JPH04203960A - Humidity responsive material and element - Google Patents

Humidity responsive material and element

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JPH04203960A
JPH04203960A JP2333720A JP33372090A JPH04203960A JP H04203960 A JPH04203960 A JP H04203960A JP 2333720 A JP2333720 A JP 2333720A JP 33372090 A JP33372090 A JP 33372090A JP H04203960 A JPH04203960 A JP H04203960A
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titanium dioxide
moisture
temperature
porous titanium
sintered body
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Tetsuya Nishi
哲也 西
Itaru Sakuma
佐久間 到
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Sekisui Plastics Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To achieve an improved temperature detection property without any hysteresis when temperature is increased or decreased by forming with a porous titanium dioxide sintered body where a non-porous titanium dioxide sphere is aggregated and sintered. CONSTITUTION:A resin-coated porous titanium dioxide sphere is aggregated and it is heated and sintered at a temperature where the porous titanium dioxide sphere is converted to a non-porous property, thus obtaining a porous titanium dioxide sintered body with a high mechanical strength where a non-porous titanium dioxide sphere is aggregated and sintered with a uniform porosity. A temperature-responsive element with it as a moisture-responsive material shows an improved and sensitive temperature-responsive characteristic without any hysteresis when temperature is increased or decreased.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 この発明は感湿材料及び感aX子に関する。さらに詳し
くは、相対湿度の変化を鋭敏かつ正確に検知することか
でき、空気の湿度のコントロールにおけろセンサに好適
な感湿材料及び感湿素子に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application This invention relates to moisture-sensitive materials and axensor. More specifically, the present invention relates to a moisture-sensitive material and a moisture-sensitive element that can sensitively and accurately detect changes in relative humidity and are suitable for use in sensors for controlling air humidity.

(ロ)従来の技術 空気の湿度の変化に応じて変化する物性の変動を検出し
て、空気中の湿度の変動を検知しつる感湿材料について
は古くから知られている。
(B) Prior Art Moisture-sensitive materials that detect changes in the humidity of the air by detecting changes in physical properties that change in response to changes in the humidity of the air have been known for a long time.

このような感湿材料のなかで、空気の湿度の変化に応じ
てその電気抵抗が変動し、この電気抵抗の変化によって
空気の湿度の変化を検知できる感湿素子に用いられるし
のとして、MgCrtO&−TiO,系、ZnOLiz
OVtOs系、Ti0t−SnOts水酸化アパタイト
系などのセラミックスが知られている。
Among such moisture-sensitive materials, MgCrtO& -TiO, system, ZnOLiz
Ceramics such as OVtOs, Ti0t-SnOts, and hydroxide apatite are known.

そして、上記セラミックス以外にも、二酸化チタン(T
iOz)粉末と樹脂(バインダー)との混線物を焼成し
て樹脂分を除去することにより得られる多孔質二酸化チ
タン焼結体を用いた湿度センナは公知である。
In addition to the above ceramics, titanium dioxide (T
A humidity sensor using a porous titanium dioxide sintered body obtained by firing a mixture of (iOz) powder and a resin (binder) to remove the resin component is known.

(ハ)発明が解決しようとする課麗 しかしながら、上記公知の感湿材料である多孔質二酸化
チタン焼結体は、焼結面の二酸化チタン粉末と樹脂との
混練物(グリーン体という)では樹脂分の多い部分と少
ない部分との不均一状態が生じるため、不均一な細孔を
有するものが多い。
(c) Problems to be Solved by the Invention However, the porous titanium dioxide sintered body, which is the above-mentioned known moisture-sensitive material, is a mixture of titanium dioxide powder and resin on the sintered surface (referred to as a green body). Since a non-uniform state occurs between a portion with a large amount of water and a portion with a small amount of water, many of them have non-uniform pores.

このように孔径が不均一なものを感湿材料としrことき
、その抵抗値に変動が生じ易く抵抗値特性が直線として
得られにくい。このことは湿度センサの設計上好ましく
なく、得られる湿度センサは精度の低いものとなる。
When a moisture-sensitive material having such uneven pore diameters is used as a moisture-sensitive material, its resistance value tends to fluctuate, making it difficult to obtain a linear resistance value characteristic. This is not preferable in terms of the design of the humidity sensor, and the resulting humidity sensor has low accuracy.

この点に関し、本発明者らは、先に、個々に樹脂(バイ
ンダー)で被覆された樹脂被覆多孔質二酸化チタン球体
が集合、焼結された多孔質二酸化チタン焼結体が孔径が
均一で検知感度の優れた感湿材料として作用する事実を
見出し、特許出願している(特願平1−242808号
)。
Regarding this point, the present inventors first discovered that resin-coated porous titanium dioxide spheres individually coated with resin (binder) were aggregated and sintered to produce a porous titanium dioxide sintered body with uniform pore diameters. They discovered that the material acts as a moisture-sensitive material with excellent sensitivity, and have filed a patent application (Japanese Patent Application No. 1-242808).

この発明は、かかる知見をざらに発展することによりな
されたものであり、ことに、検知感度が優れるのみなら
ず、湿度検知のヒステリシスがなく正確な湿度検知を行
うことができ、しかも機械的強度にも優れrこ感湿材料
及び感湿素子を提供しようとするものである。
This invention was made by roughly developing this knowledge, and in particular, it not only has excellent detection sensitivity, but also allows accurate humidity detection without hysteresis, and has mechanical strength. It is an object of the present invention to provide a moisture-sensitive material and a moisture-sensitive element that are excellent in terms of temperature and temperature.

(ニ)課題を解決するr二めの手段及び作用かくしてこ
の発明によれば、非多孔質二酸化チタン球体が集合・焼
結されてなる多孔質二酸化チタン焼結体からなる感湿材
料が提供される。さらに、かかる感湿材料からなる感湿
素子が提供される。
(D) Second Means and Effects for Solving the Problems Thus, according to the present invention, there is provided a moisture-sensitive material comprising a porous titanium dioxide sintered body formed by aggregating and sintering non-porous titanium dioxide spheres. Ru. Furthermore, a moisture sensitive element made of such a moisture sensitive material is provided.

