JPH04191663A - 光計測装置 - Google Patents

光計測装置

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JPH04191663A
JPH04191663A JP32197390A JP32197390A JPH04191663A JP H04191663 A JPH04191663 A JP H04191663A JP 32197390 A JP32197390 A JP 32197390A JP 32197390 A JP32197390 A JP 32197390A JP H04191663 A JPH04191663 A JP H04191663A
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JP
Japan
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optical fiber
laser beam
radiation
fiber
light
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JP32197390A
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Mitsuo Gomi
五味 光男
Katsumi Takeda
克己 武田
Hiroshi Usui
弘 臼井
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National Aerospace Laboratory of Japan
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National Aerospace Laboratory of Japan
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] この発明は、レーザ利用による回転機械内部の流動測定
に好適な光計測装置に関するものである。
〔従来の技術〕
回転を利用した流体機械として産業上広く利用されてい
るものに、軸流空気圧縮器、軸流空気タービン、液体用
軸流ポンプ等がある。これらの流体機械は、主に内部の
回転羽根車(回転翼)によって仕事がなされる。したが
って、設計上、回転翼周辺の流動を調べることがきわめ
て重要であるが、プローブ等を挿入して測定することが
不可能であることから、特にレーザを利用した非接触計
測法が注目されている。最近利用されている手法として
はレーザ流速計がある。
レーザ流速計の流動計測法の原理は、流体中にレーザ光
線を照射し、流体中に混入させた微粒子から散乱光を発
光せしめ、この散乱光に含まれている光の遷移周波数(
ドプラー効果による)等を調べることにより微粒子の流
動、すなわち流体の流動を知るという方法に基づいてい
る。したがって、回転機械内部の流動を測定する場合は
、第6図に示す方法を用いる。
第6図において、1はケーシングで、流入口2を有し、
内部には一般にストラットまたは静止翼列3aおよび3
bと、回転翼4を取付けたロータ5とから成り立ってい
る。6はノーズコーンである。流体7は流入口2から入
り回転翼4を通過して後方流路へと流れていく。測定し
ようとする位置は回転翼周辺の流路であるから、回転翼
4の円周上のケーシング1の特定位置にガラス製の測定
窓8を付ける。この測定窓8がレーザ光線の入射および
散乱光収集用として使われる。レーザ光源10から発し
たレーザ光11は、光学装置12で数本のレーザビーム
に分割された後、レンズ13によって絞られながら測定
窓8を通して回転翼列の流路内へ入射される。流路内の
1点でこれらのレーザビームの焦点ができ、この焦点を
流体7中の微粒子が通過したときに散乱光14を発する
この散乱光14を入射時と同じレンズ(または異なるレ
ンズ)によって集光し、ミラー15によって信号処理装
置16へと導き回転翼4間を流れる流体7の速度を求め
る。もちろん、回転翼4が通過する際は翼先端によって
強い反射光を生ずるので、それを防止するためのゲーテ
ィングシステムも必要である。
r発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、この従来の流れ計測装置では次のような
問題点があった。
(1)、レーザビームの微小な焦点での速度情報しか得
られないため、流路内の流動パターンを測定するために
多くの時間を要する。
(2)、測定窓8のガラス面、ロータ5内壁面および回
転翼4の先端部から強い反射光が生じ、散乱光14の抽
出が困難である。
(3)1回転翼4の形状が複雑な場合は、レーザビーム
が翼先端部によって遮断され、流路内に透過しない。
(4)1回転翼4面近傍の測定は、ビーム焦点をつくる
ことが難しく、測定しにくい。
この発明は、これらの問題点を解決するためになされた
もので、測定時間が短く、放射光および強度の反射光に
よる影響を受けない流れ計測装置に好適な光計測装置を
提供するこ、とを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
この発明にかかる光計測装置は、レーザビーム発生装置
と、このレーザビーム発生装置からのレーザビームを伝
達するためレーザビーム発生装置のビーム出射面にその
一端を固定した伝送光ファイバと、この伝送光ファイバ
からの光を受光して回転体に光を導く放射光ファイバと
、放射光ファイバから放射されたレーザ光が回転体内部
によって反射さた反射光を受信する受信装置とから構成
されたものである。
そして、放射光ファイバは、回転体の回転軸もしくは回
転軸に取り付けた物体に固定し、回転軸の回転に伴い放
射光ファイバの端面と伝送光ファイバの出射面とが光軸
上で対面したときにレーザビームを伝送光ファイバから
放射光ファイバへと転送する構成としたものである。
さらに、放射光ファイバは、その出射端面を光軸に対し
て斜めに切断し、その切断面に反射膜を蒸着してレーザ
ビームを光軸に対して傾いた方向に放射する構成とした
ものである。
また、放射光ファイバは、薄いシート状に結合し、それ
を回転体の一部に貼り付け、レーザビームがすべの光フ
ァイバから出射する構成としたものである。
〔作用] この発明においては、レーザ光は伝送光ファイバを通っ
てから放射光ファイバに入り、この放射光ファイバが取
り付けられた回転体等にレーザ光を放射し、その反射光
を受信して信号処理する。
そして、放射光ファイバは、伝送光ファイバと放射光フ
ァイバとの両端面が光軸上で対面したときにレーザビー
ムの伝送が行われる。
さらに、斜めの切断面に反射膜が設けられているので、
レーザビームは光軸に対し所要方向に放射される。
また、放射光ファイバを薄いシート状に結合したので、
発光する光は光シート面となり、広い面積に亙って光が
照射される。
〔実施例〕
第1図はこの発明の一実施例を示すもので、1〜8.1
4は第6図と同じものであり、20はレーザ光源、21
は高速・高感度受光処理装置、22は入射光ファイバ、
23はマニプレータである。
次に、動作について説明する。
まず、レーザ光を流路内部で発光させる方法について述
べる。
第1図において、レーザ光源20で発光させたレーザ光
をマニプレータ23によって伝送光ファイバ22に導く
。伝送光ファイバ22は静止翼列3aを通りノーズコー
ン6の内部に設けたアダプタに固定される。その詳細図
を第2図に示す。
第2図において、アダプタ31に固定された伝送光ファ
イバ22の対面位置に入射端33が配置され、ロータ5
の中心に固定された放射光ファイバ32を置く。放射光
ファイバ32の他端の放射端34は、測定すべき流路内
に導きレーザ光を放射する。この際、放射光ファイバ3
2は単心または多心のものでもよい。また、伝送光ファ
イバ22と放射光ファイバ32の対面位置は回転軸中心
以外でもよい。中心を外れた位置で対面させると回転に
同期した間欠発光を得ることができる。
次に、回転翼4の周辺に−様な光シートを得る方法につ
いて述べる。第3図に放射光ファイバ32の放射端34
の形状と発光の状況を示す。放射端34は任意の角度α
に切断し反射膜35がコーティングしである。そのため
、光は反射膜35の反対方向へ任意の角度で放射される
第4図に示すように、これらの放射光ファイバ32を多
数積に張り合せるとシート状になる。この先端から発光
させると光シートが得られる。
したがって、このシート状の放射光ファイバ32を回転
翼4に貼りつけると、第5図のように、翼の断面を中心
にシート状に光が放射される。この状態で、従来方法の
ように流体7中に散乱粒子を混入しておけば光シート面
で散乱光14が発生する。これらの散乱光14を測定窓
8を通して収集し、高速・高感度受光処理装置21 (
第1図)を用いて解析すれば瞬時に回転翼4周辺の流動
を知ることができる。半径方向の測定位置は貼りつける
シート状光ファイバの位置によって決まるので、あらか
じめきめておく必要があるが、数枚の回転翼4にそれぞ
れ異なる半径位置に貼りつけておいて順次測定する方法
や、数種類のレーザ光を1枚の回転翼4の異なる半径位
置で発光させ、光学的処理によって瞬時にいくつかの半
径位置の流動を測定する方法を用いることができる。
[発明の効果] この発明は、以上詳細に述べたように、(1)レーザビ
ーム発生装置と、このレーザビーム発生装置からのレー
ザビームを伝達するためレーザビーム発生装置のビーム
出射面にその一端を固定した伝送光ファイバと、この伝
送光ファイバからの光を受光して回転体に光を導く放射
光ファイバと、放射光ファイバから放射されたレーザ光
が回転体内部によって反射さた反射光を受信する受信装
置とから構成されているので、回転翼列等の回転体内の
流れを計測するのに有効である。すなわち、従来、回転
翼列等の内部流れの計測において可視化技術を応用する
ことは高速パルス発生器、入射窓、空間分解能1時間分
解能などの多くの問題があり、実用化に至っていない。
この発明によれば、回転体内の任意の場所に光ファイバ
で光を送ることができる。
(2)そして、光照射を回転体と同期させることが容易
である。すなわち伝送光ファイバを固定し、放射光ファ
イバを回転体に取り付け、伝送光ファイバの出射端が放
射光ファイバの端面と回転につれて対面としたとき光伝
送が行われるようにしたため、回転体に対する同期を完
全に一致できる。
(3)また、任意の方向へ放射光ファイバから出射させ
ることができる。すなわち放射光ファイバの出射端面を
光軸に対し斜めに所要角度に切断し、その切断面に反射
膜を設けであるので、反射膜の角度に応じた方向にレー
ザビームは放射される。
(4)さらに、静止物体周辺の流れの計測に有効である
。すなわち、従来のレーザ可視化技術においては物体に
対して外部からレーザ光を照射する。
この際、光が届かない影の部分が生ずる欠点がある。特
に、形状が複雑な場合には適用できない。
この発明ではシート状に放射光ファイバを構成したので
、これを物体に貼りつけて物体表面から発光させること
ができるため、複雑な形状でも影を生じない。
そして、シート状の光ファイバにより均一な光シートを
作り出せるため精度の高い測定が可能となる。光源に通
常のレーザを使用でき、かつ光ファイバで伝送できるた
め実験装置のコンパクト化が図れる。
(5)物体表面近傍の流れ計測に有効である。すなわち
、従来の方法では、外部から光を照射するため途中で光
の吸収が生じたり、物体表面で光の反射が生じたりする
ため、物体の極近傍での計測が困難であった。この方法
によれば、物体表面から発光するため、こうした物体表
面の流れの計測に特に有効である。
上述したように、この発明の光計測装置は、他の業界に
おいても極めて有効な装置を提供するものと考えられる
。例えば圧縮機やタービン等の動翼の変形に関するリア
ルタイムモニタシステム。
振動計、トルク計などへの応用が考えられる。その他、
この発明の直角方向放射型光ファイバおよびシート状光
ファイバの開発は他の産業界においても新たな発展をも
たらす可能性がある。例えばシート状表示器、インテリ
アなどへの応用も考えられる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す構成略図、第2図は
、第1図の要部の詳細を示す部分断面図、第3図はこの
発明に用いる光ファイバの例を示す図、第4図は同じ(
シート状に結合した光ファイバの例を示す図、第5図は
、第4図のシート状の光ファイバを回転翼の計測に適用
した例を示す図、第6図は従来のレーザ光を用いた流れ
計測装置の一例を示す構成略図である。 図中、1はケーシング、2は流入口、3aはストラット
、3bは静止翼列、4は回転翼、5はロータ、7は流体
、8は測定窓、10はレーザ光源、11はレーザ光、1
2は光学装置、13はレンズ、14は散乱光、15はミ
ラー、16は信号処理装置、20はレーザ光源、21は
高速・高感度受光処理装置、22は伝送光ファイバ、2
3はマニプレータ、31はアダプタ、32は放射光ファ
イバ、33は入射端、34放射端である。 第1図 特開平4−191b63 G)) 第2図

