JPH04165083A - 銅及び銅合金の表面処理方法 - Google Patents
銅及び銅合金の表面処理方法Info
- Publication number
- JPH04165083A JPH04165083A JP29340290A JP29340290A JPH04165083A JP H04165083 A JPH04165083 A JP H04165083A JP 29340290 A JP29340290 A JP 29340290A JP 29340290 A JP29340290 A JP 29340290A JP H04165083 A JPH04165083 A JP H04165083A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- barium
- acid
- chemical conversion
- compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 40
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 40
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 40
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 28
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 title claims description 8
- 229910001422 barium ion Inorganic materials 0.000 claims abstract description 29
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- -1 benzimidazole compound Chemical class 0.000 claims description 23
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 18
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 14
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 8
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 claims description 5
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 150000003752 zinc compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910001620 barium bromide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 claims description 4
- NKQIMNKPSDEDMO-UHFFFAOYSA-L barium bromide Chemical compound [Br-].[Br-].[Ba+2] NKQIMNKPSDEDMO-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- RQPZNWPYLFFXCP-UHFFFAOYSA-L barium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ba+2] RQPZNWPYLFFXCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 229910001863 barium hydroxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 37
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 29
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 5
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 2
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 abstract description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 abstract description 2
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 abstract description 2
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 abstract description 2
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 abstract description 2
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 abstract description 2
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 26
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 19
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 17
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000007739 conversion coating Methods 0.000 description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- LDZYRENCLPUXAX-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(C)=NC2=C1 LDZYRENCLPUXAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M sodium iodide Chemical compound [Na+].[I-] FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- 150000003505 terpenes Chemical class 0.000 description 3
- 235000007586 terpenes Nutrition 0.000 description 3
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGKOQGKVYNNKPY-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2-nonyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCCC)=NC2=C1C BGKOQGKVYNNKPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNVMXYIPRINTOK-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2-undecyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCCCCC)=NC2=C1C YNVMXYIPRINTOK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OWJJMCYAKBKGON-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-2-pentyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(C)C=C2NC(CCCCC)=NC2=C1 OWJJMCYAKBKGON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RCVFZYIDHRLOHX-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-2-propyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(C)C=C2NC(CCC)=NC2=C1 RCVFZYIDHRLOHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 2
- AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N Glycolic acid Chemical compound OCC(O)=O AEMRFAOFKBGASW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013032 Hydrocarbon resin Substances 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SWLVFNYSXGMGBS-UHFFFAOYSA-N ammonium bromide Chemical compound [NH4+].[Br-] SWLVFNYSXGMGBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 2
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 2
- IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N barium nitrate Chemical compound [Ba+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001556 benzimidazoles Chemical class 0.000 description 2
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 150000004699 copper complex Chemical class 0.000 description 2
- QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L copper(ii) bromide Chemical compound [Cu+2].[Br-].[Br-] QTMDXZNDVAMKGV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N decanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCC(O)=O GHVNFZFCNZKVNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006270 hydrocarbon resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 2
- NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M potassium fluoride Chemical compound [F-].[K+] NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N salicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1O YGSDEFSMJLZEOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HITWHALOZBMLHY-UHFFFAOYSA-N 2-Butyl-1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCC)=NC2=C1 HITWHALOZBMLHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWXMCOSRMGUVNJ-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-4-methyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCC)=NC2=C1C KWXMCOSRMGUVNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFWORIOFUWQDMY-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-6-chloro-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(Cl)C=C2NC(CCCC)=NC2=C1 WFWORIOFUWQDMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRLKLXRCNYGIOL-UHFFFAOYSA-N 2-butyl-6-nitro-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C([N+]([O-])=O)C=C2NC(CCCC)=NC2=C1 FRLKLXRCNYGIOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HBTSVVOLHPRTJA-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCCCCCCCCCCC)=NC2=C1 HBTSVVOLHPRTJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ROLDRAMHAAUNNF-UHFFFAOYSA-N 2-heptadecyl-6-methyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(C)C=C2NC(CCCCCCCCCCCCCCCCC)=NC2=C1 ROLDRAMHAAUNNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FINXTJFVUXNTOQ-UHFFFAOYSA-N 2-hexyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCC)=NC2=C1 FINXTJFVUXNTOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDPYBHGJWYBTGH-UHFFFAOYSA-N 2-hexyl-6-methyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(C)C=C2NC(CCCCCC)=NC2=C1 CDPYBHGJWYBTGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILHJMQVKDUPNHF-UHFFFAOYSA-N 2-hexyl-6-nitro-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C([N+]([O-])=O)C=C2NC(CCCCCC)=NC2=C1 ILHJMQVKDUPNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YECSLYXTXWSKBO-UHFFFAOYSA-N 2-nonyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCCC)=NC2=C1 YECSLYXTXWSKBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IRMWQHINYNTMNS-UHFFFAOYSA-N 2-octyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCC)=NC2=C1 IRMWQHINYNTMNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYGJENONTDCXGW-UHFFFAOYSA-N 2-pentyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCC)=NC2=C1 OYGJENONTDCXGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FBLJZPQLNMVEMR-UHFFFAOYSA-N 2-propyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCC)=NC2=C1 FBLJZPQLNMVEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GFKNPGTWLJFDKJ-UHFFFAOYSA-N 