JPH04194372A - イオンスラスタ - Google Patents
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H—PRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H1/00—Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
- F03H1/0037—Electrostatic ion thrusters
- F03H1/0043—Electrostatic ion thrusters characterised by the acceleration grid
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
いられるイオンスラスタに関する。
いられるイオンスラスタの主要部は、通常、第6図に示
すように構成されている。
ラスタケース1で覆われており、このスラスタケース1
内に放電容器2を設けている。放電容器2はアノード電
位にバイアスされており、ホローカソード3から放出さ
れたXeガスに加速した電子を衝突させて電離プラズマ
を生成させる。
た推進剤導入系4からホローカソード3内を通って放電
容器2内に導入される。そして、電離によって生成され
たXe+イオンが後述する中和器9の電位に対して+1
00OV程度の電位に保持されたスクリーングリッド(
電極板)5と、中和器9の電位に対して一500V程度
の電位に保持された加速グリッド(電極板)6とからな
る加速用電極7によって加速され、運動エネルギを与え
られて外部へと放出される。この放出によって推進力を
得ている。
び加速グリッド6は、それぞれ0 、3 m m so
、5m m程度の薄い金属板で、放電容器2側を凹とす
る1m程度の曲率半径を有する球面状に形成されている
。スクリーングリッド5および加速グリッド6には、そ
れぞれ数十個のイオンビーム通過孔8が形成されている
。そして、スクリーングリッド5および加速グリッド6
は、互いに0.8mm程度の狭い間隔をもって配置され
ている。
過孔8を通り、加速されて放出される。
体の電位が変化するのを防止するために中和器9から電
子を放出させ、この電子で外部に放出されたXe”イオ
ンを中和している。さらに、放電容器2の内面に複数の
磁石10を配置し、これらの磁石が作るカスブ磁場で放
電容器2内の電離プラズマを閉じ込めて損失を小さくし
ている。
にあっては次のような問題があった。すなわち、最近で
は推進力の大きいイオンスラスタの出現が望まれている
。推進力を大きくするには、加速用電極7の径を大きく
するとともに、放電電力を大きくしてプラズマ密度を高
める必要がある。
加速用電極7を構成しているスクリーングリッド5およ
び加速グリッド6が温度上昇する。
工衛星等の本体に伝達されたり、宇宙空間に輻射された
りして除熱される。
らの除熱は極めて困難である。両グリッドは、加速の効
率を高めるために前述の如く薄い材料で構成される。こ
のため、熱伝導による放熱を期待することはできない。
6がらの除熱が困難で、推進力の増大に伴って両グリッ
ドの温度上昇を避けることはできない。
に各部の温度が一様にはならず、中心部温度が周縁部温
度より50’C程度高くなる。また、スクリーングリッ
ド5の中心部温度は加速グリッド6の中心部温度より1
00 ”C程度高くなる傾向lミある。
グリッド6の温度上昇を避けることができず、しかも中
心部と周縁部との間に温度差が生じ、そのうえ両グリッ
ド間にも温度差が生じる。
る。すなわち、スクリーングリッド6の中心部温度か加
速グリッド6の中心部温度より100℃程度も高くなる
ため、スクリーングリッド5がより大きく熱膨張し、単
に固定保持しただけでは両グリッド間の間隔を所定の状
態に維持できなくなる。前述の如く、スクリーングリッ
ド5と加速グリッド6との間隔は、極めて小さい一定の
値に保たれる必要がある。これはイオンの利用効率を高
めるために、加速グリッド6のイオンビーム通過孔から
スクリーングリッド5のイオンビーム通過孔を通して見
た立体角を大きくする必要があるからである。しかし、
従来のイオンスラスタでは、上記間隔の維持が困難であ
った。
ド5と加速グリッド6との温度差による熱膨張差を予め
見込んで両グリッドの曲率半径を決めておき、定常運転
においてスクリーングリッド5がより大きく膨張したと
きに丁度、所定の間隔が両グリッド間に得られるように
することが考えられる。しかし、この方法では、イオン
