JPH04171149A - 吸着テーブルの吸着位置切換装置 - Google Patents
吸着テーブルの吸着位置切換装置Info
- Publication number
- JPH04171149A JPH04171149A JP29566690A JP29566690A JPH04171149A JP H04171149 A JPH04171149 A JP H04171149A JP 29566690 A JP29566690 A JP 29566690A JP 29566690 A JP29566690 A JP 29566690A JP H04171149 A JPH04171149 A JP H04171149A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- holes
- shutters
- shutter
- suction holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 241000288673 Chiroptera Species 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明は吸着テーブルの吸着位置切換装置に関する。
一般に、液晶基板の端子の切断、プリント基板の検査あ
るいは文字板の印刷等の工程は液晶基板、プリント基板
、文字板等のワークを被吸着材として吸着テーブルに吸
着させて行われている。この吸着テーブルは多数の吸引
孔が形成されている吸着面に被吸着材を載置してこれを
吸引固定するように構成されている。吸着テーブルは被
吸着板となるワークの大きさが縦１００ｍｍ Ｘ横１０
０ｍ＋、 １４６＋ｎｍＸ１７２ｍ、 １７２ｍｍＸ
２９２．５ｍｍ、 ２５７ｍｌｉｌＸ３６０ｍｍ、 ３
５０ｍｍの Ｘ ８８０ｍｍ等大小種々のものがあるため、同一２着
テーブルによって賄おうとすると、小さなワークを吸着
テーブル上に載置した場合、ワークから外れた箇所の吸
引孔では常時吸引作用が働き、この結果ワークの吸着効
率の低下を招いてしまうという問題があり、これを避け
るために、ワークの大きさに合わせて不要な吸引孔を塞
ぐことによって吸着力の低下を未然に防ぐようにした吸
着テーブルが提案されている。
るいは文字板の印刷等の工程は液晶基板、プリント基板
、文字板等のワークを被吸着材として吸着テーブルに吸
着させて行われている。この吸着テーブルは多数の吸引
孔が形成されている吸着面に被吸着材を載置してこれを
吸引固定するように構成されている。吸着テーブルは被
吸着板となるワークの大きさが縦１００ｍｍ Ｘ横１０
０ｍ＋、 １４６＋ｎｍＸ１７２ｍ、 １７２ｍｍＸ
２９２．５ｍｍ、 ２５７ｍｌｉｌＸ３６０ｍｍ、 ３
５０ｍｍの Ｘ ８８０ｍｍ等大小種々のものがあるため、同一２着
テーブルによって賄おうとすると、小さなワークを吸着
テーブル上に載置した場合、ワークから外れた箇所の吸
引孔では常時吸引作用が働き、この結果ワークの吸着効
率の低下を招いてしまうという問題があり、これを避け
るために、ワークの大きさに合わせて不要な吸引孔を塞
ぐことによって吸着力の低下を未然に防ぐようにした吸
着テーブルが提案されている。
このような吸着位置の切換えを行うための吸着テーブル
として、実開昭６３−１３３９４３号公報にて吸着バッ
トの割り付は装置が提案されている。これは吸着テーブ
ル上に固定する基板に、吸着テーブルの真空室に連通ず
る多数の吸引孔を穿設し、この吸引孔に挿入立設する吸
着バット上にワークを載置して吸引固定する吸着テーブ
ルにおいて、吸引孔に下部を挿入して複数の支柱を立設
し、この支柱によりワークの形状線を描く透明板を支持
させてなるものであり、透明板の上方から透かして見な
がら形状線の内側にある吸引孔には吸着バットを個々に
挿入し、形状線の外側となる吸引孔には閉じ蓋を嵌合す
る。
として、実開昭６３−１３３９４３号公報にて吸着バッ
トの割り付は装置が提案されている。これは吸着テーブ
ル上に固定する基板に、吸着テーブルの真空室に連通ず
る多数の吸引孔を穿設し、この吸引孔に挿入立設する吸
着バット上にワークを載置して吸引固定する吸着テーブ
ルにおいて、吸引孔に下部を挿入して複数の支柱を立設
し、この支柱によりワークの形状線を描く透明板を支持
させてなるものであり、透明板の上方から透かして見な
がら形状線の内側にある吸引孔には吸着バットを個々に
