JPH04145347A - Inner surface inspection device for tubular matter - Google Patents

Inner surface inspection device for tubular matter

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JPH04145347A
JPH04145347A JP26921990A JP26921990A JPH04145347A JP H04145347 A JPH04145347 A JP H04145347A JP 26921990 A JP26921990 A JP 26921990A JP 26921990 A JP26921990 A JP 26921990A JP H04145347 A JPH04145347 A JP H04145347A
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JP
Japan
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light
cylindrical object
detection head
optical fiber
optical fibers
Prior art date
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Pending
Application number
JP26921990A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akito Okamoto
炳人 岡本
Hisashi Nakajima
悠 中島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Idec Corp
Original Assignee
Idec Izumi Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Idec Izumi Corp filed Critical Idec Izumi Corp
Priority to JP26921990A priority Critical patent/JPH04145347A/en
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Abstract

PURPOSE:To conduct the irradiation of light rays in concentration to a narrow sphere in the vicinity of a detection head, and conduct the inspection of the inner surface condition of a tubular matter by limiting an inspection sphere, by directing respective optical fibers for light projecting and for light receiving, toward the outside. CONSTITUTION:An inspection head 22 is made up by gathering one end side of plural light projecting optical fibers 8 and one end side of plural light receiving optical fibers 10 into one, and is also insertable to the inside of a tubular matter 2. The tip portions of optical fibers 8, 10 are directed to the outside at predetermined angles against the center axis 22a of the head 22. As respective light projecting optical fibers 8 and the light receiving optical fibers 10 are directed to the outside against the center axis 22a, the inspection of the inner surface condition of the matter 2 can be conducted by irradiation of light rays 6 in concentration to a narrow sphere which is at the inner surface 2a of the matter 2 and in the vicinity of the tip portion of the head 22, and limiting an inspection sphere.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] この発明は、筒状物の内面における傷の存在やごみの付
着の有無等を検査する筒状物の内面検査装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to an inner surface inspection device for a cylindrical object, which inspects the inner surface of a cylindrical object for the presence of scratches, adhesion of dust, etc.

〔背景となる技術〕[Background technology]

例えば自動車部品のような機械部品の一つに、円筒状を
していて、しかもそこを通る軸等との間の摩擦をできる
だけ小さくするために内面がある程度以上鏡面仕上げさ
れた筒状物がある。
For example, one of the mechanical parts such as automobile parts is a cylindrical object whose inner surface is mirror-finished to a certain extent in order to minimize the friction between it and the shaft passing through it. .

そのような筒状物において、その内面に傷等が存在して
いると、カジリ、焼付き等の原因になる。
If such a cylindrical object has scratches or the like on its inner surface, it may cause galling, seizure, etc.

そのため従来は、大量生産される上記のような筒状物の
一品一品について、目視検査によってその内面状態の検
査を行っていた。
Therefore, in the past, the inner surface condition of each mass-produced cylindrical article as described above was visually inspected.

ところが、目視検査では人手を要するため非常に手間が
かかるという問題がある。
However, there is a problem in that visual inspection requires manual labor and is very time-consuming.

また、合否の判定が検査員によってばらつくため、検査
が正確でないという問題もある。
There is also the problem that the test is not accurate because the pass/fail judgment varies depending on the inspector.

そこで、このような点を解決することができる筒状物の
内面検査装置が、本出願の出願人等によって先に提案さ
れている(特願平1−256225号)。
Therefore, an apparatus for inspecting the inner surface of a cylindrical object that can solve these problems has been previously proposed by the applicant of the present application (Japanese Patent Application No. 1-256225).

その−例を要約して説明すると、第8図に示すように、
この装置は、投光用の光ファイバ8と受光用の光ファイ
バ10とを例えば複数本ずつ(但し第8図では1本ずつ
図示)備えている。そして各光ファイバ8.10の一端
側は、例えば、第9図に示すように、検出ヘッド12に
おいて互いにほぼ均等に入り交じるように束ねられてい
る。12aはシースである。
To summarize and explain the example, as shown in Fig. 8,
This device includes, for example, a plurality of optical fibers 8 for projecting light and a plurality of optical fibers 10 for receiving light (however, one each is shown in FIG. 8). For example, as shown in FIG. 9, one end of each optical fiber 8.10 is bundled in the detection head 12 so that they intersect with each other almost equally. 12a is a sheath.