スラスタが定常運転状態に達するまでの過渡期において
、スクリーングリッド5と加速グリッド6とのイオンビ
ーム通過孔の相対的な位置が大きくずれてしまう。この
ため、イオンビームが加速グリッド6のイオンビーム通
過孔の縁部に接触し、これが原因して加速グリッド6が
局部的に加熱され、加速グリッド6に周方向に波形のし
わが発生し、結果的にスクリーングリッド5と接触して
しまう革具・合が生じる。
径を適当に設定して、上記のような不具合を最小限にす
ることが考えられる。しかし、大型のイオンスラスタ1
こおいては、曲率半径の設定だけでは上記のような不具
合を完全に防止することができず、また曲率半径を適当
に設定するには多くのグリッドを試作して試行錯誤によ
って適切な曲率半径を設定しなければならず、開発に多
くの時間と費用を必要とする問題がある。
て、グリッドの周縁部に径方向に変形可能な板ばねを周
方向に複数突設し、これらの板ばねの先端部を支持する
ことによって、グリッドを支持するようにしたもの−を
先に提案した。
に構成されており、また加速グリッド6aは第8図に示
すように構成されている。スクリーングリッド5aおよ
び加速グリッド6aには、それぞれ板ばねlla、ll
bが設けられている。
同様に構成されている。したがって、ここでは第8図に
示される加速グリッド6aを例にとって説明する。
リッド本体12−を有し、その周縁部に複数(図におい
ては12個)の板ばねllbを突設している。板ばねl
lbは、径方向に一体に突設された支持片13と、この
支持片13の先端部から一体に延びた板ばね片14とで
構成されている。
スラスタの軸方向、すなわち加速グリッド6aの中心軸
と平行する関係に延びている。したかって、これら板ば
ね片14は、加速グリッド6aの径方向にはばね部材と
して湾曲変形する。
ない。支持片13の中央部には遊び孔15が形成されて
いる。なお、支持片13および板ばね片14は、打ち抜
きによって加速グリッド6aを形成する際に一体に打ち
抜かれた後に板ばね片部分が90°折り曲げられて形成
されたり、あるいは加速グリッド6aに別個の部材を溶
接するなどして形成されている。また、第7図に示すス
クリーングリッド5aには径の等しいイオンビーム通過
孔16が半径方向に等しい分布密度で設けられている。
域17に径の小さいイオンビーム通過孔18aが形成さ
れており、周縁部の領域19にイオンビーム通過孔18
aより径の大きいイオンビーム通過孔18bが形成され
ている。
リッド6aとは次のようにして放電容器の開口部に支持
される。すなわち、第9図および第10図には、代表し
て加速グリッド6aの支持構成が示されている。
持部材21に取り付けられ、この支持部材21はボ゛ル
ト22を介して固定部材23に固定され、この固定部材
23がスラスタの放電容器側、すなわち本体側に取り付
けられている。支持部材21の下面には、第10図に示
すように遊び孔15より小径の円柱状の嵌合凸部24が
形成されている。この嵌合凸部24は遊び孔15を貫通
して固定部材23に形成された円柱状の凹部に嵌合して
いる。そして、支持部材21と同車部材23とがボルト
22によって結合されている。支持部材21と固定部材
23との間で、嵌合凸部24の部分を除く部分には間隙
25が形成されており、この間隙25は支持片13の厚
みより大きく形成されている。
に対して垂直な平面内で、径方向および周方向に移動自
在に支持されていることになる。
周に当接するまでの所定の範囲に制限されている。
スクリーングリッド5aおよび加速グリッド6aのグリ
ッド本体が熱膨張した場合、これらの周囲の板ばね片1
4が径方向に弾性変形し、熱・膨張を周囲に逃がすこと
ができる。したがって。
持される。
径を大きくす名とともに推進力を大きくしようとすると
、性能に限界があることが次第に明らかになった」すな
わち、推進剤の利用効率を上げていくと、イオンビーム
を引出している時と、引出していない時とで放電容器内
のXeガス圧力が大きく変動し、放電状態が急激に変化
する。この変化の影響を受けてスクリーングリッド5a
および加速グリッド6aに局部的な熱変形が生じ、それ
ぞれの曲率半径が別々に変化する。
率半径の変化を一第11図(a) 、 (b)に示す。
態では、スクリーングリ・ソド5aおよび加速グリッド
6aが−様に熱膨張して第11図(a)のようになって
いる。これらの熱膨張は板ばねlla、llbによって
吸収される。しかし、イオンビームを引出すと、加速グ
リッド6aの曲率半径が急激に大きくなって、第11図