2-undecyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCCCCC)=NC2=C1 GFKNPGTWLJFDKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BMYNFMYTOJXKLE-UHFFFAOYSA-N 3-azaniumyl-2-hydroxypropanoate Chemical compound NCC(O)C(O)=O BMYNFMYTOJXKLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJFGGEUNRHAZIM-UHFFFAOYSA-N 4,5-dimethyl-2-nonyl-1h-benzimidazole Chemical compound CC1=CC=C2NC(CCCCCCCCC)=NC2=C1C KJFGGEUNRHAZIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLWWSZKEKXMDMU-UHFFFAOYSA-N 4,5-dimethyl-2-propyl-1h-benzimidazole Chemical compound CC1=CC=C2NC(CCC)=NC2=C1C MLWWSZKEKXMDMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCXGJTGMGJOYDP-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1h-benzimidazole Chemical compound CC1=CC=CC2=C1N=CN2 QCXGJTGMGJOYDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PABIBFWANRYHSW-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2-octyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCCCCC)=NC2=C1C PABIBFWANRYHSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RHLAEPPYWAUPIL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2-pentyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC(CCCCC)=NC2=C1C RHLAEPPYWAUPIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKECAJNLCGRKJL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2-propyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC(C)=C2NC(CCC)=NC2=C1 KKECAJNLCGRKJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OTLNPYWUJOZPPA-UHFFFAOYSA-N 4-nitrobenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 OTLNPYWUJOZPPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWXZXCZBMQPOBF-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1H-benzimidazole Chemical compound CC1=CC=C2N=CNC2=C1 RWXZXCZBMQPOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CLATUPQFGKDFSR-UHFFFAOYSA-N 6-chloro-2-octyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(Cl)C=C2NC(CCCCCCCC)=NC2=C1 CLATUPQFGKDFSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IFZRRIPBCLXGIY-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-2-nonyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(C)C=C2NC(CCCCCCCCC)=NC2=C1 IFZRRIPBCLXGIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CLDPHUAFVPZLSV-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-2-octyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C(C)C=C2NC(CCCCCCCC)=NC2=C1 CLDPHUAFVPZLSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVWIIVCQWYFPAH-UHFFFAOYSA-N 6-nitro-2-nonyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=C([N+]([O-])=O)C=C2NC(CCCCCCCCC)=NC2=C1 UVWIIVCQWYFPAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005711 Benzoic acid Substances 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005632 Capric acid (CAS 334-48-5) Substances 0.000 description 1
- 229910021555 Chromium Chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- JJLJMEJHUUYSSY-UHFFFAOYSA-L Copper hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Cu+2] JJLJMEJHUUYSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000005750 Copper hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021590 Copper(II) bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- 229910021585 Nickel(II) bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- CANRESZKMUPMAE-UHFFFAOYSA-L Zinc lactate Chemical compound [Zn+2].CC(O)C([O-])=O.CC(O)C([O-])=O CANRESZKMUPMAE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RAOSIAYCXKBGFE-UHFFFAOYSA-K [Cu+3].[O-]P([O-])([O-])=O Chemical compound [Cu+3].[O-]P([O-])([O-])=O RAOSIAYCXKBGFE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229920006271 aliphatic hydrocarbon resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006272 aromatic hydrocarbon resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L barium acetate Chemical compound [Ba+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O ITHZDDVSAWDQPZ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001553 barium compounds Chemical class 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- GXUARMXARIJAFV-UHFFFAOYSA-L barium oxalate Chemical compound [Ba+2].[O-]C(=O)C([O-])=O GXUARMXARIJAFV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940094800 barium oxalate Drugs 0.000 description 1
- WAKZZMMCDILMEF-UHFFFAOYSA-H barium(2+);diphosphate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[Ba+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O WAKZZMMCDILMEF-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 235000010233 benzoic acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940074995 bromine Drugs 0.000 description 1
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 1
- ODWXUNBKCRECNW-UHFFFAOYSA-M bromocopper(1+) Chemical compound Br[Cu+] ODWXUNBKCRECNW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000006172 buffering agent Substances 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- QSWDMMVNRMROPK-UHFFFAOYSA-K chromium(3+) trichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Cl-].[Cr+3] QSWDMMVNRMROPK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000009918 complex formation Effects 0.000 description 1
- 229910001956 copper hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940045803 cuprous chloride Drugs 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- MFGZXPGKKJMZIY-UHFFFAOYSA-N ethyl 5-amino-1-(4-sulfamoylphenyl)pyrazole-4-carboxylate Chemical compound NC1=C(C(=O)OCC)C=NN1C1=CC=C(S(N)(=O)=O)C=C1 MFGZXPGKKJMZIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 235000011087 fumaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- GPSDUZXPYCFOSQ-UHFFFAOYSA-N m-toluic acid Chemical compound CC1=CC=CC(C(O)=O)=C1 GPSDUZXPYCFOSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- IPLJNQFXJUCRNH-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);dibromide Chemical compound [Ni+2].[Br-].[Br-] IPLJNQFXJUCRNH-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N papa-hydroxy-benzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- OXNIZHLAWKMVMX-UHFFFAOYSA-N picric acid Chemical compound OC1=C([N+]([O-])=O)C=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O OXNIZHLAWKMVMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000011698 potassium fluoride Substances 0.000 description 1
- 235000003270 potassium fluoride Nutrition 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229960004889 salicylic acid Drugs 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 description 1
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 description 1
- 235000009518 sodium iodide Nutrition 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 150000003467 sulfuric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- WGIWBXUNRXCYRA-UHFFFAOYSA-H trizinc;2-hydroxypropane-1,2,3-tricarboxylate Chemical compound [Zn+2].[Zn+2].[Zn+2].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O WGIWBXUNRXCYRA-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 1
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 description 1
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000011746 zinc citrate Substances 0.000 description 1
- 235000006076 zinc citrate Nutrition 0.000 description 1
- 229940068475 zinc citrate Drugs 0.000 description 1
- SRWMQSFFRFWREA-UHFFFAOYSA-M zinc formate Chemical compound [Zn+2].[O-]C=O SRWMQSFFRFWREA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011576 zinc lactate Substances 0.000 description 1
- 235000000193 zinc lactate Nutrition 0.000 description 1
- 229940050168 zinc lactate Drugs 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- LRXTYHSAJDENHV-UHFFFAOYSA-H zinc phosphate Chemical compound [Zn+2].[Zn+2].[Zn+2].[O-]P([O-])([O-])=O.[O-]P([O-])([O-])=O LRXTYHSAJDENHV-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229910000165 zinc phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- JDLYKQWJXAQNNS-UHFFFAOYSA-L zinc;dibenzoate Chemical compound [Zn+2].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1.[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 JDLYKQWJXAQNNS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZPEJZWGMHAKWNL-UHFFFAOYSA-L zinc;oxalate Chemical compound [Zn+2].[O-]C(=O)C([O-])=O ZPEJZWGMHAKWNL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F11/00—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent
- C23F11/08—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent in other liquids
- C23F11/10—Inhibiting corrosion of metallic material by applying inhibitors to the surface in danger of corrosion or adding them to the corrosive agent in other liquids using organic inhibitors
- C23F11/14—Nitrogen-containing compounds
- C23F11/149—Heterocyclic compounds containing nitrogen as hetero atom
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/28—Applying non-metallic protective coatings
- H05K3/282—Applying non-metallic protective coatings for inhibiting the corrosion of the circuit, e.g. for preserving the solderability
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
膜を形成する方法に関するものであり、特に硬質プリン
ト配線板あるいはフレキシブルプリント配線板における
回路部のプリフラックス処理として好適な方法を提供す
るものである。
ール化合物の被膜を形成する表面処理方法として、特公
昭46−17046号、同48−11454号、同48
−25621号、同49−1983号、同49−261
83号、同58−22545号、同61−41988号
及び特開昭61−90492号公報に記載されている。
合物の化成被膜を形成する方法として、特開昭58−5
01281号公報に5−メチルベンズイミダゾールを用
いたものが開示されている。
、表面実装法が多く採用されるようになり、チップ部品
の仮止め、部品装置の両面装着あるいはチップ部品とデ
ィスクリート部品の混載などにより、プリント配線板が
高温下に曝されるようになった。
ールの化成被膜を銅回路部に形成したものは、室温近辺
においては安定しているが高温下では変色し、時として
はんだ付けに支障を来たす惧れがあり、また5−メチル
ベンズイミダゾール化合物を用いる銅金属の表面処理方
法は、これらため、好ましい膜厚と認められる0、08
μm以上の化成被膜を形成することができず、加熱時に
おける下地保護の役割を果し難いものであった。
、既に銅あるいは銅合金の表面に、2位に炭素数3以上
のアルキル基を有するベンズイミダゾール化合物(以下
2−アルキルベンズイミダゾール化合物という)と有機
酸を含む水溶液を接触させることによって、耐熱性に優
れたプリフラックス被膜を形成する方法を提案した。
イミダゾール化合物と有機酸を含む水溶液に接触して処
理する方法を実施する際、一般的に銅金属表面の汚れを
除く前処理工程において、過硫酸ナトリウム、過硫酸ア
ンモニウムあるいは硫酸と過酸化水素等からなるソフト
エツチング液が使用されている。
行う場合、硫酸根を含むエツチング液が、2−アルキル
ベンズイミダゾール化合物を含む処理液に徐々に混入し
、その結果鋼あるいは銅合金の表面に形成される化成被
膜が均一なものとならず、且つ化成被膜の膜厚が著しく
低減し、また時としてオイル状の2−アルキルベンズイ
ミダゾール化合物の硫酸塩が析出するなど種々の問題が
あることが判明した。
究を重ねた結果、銅あるいは銅合金の表面を、2−アル
キルベンズイミダゾール化合物、有機酸及び有機酸並び
にバリウムイオンもしくはバリウムイオンとハロゲンイ
オンを含む水溶液に接触させることによって、所期の目
的を達成しうろことを知見し、本発明を完遂するに至っ
た。
ズイミダゾール化合物の代表的なものとしては、 一般式 (但し、式中R1は炭素数3以上のアルキル基を示す) で示される2−プロピルベンズイミダゾール、2−ブチ
ルベンズイミダゾール、2−ペンチルベンズイミダゾー
ル、2−へキシルベンズイミダゾール、2−へブチルベ
ンズイミダゾール、2−オクチルベンズイミダゾール、
2−ノニルベンズイミダゾール、2−ウンデシルベンズ
イミダゾール、2−ヘプタデシルベンズイミダゾール及
びこれらの塩、 (但し、式中R1は前記と同じであり、R2、R8及び
R4は低級アルキル基、ハロゲン原子、ニトロ基または
水素原子を表わし、且つそのひとつが低級アルキル基、
ハロゲン原子またはニトロ基のいずれかを示す) として表わされる2−プロピル−5−メチルベンズイミ
ダゾール、2−プロピル−4,5−ジメチルベンズイミ
ダゾール、2−ブチル−5−クロロベンズイミダゾール
、2−ブチル−5−ニトロベンズイミダゾール、2−ペ
ンチル−4−メチルベンズイミダゾール、2−ペンチル
−5−メチル−ベンズイミダゾール、2−ペンチル−5
,6−シクロロペンズイミダゾール、2−へキシル−5
゜6−ジメチルベンズイミダゾール、2−へキシル−5
−ニトロベンズイミダゾール、2−へブチル−4−メチ
ルベンズイミダゾール、2−へブチル−5−メチルベン
ズイミダゾール、2−へブチル−5−クロロベンズイミ
ダゾール、2−オクチル−5,6−シクロロペンズイミ
ダゾール、2−オクチル−5−クロロベンズイミダゾー
ル、2−ノニル−4−メチルベンズイミダゾール、2−
ノニル−4,5−ジメチルベンズイミダゾール、2−ノ
ニル−5−ニトロベンズイミダゾール、2−ウンデシル
−4−メチルベンズイミダゾール、2−ヘブタデシル−
5−メチルベンズイミダゾール及びこれらの塩並びに2
−プロピル−4−メチルベンズイミダゾールと2−プロ
ピル−5−メチルベンズイミダゾールの混合物、2−ブ
チル−4−メチルベンズイミダゾールと2−ブチル−5
−メチルベンズイミダゾールの混合物、2−ペンチル−
4−メチルベンズイミダゾールと2−ペンチル−5−メ
チルベンズイミダゾールの混合物、2−へキシル−4−
メチルベンズイミダゾールと2−へキシル−5−メチル
ベンズイミダゾールの混合物、2−へブチル−4−メチ
ルベンズイミダゾールと2−へブチル−5−メチルベン
ズイミダゾールの混合物、2−オクチル−4−メチルベ
ンズイミダゾールと2−オクチル−5−メチルベンズイ
ミダゾールの混合物、2−ノニル−4−メチルベンズイ
ミダゾールと2−ノニル−5−メチルベンズイミダゾー
ルの混合物、2−ウンデシル−4−メチルベンズイミダ
ゾールと2−ウンデシル−5−メチルベンズイミダゾー
ルの混合物、2−へブタデシル−4−メチルベンズイミ
ダゾールと2−ヘプタデシル−5−メチルベンズイミダ
ゾールの混合物とこれら混合物の塩などである。
ール化合物を用いた場合、銅金属の表面に形成された化
成被膜の一部が溶出する傾向があり、また炭素数が大き
いアルキル基を持つベンズイミダゾールを使用すると、
処理液を形成するのに大量の有機酸が必要になるため、
2位のアルキル基としては炭素数5ないし9のものが、
特に好適である。
ルベンズイミダゾール化合物を0.01〜5%の範囲、
好ましくは0.1〜2%の割合で添加すればよい。
ダゾールは水に対して難溶性であるため、これらを水に
溶解させるには、アルキルベンズイミダゾールを有機酸
と反応させて、水に可溶な塩とすればよい。
蟻酸、酢酸、乳酸、プロピオン酸、カプリン酸、グリコ
ール酸、アクリル酸、安息香酸、パラニトロ安息香酸、
パラブチル安息香酸、パラトルエンスルフォン−、ピク
リン酸、サリチル酸、メタトルイル酸、蓚酸、琥珀酸、
マレイン酸、フマール酸、酒石酸、アジピン酸等があり
、水に対して0.01〜15%の範囲、好ましくは0.