挿入し、形状線の外側となる吸引孔には閉じ蓋を嵌合す
る。
上記従来技術においてはワークの大きさに合わせて不要
な各吸引孔には閉じ蓋をそれぞれ嵌合し、必要とする各
吸引孔には吸着バットをそれぞれ挿入しなければならな
いため閉じ蓋、吸着バットの挿脱作業が煩雑である上、
ワークは突出した複数の吸着バットに支持されるため安
定性に欠けるという問題があった。
な各吸引孔には閉じ蓋をそれぞれ嵌合し、必要とする各
吸引孔には吸着バットをそれぞれ挿入しなければならな
いため閉じ蓋、吸着バットの挿脱作業が煩雑である上、
ワークは突出した複数の吸着バットに支持されるため安
定性に欠けるという問題があった。
そこで本発明は吸着位置の切換えが簡単で、かつ被吸着
材の安定性が良好な吸着テーブルの吸着位置切換装置を
提供できる。
材の安定性が良好な吸着テーブルの吸着位置切換装置を
提供できる。
本発明は多数の吸引孔が形成された吸着面に被吸着材を
載置して吸引固定する吸着テーブルにおいて、列単位の
吸引孔に対応する連通孔を有する棒状のシャッタを前記
吸引孔の各列に対応させて前記吸着テーブルに複数水平
に挿入し、各シャッタを選択的に移動して前記吸引孔を
選択的に開閉するように構成したものである。
載置して吸引固定する吸着テーブルにおいて、列単位の
吸引孔に対応する連通孔を有する棒状のシャッタを前記
吸引孔の各列に対応させて前記吸着テーブルに複数水平
に挿入し、各シャッタを選択的に移動して前記吸引孔を
選択的に開閉するように構成したものである。
上記構成によって、被吸着材の大きさに合わせてシャッ
タを選択的に移動することにより、シャッタに設けられ
た連通孔が吸引孔に対し連通状態または不連通状態に切
換わり吸引孔は選択的に開閉される。
タを選択的に移動することにより、シャッタに設けられ
た連通孔が吸引孔に対し連通状態または不連通状態に切
換わり吸引孔は選択的に開閉される。
以下、本発明の実施例を添付図面を参照して説明する。
第１図〜第７図は本発明の第１実施例を示し、同図に示
すように、気密状態で相互に重なり合う上テーブルｌと
中間テーブル２と下テーブル３とで吸着テーブル４を構
成している。上テーブルｌの吸着面５となる上面には縦
列４個×横列５個＝２０個の第１の吸引孔６が縦方向に
貫設されているとともに、下面には吸引孔６の横４列に
それぞれ対応して断面四角形をなす第１のガイド溝７が
一端を開口端として形成されており、このガイド溝７に
はそれぞれ第１の角棒状シャッタ８が進退自在に水平に
挿設されている。中間テーブル２は上テーブルｌと同様
に前記各吸引孔６と対応した２０個の第２の吸引孔６Ａ
が縦方向に貫設されているとともに、下面には第１、第
２の吸引孔６Ａの縦５列にそれぞれ対応してガイド溝７
Ａが一端を開口端として形成されており、このガイド溝
７Ａにはそれぞれ第２の角棒状シャッタ８Ａが進退自在
に水平に挿設されている。第１のシャッタ８には横列の
５個の吸引孔６に対応する５個の第１の連通孔９が縦方
向に貫設され、第２のシャッタ８Ａには縦列４個の吸引
孔６，６Ａに対応する第２の連通孔９Ａが縦方向に貫設
されており、第１．第２のシャッタ８，８Ａは共に第６
図に示す節度部■０によって前進位置と後退位置とで節
度が付くようになっている。この節度部１０はシャッタ
８，８Ａの側部に進退位置に応じて形成された溝１１に
上テーブル１側および中間テーブル２側に設けられた鋼
球１２がバネ１３によって弾発的に嵌合するようになっ
ている。下テーブル３には各第２の吸引孔６Ａを相互に
連通し得る真空路１４が上面に形成されており、この真
空路１４には図示しない陰圧発生装置に接続される接続
口１５が孔１６を介して連通している。
すように、気密状態で相互に重なり合う上テーブルｌと
中間テーブル２と下テーブル３とで吸着テーブル４を構
成している。上テーブルｌの吸着面５となる上面には縦
列４個×横列５個＝２０個の第１の吸引孔６が縦方向に
貫設されているとともに、下面には吸引孔６の横４列に
それぞれ対応して断面四角形をなす第１のガイド溝７が
一端を開口端として形成されており、このガイド溝７に
はそれぞれ第１の角棒状シャッタ８が進退自在に水平に
挿設されている。中間テーブル２は上テーブルｌと同様
に前記各吸引孔６と対応した２０個の第２の吸引孔６Ａ
が縦方向に貫設されているとともに、下面には第１、第
２の吸引孔６Ａの縦５列にそれぞれ対応してガイド溝７
Ａが一端を開口端として形成されており、このガイド溝
７Ａにはそれぞれ第２の角棒状シャッタ８Ａが進退自在
