JPH04229602A - 薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方法 - Google Patents
薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方法Info
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- JPH04229602A JPH04229602A JP3124523A JP12452391A JPH04229602A JP H04229602 A JPH04229602 A JP H04229602A JP 3124523 A JP3124523 A JP 3124523A JP 12452391 A JP12452391 A JP 12452391A JP H04229602 A JPH04229602 A JP H04229602A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
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- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気特性はいうまで
もなく、耐蝕性にも優れた薄板状希土類‐遷移金属系永
久磁石の有利な製造方法に関するものである。
もなく、耐蝕性にも優れた薄板状希土類‐遷移金属系永
久磁石の有利な製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在、製造されている代表的な永久磁石
材料としては、アルニコ磁石、フェライト磁石及び希土
類磁石などが挙げられる。その後、希土類イオンの持つ
磁気異方性と遷移金属元素の持つ磁気モーメントとを組
合わせたSm−Co系磁石が出現した。しかしSm−C
o系磁石は、資源的に乏しいSmとCoを主成分として
いるために、高価な磁石とならざるを得なかった。
材料としては、アルニコ磁石、フェライト磁石及び希土
類磁石などが挙げられる。その後、希土類イオンの持つ
磁気異方性と遷移金属元素の持つ磁気モーメントとを組
合わせたSm−Co系磁石が出現した。しかしSm−C
o系磁石は、資源的に乏しいSmとCoを主成分として
いるために、高価な磁石とならざるを得なかった。
【0003】そこで高価なSmやCoを含まない、安価
でかつ高磁気特性を有する磁石合金の開発が進められ、
その結果、佐川らは焼結法により三元系で安定な合金(
特公昭61−34242 号公報及び特開昭59−13
2104号公報) を、また J. J. Croat
らは液体急冷法により保磁力の高い合金(特開昭59−
64739号公報) をそれぞれ開発した。これらはN
d, Fe及びBからなる磁石で、その最大エネルギー
積はSm−Co系磁石のそれを超えるものである。しか
しながらNd−Fe−B系磁石は、主相であるNd2F
e14B相の結晶粒を結びつけているNdリッチ相が非
常に腐食され易いため、磁気特性が経時的に劣化して工
業材料としての信頼性に欠けるという欠点があった。
でかつ高磁気特性を有する磁石合金の開発が進められ、
その結果、佐川らは焼結法により三元系で安定な合金(
特公昭61−34242 号公報及び特開昭59−13
2104号公報) を、また J. J. Croat
らは液体急冷法により保磁力の高い合金(特開昭59−
64739号公報) をそれぞれ開発した。これらはN
d, Fe及びBからなる磁石で、その最大エネルギー
積はSm−Co系磁石のそれを超えるものである。しか
しながらNd−Fe−B系磁石は、主相であるNd2F
e14B相の結晶粒を結びつけているNdリッチ相が非
常に腐食され易いため、磁気特性が経時的に劣化して工
業材料としての信頼性に欠けるという欠点があった。
【0004】従って耐蝕性の改善のために、たとえば焼
結磁石については表面めっき(特開昭63−77103
号公報) 、コーティング処理(特開昭60−6390
1号公報) 等を施し、また樹脂結合型磁石では磁粉と
樹脂とを混練する前に予め表面処理を施すなどの対策が
講じられているが、いずれも長時間にわたって有効な防
錆処理とはいえず、また処理のためコスト高となり、さ
らには保護膜による磁束のロスなどの問題もあった。
結磁石については表面めっき(特開昭63−77103
号公報) 、コーティング処理(特開昭60−6390
1号公報) 等を施し、また樹脂結合型磁石では磁粉と
樹脂とを混練する前に予め表面処理を施すなどの対策が
講じられているが、いずれも長時間にわたって有効な防
