスキャナ
検出回路。
2. A pair of sample holders capable of storing an AC waveform peak value of an analog position voltage signal from an arithmetic circuit, and a synchronous clock generating a sample pulse for the sample holder to hold the peak value. a pulse generator; a data selector that issues a sampling pulse switching signal to cause the pair of sample holders to alternately hold data; a differential amplifier that obtains a difference between the data held by the pair of sample holders; 2. The polygon scanner detection circuit according to claim 1, further comprising a data conversion circuit comprising a full-wave rectifier for full-wave rectifying bipolar data from a dynamic amplifier into unidirectional data.
【請求項3】  前記全波整流器と接続する判定回路又
は表示回路を具え、前記表示回路によりポリゴンミラ隣
接面の面倒れ量をリアルタイムで直視することを特徴と
する請求項1又は2記載のポリゴンスキャナ検出回路。
3. The polygon according to claim 1, further comprising a determination circuit or a display circuit connected to the full-wave rectifier, and the display circuit allows the amount of surface inclination of adjacent surfaces of the polygon mirror to be directly observed in real time. Scanner detection circuit.
JP2301491A 1991-01-23 1991-01-23 Polygon scanner inspecting circuit Withdrawn JPH04240535A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2301491A JPH04240535A (en) 1991-01-23 1991-01-23 Polygon scanner inspecting circuit

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2301491A JPH04240535A (en) 1991-01-23 1991-01-23 Polygon scanner inspecting circuit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04240535A true JPH04240535A (en) 1992-08-27

Family

ID=12098640

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2301491A Withdrawn JPH04240535A (en) 1991-01-23 1991-01-23 Polygon scanner inspecting circuit

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04240535A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104181547B (en) A kind of three-dimensional laser imaging system based on array detection unit and formation method
WO2003074967A1 (en) Polarization bearing detection type two-dimensional light reception timing detecting device and surface shape measuring device using it
JPH02114156A (en) Inspection device of mounted substrate
US5473436A (en) Surface shape measurement device with slit plate and single photoelectric converter
US10048488B2 (en) Circuit for detection of failure of movable MEMS mirror
JPH04240535A (en) Polygon scanner inspecting circuit
JPH04356009A (en) Polygon scanner inspecting circuit
JPS61132845A (en) Surface detect inspecting device
JPH0324603B2 (en)
Lénárt Contactless vibration measurement using linear CCD sensor
JPS61223603A (en) Mark detecting machine
JP2731681B2 (en) 3D measurement system
JP2002108554A (en) Device for detecting position and method for the same
JP2674129B2 (en) Distance measuring device
SU1509694A1 (en) Device for detecting defects on the surface of objects having round shape
JPS61191908A (en) Measurement of shape
JPS58184504A (en) Optical measuring method for minute gap
JP2723907B2 (en) Displacement and deformation measuring device ・ Displacement and deformation measuring method
JP2594700B2 (en) Bending inspection device for semiconductor integrated circuit devices
JP4174255B2 (en) Image forming apparatus
JPS63106510A (en) Optical flaw and displacement measuring apparatus
JPH09243451A (en) Apparatus for measuring light amount of scanning beam
JPS6044812A (en) Rotation accuracy inspecting device
JPH05133725A (en) Surface shape measuring device
Fujimoto et al. Basic Examination on 3D Measuring System Using Pulse-Compression

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19980514