に水平に挿設されている。第１のシャッタ８には横列の
５個の吸引孔６に対応する５個の第１の連通孔９が縦方
向に貫設され、第２のシャッタ８Ａには縦列４個の吸引
孔６，６Ａに対応する第２の連通孔９Ａが縦方向に貫設
されており、第１．第２のシャッタ８，８Ａは共に第６
図に示す節度部■０によって前進位置と後退位置とで節
度が付くようになっている。この節度部１０はシャッタ
８，８Ａの側部に進退位置に応じて形成された溝１１に
上テーブル１側および中間テーブル２側に設けられた鋼
球１２がバネ１３によって弾発的に嵌合するようになっ
ている。下テーブル３には各第２の吸引孔６Ａを相互に
連通し得る真空路１４が上面に形成されており、この真
空路１４には図示しない陰圧発生装置に接続される接続
口１５が孔１６を介して連通している。
次に上記構成につきその作用を説明する。
第１図、第３図、第４図および第５図は６個分の吸引孔
６に対応する大きさを有するワーク１７を吸着面５に吸
着する場合を示しており、この場合には例えば第１のシ
ャッタ８の一側の２個を前進状態とし他側の２個を後退
状態とする。一方、第２のシャッタ８Ａの中央側３個を
前進状態とし両端の２個を後退状態とする。これによっ
て、縦３列と横２列が組み合わされた縦２個×横３個＝
６個の吸引孔６が有効に利用されてワーク１７を吸引固
定することができる。つまり、第１、第２のシャッタ８
，８Ａは前進位置と後進位置とで節度部１０によって節
度が付くようになっており、第１のシャッタ８を前進す
ると第１、第２の吸引孔６゜６Ａが第１の連通孔９によ
って連通され、逆に後退させると第１、第２の吸引孔６
，６Ａがシャッタ８により遮断される。また第２のシャ
ッタ８Ａを前進すると真空路１４と第２の吸引孔６Ａが
第２の連通孔９Ａによって連通され、逆に後退させると
真空路１４と第２の吸引孔６Ａが第２のシャッタ８Ａに
より遮断されるものであるため、ワーク１７内の第１の
吸引孔６は第１、第２の連通孔および第２の吸引孔６Ａ
を通して真空路１４と連通ずることによって吸引力が発
生するが、ワーク１７外の第１の吸引孔６Ａは第１の連
通孔９または第２の連通孔９Ａによって真空路１４と遮
断される。第７図は縦５列と横３列が組み合わされた縦
３個×横５個＝１５個の吸引孔６に対応する大きさを有
するワーク１７を吸着した状態を示しており、この場合
には第１のシャッタ８の３個を前進、１個を後退とし、
第２のシャッタ８Ａの全てを前進にしている。
６に対応する大きさを有するワーク１７を吸着面５に吸
着する場合を示しており、この場合には例えば第１のシ
ャッタ８の一側の２個を前進状態とし他側の２個を後退
状態とする。一方、第２のシャッタ８Ａの中央側３個を
前進状態とし両端の２個を後退状態とする。これによっ
て、縦３列と横２列が組み合わされた縦２個×横３個＝
６個の吸引孔６が有効に利用されてワーク１７を吸引固
定することができる。つまり、第１、第２のシャッタ８
，８Ａは前進位置と後進位置とで節度部１０によって節
度が付くようになっており、第１のシャッタ８を前進す
ると第１、第２の吸引孔６゜６Ａが第１の連通孔９によ
って連通され、逆に後退させると第１、第２の吸引孔６
，６Ａがシャッタ８により遮断される。また第２のシャ
ッタ８Ａを前進すると真空路１４と第２の吸引孔６Ａが
第２の連通孔９Ａによって連通され、逆に後退させると
真空路１４と第２の吸引孔６Ａが第２のシャッタ８Ａに
より遮断されるものであるため、ワーク１７内の第１の
吸引孔６は第１、第２の連通孔および第２の吸引孔６Ａ
を通して真空路１４と連通ずることによって吸引力が発
生するが、ワーク１７外の第１の吸引孔６Ａは第１の連
通孔９または第２の連通孔９Ａによって真空路１４と遮
断される。第７図は縦５列と横３列が組み合わされた縦
３個×横５個＝１５個の吸引孔６に対応する大きさを有
するワーク１７を吸着した状態を示しており、この場合
には第１のシャッタ８の３個を前進、１個を後退とし、
第２のシャッタ８Ａの全てを前進にしている。
二のように本実施例においては、列単位の吸引孔６に対
応する連通孔９，９Ａを有する棒状のシャッタ８，８Ａ
を吸着テーブル４に複数水平に挿入しているので各シャ
ッタ８，８Ａを選択的に進退移動するだけで吸引孔６を
選択的に開閉でき、これによって”吸着位置をワーク１
７の大きさに合わせて簡単に切換えることができる。し
かも、吸着バットを用いないため、吸着面５にワーク１
７を載置して吸引固定できることによりワーク１７０安