錆処理とはいえず、また処理のためコスト高となり、さ
らには保護膜による磁束のロスなどの問題もあった。
【0005】上記の問題の解決策として、発明者らは先
に、Nd−Fe−B系磁石のFeをCo及びNiで高濃
度に置換した希土類−遷移金属−ボロン系磁石合金を提
案した(特開平2−4939号公報) 。上記の磁石は
、耐蝕性に優れ、しかもキュリー点が上昇するので、材
料としての信頼性が大幅に向上した。
に、Nd−Fe−B系磁石のFeをCo及びNiで高濃
度に置換した希土類−遷移金属−ボロン系磁石合金を提
案した(特開平2−4939号公報) 。上記の磁石は
、耐蝕性に優れ、しかもキュリー点が上昇するので、材
料としての信頼性が大幅に向上した。
【0006】また発明者らはさらに、上記の磁石を発展
させて磁気特性及び耐蝕性をより一層向上させた二相組
織の希土類‐遷移金属系磁石を開発し、特願平2−26
9635号明細書において提案した。
させて磁気特性及び耐蝕性をより一層向上させた二相組
織の希土類‐遷移金属系磁石を開発し、特願平2−26
9635号明細書において提案した。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記の二
相組織になる薄板状希土類‐遷移金属系磁石の新規な製
造法に関するものである。すなわち希土類磁石は通常、
合金の溶解−鋳造−粉砕−プレス−焼結のプロセスで製
造されるが、最近、希土類磁石搭載機器の小型化やフラ
ット化の動向に合わせて、偏平形状の磁石の需要が増加
している。かかる要請に対し、従来は焼結体をスライシ
ングするか、一枚毎にプレスして焼成後研削する方法が
採用されていた。この発明は、上記のような従来法に代
わる簡便で安価な薄板状磁石の製造法を提案するもので
ある。
相組織になる薄板状希土類‐遷移金属系磁石の新規な製
造法に関するものである。すなわち希土類磁石は通常、
合金の溶解−鋳造−粉砕−プレス−焼結のプロセスで製
造されるが、最近、希土類磁石搭載機器の小型化やフラ
ット化の動向に合わせて、偏平形状の磁石の需要が増加
している。かかる要請に対し、従来は焼結体をスライシ
ングするか、一枚毎にプレスして焼成後研削する方法が
採用されていた。この発明は、上記のような従来法に代
わる簡便で安価な薄板状磁石の製造法を提案するもので
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】まず、この発明の解明経
緯について説明する。さて発明者らは、上記のCoとN
iを高濃度に含有する磁石について高分解能電子顕微鏡
を用いて微視組織の観察を鋭意進めた結果、該磁石には
大きな飽和磁束密度を持つNd2TM14B相の結晶粒
間に、CrB 構造を持つNdとTM(ただしTMは主
としてNi) よりなる相が数nmから数μm の厚み
で存在し、他のNd2TM14B相結晶粒や不純物相と
間を隔絶していることを見出した。ここにNd−Ni二
元系状態図についてはまだ公知の文献は無いけれども、
発明者らが熱分析をしたところ、Nd−Ni相は 75
0℃付近に融点を持つことが判明した。またNd−Ni
相の小片をNd2TM14B相単相の板の上に置き、真
空中で加熱して両相の濡れ性について調査したところ、
750 ℃以上では非常に濡れ性が良いことが判明した
。この発明は、上記の知見に立脚して開発されたもので
ある。
緯について説明する。さて発明者らは、上記のCoとN
iを高濃度に含有する磁石について高分解能電子顕微鏡
を用いて微視組織の観察を鋭意進めた結果、該磁石には
大きな飽和磁束密度を持つNd2TM14B相の結晶粒
間に、CrB 構造を持つNdとTM(ただしTMは主
としてNi) よりなる相が数nmから数μm の厚み
で存在し、他のNd2TM14B相結晶粒や不純物相と
間を隔絶していることを見出した。ここにNd−Ni二
元系状態図についてはまだ公知の文献は無いけれども、
発明者らが熱分析をしたところ、Nd−Ni相は 75
0℃付近に融点を持つことが判明した。またNd−Ni
相の小片をNd2TM14B相単相の板の上に置き、真
空中で加熱して両相の濡れ性について調査したところ、
750 ℃以上では非常に濡れ性が良いことが判明した
。この発明は、上記の知見に立脚して開発されたもので
ある。
【0009】すなわちこの発明は、
RE2TM14B
ここでRE:Y,Sc及びランタノイドのうちから選ん
だ一種又は二種以上 TM:Fe, Co及びNiのうちから選んだ一種又は
二種以上の組成で示される金属間化合物相を主体とする
粉末と、主としてREとTMよりなる融滴とを、それぞ
れ不活性ガスを搬送ガスとして基板に向けて搬送し、該
