JPH04149808A - Magnetic head and production thereof - Google Patents

Magnetic head and production thereof

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JPH04149808A
JPH04149808A JP27600990A JP27600990A JPH04149808A JP H04149808 A JPH04149808 A JP H04149808A JP 27600990 A JP27600990 A JP 27600990A JP 27600990 A JP27600990 A JP 27600990A JP H04149808 A JPH04149808 A JP H04149808A
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JP
Japan
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magnetic
composite substrate
magnetic material
magnetic head
soft magnetic
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Application number
JP27600990A
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Japanese (ja)
Inventor
Masaaki Utsunomiya
正明 宇都宮
Kazuyoshi Fuse
一義 布施
Naoki Miyagi
直樹 宮城
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Toshiba Corp
Toshiba AVE Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba AVE Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To assure flatness and to enhance magnetic efficiency as well as to stably obtain the magnetic head having good quality by superposing soft magnetic material powder and nonmagnetic material powder and subjecting these powders in integral compression molding and calcining to form the half body of a composite substrate. CONSTITUTION:Blank materials are formed of soft magnetic ferrite 10 and nonmagnetic ceramics 20 adjusted to have the calcination conditions and coefft. of thermal expansion equal to each other. These blank materials are alternately superposed and are subjected to integral compression molding to form the substrate having the composite structure. Metallic thin films 40a to 40c are laminated by inserting Nonmagnetic thin films 30a, 30b between a pair of such composite substrate half bodies. The plural composite substrates are superposed and adhered in the lamination direction of the thin films 40a to 40c to produce the core half body block of a rectangular parallelepiped. This block is cut a prescribed intervals and in the face direction, by which the columnar core half body blocks are obtd. The sufficient flatness of the composite substrate half bodies is then assured and the magnetic head having high magnetic efficiency and good quality is stably obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、磁気記録再生に用いられる磁気ヘッドおよび
その製造方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to a magnetic head used for magnetic recording and reproduction and a method of manufacturing the same.

(従来の技術) 従来から、磁気記録再生に用いられる磁気ヘッドとして
は、フェライトヘッドやバルク状のメタルヘッドが用い
られている。ところが、近年、高密度記録化に伴い抗磁
力の高いメタルテープの採用や記録信号の広帯域化に対
応するために次のようなメタルラミネートヘッドが提案
されている。
(Prior Art) Ferrite heads and bulk metal heads have conventionally been used as magnetic heads used for magnetic recording and reproduction. However, in recent years, the following metal laminate heads have been proposed in order to cope with the adoption of metal tapes with high coercive force and the widening of recording signal bands with the trend toward higher density recording.

第9図は従来のメタルラミネートヘッドの構成を示す斜
視図である。同図に示すように、このヘッド1は、一対
の複合基板半体(2aおよび2b、3aおよび3b)の
間に金属磁性薄膜4 as 4 b 。
FIG. 9 is a perspective view showing the structure of a conventional metal laminate head. As shown in the figure, this head 1 has a metal magnetic thin film 4 as 4 b between a pair of composite substrate halves (2a and 2b, 3a and 3b).

4cおよび磁性膜5a、5bを交互に重ね挾持してなる
磁気ヘッドコア半体6aと、同様に一対の複合基板半体
(2cおよび2d、3Cおよび3d)の間に金属磁性薄
膜4c、4d、4eおよび絶縁膜5C% 5dを交互に
重ね挾持してなる磁気ヘッドコア半体6bとを、動作ギ
ャップ7を設けて結晶化ガラス8により接合し、さらに
その接合箇所に設けられた巻線溝9に巻線(図示せず)
を巻回して構成されている。
Metal magnetic thin films 4c, 4d, 4e are formed between a magnetic head core half 6a formed by alternately stacking and sandwiching magnetic films 4c and magnetic films 5a and 5b, and a pair of composite substrate halves (2c and 2d, 3C and 3d). and a magnetic head core half body 6b formed by sandwiching and stacking insulating films 5C% 5d alternately, and are joined by a crystallized glass 8 with an operating gap 7, and then wound in a winding groove 9 provided at the joint. line (not shown)
It is constructed by winding the .

