JPH04162645A - 計測・試験装置 - Google Patents
計測・試験装置Info
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- JPH04162645A JPH04162645A JP28705090A JP28705090A JPH04162645A JP H04162645 A JPH04162645 A JP H04162645A JP 28705090 A JP28705090 A JP 28705090A JP 28705090 A JP28705090 A JP 28705090A JP H04162645 A JPH04162645 A JP H04162645A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 5
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は被試験物（試料）に電源を供給する技術、特に
、エージングや負荷試験を行うために用いて効果のある
技術に関するものである。
、エージングや負荷試験を行うために用いて効果のある
技術に関するものである。
被試験物が電気製品の場合、特性測定、動作試験、エー
ジングなどを行う場合、何らかの形で電源供給を受ける
必要がある。通常、安定化電源装置などを準備し、この
電源装置から電源の供給を受けながら実施している。
ジングなどを行う場合、何らかの形で電源供給を受ける
必要がある。通常、安定化電源装置などを準備し、この
電源装置から電源の供給を受けながら実施している。
ところで、本発明者は、異常時の過大電流による被試験
物、電源装置及び両者間を接続する部材の破壊の問題に
ついて検討した。
物、電源装置及び両者間を接続する部材の破壊の問題に
ついて検討した。
すなわち、電源装置の出力電流（負荷電流）値か１００
八程度位までであれば問題は生じないが、被試験物に異
常なとか生じた場合には出力電流が過大になり、電源装
置及び被試験物の破壊を招く恐れかある。
八程度位までであれば問題は生じないが、被試験物に異
常なとか生じた場合には出力電流が過大になり、電源装
置及び被試験物の破壊を招く恐れかある。
例えば、半導体製品のエージングを行う場合、試験雰囲
気（例えば、１２０℃の温度雰囲気）中にセットされた
数十個以上の半導体製品に同時に同−電圧の電源を一定
時間（数時間〜数百時間）供給する方法を採用している
。この場合の電源からの出力電流は、１００〜３００ア
ンペア台に達し、被試験物かエージング中に不良となる
数が増加して行くほど電流は増大する。
気（例えば、１２０℃の温度雰囲気）中にセットされた
数十個以上の半導体製品に同時に同−電圧の電源を一定
時間（数時間〜数百時間）供給する方法を採用している
。この場合の電源からの出力電流は、１００〜３００ア
ンペア台に達し、被試験物かエージング中に不良となる
数が増加して行くほど電流は増大する。
そして、試験雰囲気が高温であることも影響して、半導
体製品を保持するソケット及び接続リードが過大電流（
又は過大電圧）によって過熱し、炭化あるいは溶損を生
じる。この結果、以後の試験時に軽度のときにはリーク
の発生や接触抵抗の増大を招き、最悪のときにはショー
トなどを生じ、目的とするエージング効果かえられなく
なる。
体製品を保持するソケット及び接続リードが過大電流（
又は過大電圧）によって過熱し、炭化あるいは溶損を生
じる。この結果、以後の試験時に軽度のときにはリーク
の発生や接触抵抗の増大を招き、最悪のときにはショー
トなどを生じ、目的とするエージング効果かえられなく
なる。
そこで、過大電流を許容できる電流値の段階で遮断し、
あるいは抑制する手段などが施されている。例えば、メ
ータリレー、ヒユーズ、ブレーカなどの保護手段を被試
験物との間に設けることか行われている。
あるいは抑制する手段などが施されている。例えば、メ
ータリレー、ヒユーズ、ブレーカなどの保護手段を被試
験物との間に設けることか行われている。
また、安定化交流電源及び安定化直流電源は、一般に装
置或いは被試験物を過電圧或いは過電流での電気的破壊
を防止する目的のため、上限側に電圧リミッタ及び電流
リミッタが設けられている。
置或いは被試験物を過電圧或いは過電流での電気的破壊
を防止する目的のため、上限側に電圧リミッタ及び電流
リミッタが設けられている。
このリミッタは固定式或いは可変式になっているが、固
定式の場合、大電流用（を流容量１００Ａ以上）、或い
は小型用、低価格用に用いられる。
定式の場合、大電流用（を流容量１００Ａ以上）、或い
は小型用、低価格用に用いられる。
また、可変式は、小電流（を流容量１００八以下）、或
いは多機能用に用いられる。
いは多機能用に用いられる。
リミッタの構成は、出力電圧或いは電流かリミッタ設定
値より高くなるとリミッタ設定値より多くの電流を流さ
ない方法、或いは安定化電源装置自身の出力電圧（又は
電流）を遮断する方法が用いられている。
値より高くなるとリミッタ設定値より多くの電流を流さ