基板上に混合堆積させることからなる磁気特性及び耐蝕
性に優れる薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方
法である。
だ一種又は二種以上 TM:Fe, Co及びNiのうちから選んだ一種又は
二種以上の組成で示される金属間化合物相を主体とする
粉末と、主としてREとTMよりなる融滴とを、それぞ
れ不活性ガスを搬送ガスとして基板に向けて搬送し、該
基板上に混合堆積させることからなる磁気特性及び耐蝕
性に優れる薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方
法である。
【0010】ここにランタノイドとは、La, Ce,
Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb,
Dy, Ho, Er, Tm, Yb及びLuをいう
。
Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb,
Dy, Ho, Er, Tm, Yb及びLuをいう
。
【0011】この発明は、RE2Fe14B構造を持つ
RE2TM14Bなる相と CrB構造を持つRE−T
Mなる相との二相から主として成る薄肉の磁石を、プレ
ス工程や研削工程を経ることなく製造するものである。 予め作製した主としてREとTMとからなる相の粉末(
好適には粒径1〜5μm )を、不活性雰囲気のプラズ
マ溶射装置やレーザービーム加熱装置に導入し、プラズ
マ加熱又はレーザービーム加熱によってミスト状の液滴
とし、この融滴を、噴出する不活性ガス気流に乗せて基
板に搬送し堆積させるが、この搬送の途中又は基板直上
において、同じく不活性ガスを搬送ガスとする好適粒径
:1〜20μm のNd2Fe14B構造を持つRE2
TM14Bの粉末と良く混合し、基板上に両相の混合状
態で堆積させるのである。
RE2TM14Bなる相と CrB構造を持つRE−T
Mなる相との二相から主として成る薄肉の磁石を、プレ
ス工程や研削工程を経ることなく製造するものである。 予め作製した主としてREとTMとからなる相の粉末(
好適には粒径1〜5μm )を、不活性雰囲気のプラズ
マ溶射装置やレーザービーム加熱装置に導入し、プラズ
マ加熱又はレーザービーム加熱によってミスト状の液滴
とし、この融滴を、噴出する不活性ガス気流に乗せて基
板に搬送し堆積させるが、この搬送の途中又は基板直上
において、同じく不活性ガスを搬送ガスとする好適粒径
:1〜20μm のNd2Fe14B構造を持つRE2
TM14Bの粉末と良く混合し、基板上に両相の混合状
態で堆積させるのである。
【0012】
【作用】かくして得られた膜ないし板は、RE2TM1
4Bの結晶粒の間をRE−TMの融滴が埋めて凝固した
組織の磁石体となっており、ここにRE−TM相は、逆
磁区が発生したNd2Fe14Bの結晶粒から隣接する
別のNd2Fe14Bの結晶粒にカスケード的に磁化反
転が伝播するのを妨げる緩衝地帯として機能する。その
結果、本法で作られた膜ないし板は高い保磁力を示すの
である。なお本法で得られた膜ないし板で、内部に空隙
が存在したり、表面にあばた状の孔が形成され、磁石体
として残留磁束密度が不足する場合には、基板と共に6
00 〜1100℃の温度範囲に真空中で加熱し焼結を
進行させて緻密化を図ることが好ましい。また、上記の
高温域でのプレス、圧延、ショットブラスチング等の力
学的エネルギーの補助を得て緻密化を促進させることは
有利である。
4Bの結晶粒の間をRE−TMの融滴が埋めて凝固した
組織の磁石体となっており、ここにRE−TM相は、逆
磁区が発生したNd2Fe14Bの結晶粒から隣接する
別のNd2Fe14Bの結晶粒にカスケード的に磁化反
転が伝播するのを妨げる緩衝地帯として機能する。その
結果、本法で作られた膜ないし板は高い保磁力を示すの
である。なお本法で得られた膜ないし板で、内部に空隙
が存在したり、表面にあばた状の孔が形成され、磁石体
として残留磁束密度が不足する場合には、基板と共に6
00 〜1100℃の温度範囲に真空中で加熱し焼結を
進行させて緻密化を図ることが好ましい。また、上記の
高温域でのプレス、圧延、ショットブラスチング等の力
学的エネルギーの補助を得て緻密化を促進させることは
有利である。
【0013】ところで上述した方法では、堆積した膜状
ないし板状の磁石体の磁気的性質は等方的にならざるを
得ない。この点、異方性が必要な場合には、RE−TM
の液滴とRE2TM14B粉体とが混合堆積する基板に
対し、例えばその面に垂直に磁場をかけておけばよい。 その際、基板の温度は堆積するRE2TM14Bのキュ