またこのメタルラミネートヘッド1において、各複合基
板半体を構成する一方(バック側)の基板部品2a、2
b、2c、 2dとしては軟磁性フェライト等の磁性材
料が、他方(フロント側)の基板部品3a、3b、3c
、3dとしては非磁性セラミックス等の非磁性材料が用
いられ、各基板部品は結晶化ガラスを用いて接合されて
いる。これによってヘッドコアおよびパックギャップの
磁気抵抗を効果的に下げ、ヘッド1の磁気能率を向上さ
せている。なお、この磁気ヘッドの製造方法については
、特願昭80−278797号公報等に開示されている
In addition, in this metal laminating head 1, one (back side) board parts 2a, 2 constituting each composite board half
b, 2c, and 2d are made of a magnetic material such as soft magnetic ferrite, and the other (front side) board parts 3a, 3b, and 3c are
, 3d are made of non-magnetic material such as non-magnetic ceramics, and each board component is bonded using crystallized glass. This effectively lowers the magnetic resistance of the head core and pack gap, and improves the magnetic efficiency of the head 1. The method for manufacturing this magnetic head is disclosed in Japanese Patent Application No. 80-278797.

しかしながら、このような磁気ヘッドでは、複合基板半
体を構成する基板と結晶化ガラスとの熱膨脹係数の違い
から接合箇所の十分な平面性を確保することが難しいと
いう問題が発生していた。
However, in such a magnetic head, a problem has arisen in that it is difficult to ensure sufficient flatness at the joint due to the difference in coefficient of thermal expansion between the substrate and the crystallized glass that constitute the composite substrate halves.

そこで、各基板の位置関係を固定しながら接合する方法
が考えられるが、この場合、内部応力の発生により結晶
化ガラスが破壊に至るおそれがあった。また結晶化ガラ
スを用いた基板接合では、接合強度の不足から基板の研
磨処理でずれ等が発生するおそれもあった。
Therefore, a method of bonding each substrate while fixing the positional relationship has been considered, but in this case, there was a risk that the crystallized glass would break due to the generation of internal stress. In addition, when bonding substrates using crystallized glass, there is a risk that deviations may occur during polishing of the substrates due to insufficient bonding strength.

(発明が解決しようとする課題) このように従来の磁気ヘッドでは、複合基板の十分な平
面性を確保することが困難であり、このことが品質の低
下を招く大きな要因の一つとされていた。
(Problem to be solved by the invention) As described above, in conventional magnetic heads, it is difficult to ensure sufficient flatness of the composite substrate, and this is considered to be one of the major causes of quality deterioration. .

本発明はこのような課題を解決するためのもので、複合
基板半体における十分な平面性を確保でき、磁気効率の
高い良質な磁気ヘッドを安定して得ることのできる磁気
ヘッドおよびその製造方法の提供を目的としている。
The present invention is intended to solve these problems, and provides a magnetic head and method for manufacturing the same, which can ensure sufficient flatness in the composite substrate half and stably obtain a high-quality magnetic head with high magnetic efficiency. The purpose is to provide

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明の磁気ヘッドは上記した目的を達成するために、
軟磁性体と非磁性体とを一体成型焼成してなる一対の複
合基板半体の間に、金属磁性薄膜を挾持してなる一対の
コア半体を有することを特徴としている。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the magnetic head of the present invention has the following features:
It is characterized by having a pair of core halves formed by sandwiching a metal magnetic thin film between a pair of composite substrate halves formed by integrally molding and firing a soft magnetic material and a nonmagnetic material.

また本発明の磁気ヘッドの製造方法は上記の目的を達成
するために、軟磁性体および非磁性体からなる磁気ヘッ
ドの複合基板半体を製造する方法において、軟磁性体の
粉末と非磁性体の粉末とを重ねて一体圧縮成型する工程
と、この工程により得られた複合基板を焼成する工程と
を有している。
Further, in order to achieve the above object, the method for manufacturing a magnetic head of the present invention includes a method for manufacturing a composite substrate half of a magnetic head consisting of a soft magnetic material and a non-magnetic material. The process includes a step of stacking and integrally compression-molding the powders, and a step of firing the composite substrate obtained by this step.

(作 用) 本発明の磁気ヘッドおよびその製造方法では、軟磁性体
粉末と非磁性体粉末とを重ねて一体圧縮成型焼成して複
合基板半体を作製したので、複合基板半体における十分
な平面性を確保でき、磁気効率の高い良質な磁気ヘッド
を安定して得ることができる。
(Function) In the magnetic head and the manufacturing method thereof of the present invention, since the composite substrate half is produced by stacking soft magnetic powder and non-magnetic powder and integrally compression molding and firing, sufficient strength is obtained in the composite substrate half. Flatness can be ensured, and a high-quality magnetic head with high magnetic efficiency can be stably obtained.

(実施例) 以下、本発明の実施例を図面の簡単な説明する。(Example) Embodiments of the present invention will be briefly described below with reference to the drawings.

第1図は本発明に係る一実施例のメタルラミネートヘッ
ドにおける複合基板の製造工程を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a manufacturing process of a composite substrate in a metal laminate head according to an embodiment of the present invention.

