JPH04225173A - Device for inspecting circuit board - Google Patents

Device for inspecting circuit board

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Publication number
JPH04225173A
JPH04225173A JP2414815A JP41481590A JPH04225173A JP H04225173 A JPH04225173 A JP H04225173A JP 2414815 A JP2414815 A JP 2414815A JP 41481590 A JP41481590 A JP 41481590A JP H04225173 A JPH04225173 A JP H04225173A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
coordinate system
measurement
circuit board
point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2414815A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Minami
秀明 南
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hioki EE Corp
Original Assignee
Hioki EE Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Hioki EE Corp filed Critical Hioki EE Corp
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Publication of JPH04225173A publication Critical patent/JPH04225173A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To make teaching a measuring point in an inspection device for a circuit board of X-Y type in a short time. CONSTITUTION:The CCD camera 11 moving with a probe 2 to take a picture of that measuring point P previously fixed and the image processing element 13 converting image data output from the same CCD camera 11 into digital data of binary level to develop on a coordinate system on picture element arranged in a matrix state, are provided. A CPU 14 controls a probe moving measure so that the position of centroid of the measuring point P agrees with the specifying point on the coordinate system on picture element, while the CPU 14 finds the position of centroid of the measuring point P from the number of picture elements corresponding to the shape of the measuring point P on the coordinate system on picture element and from several coordinate values which those have.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明はX−Y型の回路基板検
査装置に関し、さらに詳しく言えば、測定ポイントのテ
ィーチングに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-Y type circuit board inspection device, and more specifically, to teaching of measurement points.

【0002】0002

【従来の技術】少なくとも2本のプローブを移動自在と
するX−Y型回路基板検査装置においては、実際の測定
に先立って測定ポイントをティーチングしてその座標デ
ータを得る必要がある。
2. Description of the Related Art In an XY type circuit board inspection apparatus having at least two movable probes, it is necessary to teach measurement points and obtain coordinate data thereof prior to actual measurement.

【0003】図3を例にして説明すると、1はプローブ
2を有する移動ヘッドである。この移動ヘッド1は、例
えばX方向に配向されたガイドアーム3に沿って往復動
するとともに、同ガイドアーム3自体がY方向に配向さ
れた図示しないガイドレールに沿って往復的に移動する
ことにより、回路基板A上の任意の位置に移動する。
[0003] Taking FIG. 3 as an example, reference numeral 1 denotes a moving head having a probe 2 . The movable head 1 reciprocates along a guide arm 3 oriented in the X direction, and the guide arm 3 itself reciprocates along a guide rail (not shown) oriented in the Y direction. , move to any position on the circuit board A.

【0004】移動ヘッド1には、測定ポイントPをティ
ーチングするためのレーザー光源4が設けられている。 すなわち、レーザー光源4のレーザービームを参考にし
ながら、X,Y移動キーによりプローブ2を教示したい
位置(測定ポイントP)上に移動する。そして、実際に
プローブ2をダウンさせてその位置が正しいかを確認す
る。
The movable head 1 is provided with a laser light source 4 for teaching the measurement point P. That is, while referring to the laser beam of the laser light source 4, the probe 2 is moved to the desired position (measurement point P) using the X and Y movement keys. Then, actually lower the probe 2 and check whether the position is correct.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、正しく
ない時にはこれを試行錯誤的に繰り返すことになり、か
なりの時間がかかることになる。
[Problem to be Solved by the Invention] However, if it is not correct, this process must be repeated by trial and error, which takes a considerable amount of time.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は上記従来の事
情に鑑みなされたもので、その構成上の特徴は、X−Y
方向に移動自在な少なくとも2本のプローブと、同プロ
ーブに接続される測定信号発生部および信号測定部を含
む測定部と、上記プローブを移動させるプローブ移動手
段と、所定のプログラムに基づいて上記測定部およびプ
ローブ移動手段などを制御するCPUなどの制御手段と
を備えてなる回路基板検査装置において、上記プローブ
とともに移動し、同プローブの予め定められた測定ポイ
ントを撮像するCCDカメラと、同CCDカメラから出
力される画像データを2値化レベルのデジタルデータに
変換し、マトリクス状に配列された画素座標系上に展開
する画像処理部とを備え、上記制御手段は、上記画素座
標系上の上記測定ポイントの形状に対応する画素数およ
びそれらが有する個々の座標値から上記測定ポイントの
重心位置を求めるとともに、同重心位置が上記画素座標
系上の特定点に一致するように上記プローブ移動手段を
制御するようにしたことにある。
[Means for Solving the Problems] This invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and its structural features are
at least two probes that are movable in different directions; a measurement section that includes a measurement signal generation section and a signal measurement section that are connected to the probes; a probe movement means that moves the probes; In the circuit board inspection apparatus, the circuit board inspection apparatus includes a control means such as a CPU that controls a probe moving means, a CCD camera that moves together with the probe and images a predetermined measurement point of the probe, and the CCD camera. an image processing unit that converts the image data outputted from the image data into digital data at a binary level and develops it on a pixel coordinate system arranged in a matrix, the control means converts the image data output from the The center of gravity position of the measurement point is determined from the number of pixels corresponding to the shape of the measurement point and their respective coordinate values, and the probe moving means is moved so that the center of gravity position coincides with a specific point on the pixel coordinate system. The reason lies in the fact that it is controlled.

【0007】[0007]

【作用】上記構成によると、測定ポイントの映像が2値
化レベルのデジタルデータに変換され、マトリクス状に
配列された画素座標系上に展開される。
[Operation] According to the above configuration, the image of the measurement point is converted into digital data at a binary level and developed on a pixel coordinate system arranged in a matrix.

【0008】制御手段(CPU)は、この画像データか
らその重心位置を求めるとともに、その重心位置が画素
座標系上の特定点、例えば中心点に一致するようにプロ
ーブ移動手段を制御する。
The control means (CPU) determines the position of the center of gravity from this image data, and controls the probe moving means so that the position of the center of gravity coincides with a specific point, for example, the center point, on the pixel coordinate system.

【0009】これにより、プローブは各測定ポイントに
対して相対的な意味での同じ条件で接触することになる
ため、測定の信頼性が高められる。
[0009] This allows the probe to come into contact with each measurement point under the same conditions in a relative sense, thereby increasing the reliability of the measurement.

【0010】0010

【実施例】図1に示されているように、この発明による
と移動ヘッド1には、従来のレーザー光源に代えてCC
Dカメラ11が取付けられている。これに関連して、そ
の表示装置としてのCRT12と、画像処理部13とが
設けられている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS As shown in FIG. 1, according to the present invention, a movable head 1 is equipped with a CC
A D camera 11 is attached. In connection with this, a CRT 12 as a display device and an image processing section 13 are provided.

【0011】なお、14は制御手段としてのCPU、1
5は一対のプローブ2,2に接続される測定信号発生部
および信号測定部を含む測定部、16はプローブ2のサ
ーボ駆動系を制御する制御部、17は検査プログラムな
どが書き込まれたメモリである。
Note that 14 is a CPU as a control means;
5 is a measurement unit including a measurement signal generation unit and a signal measurement unit that are connected to the pair of probes 2, 2; 16 is a control unit that controls the servo drive system of the probe 2; and 17 is a memory in which inspection programs and the like are written. be.

【0012】18はCPU14に指令を与えるキーボー
ドであるが、同キーボード18には、移動ヘッド1のX
−Y方向の移動を指示するカーソルキー18a、プロー
ブ2をアップさせるアップキー18bおよび同プローブ
2をダウンさせるダウンキー18cの他に、重心移動キ
ー19が設けられている。
Reference numeral 18 is a keyboard for giving commands to the CPU 14.
In addition to a cursor key 18a for instructing movement in the -Y direction, an up key 18b for moving the probe 2 up, and a down key 18c for moving the probe 2 down, a center of gravity movement key 19 is provided.

【0013】測定ポイントPをティーチングするには、
カーソルキー18aを操作してCCDカメラ11にてそ
の測定ポイントPが捉えられるように移動ヘッド1を移
動させる。これにより、CRT12に測定ポイントPの
映像が表示されるとともに、その映像信号は画像処理部
13のメモリ内に画像データとして書き込まれる。
[0013] To teach the measurement point P,
The moving head 1 is moved so that the measurement point P can be captured by the CCD camera 11 by operating the cursor key 18a. As a result, the image of the measurement point P is displayed on the CRT 12, and the image signal is written into the memory of the image processing section 13 as image data.

【0014】この画像データは所定の閾値により、白黒
の2値化レベルのデジタルデータに変換され、図2に示
されているように、マトリクス状に配列された画素座標
系13a上に展開される。
[0014] This image data is converted into black and white binary level digital data using a predetermined threshold value, and is developed on a pixel coordinate system 13a arranged in a matrix as shown in FIG. .

【0015】この実施例においては、測定ポイントPの
形状に対応する領域内の画素が黒データとされ、その画
素数とそれらの各座標値とによりその重心位置がCPU
14によって求められる。
In this embodiment, the pixels in the area corresponding to the shape of the measurement point P are treated as black data, and the center of gravity position is determined by the CPU based on the number of pixels and their respective coordinate values.
14.

【0016】すなわち、重心位置の座標を(x,y)、
黒データの総画素数をn、各黒データの座標を(Xn,
Yn)とすると、(x,y)=Σ(Xn,Yn)/nに
よって表される。
That is, the coordinates of the center of gravity are (x, y),
The total number of pixels of black data is n, and the coordinates of each black data are (Xn,
Yn), it is expressed by (x, y)=Σ(Xn, Yn)/n.

【0017】このようにして、測定ポイントPの重心位
置(x,y)が求められたのち、キーボード18の重心
移動キー19を押すと、CPU14はその重心位置(x
,y)が画素座標系13aの例えば中心点に来るように
、サーボ系制御部16を介して移動ヘッド1を移動させ
る。
After the center of gravity position (x, y) of the measurement point P has been determined in this way, when the center of gravity movement key 19 of the keyboard 18 is pressed, the CPU 14 calculates the center of gravity position (x, y) of the measurement point P.
, y) are located at, for example, the center point of the pixel coordinate system 13a.

【0018】そして、ダウンキー18cを押して実際に
プローブ2を下降させて、CRT12にて確認する。こ
れを全部の測定ポイントに対して行なうことにより、そ
の座標データが得られる。
Then, press the down key 18c to actually lower the probe 2 and check it on the CRT 12. By performing this for all measurement points, the coordinate data can be obtained.

【0019】なお上記実施例では、重心移動キー19を
押した際、重心位置(x,y)が画素座標系13aの中
心点に移動するように移動ヘッド1を動かしているが、
必ずしも中心点である必要はない。すなわち、これは任
意の特定点であってよく、要するに、すべての測定ポイ
ントにおける重心位置をその特定点に移動させるように
すればよい。
In the above embodiment, when the center of gravity movement key 19 is pressed, the movable head 1 is moved so that the center of gravity position (x, y) moves to the center point of the pixel coordinate system 13a.
It does not necessarily have to be the central point. That is, this may be any specific point, and in short, the center of gravity of all measurement points may be moved to the specific point.

【0020】また、画素座標系13a上において、測定
ポイントPのパターン内の画素を黒データとしているが
、これを反転させ白データとして認識してその重心を計
算してもよいことは勿論である。
Furthermore, on the pixel coordinate system 13a, the pixels in the pattern of the measurement point P are assumed to be black data, but it goes without saying that this may be reversed and recognized as white data to calculate its center of gravity. .

【0021】[0021]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
、従来のように試行錯誤を繰り返すことなく、測定ポイ
ントのティーチングに要する時間を大幅に短縮すること
ができる。
As described above, according to the present invention, the time required for teaching measurement points can be significantly shortened without repeating trial and error as in the prior art.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】この発明の一実施例を説明するための模式図。FIG. 1 is a schematic diagram for explaining one embodiment of the present invention.

【図2】同実施例中の画像処理部内の画素座標系を示し
た図。
FIG. 2 is a diagram showing a pixel coordinate system within the image processing unit in the same embodiment.

【図3】従来例を説明するための模式図。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  移動ヘッド 2  プローブ 11  CCDカメラ 12  CRT 13  画像処理部 14  制御手段(CPU) 15  測定部 16  サーボ系制御部 17  メモリ 18  キーボード 19  重心移動キー 1. Moving head 2 Probe 11 CCD camera 12 CRT 13 Image processing section 14 Control means (CPU) 15 Measurement part 16 Servo system control section 17 Memory 18 Keyboard 19 Center of gravity movement key

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】X−Y方向に移動自在な少なくとも2本の
プローブと、同プローブに接続される測定信号発生部お
よび信号測定部を含む測定部と、上記プローブを移動さ
せるプローブ移動手段と、所定のプログラムに基づいて
上記測定部およびプローブ移動手段などを制御する制御
手段とを備えてなる回路基板検査装置において、上記プ
ローブとともに移動し、同プローブの予め定められた測
定ポイントを撮像するCCDカメラと、同CCDカメラ
から出力される画像データを2値化レベルのデジタルデ
ータに変換し、マトリクス状に配列された画素座標系上
に展開する画像処理部とを備え、上記制御手段は、上記
画素座標系上の上記測定ポイントの形状に対応する画素
数およびそれらが有する個々の座標値から上記測定ポイ
ントの重心位置を求めるとともに、同重心位置が上記画
素座標系上の特定点に一致するように上記プローブ移動
手段を制御することを特徴とする回路基板検査装置。
1. At least two probes movable in the X-Y directions; a measurement section connected to the probes and including a measurement signal generation section and a signal measurement section; and probe movement means for moving the probes. A CCD camera that moves together with the probe and images a predetermined measurement point of the probe in a circuit board inspection apparatus comprising a control means for controlling the measurement section and the probe moving means based on a predetermined program. and an image processing unit that converts the image data output from the CCD camera into digital data at a binary level and develops it on a pixel coordinate system arranged in a matrix, and the control means Determine the center of gravity position of the measurement point from the number of pixels corresponding to the shape of the measurement point on the coordinate system and their individual coordinate values, and make sure that the center of gravity position coincides with a specific point on the pixel coordinate system. A circuit board inspection device characterized by controlling the probe moving means.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994008205A1 (en) * 1992-09-25 1994-04-14 Carl Zeiss Method of measuring the coordinates of workpieces

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