(b)のようになる。この期間は5分程度で、その後は
徐々に第11図(a)のようになり、約80分後には過
渡期が終り、安定状態になる。加速グリ・ンド6aの中
心の変位量は0.7m m程度あり、両グリ・ラド間に
当初設定された間隔である 0.8m m程度とほぼ同
じである。
いる。各グリッドの温度分布の様子を第12図に示す。
スクリーングリッド5aと加速グリッド6aの温度分布
はほぼ−様であり、温度分布曲線31.32で示すよう
になる。この期間においては、スクリーングリッド5a
と加速グリッド6aの熱膨張は−様であり、板ばね11
a、llbが全ての伸び分を吸収する。
ームを引出すと、加速グリッド6aの表面まできていた
電離プラズマがスクリーングリッド5aの表面まで後退
する。この後退によって加速グリッド6aの温度が急激
に低下する。また、イオンビームを引出すと、放電容器
内のXeガス圧力が急激に低下し、電子温度の上昇と放
電電圧の上昇とを引き起こし、入力パワーが増加する。
、スクリーングリッド5aの温度が急激に上昇する。こ
れらの変化はプラズマ密度が−様な高密度領域、すなわ
ち各グリッドの中心領域はど顕著である。この結果、各
グリッドの温度分布には、−時的に温度分布曲線33.
34で示すように非一様性が生じる。
かし、この非一様性によってもスフ1ノーングリツド5
aは、その曲率半径が小さくなる方向に熱変形する。一
方、加速グリ・ソド6aの非一様性は50℃程度と大き
く、このために加速グリ・ソド6aは、その曲率半径が
大きくなる方向に大きく熱変形する。この期間は5分間
程度であり、全体の温度の上昇とともに熱伝導により温
度分布の非一様性が解消される。そして、−様性を示す
温度分布曲線31.32のように回復し、その後、80
分間程度で安定状態になる。
し後の5分間程度の間に次のような問題が生じることに
なる。すなわち、スクリーングリッド5aでは、イオン
ビーム通過孔16の設けられている部分の開口率が70
%程度と極めて大きいため、イオンビーム引出し時に急
激な加熱を受けると、非開口部との境界に応力集中が生
じて局所的な熱変形が発生し、これが原因して加速グリ
ッド6aへ近付く向きの変形が起こる。また、加速グリ
ッド6aでは、イオンビーム引出し時に、急激に温度低
下して局所な熱変形が発生し、スクリーングリッドへ近
付く向きの変形が起こる。したがって、イオンビーム引
出し時に、スクリーングリッド5aと加速グリッド6a
とが接触しないようにするには、予めグリッド間隔を広
く設定する必要があり、必然的に安定状態時におけるグ
リッド間隔も広くなる。このようにグリッド間隔を広く
すると、イオンビームが加速グリッド6aへ衝突しない
ようにするには、加速グリッド6aのイオンビーム通過
孔の径を大きくする必要がある。
ると、放電容器内のXeガス圧力を低下させ、推進剤の
利用効率を下げるばかりか、入力パワーの大幅な増加を
招くことになる。
進力を増加させようとすると、推進剤の利用効率を低下
させるばかりか、入力パワーの大幅な増加を招き、全体
の効率が低下する問題があった。
分布の非一様性によるグリッド間隔、つまり加速用電極
板間の間隔変動を最小限に抑えることができ、もって推
進剤の利用効率の向上化ならびに入力パワーの抑制化を
図れ、大きな推進力を効率良く得られるイオンスラスタ
を提供することを目的としている。
生成するための放電容器と、この放電容器の開口部に互
いに近接して配置されるとともに、それぞれが複数のイ
オンビーム通過孔を有した複数の加速用電極板と、これ
ら加速用電極板をそれぞれ径方向に柔に支持する手段と
を備えたイオンスラスタにおいて、前記各加速用電極板
をそれぞれ放電容器側に凸となる曲率を持つ形状に形成
し、かつ上記加速用電極板のうちの負電位にバイアスさ
れる加速用電極板の曲率半径を正電位にバイアスされる
加速用電極板の曲率半径より小さい値に設定している。
れる加速用電極板のイオンビーム通過孔の開口率を周縁
部に近い程小さくすると効果的である。さらに、負電位
にバイアスされる加速用電極板のイオンビーム通過孔の
径を周縁部に近い程はど小さくすることも効果的である
。
グリッドとし、負電位にバイアスされる加速用電極板を
加速グリッドとすると、これら両グリッドは、それぞれ
放電容器側に凸となる曲率を持つ形状に形成されている
ことになる。そして、加速グリッドはスクリーングリッ
ドの曲率半径より小さい曲率半径を持つ形状に形成され
ていることになる。このような形状および配置であると
、従来の構成とは違って、イオンビーム引出し時に温度
分布の非一様性が生じたとき、グリッド間隔が大きくな
る傾向を示し、本質的にグリッド間の接触を回避できる
。この場合、両グリッ丁の中心部間の間隔が周辺部間の
間隔より大きくなろうとするか、加速グリッドの曲率半
径がスクリーングリッドのそれより小さく設定されてい
るので、イオンビーム引き出し前の時点では中心部間の
間隔が周辺部間の間隔より小さくなっている。したがっ
て、イオンビーム引出し時に両グリッドの中心部間の間
隔が大きくなっても、その絶対的な間隔が大きくなるの
を抑えることができる。このため、イオンビーム引8し
時に加速グリッドでのイオンビーム径の変化を小さくで
きるので、加速グリッドのイオンビーム通過孔の径を小
さくしてもイオンビームが加速グリッドへ衝突するよう
なことはない。したがって、加速グリッドのイオンビー
ム通過孔の径を小さくできるので、推進剤の利用効率の
向上化ならびに入力パワーの抑制化を図れ、高効率化を
実現できることになる。
部切欠した斜視図が示されている。なお、二の図では第
6図と同一部分か同一符号で示されている。したかって
、重複する部分の詳しい説明は省略する この実施例に係るイオンスラスタか従来のものと異なる
点は、加速用電極41を構成しているスクリーングリッ
ド(電極板)42と加速グリッド(電極板)43との構
成にある。
は、共に放電容器2側に凸となる曲率を持つ形状に形成
されており、特に加速グリッド43は、その曲率半径が
スクリーングリッド42の曲率半径より所定だけ小さく
なるように設定されている。
ッド本体44と、このグリッド本体44の周縁部に従来
のグリッドと同様に複数突設された板ばねllaとで構
成されている。グリッド本体44には、径方向に複数の
領域45,46゜47が設定されており、これら領域に
は周縁部に位置する領域程、開口率が小さくなるように
孔径または孔間隔を変えたイオンビーム通過孔48゜4
9.50が形成されている。すなわち、この例では領域
45の開口率が一番大きく、次に領域46が大きく、領
域47が最も小さい開口率に設定されている。このよう
な開口率の設定によって、特に周縁部が熱的に補強され
、イオンビームの引き出し時の急激な温度変化に耐えら
れるようになっている。
体51と、このグリッド本体51の周縁部に従来のグリ
ッドと同様に複数突設された板ばねllbとで構成され
ている。グリッド本体51には、径方向に複数の領域5
2,53.54が設定されており、これら領域には周縁
部に位置する領域程、孔径か小ささいイオンビーム通過
孔55゜56.57か形成されている。すなわち、これ
らイオンビーム通過孔55,56.57は、それぞれが
設けられている位置におけるイオンビーム径より少し大
きめに設定されている。
加速グリッド43が凸面を放電容器2側に向けて第1図
に示すように装着されている。
ム引出し開始時に次のような現象、特にスクリーングリ
ッド42と加速グリッド43との熱変形現象か次のよう
になる。
ド43は凸面を放電容器2側に向けて配置されており、
また加速グリッド43の曲率半径はスクリーングリッド
42の曲率半径より小さく設定されているので、これら
2つのグリッドは第4図(a)に示すように配置されて
いることになる。
周辺部間の間隔より狭い。
スクリーングリッド42と加速グリッド43の温度分布
はほぼ一様であり、このとき板ばねlla、llbが全
ての伸び分を吸収する。したがって、両グリッドの相対
位置関係は第4図(a)に示す関係に保持される。
ームを引出すと、加速グリッド43の表面まできていた
電離プラズマがスクリーングリッド42の表面まで後退
する。この後退によって加速グリッド43の特に中心領
域の温度が急激に低下する。また、イオンビームを引き
出すと、放電容器内のXeガス圧力か低下し、電子温度
の上昇と放電電圧の上昇とを引き起こし、入力パワーが
増加する。この増加によってスクリーングリッド42へ
の熱入力が増加し、スクリーングリッド42の温度か急
激に上昇する。このように、各グリッドの温度分布には
一時的に非一様性が生じる。
42および加速グリッド43に局所的な熱変形か生じる
。この場合、スクリーングリッド42では、熱変形が起
り易い周縁部の開口率が中心部より小さな値に設定され
て周縁部が熱的に強化されているので、周縁部の非開口
部への応力集中が少ない。したがって、加速グリッド4
3への接触を起こすような熱変形の発生は少ない。
度が大きいので、特に中心領域の曲率半径が大きくなる
ように熱変形する。この熱変形によって、第4図(b)
に示すように、両グリッド42.43の特に中心部間の
間隔が広くなる。しかし、加速グリッド43の曲率半径
が予めスクリーングリッド42の曲率半径より所定だけ
小さく設定されており、これによって両グリッドの中心
部間の間隔が周辺部間の間隔より狭く設定されているの
で、両グリッドとして同じ曲率のものを使用した場合に
比べて、両グリッドの中心部間の間隔の広がりは小さい
。したがって、加速グリッド43の中心部においてレン
ズ効果が大幅に低下し、イオンビームの径が大幅に大き
くなるようなことはない。
5図<a)はイオンビーム引出し開始直後の時点におけ
るスクリーングリッド42と加速グリッド43との位置
関係およびイオンビームlの様子を示している。イオン
ビーム引出し開始直後の時点では温度分布の非一様性か
現れていないので、両グリッドの中心部間の間隔dsA
は極めて小さい。このため、イオンビーム1の加速グリ
ッド43近傍における径DBは、レンズ効果で極めて小
さくなっている。
、前述した理由で温度分布の非一様性か起り、これが原
因して加速グリッド43の曲率半径が大きくなり、第5
図(b)に示すように、両グリッドの中心部の間隔ds
Aか、たとえば0.7m m程度大きくなる。今、第5
図(a)の状態における両グリッドの中心部間の間隔d
sAか0.4m m程度に設定され、周辺部間の間隔d
sAが0.8mm程度に設定されているとすると、第5
図(b)の状態−では両グリッドの中心部間の間隔ds
Aか0.4+ 0.7寓 1.1m m程度になる。
心部間および周辺部間の間隔を0.8mm程度(周辺部
での両グリッドの接触を回避できる最小値)に設定され
た場合には、イオンビーム引出し開始時点から若干時間
が経過した時点で両グリッドの中心部間の間隔dSAが
1.5m m程度にもなる。この間隔ではレンズ効果が
急激に弱まり、加速グリッドの近傍でイオンビームIの
径DBが極めて大きくなる。したがって、この場合には
、イオンビームIを加速グリッドへ衝突させないために
加速グリッドの中心部に設けられるイオンビーム通過孔
の径を大きくしなければならないことになる。
構成を採用すると、イオンビーム引出し開始時点から5
分間程の間に起る両グリッド間の間隔の広がりをレンズ
効果が十分に期待できる範囲に抑えることができる。し
たがって、加速グリッド43に設けられるイオンビーム
通過孔、特に中心部に設けられるイオンビーム通過孔5
5の径を従来より小さくできることになる。
ッド42および加速グリッド43に局所的な熱変形が生
じる期間は5分間程度で、その後は徐々に第4図(a)
に示すようになり、約80分後には過渡期が終り、安定
状態へ移行する。
けられるイオンビーム通過孔の孔径を従来のものより小
さくできる。このため、推進剤の利用効率を高めること
ができ、また放電容器2内の圧力低下を抑制できるので
入力パワーの増加も抑制できることになり、推進力を増
加させようとしたときに起る効率の低下を抑制できる。
部間より中心部間の方か大きく変化することになる。し
たがって、実施例のように加速グリッド43を径方向に
複数の領域52,53゜54に分け、これら領域に周縁
部に位置する領域程、孔径が小さいイオンビーム通過孔
55,56゜57を設けるようにすると、イオンビーム
の衝突を確実に回避でき、しかも平均孔径が最小の加速
グリッドを構成できることになる。
いているか、Xeガスに限定されるものではない。また
、上記実施例は本発明を電子衝撃型のイオンスラスタに
適用した例であるが、本発明は高周波型のイオンスラス
タにも同様に適用可能である。さらに、本発明は、その
要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿
論である。
出し時の温度分布の非一様性に由来する加速グリッドの
急激な湾曲によって起こるグリッド間隔の増加を抑制で
き、これによって加速グリッドに設けられるイオンビー
ム通過孔の孔径を小さくできるので、高推力化を図ろう
としたとき問題となる効率の低下を防止できる。
部を示す一部切欠斜視図、第2図は同イオンスラスタに
組込まれたスクリーングリッドの正面図、第3図は同イ
オンスラスタに組込まれた加速グリッドの正面図、第4
図は同イオンスラスタにおいてイオンビーム引出し開始
時にスクリーングリッドと加速グリッドとに起る熱変形
現象を説明するための図、第5図は同イオンスラスタに
おいてイオンビーム引出し開始時に起るイオンビームの
変化を説明するための図、第6図は従来のイオンスラス
タの主要部を示す一部切欠斜視図、第7図は同イオンス
ラスタに組込まれたスクリーングリッドの正面図、第8
図は同イオンスラスタに組込まれた加速グリッドの正面
図、第9図は同イオンスラスタに組込まれた各グリッド
の支持構造を示す要部拡大斜視図、第10図は第9図に
おけるIV−IV線に沿って切断し矢印方向に見た断面
図、第11図および第12図は従来のイオンスラスタの
問題点を説明するための図である。 1・・・スラスタケース、2・・・放電容器、3・・・
ホローカソード、4・・・推進剤導入系、9・・・中和
器、10・・・磁石、lla、llb・・・板ばね、4
1・・・加速電極、42・・・スクリーングリッド(電
極板)、43・・加速グリッド(電極板)、44.51
・・・グリッド本体、45,46,47. 52.53
. 53、・・・領域、48,49,50.55,56
.57・・・イオンビーム通過孔、I・・・イオンビー
ム。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第4図 (a) (b) 第5図 第8図 第10図 (a) (b)第11図 第12図
Claims (3)
- (1)電離プラズマを生成するための放電容器と、この
放電容器の開口部に互いに近接して配置されるとともに
、それぞれが複数のイオンビーム通過孔を有した複数の
加速用電極板と、これら加速用電極板をそれぞれ径方向
に柔に支持する手段とを備えたイオンスラスタにおいて
、前記各加速用電極板はそれぞれ放電容器側に凸となる
曲率を持つ形状に形成され、上記加速用電極板のうちの
負電位にバイアスされる加速用電極板はその曲率半径が
正電位にバイアスされる加速用電極板の曲率半径より小
さい値に設定されてなることを特徴とするイオンスラス
タ。 - (2)前記加速用電極板のうちの正電位にバイアスされ
る加速用電極板は、周縁部に近い程、前記イオンビーム
通過孔の開口率が小さいことを特徴とする請求項1に記
載のイオンスラスタ。 - (3)前記加速用電極板のうちの負電位にバイアスされ
る加速用電極板は、周縁部に近い程、孔径の小さいイオ
ンビーム通過孔を備えていることを特徴とする請求項1
に記載のイオンスラスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2323120A JPH07103844B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | イオンスラスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2323120A JPH07103844B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | イオンスラスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04194372A true JPH04194372A (ja) | 1992-07-14 |
JPH07103844B2 JPH07103844B2 (ja) | 1995-11-08 |
Family
ID=18151308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2323120A Expired - Lifetime JPH07103844B2 (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | イオンスラスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07103844B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8354652B2 (en) | 2006-07-20 | 2013-01-15 | Aviza Technology Limited | Ion source including separate support systems for accelerator grids |
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1990
- 1990-11-28 JP JP2323120A patent/JPH07103844B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07103844B2 (ja) | 1995-11-08 |
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