まず焼成条件、収縮率および熱膨張率等が等しくなるよ
う調整された軟磁性フェライト1oおよび非磁性セラミ
ックス20をそれぞれ秤量、混合(湿式)、脱水、乾燥
、煤焼、粉砕(湿式)、脱水、乾燥の各工程により素材
作成しくステップS1、S2)、バインダを混合して造
粒する(ステップS3、S4)。
First, the soft magnetic ferrite 1o and the non-magnetic ceramic 20, which were adjusted to have the same firing conditions, shrinkage rate, thermal expansion coefficient, etc., were weighed, mixed (wet), dehydrated, dried, soot baked, pulverized (wet), dehydrated, The material is prepared through each step of drying (steps S1 and S2), and a binder is mixed and granulated (steps S3 and S4).

その後、軟磁性フェライト粉末の層と非磁性セラミック
ス粉末の層とを型の中で交互に重ね一体圧縮成型し、複
合構造の基板を形成する(ステップS5)。
Thereafter, layers of soft magnetic ferrite powder and layers of non-magnetic ceramic powder are alternately stacked and integrally compressed in a mold to form a substrate with a composite structure (step S5).

次いでこの一体成型された複合基板を同時焼成しくステ
ップS6)、研磨処理により所定の寸法精度に仕上げる
(ステップS7)。
Next, this integrally molded composite substrate is co-fired (step S6) and polished to a predetermined dimensional accuracy (step S7).

以上の工程により作製された複合基板を第2図に示す。FIG. 2 shows a composite substrate produced through the above steps.

なお、ステップS6の焼成工程において、軟磁性フェラ
イト10と非磁性セラミックス20との間に焼成条件の
差がある場合は、ヘッドの性能に与える影響の大きい軟
磁性フェライト10の条件を優先する。
In addition, in the firing process of step S6, if there is a difference in firing conditions between the soft magnetic ferrite 10 and the non-magnetic ceramic 20, priority is given to the conditions for the soft magnetic ferrite 10, which have a large influence on the performance of the head.

また、軟磁性フェライト10と非磁性セラミックス20
との間の境界面を正確に出したい場合は、図中点線の経
路に沿い、ステップS5の一体成型を行う前に、非磁性
セラミックス20だけの成型、焼成を行い(ステップS
5 a s S 6 a ) 、これを軟磁性フェライ
ト10との一体成型に用いるようにしてもよい。但し、
この場合、焼成温度の比較的高い非磁性セラミックス2
0を選ぶことが望ましい。
In addition, soft magnetic ferrite 10 and non-magnetic ceramic 20
If you want to accurately form the interface between the non-magnetic ceramics 20 and
5 a s S 6 a ), this may be used for integral molding with the soft magnetic ferrite 10. however,
In this case, non-magnetic ceramics 2 with a relatively high firing temperature are used.
It is desirable to select 0.

また一般的な材料の選定において、軟磁性フェライト1
0としては通常の使用帯域で透磁率の高いM n −Z
 nフェライトを、非磁性セラミックス20としてはZ
nフェライトを用いることが望ましい。
In addition, when selecting general materials, soft magnetic ferrite 1
0 is M n -Z, which has high magnetic permeability in the normal usage band.
n ferrite, Z as the non-magnetic ceramic 20
It is desirable to use n-ferrite.

次に以上により作製された複合基板を用いてメタルラミ
ネートヘッドを製造する方法について説明する。
Next, a method for manufacturing a metal laminate head using the composite substrate manufactured as described above will be described.

まず第2図に示すように、複合基板を図中点線に沿って
、軟磁性フェライト10と非磁性セラミックス20との
接合面に対し直交する方向に等しい間隔で切断する。こ
れにより第3図に示すような複合基板が得られる。
First, as shown in FIG. 2, the composite substrate is cut along the dotted line in the figure at equal intervals in a direction perpendicular to the bonding surface between the soft magnetic ferrite 10 and the non-magnetic ceramic 20. As a result, a composite substrate as shown in FIG. 3 is obtained.

次にこの複合基板の両面を研磨した後、第4図に示すよ
うに、軟磁性フェライト10と非磁性セラミックス20
との接合面に対し直交する一方面に、スパッタ方式によ
り5i02等からなる非磁性薄膜30g、30bを間に
挾み込んだ金属磁性薄膜40as 40b、40cを磁
気テープのトラック幅に相当する幅で積層する。
Next, after polishing both sides of this composite substrate, as shown in FIG.
A metal magnetic thin film 40as 40b, 40c with a non-magnetic thin film 30g, 30b made of 5i02 etc. sandwiched therebetween by a sputtering method is formed on one surface perpendicular to the bonding surface with the magnetic tape with a width corresponding to the track width of the magnetic tape. Stack.

