JPH04192432A - 半導体装置の水圧バリ取り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置の製造時に使用される汎用型水
圧バリ取り装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第９図〜第１２図は従来の水圧バリ取り装置１を示す図
であり、図において、４に下レールａであり、リードフ
レームｌに数個形成され７：素子２の下側部分の逃がし
溝４ａを有している。６．７は下レールｂ％Ｃであり、
上記下レールａ４と同様の逃がし溝４ｂＴｒ：有し、リ
ードフレーム１の長手方向をガイドするサイドレール８
に固定され、上レール支えｌＯに固定された上レール９
との間で隙間を形成している。１１　Ｇｆｆ上記上レー
ル支えｌＯか固定された取付具であり、支え具ａ　１４
に載置し、保持するための吊り具νが取付けられている
。１３番＝上記リードフレーム１を搬送するためのフィ
ンガーである０次に動作について説明する□従来の水圧
バリ取り装置は以上のように構成されており、図示しな
い駆動装置によりフィンガー詔に動力が伝達され、下レ
ールａ４、下レールｂ６、下レールＣ７及びサイドレー
ル８、上レール９によって形成された隙間をリードフレ
ームｌが、図示しない駆動装置に工っで動力が伝達され
た一対のフィンガー詔によって順次搬送され、その搬送
途中で、ノズル１６から吹き出Ｔ高圧水によってリード
フレームｌ上の薄バリ３を＠天子６）ｎ リードフレーム１の品種変更時には、それぞれの品種の
リードフレーム１に合った装置の構成部品を各々準備し
て、人手によって旧部品を取り外し、棚（保管後・新部
品を探して取付け、さらに装置が情度艮く取付けられて
いるかどうかの確認まで必要としていｚｏ 〔発明が解決しようとするＩｌ！！１１）従来の水圧バ
リ取り装ｆＩ！ｒは以上のように構成されているので、
リードフレームｌの長さしや、素子２のピンチＰの違い
等により、全ての構成部品を交換しなければならす、品
種毎にそれぞれの構成部品が必要であった。また、交換
時間中の装置停止時間が長くなったり、構成部品の保管
棚が必要で、かつ新品種投入時には部品製作のために多
大な費用を費やすなどの問題があった＾この発明は上記
のような問題を解消するπめになされたもので、品種変
更時の交換時間を短Ｖ）＜出来るとともに、構成部品の
交換をせすに全ての品種が投入できる汎用型水圧バリ取
り装置ご得ることを目的としている。

〔課題を解決Ｔるための手段〕

この発明に係る水圧バリ取り装置　ｋｘ、下レールａ、
下レールｂ、　下レールＣを各々フラ°ノドにし、サイ
ドレールを左右に蛎か丁とともに、上レールの高さも調
整出来るようにしたものである。

〔作用〕

この発明におけるサイドレールは、回転可能なカムによ
り左右の位置合わせが固定され、リードフレームの長さ
しに合った長さにてガイドする。

ｆた、上レールも同様にねじ棒により上下高言か移動さ
れ、リードフレームの素子の高さｈに合った高さにてガ
イドする。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第８
図、第４図は一部分の断面図、第５図に斜視図、第６図
、第７ＩＡ、第８図は一部分の断面図である。図におい
て、１９　Ｇ２ねじ棒であり、止め輪部によって取付具
１１に回転可能に取付けられ、上レール支え１０をねじ
固定している０２０は切替ハンドルであり、支え具ａ　
１４にベアリングＡ２３を介して先端にカムユが固着さ
れている。１７はレール支えであり、下レールｃ７とサ
イドレール８を固着し、一端部に引張ばね３を引掛ける
ためのねじム謳が取付けられ、左右移動が可能なスライ
ド具用によって保持され、上記カム２１に接触させるた
めのベアリングＢ２８がねじＢ２７にて固定されている
。

上記のように＊ｆＡされた水圧バリ取り装置においては
、従来と同じように図示しない駆動装置により動力の伝
達されたフィンガー詔によって、リードフレーム１に下
レールａ４、下レールｂ６、下レールｃ７の上面及びサ
イドレール８と上レール９によって形成された内面をガ
イドされながら滑る。その搬送還中で、ノズル１６から
吹き重下高圧水によってリードフレームｌ上の薄バリ３
に除去される。

リードフレームｌの品種変更時にＧＺ　、装置の絢サイ
ドに各々２僧ずつカム２１の固着された切替ハンドルＩ
を回転させて、各々９０ずつ回転後、カム乙の軌道によ
ってサイドレール８に各々のリードフレーム１　（／Ｊ
長さしに合った所で位置か固定される。上記カムｎには
例えば４種類の軌跡が形成されている。ねじ俸１９は上
レール９の取付けられ二上し−ル支えｌＯをねじにより
、回転可能な状態で固定し、ねじの嵌め合う位置を変え
ることで上レール９の高さを変更Ｔ勺へ なお上記実施例では、カムの軌跡を９０分割にしたもの
を示したが、複数箇所形成しても同様の結果が得られる
。またリードフレームに高圧水を当てるのを上方からの
み示したが、下方から当てても同様の結果が得られる。

・　さらに上レールの移動をねじｌＩを使用したものを
示したが、サイドレール同様カム等を使用してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したとおり、この発明によれば、各々の下レー
ルの溝をなくしてフラットにし、かつサイドレールと上
レールの位置変更ご可能としたことで、全てのタイプの
リードフレームを装置内に搬送することができ、また構
成部品の交換を要せず、段取替えの時間が大巾に短縮さ
れ、装置が安価にでき、交換が不要となることで精度の
高いものが得られるなど、生産性の同上を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図にリードフレームを示す平面南及び正面
図、第３図、第４図に本発明の一実施例を示す正面断面
図、第５図に本発明の一実施例を示す斜視崗、第６図〜
第８図に本発明の一実施例の部分断面図、第９図、第１
０図に従来の水圧バリ取り装置号示す正面断面図、第１
１図は従来の水圧バリ取り装置の斜視図、第１２図はそ
の部分断面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　リードフレームの長手方向をガイドするサイドレール
   、及び上面をガイドする上レールと、上記リードフレー
   ムを保持するための下レールによつて形成された搬送路
   中を搬送されるリードフレームに高圧水を噴射すること
   により薄バリを除去する水圧バリ取り装置において、下
   レールをフラットにし、かつサイドレール及び上レール
   をハンドルによつて移動可能としたことを特徴とする半
   導体装置の水圧バリ取り装置。