この発明は、樹脂被覆多孔質二酸化チタン球体を集合し
、これを、当該多孔質二酸化チタン球体が非多孔質に変
換する温度下で加熱・焼結することにより、非多孔質二
酸化チタン球体が均一な多孔度で集合・焼結されてなる
機械的強度の高い多孔質二酸化チタン焼結体が得られる
事実、並びに、かかる多孔質二酸化チタン焼結体を感湿
材料とした感湿素子が、昇温、降温におけるヒステリシ
スのない優れた鋭敏な感湿特性を示す事実の発見に基づ
くものである。
In this invention, resin-coated porous titanium dioxide spheres are assembled and heated and sintered at a temperature that converts the porous titanium dioxide spheres into non-porous, thereby forming uniform non-porous titanium dioxide spheres. The fact that a porous titanium dioxide sintered body with high mechanical strength can be obtained by aggregating and sintering with a porosity of This is based on the discovery of the fact that it exhibits excellent and sensitive moisture-sensing characteristics without hysteresis in temperature and temperature drops.

この発明の感湿材料は、二酸化チタン粉体から一旦製造
される樹脂被覆(複合)多孔質二酸化チタン球体をII
成要素として集合し、これをさらに加圧・焼結して構成
される多孔質二酸化チタン焼結体からなる。かかる特定
の焼結体は、例えば、下記方法により製造することがで
きる。すなわち、親油化剤で表面処理された二酸化チタ
ン粉体と、重合性ビニル系モノマの混合物を調製し、ま
た場合によっては上記モノマと相溶性でかつ水と実質的
に相溶性を有しない有機溶剤を上記混合物に添加し、上
記混合物における二酸化チタン粉体の増量に伴う粘度の
上昇を抑え、二酸化チタン粉体の添加量範囲を拡大する
と共に、水系での上記混合物の油滴状分散において、個
々の油滴を球状に分散保持することを可能とさせ、これ
らにより個々の油滴内において分散された二酸化チタン
粉体(−次粒子)を球状に集合して、−旦、樹脂被覆(
複合)多孔質二酸化チタン球体を製造し、これをさらに
所定の形状に集合して加圧成形した後、所定温度下で加
熱して被覆樹脂を除去すると共に焼結して多孔体化する
方法である。
The moisture-sensitive material of this invention consists of resin-coated (composite) porous titanium dioxide spheres that are once produced from titanium dioxide powder.
It consists of a porous titanium dioxide sintered body that is assembled as components and then further pressurized and sintered. Such a specific sintered body can be manufactured, for example, by the method described below. That is, a mixture of titanium dioxide powder surface-treated with a lipophilic agent and a polymerizable vinyl monomer is prepared, and in some cases, an organic material that is compatible with the above monomer and is substantially incompatible with water is prepared. Adding a solvent to the above mixture suppresses the increase in viscosity due to an increase in the amount of titanium dioxide powder in the above mixture, expands the range of addition amount of titanium dioxide powder, and in oil droplet dispersion of the above mixture in an aqueous system, This makes it possible to disperse and hold individual oil droplets in a spherical shape, and as a result, the titanium dioxide powder (secondary particles) dispersed within each oil droplet is aggregated into a spherical shape, and then the resin coating (
Composite) A method in which porous titanium dioxide spheres are manufactured, which are then assembled into a predetermined shape, pressure molded, and then heated at a predetermined temperature to remove the coating resin and sintered to become a porous body. be.

上記方法において、表面処理された二酸化チタン粉体と
は、(二酸化チタン)粉体が、使用する重合性ビニル系
モノマの重合以前に表面処理されていれさえすればよい
ことを意味する。従って、二酸化チタン粉体が、重合性
ビニル系モノマ中または該モノマと所定の有機溶剤との
混合物中に添加される以前龜、予め表面処理されていて
もよく、また、重合性ビニル系モノマと所定の有機溶剤
と表面処理に用いる親油化剤との混合物中に、二酸化チ
タン粉体を添加して表面処理するものであってもよい。
In the above method, the surface-treated titanium dioxide powder means that the (titanium dioxide) powder only needs to be surface-treated before polymerization of the polymerizable vinyl monomer used. Therefore, the titanium dioxide powder may be surface-treated in advance before being added to the polymerizable vinyl monomer or a mixture of the monomer and a predetermined organic solvent. The surface treatment may be performed by adding titanium dioxide powder to a mixture of a predetermined organic solvent and a lipophilic agent used for surface treatment.

上記表面処理とは、二酸化チタン粉体を上記親油化剤と
接触させて該粉体表面に上記親油化剤を吸着または結合
させる処理をいう。該処理は通常の機械的方法等により
達成される。すなわち、親油化剤と二酸化チタン粉体と
からなる混合物、又は親油化剤と二酸化チタン粉体と重
合性ビニル系モノマとからなる混合物を、常温又は冷却
下で、例えばプロペラ翼又はホモジナイザ等で高速撹拌
することにより達成される。
The above-mentioned surface treatment refers to a treatment in which the titanium dioxide powder is brought into contact with the above-mentioned lipophilic agent and the lipophilic agent is adsorbed or bonded to the surface of the powder. This treatment is accomplished by conventional mechanical methods and the like. That is, a mixture of a lipophilic agent and titanium dioxide powder, or a mixture of a lipophilic agent, titanium dioxide powder, and a polymerizable vinyl monomer is heated at room temperature or under cooling using, for example, a propeller blade or a homogenizer. This is achieved by stirring at high speed.

この除用いる二酸化チタン粉体は、通常の二酸化チタン
粉末を用いることができ、その粒径としては001〜2
.0μmの間であることが好ましく、0.1〜15μm
が好ましい。
As the titanium dioxide powder used for this removal, normal titanium dioxide powder can be used, and its particle size is 001 to 2.
.. Preferably between 0 μm and 0.1 to 15 μm
is preferred.

前記親油化剤は、上記二酸化チタン粉体に強力に吸着あ
るいは結合する官能基を有し、かつ、重合性ビニル系モ
ノマと親和性の高い炭化水素、あるいは該モノマと結合
しうる官能基を有する物質を用いることができる。この
ようなものとしてはたとえば、オレイン酸、ステアリン
酸、パルミチン酸等の高級脂肪酸、アクリル酸、メタク
リル酸等の不飽和カルボン酸及び、アミノエチルアクリ
レート、ヒドロキンエチルアクリレート、シアノエチル
アクリレート等の極性基を有するアクリル酸エステル、
チタネートカップリング剤、シランカップリング剤等の
カップリング剤等を挙げることができる。この中でも、
チタネートカップリング剤やシランカップリング剤の様
に、二酸化チタン粉体と強力に結合する官能基を有する
ものが好ましい。例えば、チタネートカップリング剤と
しては、ピロホスフェート型の親油基を有するイソプロ
ピルトリス(ジオクチルピロホスフェート)、ビス(ジ
オクチルピロホスフェート)チタネートが挙げられ、ホ
スフェート型の親油基を有するものとしてはテトラオク
チルビス(ジトリデンルホスフェート)チタネート等が
挙げられ、シランカップリング剤であれば、ビニル基を
有するもの、例えばビニルトリクロルシラン、ビニルト
リメトキシンラン、γ−メタクリルオキンブロビルトリ
メトキシシラン等が挙げられる。
The lipophilic agent has a functional group that strongly adsorbs or binds to the titanium dioxide powder and has a high affinity for the polymerizable vinyl monomer, or a functional group that can bind to the monomer. It is possible to use a substance that has Examples of such substances include higher fatty acids such as oleic acid, stearic acid, and palmitic acid, unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid, and polar groups such as aminoethyl acrylate, hydroquine ethyl acrylate, and cyanoethyl acrylate. acrylic ester having
Coupling agents such as titanate coupling agents and silane coupling agents can be mentioned. Among these,
Preferably, the agent has a functional group that strongly binds to titanium dioxide powder, such as a titanate coupling agent or a silane coupling agent. For example, titanate coupling agents include isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) and bis(dioctyl pyrophosphate) titanate, which have a pyrophosphate type lipophilic group, and examples of titanate having a phosphate type lipophilic group include tetraoctyl tris(dioctyl pyrophosphate) and bis(dioctyl pyrophosphate) titanate. Examples include bis(ditrideneruphosphate) titanate, and examples of silane coupling agents include those having a vinyl group, such as vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxinelan, and γ-methacryloquinebrobyltrimethoxysilane. It will be done.

訂記重合性ビニル系モノマとしては、水系に分散された
状態で球状の油滴として存在でき、かつ重合条件下で重
合体を形成しうるモノマであれば、公知のものをそのま
ま使用することができる。かかるモノマは、1種で用い
られてもよく、2種以上で用いられてもよく、またさら
に、公知の架橋剤と併用されて用いられてもよい。上記
モノマとしては、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル
等のアクリル酸エステル、メタクリル酸メチル、メタク
リル酸エチル等のメタクリル酸エステルおよびスチレン
等の芳香族ビニル化合物が好適なものとして挙げられる
。上記架橋剤としては、例えば、エチレングリコールジ
メタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリ
レートおよびトリメチロールプロパントリメタクリレー
トの様な多価アルコールのメタクリル酸エステルや、ジ
ビニルベンゼン等が好適なものとして使用できる。また
、前記重合開始剤としては、使用する重合性ビニル系モ
ノマに可溶なものであればよく、例えば通常使用される
過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、過酸化ジアセチ
ル等の過酸化物およびアゾビスイソブチロニトリル、ア
ゾビスジメチルバレロニトリル等のアゾ化合物等を挙げ
ることができる。
Note: Any known polymerizable vinyl monomer can be used as is, as long as it can exist as spherical oil droplets when dispersed in an aqueous system and can form a polymer under polymerization conditions. can. Such monomers may be used alone or in combination of two or more, or may be used in combination with a known crosslinking agent. Suitable monomers include acrylic esters such as methyl acrylate and ethyl acrylate, methacrylic esters such as methyl methacrylate and ethyl methacrylate, and aromatic vinyl compounds such as styrene. Suitable examples of the crosslinking agent include methacrylic acid esters of polyhydric alcohols such as ethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, and trimethylolpropane trimethacrylate, divinylbenzene, and the like. The polymerization initiator may be any initiator as long as it is soluble in the polymerizable vinyl monomer used, such as commonly used peroxides such as benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, and diacetyl peroxide; Examples include azo compounds such as isobutyronitrile and azobisdimethylvaleronitrile.

前記有機溶剤としては、上記重合性ビニル系モノマと相
溶性で、かつ水と実質的に相溶性を存しないものが用い
られる。水と実質的に相溶性を有しないとは、水に不溶
ないしは微溶性のものを意味する。またこの有機溶剤は
、下記する二酸化チタン粉体と重合性ビニル系モノマと
からなる混合物の粘度調整に用いられるものであり、従
って常温で3.0センチポイズ(CP)以下の粘度を有
するものが好ましく、さらに用いられる重合性ビニル系
モノマと親和性を有するものが好ましい。このような有
機溶剤としては、酢酸メチル、酢酸エチル等の酢酸エス
テル、ヘキサン、ヘプタン等の炭化水素、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類あるいは
ベンゼン、トルエン等の芳香族炭化水素等が挙げられる
。 ・前記製法において、上記した親油化剤で表面処理
された二酸化チタン粉体、重合性ビニル系モノマ、必要
に応じて添加される有機溶剤等により、まずスラリ状の
混合物が調製される。このスラリの調製に際して、二酸
化チタン粉体は、重合性ビニル系モノマ100重量部に
対して、通常150〜1300重量部の範囲で用いられ
、得られる二酸化チタン粒子の多孔質度および球形度の
点から、230〜1000重量部の範囲で用いられるこ
とが好ましい。また親油化剤は、親油化剤の最小被覆面
積および用いる二酸化チタン粉体の比表面積により決定
されるが、通常二酸化チタン粉体に対して0.2〜30
重量部の範囲で用いられる。また有機溶剤は、上記スラ
リ状混合物を、下記する水系中での分散時において、球
状の油滴に維持できる粘度に調整するための必要量で用
いられる。この量としては、重合性ビニル系モノマ10
0重量部に対して、1〜200重量部の範囲で用いられ
ることが適しており、1〜150重量部の範囲で用いら
れることが好ましい。
The organic solvent used is one that is compatible with the polymerizable vinyl monomer and is substantially incompatible with water. "Substantially incompatible with water" means insoluble or slightly soluble in water. Further, this organic solvent is used to adjust the viscosity of a mixture consisting of titanium dioxide powder and a polymerizable vinyl monomer as described below, and therefore, it preferably has a viscosity of 3.0 centipoise (CP) or less at room temperature. Furthermore, those having affinity with the polymerizable vinyl monomer used are preferable. Examples of such organic solvents include acetic acid esters such as methyl acetate and ethyl acetate, hydrocarbons such as hexane and heptane, ketones such as methyl ethyl ketone and methyl isobutyl ketone, and aromatic hydrocarbons such as benzene and toluene. - In the above manufacturing method, a slurry-like mixture is first prepared from titanium dioxide powder surface-treated with the above-mentioned lipophilic agent, a polymerizable vinyl monomer, an organic solvent added as necessary, and the like. When preparing this slurry, titanium dioxide powder is usually used in an amount of 150 to 1,300 parts by weight based on 100 parts by weight of the polymerizable vinyl monomer, and the porosity and sphericity of the titanium dioxide particles obtained are It is preferable to use it in a range of 230 to 1000 parts by weight. The lipophilic agent is determined by the minimum covering area of the lipophilic agent and the specific surface area of the titanium dioxide powder used, but it is usually 0.2 to 30% of the titanium dioxide powder.
Used in parts by weight. The organic solvent is used in an amount necessary to adjust the viscosity of the slurry mixture to a level that allows it to maintain spherical oil droplets during dispersion in an aqueous system as described below. This amount is 10% of the polymerizable vinyl monomer.
It is suitable to use in a range of 1 to 200 parts by weight, and preferably in a range of 1 to 150 parts by weight, relative to 0 parts by weight.

上記量が200重量部以上の場合は、二酸化チタン粉体
同志を結合する重合体の実質的強度を得ることが困難と
なる点で好ましくない。また重合開始剤は、重合性ビニ
ル系モノマの0.1〜2.0重量%の範囲で用いるのが
好ましい。上記スラリ状混合物は、前述の表面処理と同
様の機械的方法等により、均一なスラリに調製される。
If the above amount is 200 parts by weight or more, it is not preferable because it becomes difficult to obtain substantial strength of the polymer that binds the titanium dioxide powders together. The polymerization initiator is preferably used in an amount of 0.1 to 2.0% by weight of the polymerizable vinyl monomer. The above-mentioned slurry-like mixture is prepared into a uniform slurry by a mechanical method similar to the above-mentioned surface treatment.

上記のごとく調製されたスラリ状混合物は、水系中に分
散され、かつ該混合物中の重合性ビニル系モノマの重合
条件に付される。上記分散は前述と同様の機械的方法に
より達成される。このとき分散条件は、後述する粒径範
囲の樹脂被覆二酸化チタン球体が得られる油滴の大きさ
で分散されるように設定される。上記重合は、用いる重
合性ビニル系モノマの種類に応じて調節することにより
達成されるが、通常の@濁重合の条件がそのまま適用で
きる。
The slurry mixture prepared as described above is dispersed in an aqueous system and subjected to polymerization conditions for the polymerizable vinyl monomer in the mixture. The dispersion is accomplished by mechanical methods similar to those described above. At this time, the dispersion conditions are set so that resin-coated titanium dioxide spheres having a particle size range described below are dispersed in a size of oil droplets. The above-mentioned polymerization is achieved by adjusting according to the type of polymerizable vinyl monomer used, but the conditions for usual @turbidity polymerization can be applied as is.

上記分散・重合により、水系中で、重合性ビニル系モノ
マの重合物からなる樹脂で被覆・複合された二酸化チタ
ン粉体の集合体であって、1μm〜l zxの粒径を有
する球状の樹脂被覆二酸化チタン球体が得られる。この
二酸化チタン球体は、常法によりr別、乾燥される。こ
れらのうち、粒径15μ111〜50μIの球体を選別
して用いるのか、焼結体の機械的強度の点でより好まし
い。
Through the above dispersion and polymerization, a spherical resin having a particle size of 1 μm to lzx, which is an aggregate of titanium dioxide powder coated and composited with a resin made of a polymer of a polymerizable vinyl monomer, is produced in an aqueous system. Coated titanium dioxide spheres are obtained. The titanium dioxide spheres are separated and dried by a conventional method. Among these, it is more preferable to select and use spheres having a particle size of 15 μl to 50 μl in terms of the mechanical strength of the sintered body.

この発明において、上記のごとく得られる樹脂被覆多孔
質二酸化チタン球体は、所定の形状に加圧成形される。
In this invention, the resin-coated porous titanium dioxide spheres obtained as described above are pressure-molded into a predetermined shape.

このときの加圧条件は用いる上記樹脂被覆多孔質二酸化
チタン球体の大きさにより異なるが、所望の成形体形状
を保持し得るに足る圧力で負荷される。通常、0.5〜
L、Ot/am2程度の圧力が好ましい。
Pressurizing conditions at this time vary depending on the size of the resin-coated porous titanium dioxide sphere used, but a pressure sufficient to maintain the desired shape of the molded product is applied. Usually 0.5~
A pressure of about L, Ot/am2 is preferred.

上記加圧成形により所望の形状に保持された樹脂被覆二
酸化チタン球体の集合体は、次いで加熱処理に付される
。この加熱処理は、上記二酸化チタン球体の樹脂が炭化
されることなく円滑に除去されると共に該二酸化チタン
球体中の各二酸化チタン粉体間が球状を維持したまま溶
融結合(実質的に点接触融合)する条件下、すなわち集
合体を構成する多孔質二酸化チタン球体が実質的に非多
孔質の二酸化チタン球体に変換される条件下で行われる
。かかる加熱処理における加熱温度は1150〜155
0℃程度に設定される。1150℃以下では焼結体の密
度が小さすぎて適さず、1550℃を越えると二酸化チ
タン球体内のみならず、二酸化チタン球体間が融合して
焼結体としての所望の多孔度が確保できないため好まし
くない。とくに好ましい加熱温度は1250〜1400
℃である。但し上記加熱温度への昇温状態としては、t
 OOO’Cの昇温までは、長時間(例えば5時間)か
けることが、樹脂の炭化を避ける点で必要である。一方
、加熱保持時間は、通常1〜6時間程度で充分である。
The aggregate of resin-coated titanium dioxide spheres held in the desired shape by the pressure molding is then subjected to heat treatment. This heat treatment allows the resin in the titanium dioxide sphere to be smoothly removed without being carbonized, and the titanium dioxide particles in the titanium dioxide sphere to be fused together (substantially point contact fusion) while maintaining their spherical shape. ), ie under conditions in which the porous titanium dioxide spheres constituting the aggregate are converted into substantially non-porous titanium dioxide spheres. The heating temperature in this heat treatment is 1150 to 155
The temperature is set at around 0°C. If the temperature is below 1150°C, the density of the sintered body is too low and it is not suitable, and if it exceeds 1550°C, not only the inside of the titanium dioxide spheres but also the spaces between the titanium dioxide spheres will fuse, making it impossible to secure the desired porosity of the sintered body. Undesirable. A particularly preferable heating temperature is 1250 to 1400.
It is ℃. However, as for the heating state to the above heating temperature, t
It is necessary to take a long time (for example, 5 hours) to raise the temperature to OOO'C in order to avoid carbonization of the resin. On the other hand, the heating and holding time is usually about 1 to 6 hours.

このような処理により、この発明における感湿材料とし
ての多孔質二酸化チタン焼結体を得ることができ、その
密度は2.59/cm″以上が好ましい。
Through such treatment, a porous titanium dioxide sintered body as a moisture-sensitive material in the present invention can be obtained, and its density is preferably 2.59/cm'' or more.

かかる多孔質二酸化チタン焼結体は、非多孔質の二酸化
チタン球体(通常1〜50μm、好ましくは15〜50
μm)が集合一体化された多孔体からなり、細孔分布が
均一でかつ優れた機械的強度を備えたものである。そし
て、鋭敏な感湿特性を示すと共に、従来のセラミックス
系感湿材料や二酸化チタン球体が多孔質状態で集合しr
コ多孔質二酸化チタン焼結体からなる感湿材料に比して
、湿度検知の昇温、降温におけるヒステリシスがなく、
検出出力の安定性、再現性、正確度が著しく向上したも
のである。そして、この細孔の気孔率や焼結体密度は、
二酸化チタン粉体の含有量、二酸化チタン球体の粒径等
を調節することにより、上記特性を損なわない範囲で簡
便に制御することができる。ただし、かがる二酸化チタ
ン球体には、導電性を調整できる添加物(例えば、N 
b t Os、5btOS等)が混合されていてもよい
Such a porous titanium dioxide sintered body is a non-porous titanium dioxide sphere (usually 1 to 50 μm, preferably 15 to 50 μm).
It is made of a porous body in which micrometers (μm) are aggregated and integrated, and has a uniform pore distribution and excellent mechanical strength. In addition to exhibiting sensitive moisture-sensing properties, it is possible to assemble conventional ceramic moisture-sensitive materials and titanium dioxide spheres in a porous state.
Compared to moisture-sensitive materials made of co-porous titanium dioxide sintered bodies, there is no hysteresis in temperature rise and fall for humidity detection.
The stability, reproducibility, and accuracy of detection output have been significantly improved. The porosity of the pores and the density of the sintered body are
By adjusting the content of titanium dioxide powder, the particle size of titanium dioxide spheres, etc., it can be easily controlled within a range that does not impair the above characteristics. However, the bending titanium dioxide spheres contain additives that can adjust the conductivity (for example, N
b t Os, 5btOS, etc.) may be mixed.

かかる感湿材料を用いることによりこの発明の感湿素子
が得られる。かかる感湿素子において、用いられる感湿
材料の形枯としては厚膜型のものが好ましい。この場合
適用される素子の形態としては、第1図に示すように、
厚膜状の感湿材料(1)の表裏両面で1対の電極(2)
 (2)を形成し、この感湿材料のインピーダンス(Z
)の変動を検出すべく第2図に示すように上記1対の電
極(2)(2)をす−ド線(3) (3)によりLCZ
メーター(4)と結線する構成が好ましい。上記感湿素
子を用いる場合、予め空気中の相対湿度とそれに対応す
るインピーダンス(Z)の関係を測定しておくことによ
り、測定対象雰囲気中に上記感湿素子をおいて計測され
るインピーダンスの変動から、該雰囲気中の相対湿度(
%RH)を求めることができる。具体的には後述する実
施例の記載が参照される。
By using such a moisture-sensitive material, the moisture-sensitive element of the present invention can be obtained. In such a moisture-sensitive element, the moisture-sensitive material used is preferably of a thick film type. The form of the element applied in this case is as shown in FIG.
A pair of electrodes (2) on both the front and back sides of the thick film-like moisture-sensitive material (1)
(2) and the impedance (Z
) In order to detect the fluctuation of
A configuration in which it is connected to the meter (4) is preferable. When using the above humidity sensing element, by measuring the relationship between the relative humidity in the air and the corresponding impedance (Z) in advance, fluctuations in impedance measured by placing the humidity sensing element in the atmosphere to be measured can be avoided. , the relative humidity in the atmosphere (
%RH) can be determined. Specifically, reference is made to the description of Examples described later.

以下、実施例によりこの発明を説明するが、これにより
この発明は限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be explained below with reference to Examples, but the present invention is not limited thereby.

(ホ)実施例 [樹脂複合二酸化チタン球状粒子の調製]実施例、1 2Qのビーカーにメチルメタクリレート2799、シラ
ンカップリング剤〔γ−メタクリルオキシプロピルトリ
メトキシシラン、東しシリコーン(株)製5Z−603
0121,09、アゾビスイソブチロニトリル0゜60
9を入れ、溶解しrこ後、二酸化チタン(ルチル型1粒
径0.24u++、帝国化工(株)製JR−600λ)
 700gを加え、プロペラ翼を備えた撹拌装置で20
00rpmで2時間表面処理した。
(e) Example [Preparation of resin composite titanium dioxide spherical particles] Example, 1 In a 2Q beaker, methyl methacrylate 2799, silane coupling agent [γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 5Z- manufactured by Toshi Silicone Co., Ltd.] 603
0121,09, azobisisobutyronitrile 0°60
After adding 9 and melting, add titanium dioxide (rutile type 1 particle size 0.24u++, manufactured by Teikoku Kako Co., Ltd. JR-600λ)
Add 700g and mix with a stirrer equipped with propeller blades for 20
The surface was treated at 00 rpm for 2 hours.

5Qオートクレーブに複分解ビロリン酸マグネシウム6
0gとドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ269を含む
水2.6Kgを入れ、次いで上記スラリーを加えて乳化
させ、窒素置換した後、撹拌速度を50orpmに設定
し、60℃で重合した。重合終了後、室温まで冷却し分
散剤を塩酸で分解した後、ろ過分能した。得られた粒子
を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察したところ、約8
μmの中心径を持つ球状の粒子で、ポリメチルメタクリ
レート(PM!l!A)樹脂により複合された二酸化チ
タン球状粒子を形成していた。
Magnesium birophosphate 6 metathetically decomposed in a 5Q autoclave
2.6 kg of water containing 0 g of sodium dodecylbenzenesulfonate and 269 g of sodium dodecylbenzenesulfonate were added thereto, and then the above slurry was added and emulsified. After purging with nitrogen, the stirring speed was set to 50 orpm, and polymerization was carried out at 60°C. After the polymerization was completed, the mixture was cooled to room temperature and the dispersant was decomposed with hydrochloric acid, followed by filtration. When the obtained particles were observed with a scanning electron microscope (SEM), they were found to be approximately 8.
They were spherical particles with a center diameter of μm, and formed titanium dioxide spherical particles composited with polymethyl methacrylate (PM!l!A) resin.

実施例、2 212のビーカーに、メチルメタクリレート279g、
シランカブブリング剤〔γ−メタクリルオキシプロピル
トリメトキシシラン、東しシリコーン(株)製S 5Z
−6030121,09、アゾビスイソブチロニトリル
060gを入れ、溶解し1こ後二酸化チタン(ルチル型
7粒径0 、2μm、帝国化工(株)製JR−600A
)700gを加え、プロペラ翼を備えた撹拌装置で20
00rpmで2時間表面処理した。
Example 2 In a 212 beaker, 279 g of methyl methacrylate,
Silane bubbling agent [γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, manufactured by Toshi Silicone Co., Ltd. S5Z
-6030121,09, 060 g of azobisisobutyronitrile was added, dissolved, and then titanium dioxide (rutile type 7 particle size 0, 2 μm, manufactured by Teikoku Kako Co., Ltd. JR-600A
) 700g and stirred with a stirring device equipped with propeller blades.
The surface was treated at 00 rpm for 2 hours.

5Qオートクレーブに複分解ピロリン酸マグネンウム6
0gとドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ2゜6gを含
む水2.6Kgを入れ、次いで上記スラリーを加えて乳
化させ、窒素置換した後、撹拌速度を40Orpmに設
定し、60℃で重合した。重合終了後、室温まで冷却し
分散剤を塩酸で分解した後、ろ過分能した。得られた粒
子を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察したところ、約
20μmの中心径を持つ球状の粒子で、ポリメチルメタ
クリレート(PMMA)樹脂により複合された二酸化チ
タン球状粒子を形成していた。
Magnenium pyrophosphate metathesis 6 in a 5Q autoclave
2.6 kg of water containing 0 g of sodium dodecylbenzenesulfonate and 2.6 g of sodium dodecylbenzenesulfonate were added thereto, and the slurry was then added and emulsified. After purging with nitrogen, the stirring speed was set to 40 Orpm, and polymerization was carried out at 60°C. After the polymerization was completed, the mixture was cooled to room temperature and the dispersant was decomposed with hydrochloric acid, followed by filtration. When the obtained particles were observed with a scanning electron microscope (SEM), they were found to be spherical particles with a center diameter of about 20 μm, forming titanium dioxide spherical particles composited with polymethyl methacrylate (PMMA) resin.

実施例、3 212のビーカーに、メチルメタクリレート2499、
エチレングリコールジメタクリレート30g、酢酸ブチ
ル3009、チタネートカップリング剤〔ビス(ジオク
チルピロホスフェート)オキシアセテートチタネート、
味の素(株)製プレンアクトKR−138S) 21.
0g、アゾビスイソブチロニトリル0.149を入れ、
溶解した後、二酸化チタン(ルチル型1粒径0.2μm
、帝国化工(株)製JR−600A) 7009を加え
、プロペラ翼を備えた撹拌装置で200Orpmで2時
間表面処理した。
Example 3 In a beaker of 212, methyl methacrylate 2499,
Ethylene glycol dimethacrylate 30g, butyl acetate 3009, titanate coupling agent [bis(dioctylpyrophosphate) oxyacetate titanate,
Plain Act KR-138S (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) 21.
0g, azobisisobutyronitrile 0.149,
After dissolving, titanium dioxide (rutile type 1 particle size 0.2 μm)
, JR-600A) 7009 manufactured by Teikoku Kako Co., Ltd., was added thereto, and surface treatment was carried out at 200 rpm for 2 hours using a stirring device equipped with a propeller blade.

5Qオートクレーブに複分解ピロリン酸マグネシウム5
09とドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ0759を含
む水2.5Kgを入れ、次いで上記スラリーを加えて乳
化させ、窒素置換した後、撹拌速度を40Orpmに設
定し、60℃で重合した。重合終了後、室温まで冷却し
分散剤を塩酸で分解した後、ろ過分能した。得られ1こ
粒子を走査型電子顕微鏡(SEM11)で観察したとこ
ろ、約50μmの中心径を持つ球状の粒子で、ポリメチ
ルメタクリレート(PMMA)樹脂により複合された二
酸化メタン球状粒子を形成していrこ。
Magnesium pyrophosphate metathesis in 5Q autoclave 5
09 and sodium dodecylbenzenesulfonate 0759 were added, and then the above slurry was added and emulsified. After purging with nitrogen, the stirring speed was set to 40 Orpm, and polymerization was carried out at 60°C. After the polymerization was completed, the mixture was cooled to room temperature and the dispersant was decomposed with hydrochloric acid, followed by filtration. When the obtained particles were observed with a scanning electron microscope (SEM11), they were found to be spherical particles with a center diameter of approximately 50 μm, forming methane dioxide spherical particles composited with polymethyl methacrylate (PMMA) resin. child.

[二酸化チタン球状粒子焼結体および感湿素子の作製] 実施例、4 実施例、1のようにして得られたPMMA複合二酸化チ
タン球状粒子を0.59秤量し、これを成形用金型(1
2,5sul’X27.5xxh)に充填した。成形圧
1 ton7cm”で15秒間加圧成形し、見掛は密度
り、879/c量3の成形体を得た。次いで、上記PM
IA複合二酸化チタン球状粒子成形体を5個重ねて電気
炉に入れ、taoo℃において3時間焼成して焼結体を
得た。この焼結体の見掛は密度は31319/am’で
あり強度は1220Kg/am″であった。
[Preparation of sintered titanium dioxide spherical particles and moisture-sensitive element] Example 4 The PMMA composite titanium dioxide spherical particles obtained as in Example 1 were weighed by 0.59, and were placed in a mold for molding ( 1
2,5sul'X27.5xxh). Pressure molding was carried out for 15 seconds at a molding pressure of 1 ton and 7 cm" to obtain a molded product with an apparent density of 879/c and an amount of 3. Then, the above PM
Five IA composite titanium dioxide spherical particle molded bodies were stacked and placed in an electric furnace, and fired at TAOO°C for 3 hours to obtain a sintered body. The apparent density of this sintered body was 31319/am' and the strength was 1220 Kg/am''.

この錠剤状焼結体の円盤面に銀電極(デグサ社製)を塗
布し、560℃の温度で5分焼付けを行い、感湿素子と
した。
A silver electrode (manufactured by Degussa) was coated on the disk surface of this tablet-shaped sintered body, and baked at a temperature of 560° C. for 5 minutes to obtain a moisture-sensitive element.

実施例、5 実施例、2のようにして得られたPMMA複合二酸化チ
タン球状粒子を059秤量し、これを成形用金型C12
,5xxeX21.5xxh〕に充填した。成形圧1 
ton/ c m tで15秒間加圧成形し、見掛は密
度1.849/Cl113の成形体を得た。次いで、上
記PMMA複合二酸化チタン球状粒子成形体を5個重ね
て電気炉に入れ、1300°Cにおいて3時間焼成して
焼結体を得た。
Example 5 The PMMA composite titanium dioxide spherical particles obtained as in Example 2 were weighed and placed in a mold C12.
, 5xxeX21.5xxh]. Molding pressure 1
Pressure molding was performed for 15 seconds at ton/cm t to obtain a molded product with an apparent density of 1.849/Cl113. Next, five of the PMMA composite titanium dioxide spherical particle molded bodies were stacked and placed in an electric furnace, and fired at 1300°C for 3 hours to obtain a sintered body.

この焼結体の見掛は密度は3.019/cm3てあり強
度は420Kg/cm’であった。
The apparent density of this sintered body was 3.019/cm3, and the strength was 420 Kg/cm'.

この錠剤状焼結体の円盤面に銀電極(デグサ社製)を塗
布し、560℃の温度で5分焼付けを行い、感湿素子と
した。
A silver electrode (manufactured by Degussa) was coated on the disk surface of this tablet-shaped sintered body, and baked at a temperature of 560° C. for 5 minutes to obtain a moisture-sensitive element.

実施例、6 実施例、3のようにして得られたPMMA複合二酸化チ
タン球状粒子を0.59秤量し、これを成形用金型(1
2,5ix#X27.5xih)に充填した。成形圧1
 ton/am”で15秒間加圧成形し、見掛は密度1
.929/cI113の成形体を得た。次いで、上記P
MMAI合二酸化チタン球状粒子成形体を5個重ねて電
気炉に入れ、1300℃において3時間焼成して焼結体
を得た。この焼結体の見掛は密度は3.209/cm’
であり強度は298Kg/am”であった。
Example 6 0.59 of the PMMA composite titanium dioxide spherical particles obtained as in Example 3 were weighed and placed in a mold for molding (1
2,5ix#X27.5xih). Molding pressure 1
ton/am" for 15 seconds, and the apparent density is 1.
.. A molded article of 929/cI113 was obtained. Next, the above P
Five MMAI-combined titanium dioxide spherical particle molded bodies were stacked and placed in an electric furnace, and fired at 1300° C. for 3 hours to obtain a sintered body. The apparent density of this sintered body is 3.209/cm'
The strength was 298 kg/am''.

この錠剤状焼結体の円盤面に銀電極(デグサ社製)を塗
布し、560℃の温度で5分焼付けを行い、感湿素子と
した。
A silver electrode (manufactured by Degussa) was coated on the disk surface of this tablet-shaped sintered body, and baked at a temperature of 560° C. for 5 minutes to obtain a moisture-sensitive element.

なお、実施例4〜6の焼結体は、いずれも、非多孔質の
二酸化チタン球体粒子が点接触結合により焼結された多
孔体であることが、電子顕微鏡によって確認された。
It was confirmed by an electron microscope that the sintered bodies of Examples 4 to 6 were all porous bodies in which non-porous titanium dioxide spherical particles were sintered by point contact bonding.

[感湿特性の測定] 上記実施例のようにして得られた感湿素子について以下
のように感湿特性の測定を行った。
[Measurement of Moisture Sensitive Characteristics] The moisture sensitive characteristics of the moisture sensitive elements obtained as in the above examples were measured as follows.

湿潤雰囲気中でのインピーダンス測定を行った。Impedance measurements were performed in a humid atmosphere.

測定する感湿素子をホルダーに固定し、これを20℃の
恒温恒湿槽(田葉井製作所製、 PSL−2E)内に装
填した。インピーダンスの変化は、LCZメーター(Y
HP製、4276A)に結線し1 kHzの周波数、交
流電圧印加のもとで測定した。
The humidity sensing element to be measured was fixed to a holder and loaded into a constant temperature and humidity chamber (manufactured by Tabai Seisakusho, PSL-2E) at 20°C. Changes in impedance can be measured using an LCZ meter (Y
(manufactured by HP, 4276A), and the measurement was performed at a frequency of 1 kHz and with an AC voltage applied.

湿潤雰囲気は上記恒温恒湿槽で10%RH−10QRH
%R1(の範囲で、昇温、降温における特性変化を測定
した。測定槽内の相対湿度は、内蔵のレバーにより換算
表で示されるが、湿度センサー(エース研究新製YH−
12)を用いて同時に測定した。
The humid atmosphere is 10%RH-10QRH in the above constant temperature and humidity chamber.
Changes in characteristics due to temperature rise and temperature fall were measured in the range of %R1 (%R1).
12).

[感湿特性の測定結果〕 感湿特性として、実施例の2.5の感湿素子について、
相対湿度の変化に対してインピーダンスの変化を測定し
た結果を第3図に示す。これより、周波数1 kHzに
おいて昇温、降温した場合、インピーダンスの変化は同
一の軌跡を描き、ヒステリシスのない極めて優れている
ことが判る。なお、他の実施例の感湿素子についても履
歴特性においては同様であった。
[Measurement results of humidity-sensitive characteristics] As for the humidity-sensitive characteristics, for the humidity-sensitive element of Example 2.5,
Figure 3 shows the results of measuring changes in impedance with respect to changes in relative humidity. From this, it can be seen that when the temperature is raised and lowered at a frequency of 1 kHz, the change in impedance follows the same trajectory and is extremely excellent without hysteresis. Note that the moisture-sensitive elements of other Examples had similar history characteristics.

(へ)発明の効果 この発明の感湿材料によれば、鋭敏でと(に昇温、降温
におけるヒステリシスのない優れた湿度検知性を有する
感湿素子を得ることができる。そして、かかる感湿材料
自体の機械的強度も実用素子を提供するに充分な程度で
あり、高性能の感湿素子の実現を可能とするものである
(f) Effects of the Invention According to the moisture-sensitive material of the present invention, it is possible to obtain a moisture-sensitive element that is sensitive and has excellent humidity sensing performance without hysteresis in temperature rise and temperature drop. The mechanical strength of the material itself is also sufficient to provide a practical device, making it possible to realize a high-performance moisture-sensitive device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第り図はこの発明の感湿材料からなる感湿素子の一例の
斜視図、策2図は第1図の感湿素子の使用状態を説明す
る構成説明図、第3図は第1図の1g湿材料の履歴特性
を示すグラフである。 l・・・・・・感湿材料、2・・・・・・電極、3・・
・・・・リード、4・・・・・・LCZメータ。 し馨1.ぷ− !lI 1 図 第 21!F 3m H(”/、RH)
Figure 1 is a perspective view of an example of a moisture-sensitive element made of the moisture-sensitive material of the present invention, Figure 2 is an explanatory diagram of the structure of the humidity-sensitive element shown in Figure 1, and Figure 3 is a diagram illustrating the use of the humidity-sensitive element of Figure 1. It is a graph showing the history characteristics of 1g wet material. l...moisture sensitive material, 2...electrode, 3...
...Lead, 4...LCZ meter. Shikaori 1. P-! lI 1 Figure 21! F 3m H(”/, RH)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.非多孔質二酸化チタン球体が集合・焼結されてなる
多孔質二酸化チタン焼結体からなる感湿材料。
1. A moisture-sensitive material made of a porous titanium dioxide sintered body made by aggregating and sintering non-porous titanium dioxide spheres.
2.多孔質二酸化チタン焼結体が、2.5g/cm^3
以上の密度を有する請求項1の感湿材料。
2. Porous titanium dioxide sintered body is 2.5g/cm^3
The moisture-sensitive material according to claim 1, having a density of at least 100%.
3.一対の電極間に、請求項1の感湿材料が電気的に介
在されてなる感湿素子。
3. A humidity sensing element comprising a humidity sensing material according to claim 1 electrically interposed between a pair of electrodes.
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