ない方法、或いは安定化電源装置自身の出力電圧（又は
電流）を遮断する方法が用いられている。
また、負荷試験やエージングなどにおいて、被試験物の
負荷電流が試験毎に同一でない場合、安定化電源装置及
び被試験物を電気的な破壊から守るため、被試験物の負
荷電流に対し一定の比率を加えた電圧及び電流値をリミ
ッタとして設定している。なお、大電流型では、リミッ
タが固定式（通常、安定化電源装置の電流容量値に設定
）にされる。
負荷電流が試験毎に同一でない場合、安定化電源装置及
び被試験物を電気的な破壊から守るため、被試験物の負
荷電流に対し一定の比率を加えた電圧及び電流値をリミ
ッタとして設定している。なお、大電流型では、リミッ
タが固定式（通常、安定化電源装置の電流容量値に設定
）にされる。
ところが、前記の如き保護手段を設けた計測・試験装置
においては、電圧、電流または定常値に対して制限値を
設定するものであるため、電圧を印加する負荷試験装置
、エージング装置のように被試験物の負荷電流が変動す
る場合には、その度にリミッタの再設定を必要とし、多
品種をランダムに生産する場合には有効でないという問
題のあることが本発明者によって見出された。
においては、電圧、電流または定常値に対して制限値を
設定するものであるため、電圧を印加する負荷試験装置
、エージング装置のように被試験物の負荷電流が変動す
る場合には、その度にリミッタの再設定を必要とし、多
品種をランダムに生産する場合には有効でないという問
題のあることが本発明者によって見出された。
また、大電流型の安定化電源装置では、リミッタか固定
式のため、安定化電源装置の保護に依存せざるを得なか
った。
式のため、安定化電源装置の保護に依存せざるを得なか
った。
そこで、本発明の目的は、被試験物毎に電流値などが変
わっても最適にリミッタが作用するようにした計測・試
験装置を提供することにある。
わっても最適にリミッタが作用するようにした計測・試
験装置を提供することにある。
本発明の前記目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び
添付図面から明らかになるであろう。
添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、以下の通りである。
要を簡単に説明すれば、以下の通りである。
すなわち、負荷である被試験物に電源を供給する電源装
置と、その出力状態を検出する検出手段と、前記出力状
態の上限の許容値を設定する設定手段と、該手段による
設定値を前記検出手段による検出値に乗算する演算器と
、該演算器による演算値を前記検出手段による検出値が
上回るときに前記電源装置の出力を遮断するための制御
信号を出力する比較手段とを設けるようにしたものであ
る。
置と、その出力状態を検出する検出手段と、前記出力状
態の上限の許容値を設定する設定手段と、該手段による
設定値を前記検出手段による検出値に乗算する演算器と
、該演算器による演算値を前記検出手段による検出値が
上回るときに前記電源装置の出力を遮断するための制御
信号を出力する比較手段とを設けるようにしたものであ
る。
上記した手段によれば、電源装置の出力状態（電圧、電
流、電力）に対して予め上限の限界値を設定し、これを
基準値にして現在の出力状態を比較監視し、現在の出力
状態の検出値か基準値を上回るときに電源装置の出力を
遮断するための制御信号を出力する。これにより、被試
験物毎に電流値などが変わっても、被試験物に過大電流
または過大電圧が印加されるのを防止し、被試験物が電
気的に破壊されるのを防止することができる。
流、電力）に対して予め上限の限界値を設定し、これを
基準値にして現在の出力状態を比較監視し、現在の出力
状態の検出値か基準値を上回るときに電源装置の出力を
遮断するための制御信号を出力する。これにより、被試
験物毎に電流値などが変わっても、被試験物に過大電流
または過大電圧が印加されるのを防止し、被試験物が電
気的に破壊されるのを防止することができる。
第１図は本発明による計測・試験装置の一実施例におけ
る計測・試験装置を示すブロック図である。
る計測・試験装置を示すブロック図である。
被試験物１（本実施例では半導体装置）には電流計２を
介して電源装置３が接続され、その出力端子間に電圧計
４が接続されている。電圧計４には電圧変換器５（検出
手段）が接続され、電流計２には電流変換器６（検出手
段）が接続され、これら変換器には演算器７が接続され
ている。演算器７には、さらに入力係数器８（設定手段
）が接続され、その出力信号が入力として印加される。
介して電源装置３が接続され、その出力端子間に電圧計
４が接続されている。電圧計４には電圧変換器５（検出
手段）が接続され、電流計２には電流変換器６（検出手
段）が接続され、これら変換器には演算器７が接続され
ている。演算器７には、さらに入力係数器８（設定手段
）が接続され、その出力信号が入力として印加される。
また、演算器７には、セット部９及びタイマ１０が接続
されている。
されている。
演算器７、電圧変換器５及び電流変換器６には比較器１
１（比較手段）が接続され、二人力信号の比較結果に基
づいてリセット信号Ｓ、を電源装置３へ出力する。
１（比較手段）が接続され、二人力信号の比較結果に基
づいてリセット信号Ｓ、を電源装置３へ出力する。
以上の構成において、入力係数器８には予め必要とする
係数が設定される。被試験物ｌを接続して電源装置３の
出力スイッチをオンにすると、その出力電圧及び出力電
流に応じた値を電流計２及び電圧計４が指示し、同時に
指示値が電圧変換器５及び電流変換器６によって増幅の
のち、電圧値に変換して出力する。この変換値の一方（
電圧又は電流）に対し、演算器７によって入力係数器８
の係数値を掛は算し、この値をレベル値として保持する
。演算に際しては、演算の前にセット部９によりセット
命令を出力する。また、成る時間帯域でセット信号の入
力を行う場合には、タイマ１０を接続する。
係数が設定される。被試験物ｌを接続して電源装置３の
出力スイッチをオンにすると、その出力電圧及び出力電
流に応じた値を電流計２及び電圧計４が指示し、同時に
指示値が電圧変換器５及び電流変換器６によって増幅の
のち、電圧値に変換して出力する。この変換値の一方（
電圧又は電流）に対し、演算器７によって入力係数器８
の係数値を掛は算し、この値をレベル値として保持する
。演算に際しては、演算の前にセット部９によりセット
命令を出力する。また、成る時間帯域でセット信号の入
力を行う場合には、タイマ１０を接続する。
演算器７によって得られた１つの基準に対し、比較器１
１によって時々刻々と変化する電圧変換器５又は電流変
換器６の出力値との比較を行う。
１によって時々刻々と変化する電圧変換器５又は電流変
換器６の出力値との比較を行う。
この比較は、電圧変換器５の出力をｖ、、電流変換器６
の出力をｖ７とすれば、（ｖ、≧ＶＳ）または（ｖ７≧
ｖ、）の比較を行うもので、この関係が成立したときに
リセット信号Ｓ、（例えば、“Ｈ”レベルから“Ｌ″レ
ベル変化）を出力する。
の出力をｖ７とすれば、（ｖ、≧ＶＳ）または（ｖ７≧
ｖ、）の比較を行うもので、この関係が成立したときに
リセット信号Ｓ、（例えば、“Ｈ”レベルから“Ｌ″レ
ベル変化）を出力する。
リセット信号Ｓ、か出力されると、電源装置３は入力側
を遮断することなく、出力ラインを遮断する。この結果
、過電流状態はなくなり、被試験物１の電気的破壊や接
続部材の損傷を未然に防止することができる。
を遮断することなく、出力ラインを遮断する。この結果
、過電流状態はなくなり、被試験物１の電気的破壊や接
続部材の損傷を未然に防止することができる。
なお、演算器７による処理はアナログ的にもデジタル的
にも処理することが可能である。この場合、信号形態に
応じて入力側の信号（１圧変換器５、電流変換器６及び
入力係数器８の出力）をアナログ値またはデジタル値に
する必要がある。デジタル処理とした場合、設定値を決
めやすいという利点がある。一方、アナログ構成にした
場合、二値化処理が不要になる利点を有している。ただ
し、多品種で且つその電流値が品種ごとに異なるときに
は設定が難しくなる。
にも処理することが可能である。この場合、信号形態に
応じて入力側の信号（１圧変換器５、電流変換器６及び
入力係数器８の出力）をアナログ値またはデジタル値に
する必要がある。デジタル処理とした場合、設定値を決
めやすいという利点がある。一方、アナログ構成にした
場合、二値化処理が不要になる利点を有している。ただ
し、多品種で且つその電流値が品種ごとに異なるときに
は設定が難しくなる。
本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うま
でもない。
旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うま
でもない。
例えば、演算器７は専用の回路を構築することも可能で
あるが、マイクロコンピュータを用いて構成することも
可能である。
あるが、マイクロコンピュータを用いて構成することも
可能である。
また、上記実施例においては、被試験物として半導体装
置を例に説明したが、これに限定されるものではなく、
例えば、気体（又は液体）流量計、電力計、圧力計、風
速計などで、電気信号として取り扱われるものにも本発
明を適用可能である。
置を例に説明したが、これに限定されるものではなく、
例えば、気体（又は液体）流量計、電力計、圧力計、風
速計などで、電気信号として取り扱われるものにも本発
明を適用可能である。
さらに、上記実施例においては、電源装置３の出力電圧
と出力電流を検出するものとしたが、電流値に比例して
変化する電力値を検出するようにしてもよい。
と出力電流を検出するものとしたが、電流値に比例して
変化する電力値を検出するようにしてもよい。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。
って得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。
すなわち、負荷である被試験物に電源を供給する電源装
置と、その出力状態を検出する検出手段と、前記出力状
態の上限の許容値を設定する設定手段と、該手段による
設定値を前記検出手段による検出値に乗算する演算器と
、該演算器による演算値を前記検出手段による検出値が
上回るときに前記電源装置の出力を遮断するための制御
信号を出力する比較手段とを設けるようにしたので、被
試験物毎に電流値などが変わっても、被試験物に過大電
流または過大電圧が印加されるのを防止することができ
、被試験物を電気的破壊から守ることができる。
置と、その出力状態を検出する検出手段と、前記出力状
態の上限の許容値を設定する設定手段と、該手段による
設定値を前記検出手段による検出値に乗算する演算器と
、該演算器による演算値を前記検出手段による検出値が
上回るときに前記電源装置の出力を遮断するための制御
信号を出力する比較手段とを設けるようにしたので、被
試験物毎に電流値などが変わっても、被試験物に過大電
流または過大電圧が印加されるのを防止することができ
、被試験物を電気的破壊から守ることができる。
第１図は本発明による計測・試験装置の一実施例におけ
る計測・試験装置を示すブロック図である。 ｌ・・・被試験物、２・・・電流計、３・・・電源装置
、４・・・電圧計、５・・・電圧変換器、６・・・電流
変換器、７・・・演算器、８・・・入力係数器、９・・
・セット部、１０・・・タイマ、１１・・・比較器、Ｓ
、・・・リセット信号。
る計測・試験装置を示すブロック図である。 ｌ・・・被試験物、２・・・電流計、３・・・電源装置
、４・・・電圧計、５・・・電圧変換器、６・・・電流
変換器、７・・・演算器、８・・・入力係数器、９・・
・セット部、１０・・・タイマ、１１・・・比較器、Ｓ
、・・・リセット信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、負荷である被試験物に電源を供給する電源装置と、
その出力状態を検出する検出手段と、前記出力状態の上
限の許容値を設定する設定手段と、該手段による設定値
を前記検出手段による検出値に乗算する演算器と、該演
算器による演算値を前記検出手段による検出値が上回る
ときに前記電源装置の出力を遮断するための制御信号を
出力する比較手段とを具備することを特徴とする計測・
試験装置。 ２、前記出力状態は、前記電源装置の出力電圧又は出力
電流であることを特徴とする請求項１記載の計測・試験
装置。 ３、前記許容値は係数であることを特徴とする請求項１
記載の計測・試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28705090A JPH04162645A (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 計測・試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28705090A JPH04162645A (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 計測・試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04162645A true JPH04162645A (ja) | 1992-06-08 |
Family
ID=17712406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28705090A Pending JPH04162645A (ja) | 1990-10-26 | 1990-10-26 | 計測・試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04162645A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103472381A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 南京航空航天大学 | 一种功率开关管故障特征参数提取方法 |
| CN104950238A (zh) * | 2014-03-24 | 2015-09-30 | 比亚迪股份有限公司 | 换流器及其igbt驱动电路的故障检测方法和装置 |
-
1990
- 1990-10-26 JP JP28705090A patent/JPH04162645A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103472381A (zh) * | 2013-09-27 | 2013-12-25 | 南京航空航天大学 | 一种功率开关管故障特征参数提取方法 |
| CN104950238A (zh) * | 2014-03-24 | 2015-09-30 | 比亚迪股份有限公司 | 换流器及其igbt驱动电路的故障检测方法和装置 |
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