リー温度よりも低い温度に維持しておく必要がある。か
くして、容易磁化軸が膜面ないし板面に垂直な磁石体を
得ることができる。
ないし板状の磁石体の磁気的性質は等方的にならざるを
得ない。この点、異方性が必要な場合には、RE−TM
の液滴とRE2TM14B粉体とが混合堆積する基板に
対し、例えばその面に垂直に磁場をかけておけばよい。 その際、基板の温度は堆積するRE2TM14Bのキュ
リー温度よりも低い温度に維持しておく必要がある。か
くして、容易磁化軸が膜面ないし板面に垂直な磁石体を
得ることができる。
【0014】またこの発明において、RE2TM14B
金属間化合物相粉体とRE−TM系融滴との比率は、式
量単位で95:5ないし50:50程度とするのが好ま
しい。というのは両者の比率が上記の範囲を外れると保
磁力や飽和磁束密度の劣化を招くからである。ここに式
量(formula unit)とは、たとえばNd2
Fe14Bを一つの分子(固体ではこれをformul
a という) とみなした場合に相当する。
金属間化合物相粉体とRE−TM系融滴との比率は、式
量単位で95:5ないし50:50程度とするのが好ま
しい。というのは両者の比率が上記の範囲を外れると保
磁力や飽和磁束密度の劣化を招くからである。ここに式
量(formula unit)とは、たとえばNd2
Fe14Bを一つの分子(固体ではこれをformul
a という) とみなした場合に相当する。
【0015】さらに、RE−TM系融滴の組成は、 C
rB構造を有するRE1TM1がとりわけ好適であるが
、以下のようなものでもよい。RE2TM17, RE
TM5, RE2TM7, RETM3, RETM2
, RE2TM1.7, RE7TM3, RE3TM
。なお、RE2TM14BのREとRE−TM系のR
Eとは同一の元素である必要は無い。また上記のREと
TMの一部を、Mg, Al, Si, Ti, V,
Cr, Mn, Cu, Ag, Au, Cd,
Rh, Pd,Ir, Pt, Zn, Ga, Ge
, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Hf,
Ta及びWのうちから選んだ少なくとも一種で、磁石
全体の8at%まで置換してもこの発明の効果が失われ
ることはない。
rB構造を有するRE1TM1がとりわけ好適であるが
、以下のようなものでもよい。RE2TM17, RE
TM5, RE2TM7, RETM3, RETM2
, RE2TM1.7, RE7TM3, RE3TM
。なお、RE2TM14BのREとRE−TM系のR
Eとは同一の元素である必要は無い。また上記のREと
TMの一部を、Mg, Al, Si, Ti, V,
Cr, Mn, Cu, Ag, Au, Cd,
Rh, Pd,Ir, Pt, Zn, Ga, Ge
, Zr, Nb, Mo, In, Sn, Hf,
Ta及びWのうちから選んだ少なくとも一種で、磁石
全体の8at%まで置換してもこの発明の効果が失われ
ることはない。
【0016】
【実施例】実施例1
表1に示す成分組成になる RE2TM14B1相合金
及びRE−TM相合金をアーク溶解炉によって作製した
。得られた合金ボタンに RE2TM14B1相合金に
ついては 950℃,7日間、一方RE−TM相合金の
うちRE1TM1相については 690℃, またRE
3TM1相については 500℃でそれぞれ10日間の
均一化処理を真空炉中で施したのち、粗粉砕と微粉砕を
施して粒径数μm の微粉末を得た。
及びRE−TM相合金をアーク溶解炉によって作製した
。得られた合金ボタンに RE2TM14B1相合金に
ついては 950℃,7日間、一方RE−TM相合金の
うちRE1TM1相については 690℃, またRE
3TM1相については 500℃でそれぞれ10日間の
均一化処理を真空炉中で施したのち、粗粉砕と微粉砕を
施して粒径数μm の微粉末を得た。
【0017】これらの微粉末を原料とし、次のような直
流プラズマ溶射法によって厚膜磁石を作製した。溶射基
板は20μm の厚さにNiコーティングした10mm
厚さ、50mm四方のFe板とし、ショットブラストを
施したのち、脱脂洗浄して用いた。プラズマ溶射は数T
orrの減圧下で行い、原料粉の搬送ガスとしてはAr
を用いた。RE−TM相合金粉は直流プラズマトーチに
搬送して溶融状態で射出する一方、RE2TM14B1
相合金粉はプラズマアーク下流に設けた搬送管ノズル
より射出し、溶融したRE−TM相合金粉流を受けさせ
ることによって、 RE2TM14B1相及びRE−T
M相の混合流を形成し、基板上に堆積させた。
流プラズマ溶射法によって厚膜磁石を作製した。溶射基
板は20μm の厚さにNiコーティングした10mm
厚さ、50mm四方のFe板とし、ショットブラストを
施したのち、脱脂洗浄して用いた。プラズマ溶射は数T
orrの減圧下で行い、原料粉の搬送ガスとしてはAr
を用いた。RE−TM相合金粉は直流プラズマトーチに
搬送して溶融状態で射出する一方、RE2TM14B1
相合金粉はプラズマアーク下流に設けた搬送管ノズル
より射出し、溶融したRE−TM相合金粉流を受けさせ
ることによって、 RE2TM14B1相及びRE−T
M相の混合流を形成し、基板上に堆積させた。
【0018】このようにして作製した厚さ約 100μ
m の厚膜磁石から試験片を切り出し、磁気特性及び耐
蝕性について調査した結果を表1に併記する。ここに磁
気特性は直流磁化装置によって膜面に垂直な磁界中で測
定した。また耐蝕性は試料を温度70℃、湿度95%の
環境に曝した後の試料表面発錆面積率で評価した。なお
表1には、比較例として、 RE2TM14B1相及び
RE−TM相全体の組成になるアーク溶解合金を粉砕し
た微粉末のみをプラズマ溶射して得た同じ厚さの厚膜の
特性値について調べた結果も併記した。さらに試料No
.3の厚膜から基板ごと切り出した試験片に、真空中で
600〜1200℃, 1時間の熱処理を施した後の
磁気特性及び耐蝕性について調査した結果を表2に示す
。
m の厚膜磁石から試験片を切り出し、磁気特性及び耐
蝕性について調査した結果を表1に併記する。ここに磁
気特性は直流磁化装置によって膜面に垂直な磁界中で測
定した。また耐蝕性は試料を温度70℃、湿度95%の
環境に曝した後の試料表面発錆面積率で評価した。なお
表1には、比較例として、 RE2TM14B1相及び
RE−TM相全体の組成になるアーク溶解合金を粉砕し
た微粉末のみをプラズマ溶射して得た同じ厚さの厚膜の
特性値について調べた結果も併記した。さらに試料No
.3の厚膜から基板ごと切り出した試験片に、真空中で
600〜1200℃, 1時間の熱処理を施した後の
磁気特性及び耐蝕性について調査した結果を表2に示す
。
【0019】
【表1】
【0020】
表 2
┌─────┬────────────────┬─
──────┬───┐│熱処理温度│ 磁
気 特 性 │ 耐
蝕 性 │ ││
├───┬────┬───────┼─────
──┤備 考││ (℃) │Br(kG)│i
Hc(kOe)│(BH)max (MGOe)│発錆
面積(%)│ │├─────┼───┼─
───┼───────┼───────┼───┤│
600 │ 6.6 │ 8.5
│ 10.0 │ 2
│好適例││ 700 │
6.7 │ 8.4 │ 10.2
│ 1 │ 〃 │
│ 800 │ 6.8 │ 8.9
│ 10.5 │ 0
│ 〃 ││ 900
│ 7.0 │ 10.4 │ 11.0
│ 0 │ 〃
││ 1000 │ 7.1 │ 1
0.0 │ 11.2 │
0 │ 〃 ││ 1100
│ 7.5 │ 9.8 │ 1
1.8 │ 0 │
〃 ││ 1200 │ 4.2 │
3.5 │ 1.4 │
0 │参考例│└─────┴
───┴────┴───────┴───────┴
───┘
──────┬───┐│熱処理温度│ 磁
気 特 性 │ 耐
蝕 性 │ ││
├───┬────┬───────┼─────
──┤備 考││ (℃) │Br(kG)│i
Hc(kOe)│(BH)max (MGOe)│発錆
面積(%)│ │├─────┼───┼─
───┼───────┼───────┼───┤│
600 │ 6.6 │ 8.5
│ 10.0 │ 2
│好適例││ 700 │
6.7 │ 8.4 │ 10.2
│ 1 │ 〃 │
│ 800 │ 6.8 │ 8.9
│ 10.5 │ 0
│ 〃 ││ 900
│ 7.0 │ 10.4 │ 11.0
│ 0 │ 〃
││ 1000 │ 7.1 │ 1
0.0 │ 11.2 │
0 │ 〃 ││ 1100
│ 7.5 │ 9.8 │ 1
1.8 │ 0 │
〃 ││ 1200 │ 4.2 │
3.5 │ 1.4 │
0 │参考例│└─────┴
───┴────┴───────┴───────┴
───┘
【0021】表1及び2から、この発明に従っ
て作製した希土類‐遷移金属系厚膜磁石は磁気特性につ
いては勿論、耐蝕性においても優れた特性を示し、さら
に熱処理によって特性が格段に向上することが判る。
て作製した希土類‐遷移金属系厚膜磁石は磁気特性につ
いては勿論、耐蝕性においても優れた特性を示し、さら
に熱処理によって特性が格段に向上することが判る。
【0022】実施例2
実施例1で作製した原料粉の組合せのいくつかを用いて
レーザービーム溶射法により厚膜磁石を作製した。ここ
に炭酸ガスレーザーをレンズによって集光して加熱源と
し、原料粉搬送ガスとしてはArガスを用いて真空中で
溶射を行った。また溶射基板としては、実施例1と同様
の処理を施したNiコーティングFe板を用いた。
レーザービーム溶射法により厚膜磁石を作製した。ここ
に炭酸ガスレーザーをレンズによって集光して加熱源と
し、原料粉搬送ガスとしてはArガスを用いて真空中で
溶射を行った。また溶射基板としては、実施例1と同様
の処理を施したNiコーティングFe板を用いた。
【0023】さてRE−TM相合金粉をレーザービーム
集光部に搬送し、溶融状態で射出する一方、 RE2T
M14B1相合金粉をレーザービーム下流に設けた搬送
管ノズルより射出し、溶融したRE−TM相合金粉流を
受ける状態とすることにより、 RE2TM14B1相
及びRE−TM相の混合流を形成し、基板上に堆積させ
た。かくして得られた厚さ約 100μm の厚膜磁石
の磁気特性及び耐蝕性について調査した結果を表3に示
す。なお磁気特性及び耐蝕性は実施例1と同様にして評
価した。
集光部に搬送し、溶融状態で射出する一方、 RE2T
M14B1相合金粉をレーザービーム下流に設けた搬送
管ノズルより射出し、溶融したRE−TM相合金粉流を
受ける状態とすることにより、 RE2TM14B1相
及びRE−TM相の混合流を形成し、基板上に堆積させ
た。かくして得られた厚さ約 100μm の厚膜磁石
の磁気特性及び耐蝕性について調査した結果を表3に示
す。なお磁気特性及び耐蝕性は実施例1と同様にして評
価した。
【0024】表 3
【0025】同表より明らかなように、この発明に従っ
て作製した希土類‐遷移金属系厚膜磁石は磁気特性、耐
蝕性ともに優れた特性を示している。
て作製した希土類‐遷移金属系厚膜磁石は磁気特性、耐
蝕性ともに優れた特性を示している。
【0026】実施例3
実施例1で作製した原料粉の組合せのいくつかを用いて
プラズマ溶射法により厚膜磁石を作製した。ここに溶射
基板は5μm の厚さにNiをコーティングした5mm
厚さ、50mm四方の SUS 316製の板とし、シ
ョットブラストを施した後、脱脂洗浄して用いた。
プラズマ溶射法により厚膜磁石を作製した。ここに溶射
基板は5μm の厚さにNiをコーティングした5mm
厚さ、50mm四方の SUS 316製の板とし、シ
ョットブラストを施した後、脱脂洗浄して用いた。
【0027】さて RE2TM14B1相のキュリー温
度より約 100℃低い温度に加熱してある基板の背面
に電磁石を配置し、溶射面において板面に垂直に 3
kOeの磁界を発生させ、この状態で実施例1と同様の
方法により、 RE2TM14B1相及びRE−TM
相の混合流を基板上に堆積させ、膜厚 700μm の
厚膜磁石を作製した。この試料から試験片を基板毎に切
り出し、Ar雰囲気中で850 ℃, 1時間の熱処理
、あるいはAr雰囲気中、850 ℃で1軸プレスを施
した。これらの試料の磁気特性及び耐蝕性について調査
した結果を表4中に示す。なお磁気特性及び耐蝕性は実
施例1と同様の方法によって評価した。
度より約 100℃低い温度に加熱してある基板の背面
に電磁石を配置し、溶射面において板面に垂直に 3
kOeの磁界を発生させ、この状態で実施例1と同様の
方法により、 RE2TM14B1相及びRE−TM
相の混合流を基板上に堆積させ、膜厚 700μm の
厚膜磁石を作製した。この試料から試験片を基板毎に切
り出し、Ar雰囲気中で850 ℃, 1時間の熱処理
、あるいはAr雰囲気中、850 ℃で1軸プレスを施
した。これらの試料の磁気特性及び耐蝕性について調査
した結果を表4中に示す。なお磁気特性及び耐蝕性は実
施例1と同様の方法によって評価した。
【0028】
【表4】
【0029】同表より明らかなように、この発明によれ
ば優れた磁気特性を有する希土類−遷移金属系異方性厚
膜磁石を製造することもできる。
ば優れた磁気特性を有する希土類−遷移金属系異方性厚
膜磁石を製造することもできる。
【0030】
【発明の効果】かくしてこの発明によれば、磁気特性は
いうまでもなく、耐蝕性に優れた薄板状希土類‐遷移金
属系永久磁石を容易かつ安価に得ることができる。
いうまでもなく、耐蝕性に優れた薄板状希土類‐遷移金
属系永久磁石を容易かつ安価に得ることができる。
Claims (1)
- 【請求項1】 RE2TM14BここでRE:Y
,Sc及びランタノイドのうちから選んだ一種又は二種
以上 TM:Fe, Co及びNiのうちから選んだ一種又は