その後、これらの複合基板を、第5図に示すように、金
属磁性薄膜40as 40b、40cの積層方向に複数
重ねて接着し、直方体のコア半体ブロックを作製する。
Thereafter, as shown in FIG. 5, a plurality of these composite substrates are stacked and bonded in the stacking direction of the metal magnetic thin films 40as 40b, 40c to produce a rectangular parallelepiped core half block.

次に、このコア半体ブロックを軟磁性フェライト10と
非磁性セラミックス20との接合面(第6図中C−C−
に沿った面)で切断する。第6図はこの結果切り出され
たコア半体ブロックの一つを示している。
Next, this core half block is attached to the joint surface of the soft magnetic ferrite 10 and the non-magnetic ceramic 20 (C-C- in FIG.
(along the plane). FIG. 6 shows one of the core half blocks cut out as a result.

次いで、このコア半体ブロックを軟磁性フェライト10
と非磁性セラミックス20との接合面に対し直交しかつ
金属磁性薄膜40g、40b、40Cの面に対し直交す
る面(第6図中C−C−に沿った面)に沿って均等な間
隔で切断する。これにより、柱状のコア半体ブロックが
切り出される。
Next, this core half block is coated with soft magnetic ferrite 10.
At equal intervals along a plane (a plane along C-C- in FIG. 6) that is orthogonal to the bonding surface between disconnect. As a result, a columnar core half block is cut out.

以降は、通常知られている磁気ヘッドの製造方法と同様
、第7図に示すように、コア半体ブロックに巻線溝加工
を施し、ギャップ対向面の研磨後、巻線溝加工を施して
いないコア半体ブロックとギャップスペーサを挟んでギ
ャップ対向面を突き合わせて結晶化ガラスにより接合し
、接合したコアブロックを金属磁性薄膜40 a、 4
0 b、 40 cの面と平行にかつこの金属磁性薄膜
40a、40b、40cおよび非磁性薄膜30a、30
bを除く適当な面(第6図中C−C−に沿った面)で切
断して、個々のヘッドコアを得る。
Thereafter, as shown in FIG. 7, the core half block is machined with winding grooves, and after polishing the surface facing the gap, the winding grooves are machined, in the same manner as in the commonly known manufacturing method of magnetic heads. A core half block without a gap and a gap spacer are sandwiched between the gap facing surfaces and are bonded using crystallized glass, and the bonded core block is coated with a metal magnetic thin film 40a, 4.
0 b, 40 c and parallel to the metal magnetic thin films 40a, 40b, 40c and the nonmagnetic thin films 30a, 30.
Each head core is obtained by cutting along a suitable plane (a plane along C-C- in FIG. 6) except for b.

そして、個々のヘッドコアにテープ摺接面を形成して第
8図に示すような磁気ヘッドチップを得る。
Then, a tape sliding surface is formed on each head core to obtain a magnetic head chip as shown in FIG.

以下この磁気へラドチップをベースに固定し、巻線加工
、モールド加工等を経て所定の磁気ヘッドが完成する。
Thereafter, this magnetic head is fixed to a base, and a predetermined magnetic head is completed through winding, molding, etc.

かくしてこの実施例によれば、軟磁性フェライト粉末と
非磁性セラミックス粉末とを型の中で交互に重ねて一体
圧縮成型してこれを同時焼成することにより、軟磁性フ
ェライト10と非磁性セラミックス20が拡散・固定反
応により強力に接合゛されて一体的な複合基板を得るこ
とができ、この結果、接合箇所における平面性や研磨特
性に優れた高品位の磁気ヘッドを得ることができる。
Thus, according to this embodiment, the soft magnetic ferrite powder 10 and the non-magnetic ceramic powder 20 are formed by stacking the soft magnetic ferrite powder and the non-magnetic ceramic powder alternately in a mold, integrally compression molding them, and firing them simultaneously. An integrated composite substrate can be obtained by strongly bonding by diffusion/fixation reaction, and as a result, a high-quality magnetic head with excellent flatness and polishing properties at the bonded portion can be obtained.

[発明の効果] 以上説明したように本発明の磁気ヘッドおよびその製造
方法によれば、複合基板半体における十分な平面性を確
保でき、磁気効率の高い良質な磁気ヘッドを安定して得
ることが可能となる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the magnetic head and the manufacturing method thereof of the present invention, it is possible to ensure sufficient flatness in the composite substrate half, and to stably obtain a high-quality magnetic head with high magnetic efficiency. becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る一実施例のメタルラミネートヘッ
ドにおける複合基板の製造工程を示す図、第2図乃至第
8図はそれぞれ第1図の製造工程を経て得られた複合基
板から磁気ヘッドを製造する過程を説明するための斜視
図、第9図は従来のメタルラミネートヘッドの構成を示
す斜視図である。 10・・・軟磁性フェライト、2o・・・非磁性セラミ
ックス、30a、30b−=非磁性薄膜、40a240
b、40c・・・金属磁性薄膜。 出願人     株式会社 東芝 同      東芝オーディオ・ビデオエンジニアリン
グ株式会社
FIG. 1 is a diagram showing the manufacturing process of a composite substrate in a metal laminate head according to an embodiment of the present invention, and FIGS. FIG. 9 is a perspective view showing the structure of a conventional metal laminate head. 10...Soft magnetic ferrite, 2o...Nonmagnetic ceramics, 30a, 30b-=nonmagnetic thin film, 40a240
b, 40c...Metal magnetic thin film. Applicant: Toshiba Corporation Toshiba Audio/Video Engineering Corporation

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)軟磁性体と非磁性体とを一体成型焼成してなる一
対の複合基板半体の間に、金属磁性薄膜を挾持してなる
一対のコア半体を有することを特徴とする磁気ヘッド。
(1) A magnetic head characterized by having a pair of core halves formed by sandwiching a metal magnetic thin film between a pair of composite substrate halves formed by integrally molding and firing a soft magnetic material and a nonmagnetic material. .
(2)軟磁性体および非磁性体からなる磁気ヘッドの複
合基板半体を製造する方法において、前記軟磁性体の粉
末と前記非磁性体の粉末とを重ねて一体圧縮成型する工
程と、 この工程により得られた複合基板を焼成する工程とを有
することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
(2) A method for manufacturing a composite substrate half of a magnetic head made of a soft magnetic material and a non-magnetic material, including the step of stacking and integrally compression molding the soft magnetic material powder and the non-magnetic material powder; 1. A method of manufacturing a magnetic head, comprising the step of firing a composite substrate obtained by the step.
(3)軟磁性体粉末と非磁性体粉末あるいはその成型焼
成後の基板とを交互に重ね一体成型する工程と、 この工程により一体成型された複合基板を焼成する工程
と、 焼成された複合基板を前記軟磁性体と前記非磁性体との
接合面に対し直交する方向に分断する工程と、 分断された複合基板上の前記軟磁性体と前記非磁性体と
の接合面に対して直交する一方面に金属磁性薄膜を積層
する工程と、 前記金属磁性薄膜が積層された複数の複合基板を該金属
磁性薄膜の積層方向に重ねて接着し直方体のコア半体ブ
ロックを作製する工程と、 前記直方体のコア半体ブロックを前記軟磁性体と前記非
磁性体との接合面に沿って分断するとともに、該接合面
に直交しかつ前記金属磁性薄膜の面に対し直交する面に
沿って分断して柱状のコア半体ブロックを作製する工程
と、 前記柱状のコア半体ブロックから、巻線溝およびコアギ
ャップを有する磁気ヘッドコアブロックを作製する工程
と、 前記磁気ヘッドコアブロックを前記金属磁性薄膜の面と
平行に該金属磁性薄膜を除く位置で分断して磁気ヘッド
コアを作製する工程とを有することを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法。
(3) A step of integrally molding a soft magnetic powder and a non-magnetic powder or a substrate after molding and firing the same, a step of firing a composite substrate integrally molded by this step, and a fired composite substrate. dividing in a direction perpendicular to the joint surface of the soft magnetic material and the non-magnetic material, and perpendicular to the joint surface of the soft magnetic material and the non-magnetic material on the divided composite substrate. a step of laminating a metal magnetic thin film on one surface; a step of stacking and bonding a plurality of composite substrates on which the metal magnetic thin films are laminated in the lamination direction of the metal magnetic thin films to produce a rectangular parallelepiped core half block; A rectangular parallelepiped core half block is divided along a joining surface between the soft magnetic material and the non-magnetic material, and also along a surface perpendicular to the joining surface and perpendicular to the surface of the metal magnetic thin film. a step of manufacturing a columnar core half block from the columnar core half block; a step of manufacturing a magnetic head core block having a winding groove and a core gap from the columnar core half block; A method for manufacturing a magnetic head, comprising the step of: fabricating a magnetic head core by dividing the metal magnetic thin film at a position parallel to the plane of the magnetic head.
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