定性も向上する。
応する連通孔９，９Ａを有する棒状のシャッタ８，８Ａ
を吸着テーブル４に複数水平に挿入しているので各シャ
ッタ８，８Ａを選択的に進退移動するだけで吸引孔６を
選択的に開閉でき、これによって”吸着位置をワーク１
７の大きさに合わせて簡単に切換えることができる。し
かも、吸着バットを用いないため、吸着面５にワーク１
７を載置して吸引固定できることによりワーク１７０安
定性も向上する。
第８図〜第１５図は本発明の第２実施例を示し、第１実
施例と同一部分に同一符号を付し同一箇所の詳細な説明
は省略する。この例では中間テーブル２および第２のシ
苓ツタ８Ａを省略して上テーブルｌに横４列の第１の吸
引孔６にそれぞれ対応して丸棒状のシャッタ８Ｂを水平
に挿設しており、このシャッタ８Ｂは第１実施例の第１
のシャッタに代わるものであり、第６図で示した節度部
１０と同様な構造により９０度面回転びに２段の進退動
作が行われる。そして、シャッタ８Ｂには横列４個の第
１の吸引孔６に対応する第１の連通孔９が設けられてい
るとともに前側から２個の連通孔９の側部にはシャッタ
８Ｂを一段後退させたときに２個の第１の吸引孔６と対
応する第３の連通孔９Ｂが設けられ、さらに前側から３
個の連通孔９の側部にはシャッタ８Ｂを二段後退させた
ときに３個の第１の吸引孔６と対応する第４の連通孔９
Ｃが設けられている。またシャッタ８Ｂには回転位置を
示す目印１８が設けられている。従って、シャッタ８Ｂ
が最前進位置では第１Ｏ図に示すように全ての第１の吸
引孔６が第１の連通孔９を通して真空路１４に連通し、
この状態でシャッタ８Ｂを９０度回動すると連通路９が
横向きになって吸引孔６が遮断される。またシャッタ８
Ｂを一段後退させると横列の２個の吸引孔６が第１３図
に示すように第３の連通路９Ｂを通して真空路１４に連
通し、二段後退させると横列の３個の吸引孔６が第１５
図に示すように第４の連通路９Ｃを通して真空路１４に
連通す（。従って、本実施例においても、各シャッタ８
Ｂを選択的に回動または進退させることにより吸引孔６
を選択的に開閉でき、第１実施例と同様な効果を奏する
。第８図〜第１１図は２個のシャッタ８Ｂを最前進位置
とし、他の２個のシャッタ８Ｂを９０度回動させた場合
を示しており、これによって縦列２個×横列４個＝８個
の吸引孔６に対応する大きさのワーク１７を吸着できる
。また第１２図および第１３図は３個のシャッタ８Ｂを
一段後退させ、他の１個のシャッタ８Ｂを９０度面回転
せたもので６個の吸引孔６に対応するワーク１７を吸着
でき、第１４図および第１５図は３個のシャッタ８Ｂを
二段後退させ、他の１個のシャッタ８Ｂを９０度面回転
せたもので９個の吸引孔６に対応するワーク１７を吸着
することができる。
施例と同一部分に同一符号を付し同一箇所の詳細な説明
は省略する。この例では中間テーブル２および第２のシ
苓ツタ８Ａを省略して上テーブルｌに横４列の第１の吸
引孔６にそれぞれ対応して丸棒状のシャッタ８Ｂを水平
に挿設しており、このシャッタ８Ｂは第１実施例の第１
のシャッタに代わるものであり、第６図で示した節度部
１０と同様な構造により９０度面回転びに２段の進退動
作が行われる。そして、シャッタ８Ｂには横列４個の第
１の吸引孔６に対応する第１の連通孔９が設けられてい
るとともに前側から２個の連通孔９の側部にはシャッタ
８Ｂを一段後退させたときに２個の第１の吸引孔６と対
応する第３の連通孔９Ｂが設けられ、さらに前側から３
個の連通孔９の側部にはシャッタ８Ｂを二段後退させた
ときに３個の第１の吸引孔６と対応する第４の連通孔９
Ｃが設けられている。またシャッタ８Ｂには回転位置を
示す目印１８が設けられている。従って、シャッタ８Ｂ
が最前進位置では第１Ｏ図に示すように全ての第１の吸
引孔６が第１の連通孔９を通して真空路１４に連通し、
この状態でシャッタ８Ｂを９０度回動すると連通路９が
横向きになって吸引孔６が遮断される。またシャッタ８
Ｂを一段後退させると横列の２個の吸引孔６が第１３図
に示すように第３の連通路９Ｂを通して真空路１４に連
通し、二段後退させると横列の３個の吸引孔６が第１５
図に示すように第４の連通路９Ｃを通して真空路１４に
連通す（。従って、本実施例においても、各シャッタ８
Ｂを選択的に回動または進退させることにより吸引孔６
を選択的に開閉でき、第１実施例と同様な効果を奏する
。第８図〜第１１図は２個のシャッタ８Ｂを最前進位置
とし、他の２個のシャッタ８Ｂを９０度回動させた場合