二種以上の組成で示される金属間化合物相を主体とする
粉末と、主としてREとTMよりなる融滴とを、それぞ
れ不活性ガスを搬送ガスとして基板に向けて搬送し、該
基板上に混合堆積させることを特徴とする磁気特性及び
耐蝕性に優れる薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製
造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3124523A JPH04229602A (ja) | 1990-06-19 | 1991-04-30 | 薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2-158774 | 1990-06-19 | ||
JP15877490 | 1990-06-19 | ||
JP3124523A JPH04229602A (ja) | 1990-06-19 | 1991-04-30 | 薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04229602A true JPH04229602A (ja) | 1992-08-19 |
Family
ID=26461196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3124523A Pending JPH04229602A (ja) | 1990-06-19 | 1991-04-30 | 薄板状希土類−遷移金属系永久磁石の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04229602A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6168673B1 (en) | 1996-10-18 | 2001-01-02 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Sheet magnet having microcrystalline structure and method of manufacturing the same, and method of manufacturing isotropic permanent magnet powder |
EP1263006A3 (en) * | 2001-05-30 | 2003-10-15 | Ford Motor Company | A method of manufacturing a permanent magnet comprising kinetically spraying and electromagnetic devices prepared therewith |
JP2005286152A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 異方性希土類−鉄系磁石膜の製造方法および超小型モータ |
-
1991
- 1991-04-30 JP JP3124523A patent/JPH04229602A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6168673B1 (en) | 1996-10-18 | 2001-01-02 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Sheet magnet having microcrystalline structure and method of manufacturing the same, and method of manufacturing isotropic permanent magnet powder |
EP1263006A3 (en) * | 2001-05-30 | 2003-10-15 | Ford Motor Company | A method of manufacturing a permanent magnet comprising kinetically spraying and electromagnetic devices prepared therewith |
JP2005286152A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 異方性希土類−鉄系磁石膜の製造方法および超小型モータ |
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