2〜5%の割合で添加すれば良い。
給源としての化合物は、水あるいは酸性水溶液に可溶性
のものが適しており、その代表的なものとしては臭化バ
リウム、塩化バリウム、弗化バリウム、水酸化バリウム
、炭酸バリウム、硝酸バリウム、燐酸バリウム、酸化バ
リウム、蓚酸バリウム、酢酸バリウム等であり、これら
のうち特に臭化バリウム、塩化バリウム及び水酸化バリ
ウムか好適である。
バリウムイオン濃度が少なくとも50 ppni以上、
好ましくは200〜5000 ppmとなる割合に添加
すべきである。
させる場合に、ハロゲンイオン供給源として使用する化
合物は、塩酸、臭化水素酸等のハロゲン化水素酸、塩化
ナトリウム、塩化カリウム、塩化バリウム、臭化バリウ
ム、沃化ナトリウム、弗化ナトリウム、弗化カリウム、
塩化アンモニウム、臭化アンモニウム等のアルカリ金属
、アルカリ土類金属及びアンモニウムイオンのハロゲン
化物、塩化クロム、塩化ニッケル、塩化第二銅、塩化亜
鉛、臭化ニッケル、臭化銅等の第一遷移系列金属のハロ
ゲン化物等であり、これらのうち特に塩化アンモニウム
、臭化アンモニウム、塩化第二銅及び臭化第二銅が好適
である。
も50 ppm以上、好ましくは200〜5000 p
pmとなる割合に添加すべきであり、ハロゲンイオンの
量が多くなり過ぎると、銅金属の表面に形成される化成
被膜の耐湿性か低下する傾向がある。
ゾール化合物及び有機酸、並びにバリウムイオンもしく
はバリウムイオンとノ飄ロゲンイオンを含む水溶液に、
銅化合物あるいは亜鉛化合物を添加して、銅あるいは銅
合金の表面に接触させることによって、化成被膜の耐熱
性をさらに高めることができる。
なものとしては、塩化第一銅、塩化第二銅、臭素鋼、水
酸化銅、燐酸銅等であり、亜鉛化合物の代表的なものと
しては、酸化亜鉛、蟻酸亜鉛、酢酸亜鉛、蓚酸亜鉛、乳
酸亜鉛、クエン酸亜鉛、安息香酸亜鉛、サリチル酸亜鉛
、リン酸亜鉛等であり、これらはいずれも水に対して0
.1〜5%の割合で添加する望ましい。
に2−アルキルベンズイミダゾール化合物及び有機酸、
並びにバリウムイオンもしくはバリウムイオンとハロゲ
ンイオンバリウム化合物を含む水溶液を接触させたのち
、続いて金属表面を前記銅化合物あるいは亜鉛化合物を
含む水溶液を接触させてもよい。
衝作用を有する物質を添加して、溶液のpHを安定に維
持することが好ましい。
、処理液に徐々に持ち込まれたソフトエツチング液に含
まれる硫酸根により、硫酸バリウムが析出して処理液が
白濁するので、必要に応じて処理液を濾過機を備えた循
環系統を通過させ、発生した硫酸バリウムを系外に除去
することが望ましい。
キルベンズイミダゾール化合物及び有機酸並びにバリウ
ムイオンあるいはバリウムイオンとハロゲンイオンを含
む水溶液を接触させる工程は、水溶液の温度を約20℃
から60°Cとし、接触時間を1秒ないし数分間接触さ
せれば良い。
ては、浸漬、塗布または噴霧のいずれの方法も可能であ
る。
樹脂の二層構造を形成し、耐熱性を向上させることも可
能である。
ち、ロジン、ロジンエステル等のロジン誘導体、テルペ
ン樹脂、テルペンフェノール樹脂等のテルペン樹脂誘導
体及び芳香族炭化水素樹脂、脂肪族炭化水素樹脂、脂環
族炭化水素樹脂等の炭化水素樹脂などからなる耐熱性に
優れた熱可塑性樹脂をトルエン、酢酸エチル、IPA等
の溶媒に溶解し、ロールコータ−法等により化成被膜上
に膜厚1〜30μ、好ましくは2〜20μの厚みになる
ように均一に塗布すればよい。
ゾール化合物及び有機酸並びにバリウムイオンもしくは
バリウムイオンとハロゲンイオンを含む水溶液を接触さ
せると、2−アルキルベンズイミダゾール化合物と銅と
の錯体形成反応及び2−アルキルベンズイミダゾール化
合物間の水素結合とファンデルワールス力の両件用によ
り、局部的に銅錯体となった2−アルキルベンズイミダ
ゾール化合物の化成被膜が、銅表面上に形成される。
熱すると銅表面からの鋼の移行が起こり、2−アルキル
ベンズイミダゾール化合物の大部分が2−アルキルベン
ズイミダゾール銅錯体となり、2−アルキルベンズイミ
ダゾール化合物からなる化成被膜は共役したベンゼン環
を含むので、熱的に安定しているものと思われる。
ール化合物、存機酸及びバリウムイオンもしくはバリウ
ムイオンとハロゲンイオン並びに銅化合物または亜鉛化
合物を含む水溶液を接触させる場合には、2−アルキル
ベンズイミダゾール化合物の化成被膜が金属表面に形成
される過程において、銅または亜鉛が化成被膜中に取り
込まれ、2−アルキルベンズイミダゾール亜鉛錯体を形
成するため、化成被膜の耐熱性が向上すると考えられる
。
金属表面の汚れを除くソフトエツチング処理工程におい
て、過硫酸ナトリウム、過硫酸アンモニウムあるいは硫
酸と過酸化水素等が用いられ、これらが2−アルキルベ
ンズイミダゾール化合物を含む処理液に混入し蓄積され
ると、銅あるいは銅合金の表面に形成される化成被膜の
均一性が損なわれ、化成被膜の膜厚が極端に低減するが
、処理液中に適正な量のバリウムイオンが存在すれば、
処理液に持ち込まれたソフトエツチング剤に含まれる硫
酸根がバリウムイオンと反応して、不溶性の硫酸バリウ
ムになって系外に析出するので、2−アルキルベンズイ
ミダゾール化合物の硫酸塩の生成が未然に防止されて、
前記の障害を回避することができ且つ化成被膜の特性を
妨げることかない。
せると、硫酸根を含むソフトエツチング剤によるトラブ
ルを抑制する効果がさらに高まる。
説明する。
の厚さは、所定の大きさの試験片を0.5%塩酸水溶液
に浸漬して、2−アルキルベンズイミダゾール化合物を
抽出し、紫外線分光光度計を用いてこの抽出液中に含ま
