JPH04212105A - ホログラフフィルター - Google Patents

ホログラフフィルター

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JPH04212105A
JPH04212105A JP3015978A JP1597891A JPH04212105A JP H04212105 A JPH04212105 A JP H04212105A JP 3015978 A JP3015978 A JP 3015978A JP 1597891 A JP1597891 A JP 1597891A JP H04212105 A JPH04212105 A JP H04212105A
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JP
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filter
holographic
wavelength
light
bragg
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Application number
JP3015978A
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English (en)
Inventor
Tomasz P Jannson
トマツ ピー. ジャンソン
Joanna L Jannson
ジョアンナ エル. ジャンソン
Michael T Feeney
ミカエル ティー. フィーニー
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Physical Optics Corp
Original Assignee
Physical Optics Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/32Holograms used as optical elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J3/1838Holographic gratings

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光を波長によって選択的
に濾過するホログラフフィルターに関するものである。 このホログラフフィルターは分光及び分光分割分野に用
いられる。
【0002】
【従来の技術】或る波長の光を濾過し、又はその伝達を
拒絶するための装置は種々の用途に広く使用されている
。その重要な用途の1つは広い波長範囲の光を照射して
材料の化学的組成を決定するために用いる分光装置であ
る。このような装置では光源から光が映像又はイメージ
ングシステムによって拡散又は平行にされる。測定すべ
き光の波長を定めるため装置内でスリットが移動される
【0003】分光装置の品質は原則的に2つの要素によ
って定まる。装置の分解能は分光装置が識別できるスペ
クトル線の幅を定める。分解能はスリットのサイズに直
接依存し通常高品質の装置で10億分の1メータより良
い。最大光学源密度(“O.D.”)は分光装置の他の
品質を定めるパラメータである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】良い品質の分光器は4
.0迄の、或るときはそれ以上のO.D.を測定するこ
とができる。4.0迄のO.D.は4種類の入射光の強
度抑制を示すため測定するのが困難である。このような
大きな範囲のO.D.を測定するため装置内のノイズが
極めて低いことが要求される。ノイズは周囲光及び分光
装置自身のエレクトロニクス機構を含むあらゆる想像で
きる源から拾われる。
【0005】分光器の1つの型は、試料の組成を試料に
よって吸収される光を測定することによって決定するた
めの吸収型分光器である。O.D.の大きさの幾つかの
状態に適応させるため対数目盛に吸収状態を記録せしめ
る。O.D.はO.D.=−log10 T′によって
示される。ここでT′は材料のサンプルの透過率を示す
。例えば若しT′が10−4であればO.D.が4.0
となる。 図1ではO.D.は波長λに対して示されている。図1
のカーブが波長λ0 の附近で最大となる場合には、試
料は光学的に密であり、且つ分光器内の試料が波長λ0
 の範囲の光を吸収することを示す。図2は波長λに対
するO.D.のカーブに対抗するもので波長λに対する
透過率T′を示す。この図2から光源よりの総べての波
長の光が試料により波長λ0 の範囲の光を除いて伝達
されることが明らかである。図3に示されるように試料
によって吸収された光の測定結果は複雑なカーブとなる
が簡単ならしめるため図1及び図2のようなカーブを用
いる。
【0006】或るクラスの分光器としてはレーザー分光
器がある。レーザー分光器では広い波長の光の光源とし
て波長λ0 の光を有するレーザー光を用い、これを試
料としての拡散媒体に入射せしめる。この結果その化学
的組成に応じて複数の光に拡散される。この幾つかの光
は入射光と同一波長のものとなり、又幾つかの光は異な
ったものとなる。図4に示すように波長λ0 のレーザ
ー光を拡散媒体Sに入射すると、この入射光は夫々波長
λS の複数の光に拡散される。そのうちの幾つかの光
の波長λS は波長λ0 に等しく、他のものは等しく
ない。波長λ0 の拡散光は弾性拡散されたものと云え
、波長λ0 と等しくない波長の拡散光は非弾性拡散さ
れたものと云える。
【0007】弾性拡散とは拡散光エネルギー(光子)が
入射光エネルギーと等しいことを示す。弾性拡散では2
つの拡散効果がかなり強く、測定される拡散光エネルギ
ーは通常λS =λ0 となる方向に強く生ずる。又非
弾性拡散光エネルギーは通常波長λ0 の光エネルギー
よりも小さい。これら光エネルギーEP はEP =h
f=hc/λと示すことができる。ここでhはプランク
の定数、fはヘルツの光の周波数、cは真空内における
光の速度、λは真空内における光の波長である。非弾性
拡散の例における光エネルギーEP は弾性拡散の例に
おける光エネルギーEP より小さい。
【0008】レーザー分光器における濾過の技術への追
求は、非弾性拡散光が試料の化学的組成についてのより
多くの望ましい情報を含んでいることからなされている
。波長λ0 のエネルギーに等しいエネルギーEP を
有する拡散光はノイズを形成し、これを多くの他のノイ
ズ源から除去し所望の非弾性拡散信号エネルギーを正確
に測定できるようにする必要がある。フィルターは波長
λ0 の光を遮断する必要がある。最も共通なフィルタ
ーはラマン分光器のために用いられるラマンフィルター
である。
【0009】波長選択光学フィルターには吸収ダイフィ
ルターと多層誘電体フィルターの2つの型に大別される
。波長選択光学フィルターとしての吸収ダイフィルター
は略±90°の広い角度の入射光を処理できるという利
点を有する。然しながら反面それ自身が化学的組成を有
し、従ってそれ自身の吸収特性を有しこれが試料の吸収
線測定に影響を与える欠点がある。更に吸収ダイフィル
ターは通常20nm以上の広い帯域幅を有し、従って波
長選択性が悪く、又複雑な化学的組成のため二次的最大
値を有し、試料の吸収線と混同するおそれがある。上記
の欠点は広い角度の入射光を処理できるという長所によ
って生ずるものである。
【0010】既知の波長選択光学フィルターの他の型の
ものである誘電体フィルターはブラグ干渉の原理で作用
する。ブラグ干渉フィルターでは、波長λ0に近い或る
波長の光では反射光が構成的に互に干渉し、波長λ0 
の近くの波長で反射率が高い。他の波長の光では反射光
が破滅的に干渉する。多層誘電体フィルターは通常反射
フィルターとして使用される。この多層誘電体フィルタ
ーは図5に示すように異なる誘電体層AとBを有する。
【0011】他の型のフィルターとしては干渉原理を基
礎とする伝達フィルターであるファブリーペローエタロ
ンフィルターがある。このフィルターは、或る波長の光
のみを反射し他を通過せしめる反射型フィルターとは異
なり、或る波長の光を通し、他を拒絶する。このフィル
ターは図6に示されるように図5の場合と同様の多層誘
電体の第1の被覆C′と、これより離れて位置する異な
る誘電体層より成る第2の被覆C″とを有する。このフ
ィルターは2つの高度に平行な多層誘電体被覆の組合せ
であり、この2つの被覆間の光の干渉によって作用する
【0012】多層誘電体フィルターは図7に示すように
波長λ0 の周りを除いた総べての波長の光を伝達する
。 ファブリーペローエタロンフィルターは図8に示すよう
に波長λ01,λ02,λ03…λ0nの周りの波長の
光を通す。
【0013】多層誘電体フィルターの波長選択性はフィ
ルターの層の数に依存する。この重要性は後述する。こ
れらフィルターは異なる誘電体材料の層を一層ずつ真空
蒸着して作る。各層の形成はコストを高くすることにな
る。更に物理的に大きな多層誘電体フィルターのコスト
はフィルターを作るに必要な真空室のサイズに起因して
極めて大きいものとなる。
【0014】この型のフィルターの他の欠点は、回折イ
ンデックスnの矩形の周期的分布が望ましくない高調波
及び二次的最大値を形成することである。この高調波、
特に第2高調波は抑制することができるが他の高調波及
び二次的最大値は残り、これらはフィルターの性能に影
響を与える。図7に示されるものと類似の二次的最大値
は試料の化学的組成を特徴づける吸収スペクトル線を混
乱せしめるため分光装置の精度の点で特に問題である。 図9は異なる誘電体層A,Bを有する代表的な多層誘電
体フィルターのための回折インデックスnの変化を示す
。回折インデックスnはフィルターの幾つかの層に関す
る矩形関数であり、平均回折インデックスn′と格子定
数Λとを有する。格子定数ΛはΛ=λ/2n′として表
わされる。誘電体フィルターはより正弦波状に変化する
回折インデックスnを有するように形成できるが、この
ようなルゲートフィルターのコストは極めて高い。図1
0はルゲート誘電体多層フィルターの正弦波状回折イン
デックスプロフイルを示す。
【0015】吸収ダイフィルターと多層誘電体フィルタ
ー両者の欠点のため、特に後者のコストが大きいことか
ら分光器のために用いるフィルターには極端に大きな光
の拒絶性、高い波長選択性、広い入射角の光の受け入れ
、二次的最大値の縮少、製造コストの低下が望まれる。
【0016】本発明の目的は上記の欠点を除去した体積
ホログラムを有する分光器に用いるフィルターを得るに
ある。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明の体積ホログラム
にはブラグ干渉原理に応じて作用するブラグ面が従来技
術によって記録されている。本発明のホログラフフィル
ターにおけるブラグ面は例えばローマンフィルター、リ
ップマンフィルター、湾曲ブラグ面フィルター、多層フ
ィルター等のフィルターの伝達のデザインを満足するよ
う記録できる。ホログラフフィルターのブラグ面は一工
程記録方法によって記録でき、望ましいレーザー光源の
望ましくない波長成分を有する光を濃縮し、集束し、又
は直進するようにすることができる。
【0018】本発明のホログラフフィルターは、広い範
囲の周波数、大きさ及びバイアスに適合する回折インデ
ックスプロフイル、波長選択性、大きな制御可能な帯域
幅、4.0,5.0及び6.0の高い光学密度を有し、
又極端に高い分解能と安定性を有し、低コストで製造可
能である。本発明のホログラフフィルターに最も重要な
ことは極端に狭い波長除去特性を有すること、即ちO.
D.対λ曲線のスペースを極めて狭くすることができる
ことである。更に除去率の強さを示すO.D.を極端に
高くでき、又ホログラフフィルターの二次的最大値を十
分に抑制し及び又はその効果を減ずるよう圧縮すること
ができる。本発明の単一のホログラフフィルターにおい
ては格子定数A、回折インデックスの大きさΔnをZの
関数として変えることができ、又本発明のホログラフフ
ィルターを低コストで高い融通性をもって作ることがで
きる。
【0019】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明する
。図11に示すように本発明のリップマンホログラフフ
ィルター20は記録、露光及び処理によって形成される
。ブラグ面22がホログラフフィルター20内に記録さ
れている。格子定数Λはブラグ面22間の距離として示
される。ホログラフフィルター20の厚さはTである。 回折インデックスnは曲線24のように変化し、その下
限値は例えば1.49,上限値は例えば1.51,平均
値n′は1.50,偏差Δnは0.01である。
【0020】図12は本発明おリップマンホログラフフ
ィルター記録の説明図であり、記録されるべきホログラ
フ材料26、例えばDCG、DCGポリマーグラフト及
び又は組成物、PVA、PMMA、デュポンホトポリマ
ー又はポラロイドDMP−128がミラー28の近くに
設置され、波長λのレーザー光により露光される。ホロ
グラフ材料26に照射されたレーザー光はミラー28に
も照射されて反射しホログラフ材料26内に連続した波
形を形成する。この波形内の電磁エネルギーEはグラフ
30で示される。ブラグ面の間隔即ち格子定数Λはレー
ザー光の波長と記録されるべきホログラフ材料26の回
折インデックスの平均値n′によって決定されΛ=λ/
2n′となる。
【0021】電磁エネルギーEがグラフ30に示すよう
に正弦波状に変化するためホログラフ材料26の回折イ
ンデックスnはグラフ32に示すようにホログラフ材料
26内の電磁エネルギーEの連続波形に正比例して変化
する。ホログラフ材料26内の連続波形の電磁エネルギ
ーEが高い部分では回折インデックスnも高く、低い部
分では回折インデックスnは低い。従って記録処理によ
ってホログラフ材料26内に正位波状変化の回折インデ
ックスが形成される。この回折インデックスは記録の際
広く変化してブラグ面の間隔即ち格子定数Λ、屈折イン
デックス変化の形(正弦波から矩形波へ)、偏差Δn、
材料の1端から他端迄のバイアスNを変えることができ
る。より改良されたHOE(ホログラフ光学素子)フィ
ルターは刊行物に記載されている標準2ビーム干渉技術
によって記録することができる。
【0022】図13のカーブ34はホログラフフィルタ
ーによって除去される光の波長λと光学密度(O.D.