を示しており、これによって縦列２個×横列４個＝８個
の吸引孔６に対応する大きさのワーク１７を吸着できる
。また第１２図および第１３図は３個のシャッタ８Ｂを
一段後退させ、他の１個のシャッタ８Ｂを９０度面回転
せたもので６個の吸引孔６に対応するワーク１７を吸着
でき、第１４図および第１５図は３個のシャッタ８Ｂを
二段後退させ、他の１個のシャッタ８Ｂを９０度面回転
せたもので９個の吸引孔６に対応するワーク１７を吸着
することができる。
なお□本発明は上記実施例に限定されるものではなく本
発明の要旨の範囲内において種々の変形実施が可”能で
ある。例えば棒状シャッタの数や断面形状は適宜選定す
ればよく、また吸着テーブルの寸法、形状等は各種のタ
イプに適用できる。
発明の要旨の範囲内において種々の変形実施が可”能で
ある。例えば棒状シャッタの数や断面形状は適宜選定す
ればよく、また吸着テーブルの寸法、形状等は各種のタ
イプに適用できる。
本発明は多数の吸引孔が形成された吸着面に被吸着材を
載置して吸引固定する吸着テーブルにおいて、列単位の
吸引孔に対応する連通孔を有する棒状のシャッタを前記
吸引孔の各列に対応させて前記吸着テーブルに複数水平
に挿入し、各シャッタを選択的に移動して前記吸引孔を
選択的に開閉するように構成したことにより、吸着位置
の切換えが簡単で、かつ被吸着材の安定性が良好な吸着
テーブルの吸着位置切換装置を提供できる。
載置して吸引固定する吸着テーブルにおいて、列単位の
吸引孔に対応する連通孔を有する棒状のシャッタを前記
吸引孔の各列に対応させて前記吸着テーブルに複数水平
に挿入し、各シャッタを選択的に移動して前記吸引孔を
選択的に開閉するように構成したことにより、吸着位置
の切換えが簡単で、かつ被吸着材の安定性が良好な吸着
テーブルの吸着位置切換装置を提供できる。
第１図〜第６図は本発明の第１実施例を示し、第１図は
全体斜視図、第２図はシャッタの斜視図、第３図は第１
図のＡ−Ａ線断面図、第４図は第１図、第８図〜第１５
図は本発明の第２実施例を示し、第８図は全体斜視図、
第９図はシャッタの斜視図、第１０図は第８図のＥ−Ｅ
線断面図、第１１図は第８図のＦ−Ｆ線断面図、第１２
図は平面図、第１３図は第１２図（７）Ｇ−ＧＪｉ断面
図、第１４図１！平面図、第１５図は第１４図のＨ−Ｈ
線断面図である。 ４・・・・吸着テーブル ５−・・吸着面 ６−・・・吸引孔 ８．８Ａ、８Ｂ・・・・シャッタ ９．９Ａ、９Ｂ−ｍ一連通孔 特許出願人 日本精機株式会社
全体斜視図、第２図はシャッタの斜視図、第３図は第１
図のＡ−Ａ線断面図、第４図は第１図、第８図〜第１５
図は本発明の第２実施例を示し、第８図は全体斜視図、
第９図はシャッタの斜視図、第１０図は第８図のＥ−Ｅ
線断面図、第１１図は第８図のＦ−Ｆ線断面図、第１２
図は平面図、第１３図は第１２図（７）Ｇ−ＧＪｉ断面
図、第１４図１！平面図、第１５図は第１４図のＨ−Ｈ
線断面図である。 ４・・・・吸着テーブル ５−・・吸着面 ６−・・・吸引孔 ８．８Ａ、８Ｂ・・・・シャッタ ９．９Ａ、９Ｂ−ｍ一連通孔 特許出願人 日本精機株式会社
Claims (1)
- （１）多数の吸引孔が形成された吸着面に被吸着材を載
置して吸引固定する吸着テーブルにおいて、列単位の吸
引孔に対応する連通孔を有する棒状のシャッタを前記吸
引孔の各列に対応させて前記吸着テーブルに複数水平に
挿入し、各シャッタを選択的に移動して前記吸引孔を選
択的に開閉するように構成したことを特徴とする吸着テ
ーブルの吸着位置切換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29566690A JPH04171149A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 吸着テーブルの吸着位置切換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29566690A JPH04171149A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 吸着テーブルの吸着位置切換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04171149A true JPH04171149A (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=17823610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29566690A Pending JPH04171149A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 吸着テーブルの吸着位置切換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04171149A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350484A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
| CH713920A1 (de) * | 2017-06-26 | 2018-12-28 | Swissqprint Ag | Tisch für einen Flachbettprinter oder einen Flachbett-Schneidplotter. |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP29566690A patent/JPH04171149A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350484A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
| CH713920A1 (de) * | 2017-06-26 | 2018-12-28 | Swissqprint Ag | Tisch für einen Flachbettprinter oder einen Flachbett-Schneidplotter. |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3963227B2 (ja) | 蓋付き薄板収納容器 | |
| US3627338A (en) | Vacuum chuck | |
| JP2001282126A5 (ja) | ||
| JPS6457637A (en) | Method and apparatus for handling wafer | |
| JPH01100508A (ja) | 顕微鏡の万能型対象物保持装置 | |
| JPH04171149A (ja) | 吸着テーブルの吸着位置切換装置 | |
| CN213570718U (zh) | 一种翻转装置及真空双面镀膜装置 | |
| JPS5646529A (en) | Wafer chuck | |
| CA2354337A1 (en) | Cutting knife arrangement for use with soft materials | |
| JPH02139148A (ja) | 真空吸着テーブル | |
| CN110127340A (zh) | 一种方形物体定位方法及其定位装置 | |
| CN214323154U (zh) | 一种改进的定位载台 | |
| EP0201108A2 (en) | Apparatus for securing a photosensitive sheet | |
| CN100382238C (zh) | 真空处理装置用开闭机构及真空处理装置 | |
| CN218316023U (zh) | 一种户外雕塑组件 | |
| CN217890750U (zh) | 分区功能大吸附面真空底座加工装置 | |
| JPS63144049A (ja) | スクリ−ン印刷機に於ける印刷テ−ブル | |
| CN212240768U (zh) | 一种用于外观件加工的辅助治具 | |
| TW201931517A (zh) | 曝光旋轉治具 | |
| CN209071305U (zh) | 一种固定装置和加工设备 | |
| JP3586613B2 (ja) | 基板分割装置 | |
| JPS6338994Y2 (ja) | ||
| JPH04125537U (ja) | 真空チヤツク | |
| USD370804S (en) | End frame for a futon | |
| USD332134S (en) | Connector for use between a vacuum cleaner and an inflatable object |