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)レーザビーム発生装置と、このレーザビーム発生
    装置からのレーザビームを伝達するため前記レーザビー
    ム発生装置のビーム出射面にその一端を固定した伝送光
    ファイバと、この伝送光ファイバからの光を受光して回
    転体に光を導く放射光ファイバと、前記放射光ファイバ
    から放射されたレーザ光が前記回転体内部によって反射
    さた反射光を前記放射光ファイバおよび伝送光ファイバ
    を介して受信する受信装置とから構成されたことを特徴
    とする光計測装置。
  2. (2)放射光ファイバを回転体の回転軸もしくは前記回
    転軸に取り付けた物体に固定し、前記回転軸の回転に伴
    い前記放射光ファイバの端面と伝送光ファイバの出射面
    とが光軸上で対面したときにレーザビームを伝送光ファ
    イバから放射光ファイバへと転送する構成としたことを
    特徴とする請求項(1)に記載の光計測装置。
  3. (3)放射光ファイバの出射端面を光軸に対して斜めに
    切断し、その切断面に反射膜を蒸着してレーザビームを
    光軸に対して傾いた方向に放射する構成としたことを特
    徴とする請求項(1)に記載の光計測装置。
  4. (4)放射光ファイバを薄いシート状に結合し、それを
    回転体の一部に貼り付け、レーザビームがすべての光フ
    ァイバから出射する構成としたことを特徴とする請求項
    (1)に記載の光計測装置。
JP2321973A 1990-11-26 1990-11-26 光計測装置 Expired - Lifetime JPH0623774B2 (ja)

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JPH0623774B2 JPH0623774B2 (ja) 1994-03-30

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112083191A (zh) * 2020-08-05 2020-12-15 河海大学 一种应用于有压管道的流速测量装置及测量方法
JP2021131060A (ja) * 2020-02-19 2021-09-09 三菱パワー株式会社 蒸気タービン液滴計測方法及び蒸気タービン液滴計測装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180066947A (ko) * 2016-12-09 2018-06-20 변상준 수성 녹방지 및 녹제거용 도료 조성물 및 그 제조방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53118072A (en) * 1977-03-25 1978-10-16 Hitachi Ltd Laser doppler flow velocity measuring device
JPS5779472A (en) * 1980-11-04 1982-05-18 Mitsubishi Electric Corp Optical fiber probe for laser doppler velocimeter
JPS59131170A (ja) * 1983-01-17 1984-07-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ドツプラ流速計

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS53118072A (en) * 1977-03-25 1978-10-16 Hitachi Ltd Laser doppler flow velocity measuring device
JPS5779472A (en) * 1980-11-04 1982-05-18 Mitsubishi Electric Corp Optical fiber probe for laser doppler velocimeter
JPS59131170A (ja) * 1983-01-17 1984-07-27 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ドツプラ流速計

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021131060A (ja) * 2020-02-19 2021-09-09 三菱パワー株式会社 蒸気タービン液滴計測方法及び蒸気タービン液滴計測装置
CN112083191A (zh) * 2020-08-05 2020-12-15 河海大学 一种应用于有压管道的流速测量装置及测量方法

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