れる化合物の濃度を測定し、下式で示される実験式に基
づいて算出した。
+ x(但し、Aは268.5nm近辺の最大吸光
度、Xは銅金属の表面積(Ciり 、yは使用した抽出
液の量(mt’)を示す) また、はんだ濡れ時間は処理されたテストピース(5m
mX50鵬×0.3鵬)を測定直前にボストフラックス
〔商品名rJS−64J■弘輝製〕に浸漬して、はんだ
濡れ性試験器(5AT−2000、■レスカ製)によっ
て測定したものであり、その測定条件は、はんだ温度2
40℃、浸漬深さ2mm、浸漬スピード16mm/se
cとした。
を脱脂し、研磨、水洗を行って、テストピースを造り、
これを表1に示した組成からなる処理水溶液に、所定の
温度でそれぞれ所定の時間浸漬し、水洗、乾燥を行って
、テストピースの表面にそれぞれ0゜2μm (比較例
1、No、2 を除く)の化成被膜を形成した。
いて同様の試験を行った。
被膜の状況を点検したのち、加熱処理として、120℃
のオーブンで5分間及び215℃の気相(スリーエム社
製[フロリナー)FC−70J )で5分間それぞれ加
熱する工程を3回繰り返し、この加熱処理されたテスト
ピースのはんだ濡れ性を測定した。
液中にバリウムイオンを存在させた場合には、処理液に
ソフトエツチング剤を添加しても化成被膜には何等の影
響が見られず、且つリフロー加熱処理をしたのちも、化
成被膜のはんだ濡れ性はほとんど変わらないものであっ
た。
に示した組成からなる処理水溶液に、所定の温度でそれ
ぞれ所定の時間浸漬し、水洗、乾燥を行って、テストピ
ースの表面にそれぞれ化成被膜を形成した。
れもムラなく均一なものであり、その膜厚は同表に示し
たとおりであった。
炉による加熱処理を行い、テストピースのはんだ濡れ性
を測定した。
液中にバリウムイオンを存在させた場合には、処理液に
ソフトエツチング剤を添加してもソフトエツチング剤を
添加しない処理液とほぼ同じはんだ濡れ性を有していた
。
実施例1と同様にソフトエツチング処理をして、表面を
研磨したテストピースを造り、これを実施例9のNo、
1及びNo、 2と同じ組成からなる処理水溶液に、
液温40℃で30秒間浸漬し、水洗、乾燥したところ、
テストピース表面にはいずれもムラのない均一な化成被
膜が形成され、その膜厚は0.31μmと0.36μm
であった。
に富む化成被膜を形成することができ、その際、処理液
中に硫酸根を含むエツチング剤か混入しても、化成被膜
の形成及び膜の特性か影響されないので、特にプリント
配線板の表面実装法におけるはんだ付は作業の改善に、
顕著な効果を発揮しうるものである。
Claims (5)
- (1)銅あるいは銅合金の表面を、少なくとも2位に炭
素数3以上のアルキル基を有するベンズイミダゾール化
合物及び有機酸並びに約50ppm以上のバリウムイオ
ンを含む水溶液に、接触させることを特徴とする銅及び
銅合金の表面処理方法。 - (2)銅あるいは銅合金の表面を、少なくとも2位に炭
素数3以上のアルキル基を有するベンズイミダゾール化
合物及び有機酸並びに約50ppm以上のバリウムイオ
ンとハロゲンイオンを含む水溶液に、接触させることを
特徴とする銅及び銅合金の表面処理方法。 - (3)バリウムイオンの供給源として、塩化バリウム、
臭化バリウム及び水酸化バリウムのいずれかを用いるこ
とを特徴とする請求項(1)及び請求項(2)に記載の
銅及び銅合金の表面処理方法。 - (4)銅あるいは銅合金の表面を、少なくとも2位に炭
素数3以上のアルキル基を有するベンズイミダゾール化
合物、有機酸及び約50ppm以上のバリウムイオン並
びに銅化合物を含む水溶液に、接触させることを特徴と
する銅及び銅合金の表面処理方法。 - (5)銅あるいは銅合金の表面を、少なくとも2位に炭
素数3以上のアルキル基を有するベンズイミダゾール化
合物、有機酸及び約50ppm以上のバリウムイオン並
びに亜鉛化合物を含む水溶液に、接触させることを特徴
とする銅及び銅合金の表面処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2293402A JP2834884B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 銅及び銅合金の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2293402A JP2834884B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 銅及び銅合金の表面処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04165083A true JPH04165083A (ja) | 1992-06-10 |
JP2834884B2 JP2834884B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=17794305
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2293402A Expired - Fee Related JP2834884B2 (ja) | 1990-10-29 | 1990-10-29 | 銅及び銅合金の表面処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2834884B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04173983A (ja) * | 1990-11-07 | 1992-06-22 | Shikoku Chem Corp | 銅及び銅合金の表面処理方法 |
JPH0525407A (ja) * | 1991-07-17 | 1993-02-02 | Tamura Kaken Kk | プリント配線板用表面保護剤 |
JP2009046761A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-03-05 | Mec Kk | 表面処理剤 |
-
1990
- 1990-10-29 JP JP2293402A patent/JP2834884B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04173983A (ja) * | 1990-11-07 | 1992-06-22 | Shikoku Chem Corp | 銅及び銅合金の表面処理方法 |
JPH0525407A (ja) * | 1991-07-17 | 1993-02-02 | Tamura Kaken Kk | プリント配線板用表面保護剤 |
JP2009046761A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-03-05 | Mec Kk | 表面処理剤 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2834884B2 (ja) | 1998-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5173130A (en) | Process for surface treatment of copper and copper alloy | |
EP0627499B1 (en) | Agent for treating surfaces of copper and copper alloys | |
EP0797690B1 (en) | Printed circuit board manufacture | |
EP1224339A4 (en) | METHOD FOR THE SELECTIVE COATING OF COPPER SUBSTRATES | |
JPS6049717B2 (ja) | メツキ処理に先立つプラスチツク性被メツキ基質の前処理方法 | |
JP2009500842A (ja) | プリフラックス組成物 | |
JPH07243054A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤 | |
JP2002105662A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤及び表面処理方法 | |
JP2005068530A (ja) | 表面処理剤、プリント回路基板およびプリント回路基板の金属の表面処理方法 | |
JP2834885B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JPH04165083A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JPH04183874A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JP2686168B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法並びにはんだ付用表面処理剤 | |
JP3367743B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤 | |
JPH0569914B2 (ja) | ||
JP3668767B2 (ja) | はんだ、無電解はんだ、銀、ニッケル、亜鉛等の金属の表面 処理方法 | |
JP2849216B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JP3398296B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤 | |
JP2834776B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JP2972295B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JP2561150B2 (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JPH0480375A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
JPH05163585A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理方法 | |
KR100208555B1 (ko) | 동 및 동합금의 표면 처리 방법 | |
JPH10245684A (ja) | 銅及び銅合金の表面処理剤 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081002 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101002 Year of fee payment: 12 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |