CN103134587A - 一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路 - Google Patents

一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路 Download PDF

Info

Publication number
CN103134587A
CN103134587A CN2013100344086A CN201310034408A CN103134587A CN 103134587 A CN103134587 A CN 103134587A CN 2013100344086 A CN2013100344086 A CN 2013100344086A CN 201310034408 A CN201310034408 A CN 201310034408A CN 103134587 A CN103134587 A CN 103134587A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
spectrum
grating
light splitting
imaging system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2013100344086A
Other languages
English (en)
Inventor
蓝天
顾美霞
于跃
吴洪波
倪国强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Institute of Technology BIT
Original Assignee
Beijing Institute of Technology BIT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Institute of Technology BIT filed Critical Beijing Institute of Technology BIT
Priority to CN2013100344086A priority Critical patent/CN103134587A/zh
Publication of CN103134587A publication Critical patent/CN103134587A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)

Abstract

本发明涉及一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路,在此系统光路中采用体全息光栅作为分光元件。经过前置成像物镜、狭缝、准直物镜的平行光在全息元件处进行衍射分光,分光后经成像物镜会聚并成像在像面上,由CCD探测接收,整套系统体积小、结构紧凑,光线可直进直出、光能利用率高、分光性能好。

Description

一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路
技术领域
本发明涉及一种基于体全息光栅分光组件的光谱分光成像系统光路。
背景技术
光谱分光系统是成像光谱仪的核心,根据分光原理分光系统可分为色散式和调制式两大类。目前调制式的仅有傅里叶变换光谱仪一种较为成熟。色散式主要应用的有棱镜、光栅、干涉仪三种。
棱镜分光系统色散率低,分光性能较差。光栅分光系统具有宽的光谱测量范围和高的分辨率,但普通平面衍射光栅存在光谱叠级现象,而且在传统的棱镜或光栅光谱仪器中,往往存在一个偏向角问题,即入射光束和出射光束不在同一条轴线上。这样构成的系统属典型的离轴系统,存在着体积大、装调困难、稳定性差等缺陷。干涉色散系统具有突出的分辨率和光通量性能,但自由光谱范围很窄,结构和装调复杂。傅里叶分光系统虽然综合性能较高,但受现阶段干涉系统极限光程差和光程差变化间隔的限制,目前优势主要体现在红外波段。
发明内容
本发明要解决的问题是克服现有技术的不足,提供一种新型成像光谱仪光路系统。此系统采用三块体全息光栅作为分光元件,高的衍射效率提高了整个系统的光能利用率,且入射光与出射光同轴,便于观察。此光谱仪小型化、结构紧凑、可直视,在可见光范围内具有很高的成像质量。
系统包括前置望远物镜、狭缝、准直物镜、分光元件、成像物镜和CCD探测器。位于远处的物体经望远物镜成像在狭缝处,狭缝作为视场光阑,对入射光束进行限制,进入狭缝的光经准直物镜准直为平行光到达分光元件,分光元件由三块体全息光栅组成,每块全息光栅具有不同的厚度和光栅常数,光线经全息元件的衍射作用分光,经成像物镜成像在像面上,由CCD探测和接收。
上述分光元件为透射型体全息光栅,由光致聚合物材料制成,衍射效率可达90%以上,为了保证系统达到直视性,即光线直进直出,三块光栅具有不同的厚度,且在曝光记录过程中,制作光路各不相同,从而使三块光栅具有不同的光栅矢量、光栅常数,且对同一波长的光具有不同的布拉格角。
采用上述技术方案后,本发明所提供的方法具有这样的有益效果。体全息光栅高的衍射效率使得光能利用率增加,系统色散率高、光谱范围宽、无光谱叠级现象,光线经全息分光元件可直进直出,整套系统结构紧凑、装调简单、稳定性强。在航天航空遥感光谱成像中具有很大的应用潜力和优势,其结构紧凑和直视型特点也适用于显微超光谱成像系统。
附图说明
图1是成像光谱仪光路系统组成原理图;
图2为透射型体全息光栅分光原理图;
图3为透射型体全息光栅记录光路图;
图1中:前置望远物镜1狭缝2准直物镜3全息分光组件4成像物镜5CCD探测6;
图2中:保护玻璃1透射型体全息2光栅基板3;
图3中:激光器1电子快门2偏振分光棱镜3反射镜4空间滤波器5准直透镜6全息干板7λ/2波片8偏振片9。
具体实施方式
如图1所示远处的目标经望远物镜1成像在狭缝2处,进入狭缝的光经过准直物镜3到达全息分光组件4进行分光,平行光束经分光后由成像物镜5成像在像面处,由CCD探测器6接收。
准直物镜和成像物镜是光谱成像系统的重要组成部分,准直物镜把通过狭缝的光线准直后入射至分光器件,成像物镜则把色散光线会聚成像在像平面上。对于成像光谱仪,其能量利用率是系统重要性能指标,因此,在设计准直物镜和成像物镜时,应尽量增大相对孔径。
当CCD的尺寸选定,即成像面的谱面宽度一定,根据所需的光谱范围即可确定线色散率。光栅的线色散率
Figure BDA00002788899500031
和成像物镜焦距f2的函数关系为
其中k是衍射级次,d是光栅常数,
Figure BDA00002788899500033
是波长为λ的入射光的衍射角,σ是光谱像平面相对垂轴平面的夹角。成像物镜的焦距f2选定后,便可确定光栅常数d。
成像物镜的全视场可根据以下公式计算
FFOV = 2 arctan [ ( H λ 2 + H x 2 2 f 2 ) · cos σ ] - - - ( 2 )
其中Hx、Hλ分别是像平面上空间维和光谱维方向的长度。
考虑到准直物镜和成像物镜对像差的校正有所不同,在选取准直物镜和成像物镜完全相同的结构时,可仅设计对像差校正严格的成像物镜,准直物镜采取它的倒置形式。
为了保证系统的直视性,即入射光线与出射光线平行,分光系统采用图2所示的三块体全息光栅的组合结构。如图2所示,平行光线垂直入射到第一块全息光栅,衍射光再以布拉格角度入射到第二块光栅,出射光经最后一块光栅衍射后射出,整个系统设计以532nm波长的光为中心波长,第一块全息光栅的倾斜角θ,入射光水平入射,确保中心波长的光束直进直出。
与棱镜分光相比,体全息光栅具有以下特点:
(1)衍射方向由布拉格衍射条件决定,因此可以通过调整入射角度实现波段范围的选择;
(2)可以实现高衍射效率与较高光栅线密度的结合,同时可获得与偏振角度方向较低关联的高色散率;
(3)可制成较大尺寸的光栅元件;
(4)体全息光栅体积小、重量轻,可简化光谱仪器结构,提高设计效率;
(5)光栅外层有一层保护膜和玻璃,形成密闭空间,具备高稳定性;
(6)复制工艺简单,适于批量生产。
衍射效率是分光光栅的重要参数。由DCG材料制成的全息光学元件具有高的衍射效率和分辨率,但DCG的后期处理工艺复杂,由于明胶的涨缩,难以获得稳定的光学性能,此外DCG在自然环境中不稳定,对使用环境湿度很敏感,在高温、高湿下容易消像。本发明采用光致聚合物制作体全息光栅,经相干曝光后经过简单的处理即可,且制得的体全息光栅具有高衍射效率、高灵敏度、高分辨率、光谱响应宽、存储稳定等优点。
利用光致聚合物制作全息光栅的具体记录过程如图3所示,激光器1发出的光经偏振分光棱镜3分为振动方向互相垂直的两束线偏振光,其中一束经过λ/2波片8,调整光束与波片快慢轴的夹角,使其振动方向偏转90°,之后两束光分别通过偏振片9,经反射镜4、空间滤波器5、准直透镜6,最后以平行光在全息干板7上发生干涉,记录过程中需注意调整两束光光程相等。其中电子快门2用来控制曝光时间,所用器件参数如表1所示。
表1实验所用器件参数
器件名称 器件参数
半导体激光器 波长532nm,功率0-300mW
电子快门 Φ12.5
偏振分光棱镜 Φ25.4,波长范围450-650nm
λ/2波片 Φ25.4,波长532nm
偏振片 Φ25.4偏振比500:1
反射镜 Φ40波长532nm
空间滤波器 40×,3个针孔
记录所得体全息光栅的光栅周期由下式求得:
2Λsinθb=λ    (3)
其中Λ为光栅周期,θb为记录光夹角的一半,λ为记录光波长。当入射光束以布拉格角入射,即满足:
2Λsinθ=±λ    (4)
衍射效率可大于95%,其中θ为光束入射角。
为了保证光束直进直出,三片光栅在记录过程中,改变两光束的夹角,
从而使光栅具有不同光栅周期、光栅矢量等,分光时光束以532nm光的布拉格角度入射,提高光能利用率。
此系统色散率高、光谱范围宽、无光谱叠级现象,光线经全息分光组件可直进直出,在可见光范围内成像质量达到表2所示参数要求。
表2光谱成像仪系统参数
指标
探测器尺寸大小 7.6mm×7.6mm
探测器像元尺寸 25μm×25μm
光谱范围 360nm~760nm
物方数值孔径 0.18
系统总长 100mm
光谱像元分辨率 约1.33nm/pixel
本发明所述全息分光组件具有以下几种特性:
(1)相比较于色散棱镜,此分光元件因使用体全息衍射光栅,能实现线性色散,并具有较高的色散率;
(2)透射型体全息光栅可以通过改变光栅周期、折射率调制度、光栅厚度来灵活地改变不同波长范围;
(3)由于采用透射型体全息光栅,分光元件的衍射效率可达75%以上,且衍射效率与光束的偏振特性无关;
(4)整套光谱仪光路系统结构简单、稳定性高。

Claims (3)

1.一种基于体全息光栅分光组件的光谱分光成像系统光路,其设计要点在于:选取准直物镜和成像物镜完全相同的结构时,可仅设计对像差校正严格的成像物镜,准直物镜采取它的倒置形式。
2.根据权利要求1所述一种基于体全息光栅分光组件的光谱分光成像系统光路,其特征在于:分光元件为透射型体全息光栅,光栅由光致聚合物材料制成,衍射效率可达93%以上。体全息光栅的高衍射效率使得光能利用率增加,系统色散率高、光谱范围宽、无光谱叠级现象,光线经全息分光元件可直进直出,整套系统结构紧凑、装调简单、稳定性强。
3.根据权利要求1所述一种基于体全息光栅分光组件的光谱分光成像系统光路,其特征在于:为了保证系统达到直视性,光线直进直出,三块光栅具有不同的厚度,且在曝光记录过程中,制作光路各不相同,从而使得三块光栅具有不同的光栅矢量、光栅常数且对同一波长的光具有不同的布拉格角。
CN2013100344086A 2013-01-29 2013-01-29 一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路 Pending CN103134587A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2013100344086A CN103134587A (zh) 2013-01-29 2013-01-29 一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2013100344086A CN103134587A (zh) 2013-01-29 2013-01-29 一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103134587A true CN103134587A (zh) 2013-06-05

Family

ID=48494718

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2013100344086A Pending CN103134587A (zh) 2013-01-29 2013-01-29 一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103134587A (zh)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103284696A (zh) * 2013-06-21 2013-09-11 清华大学 一种全息荧光分子成像系统及方法
CN103438999A (zh) * 2013-09-02 2013-12-11 南京理工大学 一种组件式透射式成像光谱仪
CN104457987A (zh) * 2014-11-25 2015-03-25 西安应用光学研究所 棱镜分光多路复用多光谱成像装置
CN104515597A (zh) * 2014-12-17 2015-04-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 采用体全息光栅和棱镜组合分光的光谱仪同轴光学系统
CN104748850A (zh) * 2015-03-05 2015-07-01 青岛市光电工程技术研究院 一种光谱成像仪快速装调方法
CN105388546A (zh) * 2015-12-21 2016-03-09 中国工程物理研究院流体物理研究所 一种凹面体全息光栅
CN106908147A (zh) * 2017-02-17 2017-06-30 天津大学 一种基于doe的ctis系统光路
CN106989820A (zh) * 2017-03-29 2017-07-28 长春理工大学 基于同心球聚焦元件的新型多光谱成像光学系统
CN108376902A (zh) * 2016-12-20 2018-08-07 中国航空制造技术研究院 正交体全息光栅固体激光器
CN108761603A (zh) * 2018-05-22 2018-11-06 苏州大学 一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统
CN108761602A (zh) * 2018-05-22 2018-11-06 苏州大学 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法
CN110031430A (zh) * 2019-05-15 2019-07-19 中国工程物理研究院流体物理研究所 双探测器时分复用体全息材料灵敏度实时测试装置及方法
CN110081976A (zh) * 2019-05-21 2019-08-02 中国科学院光电研究院 一种大视场光栅棱镜光谱成像系统
CN110646089A (zh) * 2019-09-24 2020-01-03 安吉九恒健康科技有限公司 一种基于体布拉格光栅的高光谱成像系统
CN111065968A (zh) * 2018-05-22 2020-04-24 苏州大学 一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法
CN111256822A (zh) * 2020-02-17 2020-06-09 北京华泰诺安技术有限公司 一种光谱仪
CN112105898A (zh) * 2018-05-11 2020-12-18 索尼公司 分光测量装置和分光测量方法
CN112964361A (zh) * 2021-02-05 2021-06-15 上海新产业光电技术有限公司 可调谐滤波器、光谱探测装置及光谱信息获取方法
US11085821B2 (en) 2018-08-15 2021-08-10 Boe Technology Group Co., Ltd. Spectrometer and spectral detection and analysis method using the same
US11402267B2 (en) 2018-11-02 2022-08-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Light splitting device and method for manufacturing the same, method for dispersing light, and spectrometer
US11640069B2 (en) 2018-11-02 2023-05-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Light extraction device, detection device, and method for using same

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101377569A (zh) * 2008-09-28 2009-03-04 苏州大学 棱镜-光栅-棱镜光谱成像系统
US8139212B2 (en) * 2008-05-15 2012-03-20 Ondax, Inc. Measurement of volume holographic gratings
CN102507001A (zh) * 2011-10-18 2012-06-20 中国科学院上海技术物理研究所 基于棱镜-光栅-棱镜分光的折反式成像光谱仪光学系统
CN102507510A (zh) * 2011-10-26 2012-06-20 公安部第一研究所 一种多样本光谱影像检测光路系统及方法
CN102661919A (zh) * 2012-05-22 2012-09-12 江西科技师范大学 一种显微超光谱层析三维成像装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8139212B2 (en) * 2008-05-15 2012-03-20 Ondax, Inc. Measurement of volume holographic gratings
CN101377569A (zh) * 2008-09-28 2009-03-04 苏州大学 棱镜-光栅-棱镜光谱成像系统
CN102507001A (zh) * 2011-10-18 2012-06-20 中国科学院上海技术物理研究所 基于棱镜-光栅-棱镜分光的折反式成像光谱仪光学系统
CN102507510A (zh) * 2011-10-26 2012-06-20 公安部第一研究所 一种多样本光谱影像检测光路系统及方法
CN102661919A (zh) * 2012-05-22 2012-09-12 江西科技师范大学 一种显微超光谱层析三维成像装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
郑浩斌 等: "用于实现空间滤波的体布拉格光栅的制备", 《光电工程》 *

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103284696A (zh) * 2013-06-21 2013-09-11 清华大学 一种全息荧光分子成像系统及方法
CN103438999A (zh) * 2013-09-02 2013-12-11 南京理工大学 一种组件式透射式成像光谱仪
CN104457987B (zh) * 2014-11-25 2016-08-24 西安应用光学研究所 棱镜分光多路复用多光谱成像装置
CN104457987A (zh) * 2014-11-25 2015-03-25 西安应用光学研究所 棱镜分光多路复用多光谱成像装置
CN104515597A (zh) * 2014-12-17 2015-04-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 采用体全息光栅和棱镜组合分光的光谱仪同轴光学系统
CN104748850A (zh) * 2015-03-05 2015-07-01 青岛市光电工程技术研究院 一种光谱成像仪快速装调方法
CN105388546A (zh) * 2015-12-21 2016-03-09 中国工程物理研究院流体物理研究所 一种凹面体全息光栅
CN105388546B (zh) * 2015-12-21 2017-09-05 中国工程物理研究院流体物理研究所 一种凹面体全息光栅
CN108376902A (zh) * 2016-12-20 2018-08-07 中国航空制造技术研究院 正交体全息光栅固体激光器
CN108376902B (zh) * 2016-12-20 2020-02-11 中国航空制造技术研究院 正交体全息光栅固体激光器
CN106908147A (zh) * 2017-02-17 2017-06-30 天津大学 一种基于doe的ctis系统光路
CN106989820A (zh) * 2017-03-29 2017-07-28 长春理工大学 基于同心球聚焦元件的新型多光谱成像光学系统
CN106989820B (zh) * 2017-03-29 2018-05-15 长春理工大学 基于同心球聚焦元件的多光谱成像光学系统
CN112105898A (zh) * 2018-05-11 2020-12-18 索尼公司 分光测量装置和分光测量方法
CN108761602B (zh) * 2018-05-22 2020-06-16 苏州大学 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法
CN108761602A (zh) * 2018-05-22 2018-11-06 苏州大学 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法
CN111065968B (zh) * 2018-05-22 2022-02-08 苏州大学 一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法
CN108761603A (zh) * 2018-05-22 2018-11-06 苏州大学 一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统
CN111065968A (zh) * 2018-05-22 2020-04-24 苏州大学 一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法
CN108761603B (zh) * 2018-05-22 2020-06-16 苏州大学 一种制作平行等间距条纹全息光栅的光刻系统
US11085821B2 (en) 2018-08-15 2021-08-10 Boe Technology Group Co., Ltd. Spectrometer and spectral detection and analysis method using the same
US11402267B2 (en) 2018-11-02 2022-08-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Light splitting device and method for manufacturing the same, method for dispersing light, and spectrometer
US11640069B2 (en) 2018-11-02 2023-05-02 Boe Technology Group Co., Ltd. Light extraction device, detection device, and method for using same
CN110031430A (zh) * 2019-05-15 2019-07-19 中国工程物理研究院流体物理研究所 双探测器时分复用体全息材料灵敏度实时测试装置及方法
CN110031430B (zh) * 2019-05-15 2024-03-12 中国工程物理研究院流体物理研究所 双探测器时分复用体全息材料灵敏度实时测试装置及方法
CN110081976A (zh) * 2019-05-21 2019-08-02 中国科学院光电研究院 一种大视场光栅棱镜光谱成像系统
CN110646089A (zh) * 2019-09-24 2020-01-03 安吉九恒健康科技有限公司 一种基于体布拉格光栅的高光谱成像系统
CN111256822A (zh) * 2020-02-17 2020-06-09 北京华泰诺安技术有限公司 一种光谱仪
CN112964361A (zh) * 2021-02-05 2021-06-15 上海新产业光电技术有限公司 可调谐滤波器、光谱探测装置及光谱信息获取方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103134587A (zh) 一种基于体全息光栅组件分光的光谱分光成像系统光路
JP2021511553A (ja) メタサーフェスを用いる偏光状態の生成方法
Millerd et al. Instantaneous phase-shift point-diffraction interferometer
CN105021284B (zh) 一种快速测量任意空间矢量偏振光空间偏振信息的系统及方法
CN103398655B (zh) 一种波长调谐相移点衍射干涉测量方法
CN104320598A (zh) 一种基于ccd阵列像素响应函数频域标定的无像差图像重构方法
CN107449361B (zh) 一种稳定的双波长实时干涉显微装置及其使用方法
US20170010159A1 (en) Real Time Birefringent Imaging Spectrometer Based on Differential Structure
CN102401630B (zh) 空间移相菲索球面干涉仪
CN104713494A (zh) 傅里叶变换移相标定的双波长调谐干涉测试装置及方法
CN109324023B (zh) 一种紧凑型差分干涉成像光谱仪及其成像方法
CN102322956A (zh) 转镜式傅里叶干涉成像光谱仪
CN111065968B (zh) 一种全息光栅光刻系统及其干涉光路自准直的调节方法
US20040114148A1 (en) Miniaturized holographic fourier transform spectrometer with digital aberration correction
CN112556842B (zh) 一种双波段高光谱分辨率闪电高速成像仪
CN103983366A (zh) 斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法
CN108387317A (zh) 一种棱镜型空间外差光谱仪
US20150355027A1 (en) Hyperspectral imaging
CN114894099B (zh) 一种大量程高精度阶梯光栅机械拼接位移检测系统及方法
Velghe et al. Advanced wave-front sensing by quadri-wave lateral shearing interferometry
CN111562002B (zh) 高通量高分辨率高对比度的偏振干涉光谱成像装置及方法
CN107830937B (zh) 双光栅偏振点衍射干涉装置以及波前测试方法
CN207976221U (zh) 一种棱镜型空间外差光谱仪
CN207816210U (zh) 半导体中红外可见光双波长透射式干涉测试装置
CN105739115A (zh) 一种基于反射式闪耀光栅的简化双体Sagnac干涉元件

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130605

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication