JPH04160322A - 流量計 - Google Patents
流量計Info
- Publication number
- JPH04160322A JPH04160322A JP28616890A JP28616890A JPH04160322A JP H04160322 A JPH04160322 A JP H04160322A JP 28616890 A JP28616890 A JP 28616890A JP 28616890 A JP28616890 A JP 28616890A JP H04160322 A JPH04160322 A JP H04160322A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow rate
- diaphragm
- container
- liquid
- flowmeter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
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- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置製造装置に供給する液体の流量を
測定する流量計に間する。
測定する流量計に間する。
従来、この種の流量計は、エツチング装置、拡散炉、Ｃ
ＶＤ装置、レジスト塗布装置及び洗浄装置等の半導体装
置製造装置に液体を供給するときの流量測定として多く
使用されてきた。いずれの半導体製造装置でも、流量の
精度及び流れる液体の清浄度に対して厳しい要求を満足
するもでなければならなかった。
ＶＤ装置、レジスト塗布装置及び洗浄装置等の半導体装
置製造装置に液体を供給するときの流量測定として多く
使用されてきた。いずれの半導体製造装置でも、流量の
精度及び流れる液体の清浄度に対して厳しい要求を満足
するもでなければならなかった。
第３図は従来の流量計の一例を示す流量計の主要部の断
面図である。この流量計は、面積流量計であり、一種の
差圧流量計である。すなわち、同図に示すように、液体
の流れる配管途中に接続される透明なテーパ管１と、こ
のテーパ管ｌ内に浮いている円筒フロート１０とを有し
ている。
面図である。この流量計は、面積流量計であり、一種の
差圧流量計である。すなわち、同図に示すように、液体
の流れる配管途中に接続される透明なテーパ管１と、こ
のテーパ管ｌ内に浮いている円筒フロート１０とを有し
ている。
この流量計で、流量を測定する場合は、まず、テーパ管
１に矢印で示す方向に液体を流す。このとことにより、
円筒フロート１０が受ける流速による圧力を含めた浮力
と、円筒フロート１０の質量とがバランスのとれる位置
で、円筒フロート１０は停止する。この停止位置を目盛
１１を読み、流量を測定してＣ）た。
１に矢印で示す方向に液体を流す。このとことにより、
円筒フロート１０が受ける流速による圧力を含めた浮力
と、円筒フロート１０の質量とがバランスのとれる位置
で、円筒フロート１０は停止する。この停止位置を目盛
１１を読み、流量を測定してＣ）た。
しかしながら、上述した従来の流量計では、テ−パ管１
に液体の汚れが付着し、円筒フロート１０が流量の変動
により、上下動し、しばしば円筒フロート１０によりテ
ーバ管１の汚れをこすり落し、液中に汚れが混在すると
いう問題がある。
に液体の汚れが付着し、円筒フロート１０が流量の変動
により、上下動し、しばしば円筒フロート１０によりテ
ーバ管１の汚れをこすり落し、液中に汚れが混在すると
いう問題がある。
この対策として、この流量計の代りに、例えば、ダイア
フラムにより圧力測定し、流速に換算し、流量を測定す
る流量計や、ベンチュリ管を利用した流量計が用いられ
るが、いずれも測定精度が悪く、使用に適さないもので
あった。
フラムにより圧力測定し、流速に換算し、流量を測定す
る流量計や、ベンチュリ管を利用した流量計が用いられ
るが、いずれも測定精度が悪く、使用に適さないもので
あった。
本発明の目的は、かかる問題を解消する流量計を提供す
ることにある。
ることにある。
本発明の流量計は、液体が流れる容器と、前記液体の流
れの方向に対して垂直方向に前記容器内に貼り付けられ
るとともに前記液体が抜け通る隙間を有するダイアフラ
ムと、このダイアフラムに貼り付けられるピエゾ効果の
半導体抵抗素子とを有している。
れの方向に対して垂直方向に前記容器内に貼り付けられ
るとともに前記液体が抜け通る隙間を有するダイアフラ
ムと、このダイアフラムに貼り付けられるピエゾ効果の
半導体抵抗素子とを有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施例を示す流量
計の主要部における縦断面図及び横断面図である。この
流量計は、同図に示すように、液体が流れる容器１ａと
、この液体の流れの方向に対して垂直方向に容器１内に
貼り付けられるとともに液体が抜け通る隙間６を有する
ダイアフラム３と、このダイアフラム３に貼り付けられ
るピエゾ効果の半導体抵抗素子２とを設けたことである
。
計の主要部における縦断面図及び横断面図である。この
流量計は、同図に示すように、液体が流れる容器１ａと
、この液体の流れの方向に対して垂直方向に容器１内に
貼り付けられるとともに液体が抜け通る隙間６を有する
ダイアフラム３と、このダイアフラム３に貼り付けられ
るピエゾ効果の半導体抵抗素子２とを設けたことである
。
また、この半導体抵抗素子２に電流を流すための気密に
容器１ａより導出する端子４及び５を設けである。
容器１ａより導出する端子４及び５を設けである。
この流量計は、液体の流れにより、ダイアフラム２が変
形し、その変形に伴ない半導体抵抗素子２も変形し、こ
の変形の度合に比例して抵抗値が変化するピエゾ効果を
利用したものである。すなわち、この半導体抵抗素子２
に電流を流し、そのときの電圧を測定することで液体の
流星を測定することである。
形し、その変形に伴ない半導体抵抗素子２も変形し、こ
の変形の度合に比例して抵抗値が変化するピエゾ効果を
利用したものである。すなわち、この半導体抵抗素子２
に電流を流し、そのときの電圧を測定することで液体の
流星を測定することである。
次に、この流量計を配管に組込んで、流量を測定する場
合の動作について図面を参照して説明する。
合の動作について図面を参照して説明する。
第２図は第１図の流量計を配管に組込んだ状態を示すブ
ロック図である。まず、図示していない配管に流量計の
容器１ａを接続する。次に、端子５に定電流電源７を接
属する。さらに、半導体抵抗素子を図示していないホイ
ストンブリジ抵抗回路の一抵抗素子として接続し、この
出力端子である端子４にＡＤ変換器８を接続する。また
、このＡＤ変換器８には、デジタルで流量を表示できる
流量表示部９を接続する。
ロック図である。まず、図示していない配管に流量計の
容器１ａを接続する。次に、端子５に定電流電源７を接
属する。さらに、半導体抵抗素子を図示していないホイ
ストンブリジ抵抗回路の一抵抗素子として接続し、この
出力端子である端子４にＡＤ変換器８を接続する。また
、このＡＤ変換器８には、デジタルで流量を表示できる
流量表示部９を接続する。
このように、接続した後、液体を配管に流し、容器１内
にある半導体抵抗素子を変形させる。この歪みにより半
導体抵抗素子の抵抗値が変り、ホイストンブリジ抵抗回
路のバランスがくずれ、それに応じた電流が流れる。こ
のときに発生する電圧をＡＤ変換器８で、パルス電圧の
数に変換し、流量表示部９に送り、流量表示部９は、パ
ルス電圧の数を流量に変換し、デジタルで表示する。
にある半導体抵抗素子を変形させる。この歪みにより半
導体抵抗素子の抵抗値が変り、ホイストンブリジ抵抗回
路のバランスがくずれ、それに応じた電流が流れる。こ
のときに発生する電圧をＡＤ変換器８で、パルス電圧の
数に変換し、流量表示部９に送り、流量表示部９は、パ
ルス電圧の数を流量に変換し、デジタルで表示する。
周知の通り、半導体抵抗素子の歪みに対する抵抗値の変
化の割合が大きいので、非常に感度の良い流量計が得ら
れる。また、流れの方向が変っても、その流量の絶対値
を測定できるので、流量値が＋か−かで、流れの方向を
も知ることが出来る利点もある。
化の割合が大きいので、非常に感度の良い流量計が得ら
れる。また、流れの方向が変っても、その流量の絶対値
を測定できるので、流量値が＋か−かで、流れの方向を
も知ることが出来る利点もある。
以上説明したように本発明は、容器内に液体の流れ方向
に対して垂直方向に貼り付けられるダイアフラムと、こ
のダイアフラムに貼り付けられる半導体抵抗素子とを備
え、流速圧による半導体抵抗素子の歪みで、流速を測定
し、流量に換算するので、従来の流量計の可動する部分
を無くすことが出来、容器の壁より発生する汚れが無く
なる。
に対して垂直方向に貼り付けられるダイアフラムと、こ
のダイアフラムに貼り付けられる半導体抵抗素子とを備
え、流速圧による半導体抵抗素子の歪みで、流速を測定
し、流量に換算するので、従来の流量計の可動する部分
を無くすことが出来、容器の壁より発生する汚れが無く
なる。
従って、液体を汚染することなく、より高い精度で流量
を測定出来る流量計が得られるという効果がある。
を測定出来る流量計が得られるという効果がある。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明の一実施例を示す流量
計の主要部における縦断面図及び横断面図、第２図は第
１図の流量計を配管に組込んだ状態を示すプロ・・ｌり
図、第３図は従来の流量計の一例を示す流量計の主要部
の断面図である。 １・・・テーパ管、１ａ・・・容器、２・・・半導体抵
抗素子、３・・・ダイアフラム、４．５・・・端子、６
・・・隙間、７・・・定電流電源、８・・・Ａ’ Ｄ変
換器、９・・・流量表示部、１０・・・円筒フロート、
１１・・・目盛。
計の主要部における縦断面図及び横断面図、第２図は第
１図の流量計を配管に組込んだ状態を示すプロ・・ｌり
図、第３図は従来の流量計の一例を示す流量計の主要部
の断面図である。 １・・・テーパ管、１ａ・・・容器、２・・・半導体抵
抗素子、３・・・ダイアフラム、４．５・・・端子、６
・・・隙間、７・・・定電流電源、８・・・Ａ’ Ｄ変
換器、９・・・流量表示部、１０・・・円筒フロート、
１１・・・目盛。
Claims (1)
- 液体が流れる容器と、前記液体の流れの方向に対して垂
直方向に前記容器内に貼り付けられるとともに前記液体
が抜け通る隙間を有するダイアフラムと、このダイアフ
ラムに貼り付けられるピエゾ効果をもつ半導体抵抗素子
とを有することを特徴とする流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28616890A JPH04160322A (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28616890A JPH04160322A (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | 流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04160322A true JPH04160322A (ja) | 1992-06-03 |
Family
ID=17700825
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28616890A Pending JPH04160322A (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | 流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04160322A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998048330A1 (de) * | 1997-04-22 | 1998-10-29 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Dosiervorrichtungselement |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP28616890A patent/JPH04160322A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998048330A1 (de) * | 1997-04-22 | 1998-10-29 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Dosiervorrichtungselement |
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