)の関係を示し、λ0 は上記除去される波長の中心波
長、λ1 はホログラフフィルターによって除去される
λ0 と異なる他の波長、λ2 はホログラフフィルタ
ーによって除去されずに透過される波長である。測定す
べき試料は通常極めて複雑な化学的組成を有しているた
め測定されるべき透過される波長は例えばλ′2 ,λ
″2 ,λ02のように通常連続して広く存在する。波
長λ2 はそれらの中の1つである。然しながらこれら
波長は除去すべき帯域の外側にある。レーザー分光装置
においては波長λ0 の入射ビーム光が拡散媒体によっ
て拡散され、波長λ0 とλ1 のレーザー光は弾性媒
体によって拡散され、波長λ2 のレーザー光は非弾性
媒体によって拡散される。波長λ0 に近い帯域より外
側の波長λ2 のレーザー光が試料の化学的組成につい
ての情報を示すものであり、他の波長のレーザー光は除
去される。
【0023】図14〜17より明らかなように本発明の
ホログラフフィルター内のブラグ面の位置を記録プロセ
スの間に変えて所望の波長(λ2 )又は望ましくない
波長(λ0 ,λ1 )の方向とすることができる。よ
り改良されたホログラムは通常ホログラフ光学素子(H
OE)と呼ばれている。集束、分散、イメージング等の
分光フィルター操作が組合される。図14において36
はミラー面に平行なブラグ面38を有するリップマンホ
ログラフフィルターミラーを示し、レーザー光40がミ
ラー36に入射し、その一部42が反射され、他の一部
44がミラー36を透過する。反射光42は波長λ0と
λ1 を有し弾性拡散となる。透過光44は非弾性拡散
となり、その波長λ2 はミラー36によって除去され
る光の波長外である。ミラー36に対する反射光42の
なす角は、ミラー36に対するレーザー光40の入射角
に等しい。
【0024】図15は波長λ0 のレーザー光46が非
スネル(傾斜)ホログラフフィルター48に入射される
例を示し、入射光の一部50が波長λ0 とλ1 を有
し弾性拡散となる。ブラグ面がホログラムの面と平行で
はないため反射光はスネルの法則を滿足する。透過光5
2は波長λ2 を有し非弾性拡散となる。
【0025】図16は波長λ0 のレーザー光54が拡
散(反射)ホログラフフィルターであるHOEミラー5
6に直角に入射する例を示し、弾性拡散となる反射レー
ザー光58は図13に示す除去範囲内の波長λ0 とλ
1 を有する。透過光60はミラー56による除去範囲
外である波長λ2 を有する。
【0026】図17は本発明の集束(伝達)ホログラフ
フィルターを示し、入射レーザー光62は波長λ0 の
レーザー光64として弾性拡散され、波長λ2 のレー
ザー光66として非弾性拡散される。レーザー光66は
弾性拡散されるレーザー光64とは異なる方向に拡散さ
れるのみならず、ホログラフフィルター70内に記録さ
れた湾曲ブラグ面68によって位置的に特別な点に集束
される。かかる集束は試験される試料の化学的組成につ
いての情報を含む非弾性拡散されたレーザー光を検出し
測定するのに便利である。
【0027】望ましい又は望ましくないレーザー光を拡
散するためホログラフ材料内に任意のブラグ面を記録す
ることができる。例えば、分光器がローマン分光器の場
合には本発明におけるフィルターはローマンフィルター
である。ホログラフ面に平行なブラグ面を有するフィル
ターを用いる場合には本発明のリップマンホログラフフ
ィルターを用いるのが好ましい。傾斜したブラグ面が要
求される場合には本発明の非スネル(傾斜)ホログラフ
フィルターを用いる。フィルターに集束、イメージング
、又は拡散作用が求められる場合にはフィルターの干渉
縞(ホログラフの面に対向するブラグ面)を湾曲せしめ
る。このようなフィルターはHOEと呼ばれている。 2以上の異なるブラグ波長を除去するためのフィルター
としては2組の干渉縞を有する本発明のホログラフフィ
ルターを用い得る。多くの変形HOE及び本発明の多層
フィルターが用い得る。
【0028】フィルターによって除去される入射光は単
色のレーザー光、又は太陽光線を含む多色光である。多
色光に用いるフィルターには分光分離を行わしめるもの
が望ましい。図18,19は入射光71を示し、この入
射光71のうち波長λA <λ<λB を有する分光帯
域(A,B)の多色光73が除去帯域であり、これは紫
外(UV)、可視又は近赤外領域とすることができ、又
サンドイッチ状とした又は多層フィルターを用いる場合
にはその総てとすることができる。近赤外の例ではλA
 =700nm、λB =1200nm、ΔλAB=5
00nmである。
【0029】図20に示すように本発明のファブリイー
ペローエタロン伝達ホログラフフィルター72はブラグ
面76を有する第1の被覆74と、ブラグ面80を有す
る第2の被覆78とを有する。このフィルター72の透
過特性を図21に示す。この図から明らかなようにフィ
ルター72は中心波長λ01,λ02等の波長の光を透
過する。このフィルター72は図12に示す型又は他の
型の2個のリップマンホログラフフィルターを密着結合
したものである。図21に示す除去される波長のピーク
82,84をホログラフ材料内に十分接近して記録した
場合には波長λ01とλ02間の領域の波長を伝達する
伝達フィルターを得ることができる。
【0030】図22は2つの結合したリップマンホログ
ラフフィルターの除去すべき波長のピークを十分接近せ
しめた本発明の多層ホログラフフィルターの特性線図を
示し、このフィルターは2つの波長のピーク間の波長の
ための伝達フィルターとして使用できる。又ホログラフ
材料内に記録すべき多くの異なるブラグ面のセットは極
端に応用の広いホログラフフィルターによって作ること
ができ、各ブラグ面のセットとしては異なる回折定数Λ
を有する、例えば異なる不連続な多数の波長を除去でき
る、即ち波長に対する透過率の曲線内に一連の除去すべ
き波長のピークが存在するようにすることができる。
【0031】本発明のホログラム及びホログラフフィル
ターは種々の利点を有する。即ちホログラフフィルター
の光学効率は6.0を越える。又多層誘電体フィルター
のための代表的な光学密度O.D.は約4.0となる。 従ってホログラフフィルターのための除去強度は通常多
層誘電体フィルターのそれよりも大きい。必要に応じて
帯域幅Δλを5〜100nm以上に制御可能である。ピ
ーク波長λ0 も制御可能であり、250〜3000n
m又はそれ以上の帯域幅にすることができる。広い範囲
のホログラフ材料を、DCG,DCGポリマーグラフト
及び又は組成物、PVA,PMMA,デュポンホトポリ
マー、及びポラロイドDMP−128を作るために用い
ることができる。更にPVA又はPMMA及び種々の感
光材等のポリマーマトリックスを有するポリマー材料を
使用できる。3ミクロンの波長の近くでは水(又はOH
イオン)によって吸収されるため透明とはならないが、
水を含有しない、又は3ミクロン以外の吸収線を有する
ホログラフ材料を使用できる。
【0032】本発明のホログラフフィルターのためのホ
ログラフ材料は好ましくは3つの要求に合致せしめる。 その第1は目標とされるスペクトラム内の透明度を有す
ることであり、第2は記録のために用いられるレーザー
光の或る波長の感度を有すること、第3は許容される分
解能を有することである。この分解能は格子定数Λによ
って定められる。ここでΛはλ/2n′である。例えば
、若しλが1ミクロンでn′が1.5であればΛは1/
3 ミクロンとなる。Fが1/ΛでありΛが1/3 ミ
クロンであれば1ミクロン当り3ライン、又は1ミリメ
ータ当り3,000ラインのホログラフフィルターが得
られる。若しλが0.5ミクロンに減少すれば、Λ、即
ち分解能は1ミリメータ当り6,000ラインに増加す
る。
【0033】本発明のホログラフフィルターのためのホ
ログラフ材料の最も重要な利益の1つはフィルターの回
折インデックスプロフィルの可変性である。ホログラフ
フィルターの回折インデックスは前述したように記録の
間に決定される。ホログラフフィルターの回折インデッ
クスプロフィルはフィルターの用途に応じて正弦波状又
は矩形波状に作られる。ホログラフフィルターは正弦波
状又は矩形波状の回折インデックスプロフィルの何れか
においてもルゲート型フィルターのためのコストが急速
に大きくなる多層誘電体フィルターに比べて廉価に作ら
れる。正弦波状又は矩形波状又はその間の回折インデッ
クスプロフィルはホログラフフィルターの調和を解折す
ることによって確認される。回折インデックスプロフィ
ルは大きさ又は高さΔnを変えることによっても変える
ことができる。Δnは図12に示されてホログラフフィ
ルター20の厚さTの範囲で変えるようにすることがで
きる。一般的にこの大きさΔnは0.001〜0.2で
ある。このことは回折インデックスの変化が極端になさ
れ材料が1つの部分から次の部分に大きく異なって作用
することを意味する。
【0034】回折インデックスプロフィルの形と大きさ
を変え得るのみならず、その周波数をホログラフフィル
ター20の厚さTの範囲でブラグ面間の間隔を変えるこ
とによって格子定数Λを変えることにより変えることが
できる。結局平均回折インデックスn′をホログラフフ
ィルター20の厚さTの範囲で変えることができ、その
結果ホログラフフィルター20の除去強度をフィルター
の1つの部分から次の部分に変えることができる。図2
3〜25は夫々Δn,n′(ある飽和効果を伴って)及
びΛにおける幾つかの変化を示す。ホログラフフィルタ
ーの記録を変えることによって可能なこれら及び他の多
くの変化により従来のものに比べより融通性のある本発
明のホログラフフィルターを作ることができる。
【0035】被覆、露光及び水による膨じゅん及びアル
コールによる脱水を含む現像の処理工程の間に二次的最
大値及びサイドローブの減少を効果的に達成することが
できる。これらの処理工程は関連する表面に関連する。 然しながらこのサイドローブ及び二次的最大値の減少は
、収縮、膨張のため表面に垂直な格子チャープに等価な
格子定数の垂直方向の不均一性を作る。このようなこと
はDCG,GCG/ポリマーグラフト/組成物のような
ウエット処理される材料でよりよく観察される。物理的
見地から露光の正弦波状分布(記録中の連続波の存在に
起因する)によって硬度差、従って材料の密度差、及び
最終的に回折インデックス差の周期的分布がローレンツ
ーロレンツ方程式に応じて作られる。
【0036】本発明のホログラフフィルターの他の利点
はホログラフ被覆の厚さTが1〜100ミクロンである
こと、材料吸収が0.2%/10μ(0.9dB/mm
 に等価)で上下に調節できること、ポリカーボネート
、アクリルのような軟質材料又はガラスのような硬質材
料の単一又は二重湾曲材料を被覆する能力があることで
ある。 総ての被覆を保護のためカプセルに入れることができる
。上述したように本発明のホログラフフィルターの分解
能は一般的にλが0.5μ又はそれ以上の場合1ミリメ
ータ当り6,000ラインである。環境的に本発明のホ
ログラフ格子は−180℃〜+200℃の温度に耐える
ことができ、10J/cm2 以上のレーザー破壊しき
い値を有する。機械的に界面破壊の可能性はなく、その
弾性も良好である。これらは又通常放射線に耐える。
【0037】本発明のホログラフフィルターに記録でき
る多層誘電体フィルター内の層に類似の多くの層の数N
はN=T/Λ=2n′T/λで示される。ここでTはホ
ログラフ被覆の厚さ、Λは格子定数である。例えば若し
nが1.55,Tが20μ,λが0.5μのときはNが
124であり、これは従来の124層誘電体フィルター
に比べて廉価に作り得る。
【0038】本発明のホログラフフィルターと多層誘導
体フィルター間に理論的関係が得られる。この関係は多
層誘電体フィルターのデザイナーのために有用である。 アベルの理論によれば垂直入射の場合の多層誘電体構造
は数1によって示される。
【0039】
【数1】
【0040】ここでR2Nは2Nの数の層のための反射
率、nI とnL は周囲媒体の回折インデックス、n
2 とn3 は異なる層の回折インデックスである。R
2Nのリミット値はNが∞のときであるとし、Δn/n
′<<1とした場合lim R2N=tan h2 (
νA )が得られる。ここでνA =NΔn/n′であ
り、Δn=/n3 −n2 /であり、n′=1/2(
n3 +n2 )である。
【0041】従ってNを∞とし、Δn/n′の近似を考
えれば均一ホログラムのための基本方式である周期的回
折インデックス分布のためのコゲルニクの式に類似する
方程式を得ることができる。
【0042】ホログラフ帯域幅、二次的最大値等を解析
的に得るためリップマン−ブラグの例に適用されるコゲ
ルニクの式を考える必要があり、数2が考えられる。
【0043】
【数2】
【0044】数2は一般的な例における本発明のホログ
ラフフィルターの回折効果ηを示す。ここでεは数3に
よって定められるオフ−ブラグパラメータである。
【0045】
【数3】
【0046】ここでνは数4によって定められる、回折
能力を示す結合定数である。
【0047】
【数4】
【0048】ここでTはホログラムの厚さ、Δnは回折
インデックスnの大きさ、λB0は垂直な入射波の波長
、及びθ′は媒体内の光の入射角である。数2において
εを零とすれば、ηはη=tan h2 νのようにな
る。この式は純相(非吸収)反射ホログラムに適用され
るコゲルニクの例のための効率を示す。オン−ブラグ条
件(ε=0)は、各入射角ブラグ条件を満足する特定な
波長を有し、波長がブラグ条件を満足する特定な入射角
を有する条件として定められ、数5で示される媒体内の
光のベクトルKを示す、図26で説明することができる
【0049】
【数5】
【0050】図26より明らかなようにブラグ条件は図
26に示され格子ベクトルKのための同一の満足する対
のベクトル(K′,K0 ′)、(K″,K0 ″)等
によって示すことができる。入射角を一定とし波長λを
変えるか、又は入射角を変え波長λを一定とすれば、ε
≠0となり、オフ−ブラグの例が存在するようになる。
【0051】ε=0のオン−ブラグの例では式η=ta
n h2 νを図27に示されるように示すことができ
る。従ってηが理論的制限値1に近づいたとき結合定数
又は回折能力νが増加する。ν=πのときηは全値1の
約99%に等しくなる。コゲルニクの理論では完全に均
一な構成、即ちブラグ面が、回折定数Λを示す図28と
図29で示すことができる、且つ平均回折インデックス
n′と回折インデックス変調がどこでも等しい構成を仮
定する。
【0052】リップマンホログラフフィルターの例を仮
定すれば、調和するものが回折効率ηと式R=ηによっ
て示される光の除去間に存在する。ここでRは反射率で
ある。伝達のための類似の数6は下記のようになる。
【0053】
【数6】
【0054】ここでT′は透過率、A/Sはホログラフ
材料内の吸収と拡散を示す。この式はT′<1−Rと書
き変えることができ、T′<0.01であり、R=99
%の例を解決する。光学密度のための式においてO.D
.=−log10 T′でT′<0.01とすればO.
D.>2.0が得られる。従って媒体の吸収及び拡散特
性の存在によってこの媒体は光を反射する以上にその透
過を拒絶する。この拒絶をできるだけ多くするのが本発
明の反射ホログラフフィルターのためには好ましい。
【0055】数3と数4においてθ′=0とし、ε=0
とすればλ=λB0となり、これは垂直入射光のブラグ
波長であり、式Λ=λB0/2n′から数3のかっこ内
が0となり、従って数7が得られる。
【0056】
【数7】
【0057】コサインは1より大きくないため数7にお
いてλB ≦λB0となり、オン−ブラグ条件のための
波長はオン−ブラグ条件のための波長はオン−ブラグ垂
直入射条件のための波長より小さいか又は等しくなる。 このことは入射角が垂直以外、即ち傾斜しているときは
ブラグ波長はより小さい波長に変化することを示す。こ
のことは青波長シフトとして知られている。この効果は
ホログラフ面を真直ぐ観察することによって、次いでこ
れを或る角度で観察することによって見出すことができ
る。 真直ぐ見る場合、上記面は緑(長い波長)に見え、傾斜
して見る場合青(短い波長)に見える。数8は、或る入
射角の光でホログラムを再生する場合、波長λB (ブ
ラグ波長)が存在し、特殊な入射角と波長をホログラム
の記録の間に使用できることを示している。(この処理
ではブラグ面を変えなかったものと仮定する。)
【00
58】
【数8】
【0059】従って数9が得られ、これに対しスネルの
法則が適用され、sin θ=n′sin θ′でこれ
は真空における角度に対する媒体内の角度の関係を示す
【0060】
【数9】
【0061】数2に新しい変数を導入して数10を得る
【0062】
【数10】
【0063】両辺を2乗して数11を得る。
【0064】
【数11】
【0065】数11と数2から数12を得る。
【0066】
【数12】
【0067】ここでε2 ≦ν2 であり、yを0、即
ちε2 =ν2 として数13を得る。
【0068】
【数13】
【0069】数13は数2の“転換点”を示し、これは
数2が増加する双曲サイン関数から三角サイン関数に変
化する点である。
【0070】y=0の転換点を定める他の方法は量子力
学で用いるWKBに類似の方法であり、これは公知文献
に示されている。数12は通常ε2 ≦ν2 の条件の
ためのものであり、ε2 >ν2のときは数14を用い
る。
【0071】
【数14】
【0072】これらの式はεに対するηの図30に示さ
れている。転換点はε=±νで示される。−ν間の領域
で数2は数12に応じたサイン関数を含み、この領域外
で数2が数14に応じたサイン関数を含む。従って境界
±νの外側で1つの進歩として単一関数(サインh)か
ら振動関数(サイン)に対する変化がある。垂直入射光
を仮定するとホログラフフィルターのブラグ帯域は数3
においてθ′=0とすることによって定められ、数15
が得られる。
【0073】
【数15】
【0074】数4においてθ′=0とすることによって
数16が得られる。
【0075】
【数16】
【0076】数15はλの関数でλ=λB0、ε=0で
ある。波長λにおいて転換点±ν間の距離はブラグ帯域
として定められる。ブラグ帯域は容易に特定され、ホロ
グラフフィルターによって拒絶される主要部分はこの領
域内に生ずる。この特定によって数17(転換点間の距
離)が得られる。
【0077】
【数17】
【0078】数15を微分することによって数18が得
られる。
【0079】
【数18】
【0080】数16〜18から数19が得られる。
【0081】
【数19】
【0082】回折効率ηが高いと仮定し、η=tan 
h2 ν及び数16からν=πΔnT/λが得られ、ν
=πと設定すればη=99%となる。上述したようにη
=99%であり、2以上のO.D.値が得られる。数1
6においてν=πと設定することにより数20が得られ
る。
【0083】
【数20】
【0084】この数20はη=99%(即ちO.D.>
2 )を達成するため回折インデックスの最小値を定め
る。数20と19から回折効率ηを99%と仮定してホ
ログラフ帯域と厚さ間の関係を示す数21が得られる。
【0085】
【数21】
【0086】数22によって示されるようにΔλはホロ
グラム内の層の数に関連する。
【0087】
【数22】
【0088】数22をn′T′について解を求め、これ
を数21に代入すれば数23が得られる。
【0089】
【数23】
【0090】数23は、若しO.D.が高いと同様狭い
帯域が望ましい場合には多数の層のホログラフフィルタ
ーを用いる。層の数が増えればコストが高くなるが、こ
れが多層誘電体フィルターを提供できない理由である。 然しながら本発明のホログラフフィルターは容易に且つ
廉価に提供することができる。
【0091】図31はλB =0.5μの場合のT,N
及びΔλの種々の値を示す表である。Δλ=5nmを実
現するためには200層が要求されるが、多層誘電体フ
ィルターを得るのは極めて困難である。これに対し本発
明のホログラフフィルターはただ1つの記録工程によっ
てこれらの層の総べてを記録することができる。
【0092】本発明のホログラフフィルターの3つの基
本的な利点はΔλが狭いこと(Nが大きい)、O.D.
が高いこと(Nが大きいためTが極めて大きく、従って
Δnが小さく記録が容易である)、及び結局二次的最大
値が抑制されることである。この後者の利点によって本
発明のホログラフフィルターのための二次的最大値の影
響が少ないことが判る。数14から二次的最大値の大略
の位置を計算することができる。図30から二次的最大
値のための回折効率ηは大きいことが知られているので
数14のファクターy2 /sin2yは局部的最大値
を有しなければならない。
【0093】
【数24】
【0094】数24においてsin yはhができるだ
け高くなるよう略1でなければならない。図30から明
らかなように二次的最大値に達する前にη=0となる点
があるので最初の零位置が転換点ε=±νよりも更に離
れていることを知ることができる。
【0095】転換点の位置は数10でy=0とすれば求
められ、数25のようになる。
【0096】
【数25】
【0097】図32からy=0である最初の転換点の位
置をプロットすることができる。最初の零がy=πの点
でプロットできる。最初の二次的最大値はy>πの位置
でプロットでき略数26のようになる。
【0098】
【数26】
【0099】数10のyがy1 であればνは基本的に
一定であるから数27が得られる。
【0100】
【数27】
【0101】ここでy2 は数26の3π/2の位置に
本質的に定められ、ν2 はπの位置に定められ、η=
99%に維持されていれば数28が得られる。
【0102】
【数28】
【0103】数18でε1=2πnTΔλ1 /λ2 
とし、これに数5を代入すれば数29が得られる。
【0104】
【数29】
【0105】数28に示すようにε1 が一定であり、
若しTが増加すればΔλ1 /ΔλB は減少しなけれ
ばならず、Δλ1=λ1 −λB である。これは波長
λ目盛上の総べての最大値の位置がブラグ波長λB に
より近づく。 図35に示す最大値は図36に圧縮して示されている。 Tを増加することによってλのカーブに対するηの最大
値を求めることができ、同時にホログラフフィルターシ
ステム内のレーザー効果を得ることができる。
【0106】結局、Tが更に増加すれば、完全に均一な
例で吸収が無いものと仮定すれば本発明のホログラフフ
ィルターの3つの一般的な利益が改良される。Tは、層
の数Nが増加すれば増加する。このNの増加は本発明の
ホログラフフィルターでは容易であるが従来のフィルタ
ーではコスト的に不可能である。
【0107】上述のように多層誘電体フィルターに対す
る本発明のホログラフミラーの利点は完全に均一なコゲ
ルニクのモデルを仮定して説明された。ここで使用した
二次的最大値は完全に均一なモデルの例である。格子定
数Λ、回折インデックスバイアスn′及びZの関数とし
ての回折インデックスΔnを変えることによって他の自
由度が得られるという利点がある。かかる利点の1つは
フィルターの最大値又はサイドローブの抑制である。サ
イドローブは均一及び不均一の例の両方における二次的
最大値の記述として一般的に用いられる。
【0108】従来の多層ルゲートフィルターは理論的ベ
ースでは回折インデックスの大きさは不均一とすること
によって二次的最大値の抑制のみを達成することができ
る。このような不均一ルゲートフィルターを作ることは
高価となるばかりでなく、不均一な大きさの回折インデ
ックスを作ることは通常不均一な格子定数の効果に比べ
て二次的な効果があるのみである。
【0109】表面に垂直なチャープを有するリップマン
−ブラグミラーを仮定して、即ち数19によって示され
る不均一な格子定数は数30で示すことができる。
【0110】
【数30】
【0111】ここでΔΛ/Λは格子定数の相対的変化を
決定し、これは二次的最大値及びサイドローブの補正の
ためのものとなる。又これは数31に示すブラグ波長シ
フトに略等しいものとなる。
【0112】
【数31】
【0113】二次的最大値は図35,36に示されるよ
うに平均効果によって部分的に支持される。図36はリ
ップマンホログラフフィルターの代表的な実験波長特性
を示す。均一な例の図33と比較すればΛ、Δn及びn
′の不均一性、ホログラムの物質吸収のような多くの附
加的効果の組合せにより二次的最大値が抑制される。 これは分光分析及びスペクトル分割フィルターの特別な
利点である。分光分析のためのホログラフフィルターは
通常非常に狭い波長特性を有することは古くから知られ
ている。この特性はホログラフフィルターの許容角度を
狭くし、システム設計の間に考えるべきである。本発明
のホログラフフィルターの青へのシフトはθ′<<1で
ある数32によって検討される。
【0114】
【数32】
【0115】この式はΔλB =λB0θ2 /2と簡
略化でき、フィルターの許容角度を数33によって定め
ることができる。
【0116】
【数33】
【0117】従って本発明のフィルターは特殊な波長λ
のみならず、特殊な角度の入射光をも拒絶するために用
い得る。ΔλB があまりに広い場合には所望の波長が
拒絶されるようになる。然しながらあまりに狭い場合に
は数30により許容角度が極めて狭くなる。従ってΔλ
B は処理の間不均一な縮小/膨張によって最適値とさ
れる。同時に入射レーザー光は指向性が良いので許容角
度の制限はフィルターの用途に限定を加えることはない
。 本発明の他の実施例においては図37に示すように特定
な入射光99に対称に調節した湾曲フィルター102を
用いる。尚100は拡散媒体、104は光検出器である
。本発明の他の実施例では図38に示すように入射レー
ザー光106をレンズ108によって媒体110内に拡
散せしめる。この実施例ではフィルター112の湾曲を
光波面の幾何学的形状で調整せしめる。
【0118】図39に示すように格子定数がΛ1 ,Λ
2 ,Λ3 である本発明の多数のフィルター素子を重
ね合せて分光光学的ホログラフフィルターの基本的概念
を一般化することができる。Λ=λ/2n′であるから
このような結合フィルターは波長λ01,λ02,λ0
3の周りの3つの窓を拒絶する。本発明の更に他の実施
例では図40に示すようにレーザー光エネルギーがフィ
ルター114によって拡散媒体116に向って反射され
再びフィルター114に反射され、λ≠λ0 の光のみ
が通過し検出器118によって検出される。
【0119】本発明の範囲は上記実施例に限定されるも
のではなく種々変更できることは勿論である
【図面の簡単な説明】
【図1】波長に対する光学密度の関係を示す線図である
【図2】波長に対する透過率の関係を示す線図である。
【図3】波長に対する光学密度の変化をプロットした図
である。
【図4】拡散媒体によるレーザビームの拡散説明図であ
る。
【図5】誘電体多層反射フィルターの説明図である。
【図6】ファブリーペローエタロンフィルターの説明図
である。
【図7】誘電体多層反射フィルターのための反射率と波
長の関係説明図である。
【図8】ファブリーペローエタロンフィルターのための
透過率と波長の関係説明図である。
【図9】誘電体多層反射フィルターのための回折インデ
ックスnの二次周期的変化の説明図である。
【図10】多層誘電体反射フィルターのための回折イン
デックスの正弦波状変化の説明図である。
【図11】本発明のホログラフフィルターと回折インデ
ックスの変化を示す説明図である。
【図12】リップマンホログラフフィルター記録の説明
図である。
【図13】波長に対する光学密度の関係において所望の
波長と濾過されるべき波長の説明図である。
【図14】あるブラグ面構造を有するリップマンホログ
ラフ光学素子の説明図である。
【図15】同じく他のブラグ面構造を有するホログラフ
光学素子の説明図である。
【図16】同じく更に他のブラグ面構造を有するホログ
ラフ光学素子の説明図である。
【図17】同じく集束ホログラフ光学素子の説明図であ
る。
【図18】多色入射光に用いる本発明フィルターの説明
図である。
【図19】その波長と光学密度の関係を示す線図である
【図20】ファブリーペローエタロン伝達ホログラフフ
ィルターの説明図である。
【図21】その波長に対する透過率の関係を示す線図で
ある。
【図22】多層リップマンホログラフフィルターの除去
特性線図である。
【図23】本発明の異なる大きさのホログラフフィルタ
ーのZに対する回折インデックスの変化を示す線図であ
る。
【図24】本発明のバイアスの異なるホログラフフィル
ターのZに対する回折インデックスの変化を示す線図で
ある。
【図25】本発明の格子定数の異なるホログラフフィル
ターのZに対する回折インデックスの変化を示す線図で
ある。
【図26】オン−ブラグ条件のための媒体における光の
ベクトルK′と格子ベクトルKを示す図形である。
【図27】本発明のホログラフフィルターの拒絶を示す
ための結合効率ηと結合定数ν間の関係を示す線図であ
る。
【図28】本発明の完全に均一なコゲルニクホログラフ
フィルターを示す図である。
【図29】本発明の他の完全に均一なコゲルニクホログ
ラフフィルターを示す図である。
【図30】ηとεと転換点±ν間の関係を示す線図であ
る。
【図31】厚さTの層の数N及び帯域幅Δλの数値を示
す表である。
【図32】εを定める式の転換点と、最初の零点と最初
の二次的最大値のサインカーブ上の位置を示す線図であ
る。
【図33】二次的最大値が抑制されていない場合のηと
λの関係を示す線図である。
【図34】二次的最大値が抑制されている場合のηとλ
の関係を示す線図である。
【図35】格子定数Λが変化した本発明のフィルターを
示す説明図である。
【図36】O.D.カーブが変化した本発明のフィルタ
ーを示す説明図である。
【図37】湾曲フィルターを用いた本発明の一実施例を
示す説明図である。
【図38】本発明の他の実施例を示す説明図である。
【図39】本発明の結合されたホログラフフィルターの
説明図である。
【図40】本発明の他の実施例を示す説明図である。
【符号の説明】
20  リップマンホログラフフィルター22  ブラ
グ面 24  曲線 26  ホログラフ材料 28  ミラー 30  グラフ 32  グラフ 34  カーブ 36  ミラー 40  レーザー光 42  反射光 46  レーザー光 48  ホログラフフィルター 52  通過光 56  ミラー 58  反射レーザー光 62  入射レーザー光 64  レーザー光 66  レーザー光 68  湾曲ブラグ面 T  厚さ R  反射率 T′  透過率 ν  結合定数 η  回折効率 λ0   波長 n′  平均回折インデックス n  回折インデックス Δn  回折インデックスの偏差 A/S  吸収と拡散 Λ  格子定数 K  格子ベクトル O.D.  光学密度 S  拡散媒体

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  分光装置におけるリップマンホログラ
    フブラグフィルター。
  2. 【請求項2】  上記フィルターがホログラフローマン
    フィルターである請求項1記載のリップマンホログラフ
    ブラグフィルター。
  3. 【請求項3】  分光装置において準単色平行入射光を
    排除するリップマンホログラフブラグフィルター。
  4. 【請求項4】  光がレーザー光である請求項3記載の
    リップマンホログラフブラグフィルター。
  5. 【請求項5】  波長測定メーターに対する入射光を濾
    過するリップマンホログラフブラグフィルター。
  6. 【請求項6】  上記メーターが分光器である請求項5
    記載のリップマンホログラフブラグフィルター。
  7. 【請求項7】  波長λ0 の入射レーザー光から波長
    測定機構を保護し、波長λ0 以外の光を濾過せしめて
    精度を向上しノイズに対する信号の割合を増加せしめる
    リップマンホログラフブラグフィルター。
  8. 【請求項8】  ブラグホログラムを有する分光装置に
    おけるフィルター。
  9. 【請求項9】  ホログラム内のブラグ面が傾斜してい
    る請求項8記載のフィルター。
  10. 【請求項10】  ホログラム内のブラグ面が湾曲して
    いる請求項8記載のフィルター。
  11. 【請求項11】  特定な点に対する望ましくない光を
    集束するためホログラム内のブラグ面が湾曲している請
    求項8記載のフィルター。
  12. 【請求項12】  ホログラム内で格子定数が変化して
    いる請求項8記載のフィルター。
  13. 【請求項13】  ホログラム内で回折インデクスの大
    きさが変化している請求項8記載のフィルター。
  14. 【請求項14】  ホログラム内で回折インデクスプロ
    フィルが変化している請求項8記載のフィルター。
  15. 【請求項15】  ホログラムが僅かに吸収性である請
    求項8記載のフィルター。
  16. 【請求項16】  ホログラム面に垂直な軸に関して格
    子定数が変化している請求項8記載のフィルター。
  17. 【請求項17】  回折インデックスプロフィルが準矩
    形である請求項8記載のフィルター。
  18. 【請求項18】  回折インデックスプロフィルが正弦
    波状である請求項8記載のフィルター。
  19. 【請求項19】  ホログラム内で回折インデックスが
    変化している請求項8記載のフィルター。
  20. 【請求項20】  回折インデックスプロフィルのバイ
    アス及び大きさが変化している請求項8記載のフィルタ
    ー。
  21. 【請求項21】  レーザー光を多数の波長の光に拡散
    する拡散媒体に波長λ0 のレーザー光が入射される装
    置において、波長λ0 に近い波長の光を排除するリッ
    プマンブラグホログラム。
  22. 【請求項22】  ホログラフファブリーペローエタロ
    ン伝達フィルターを有する分光装置におけるフィルター
  23. 【請求項23】  不均一性及び物質吸収性によって二
    次的最大値が抑制されている不均一リップマンブラグフ
    ィルター。
  24. 【請求項24】  拡散媒体に入射する光レーザのレー
    ザー光源と、拡散媒体の化学的組成を決定するため拡散
    媒体から拡散される光の波長を測定するための分光器と
    を有する装置において、レーザー光源からの光を遮断す
    るフィルター。
  25. 【請求項25】  限定された格子定数を有する各ホロ
    グラムを単一または多層で有するブラグホログラムの多
    数セットを有する分光装置におけるフィルター。
  26. 【請求項26】  分光装置における湾曲ホログラムブ
    ラグフィルター。
  27. 【請求項27】  ホログラム分光ローマンフィルター
  28. 【請求項28】  濾過、集束、イメージング、又は拡
    散の波面処理の1つを実行する分光装置におけるホログ
    ラフ光学素子ブラグフィルター。
  29. 【請求項29】  分光装置におけるホログラフ光学素
    子ブラグフィルター。
  30. 【請求項30】  50以上のブラグ面を有するホログ
    ラフブラグフィルター。
  31. 【請求項31】  多色光を2又はそれ以上の部分に分
    割する垂直方向に不均一な格子定数を有し、従って1つ
    又はそれ以上の分光帯域を排除し、二次的最大値を減少
    し伝達されるスペクトルを滑らかならしめるリップマン
    ブラグホログラフフィルター。
  32. 【請求項32】  多色光を2又はそれ以上の部分に分
    割する垂直方向に不均一な格子定数を有し、従って1つ
    又はそれ以上の分光帯域を排除し、サイドローブを減少
    し伝達されるスペクトルを滑らかならしめるリップマン
    ブラグホログラフフィルター。
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