上記投光用の光ファイバ8の検出ヘッド12と反対側の
端部には、光6を発する光源4が設けられており、それ
からの光6をこの光フアイバ8内に供給するようにして
いる。
A light source 4 that emits light 6 is provided at the end of the light projecting optical fiber 8 opposite to the detection head 12, and the light 6 is supplied into the optical fiber 8. .

また、上記受光用の光ファイバ10の検出へンド12と
反対側の端部には、当該光ファイバ10で導かれた光(
反射光)14を受けてそれを電気信号に変換する受光器
16が設けられている。
Further, at the end of the optical fiber 10 for light reception opposite to the detection end 12, the light guided by the optical fiber 10 (
A light receiver 16 is provided which receives reflected light (light) 14 and converts it into an electrical signal.

そして、この受光器16からの電気信号またはそれに基
づく(例えば増幅、変換等の処理を行った)電気信号を
比較回路工8に供給して、そこで所定の基準値と比較す
るようにしている。
Then, the electrical signal from the light receiver 16 or the electrical signal based thereon (for example, processed by amplification, conversion, etc.) is supplied to the comparison circuit 8, where it is compared with a predetermined reference value.

検査時は、上記検出ヘッド12を、例えば、第8図に示
すように検査対象である筒状物2の入口端部にセットす
る。
At the time of inspection, the detection head 12 is set, for example, at the inlet end of the cylindrical object 2 to be inspected, as shown in FIG.

その場合、筒状物2の周りを暗くする等して、筒状物2
の内部にノイズの原因とする外乱光や余分な反射光が入
らないようにしておくのが好ましい。
In that case, by making the area around the cylindrical object 2 dark, etc., the cylindrical object 2
It is preferable to prevent disturbance light and extra reflected light from entering the inside of the device, which may cause noise.

そしてそのような状態で光源4から光6を出力させると
、この光6が光フアイバ8内を通して導かれて筒状物2
の内面2aに照射される。
When light 6 is output from the light source 4 in such a state, this light 6 is guided through the optical fiber 8 and hits the cylindrical object 2.
is irradiated onto the inner surface 2a of.

このとき、検出ヘッド12における投光用の各光ファイ
バ8からは、例えば第10図に示すように、光6がある
程度の(例えば60度程度の)広がりを以て放射される
At this time, light 6 is emitted from each optical fiber 8 for light projection in the detection head 12 with a certain degree of spread (for example, about 60 degrees), as shown in FIG. 10, for example.

その場合、筒状物2の内面2aが完全な鏡面であってし
かもそこに傷やごみがない場合は、同図(A)に示すよ
うに、内面2aからの反射光(この明細書では拡散反射
光も含む)はなく、一方、内面2aに例えば傷2bが存
在する場合は、例えば同図(B)に示すように、そこで
拡散反射が起こり、反射光14が受光用の光ファイバ1
0に入る。
In that case, if the inner surface 2a of the cylindrical object 2 is a perfect mirror surface and there are no scratches or dust, the reflected light from the inner surface 2a (in this specification, diffused On the other hand, if there is a scratch 2b on the inner surface 2a, for example, as shown in FIG.
Enters 0.

もっとも、筒状物2の内面2aは実際上は完全な鏡面で
はなく、従って傷2b等の存否にかかわらず拡散反射が
起こるが、傷やごみ等が存在する場合の方が反射光14
の光量が当然大きくなる。
However, the inner surface 2a of the cylindrical object 2 is actually not a perfect mirror surface, so diffuse reflection occurs regardless of the presence or absence of scratches 2b, etc., but the reflected light 14
Naturally, the amount of light increases.

そして、上記のような反射光14が受光用の光ファイバ
10によって受光器16に導かれてそこで電気信号に変
換され、その電気信号またはそれに基づく電気信号の大
きさが比較回路18で基準値と比較される。
Then, the reflected light 14 as described above is guided to the light receiver 16 by the optical fiber 10 for light reception, where it is converted into an electric signal, and the magnitude of the electric signal or the electric signal based on it is compared with the reference value in the comparison circuit 18. be compared.

従って、比較回路18に適当な基準値を設定しておけば
、筒状物2の内面2aに傷やごみ等が存在している場合
に、比較回路18から検出信号Sが出力され、これによ
って筒状物2の内面2aの状態を判定することができる
Therefore, if an appropriate reference value is set in the comparison circuit 18, when there are scratches, dust, etc. on the inner surface 2a of the cylindrical object 2, the detection signal S will be output from the comparison circuit 18, and this will cause The state of the inner surface 2a of the cylindrical object 2 can be determined.

このように上記内面検査装置によれば、筒状物の内面に
おける傷の存在やごみの付着の有無等の内面状態の検査
を、従来のように目視検査による場合と違って、簡単に
しかも定量的であるので正確に行うことができる。従っ
てこのような内面検査装置によれば、検査の省力化を図
ることができるので、例えば大量の筒状物を連続的に検
査するような場合に特に大きな効果を発揮する。
In this way, the above-mentioned inner surface inspection device allows inspection of the inner surface condition of a cylindrical object, such as the presence of scratches and the presence or absence of dirt attached, easily and quantitatively, unlike conventional visual inspections. It can be done accurately because it is accurate. Therefore, such an internal surface inspection device can save labor during inspection, and is particularly effective when, for example, a large number of cylindrical objects are continuously inspected.

また、図示しない駆動装置によって検出ヘンド12およ
び筒状物2の少なくとも一方を動かして、検出ヘッド1
2を筒状物2内に挿入するようにすれば、筒状物2の内
面2aに存在する傷等をより近くから検査することがで
きるので、傷等が存在している場合とそうでない場合と
の反射光14の光量差が大きくなっていわゆるSN比が
向上するので、より正確な検査が可能になる。また、筒
状物2か細くて長い場合にも適用することができるよう
になる。
Further, the detection head 1 is moved by moving at least one of the detection head 12 and the cylindrical object 2 by a drive device (not shown).
2 into the cylindrical object 2, it is possible to inspect the scratches, etc., existing on the inner surface 2a of the cylindrical object 2 from a closer distance. Since the difference in the amount of reflected light 14 between the two images increases and the so-called signal-to-noise ratio improves, more accurate inspection becomes possible. Moreover, it can be applied even when the cylindrical object 2 is thin and long.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

ところが上記装置においては、その検出ヘッド12内に
投光用の光ファイバ8および受光用の光ファイバ10が
当該検出ヘッド12の中心軸に平行に配置されているの
で、第10図からも分かるように、筒状物2の内面2a
の所定領域に対しては光ファイバ8から広がって放射さ
れた光6の極くわずかしか照射されないため、内面2a
に存在する傷2b等に照射される光6の量が少なく、従
ってそれからの反射光14の光量も少なく、そのため小
さい傷2b等の検出が難しいという点になお改善の余地
がある。
However, in the above device, the light emitting optical fiber 8 and the light receiving optical fiber 10 are arranged in the detection head 12 parallel to the central axis of the detection head 12, so as can be seen from FIG. , the inner surface 2a of the cylindrical object 2
Since only a very small amount of the light 6 spread and emitted from the optical fiber 8 is irradiated onto the predetermined area of the inner surface 2a,
There is still room for improvement in that the amount of light 6 irradiated to the scratches 2b, etc. present on the surface is small, and therefore the amount of reflected light 14 is also small, making it difficult to detect small scratches 2b, etc.

また、光ファイバ8から放射された光6が近くのみなら
ず遠くにも達するので、検出ヘッド12を筒状物2内に
挿入するにしても、内面2aに傷2b等が存在すること
が検出できてもそれがどの辺りかは分かりにくく、また
傷2b等が何個位あるのかも分かりにくいという点にも
なお改善の余地がある。
In addition, since the light 6 emitted from the optical fiber 8 reaches not only nearby but also far, even when the detection head 12 is inserted into the cylindrical object 2, it is detected that there is a flaw 2b etc. on the inner surface 2a. Even if it is possible to do so, it is difficult to tell where the scratches are, and it is also difficult to tell how many scratches 2b etc. are there, so there is still room for improvement.

そこでこの発明は、上記のような点を更に改善した筒状
物の内面検査装置を提供することを主たる目的とする。
Therefore, the main object of the present invention is to provide an apparatus for inspecting the inner surface of a cylindrical object, which is further improved in the above points.

〔目的達成のための手段〕[Means to achieve the purpose]

上記目的を達成するため、この発明に係る内面検査装置
は、簡単に言えば、前述したような検出ヘッドとして、
検査対象である筒状物の内面に挿入可能なものであって
しかも投光用および受光用の各光ファイバの先端部が当
該検出ヘッドの中心軸に対して外側に向けられたものを
用いると共に、当該検出ヘッドおよび前記筒状物の少な
くとも一方を動かして当該検出ヘッドを前記筒状物の内
部に挿入する駆動装置を設けたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the inner surface inspection device according to the present invention has a detection head as described above.
Use an optical fiber that can be inserted into the inner surface of the cylindrical object to be inspected, and in which the tips of the light-emitting and light-receiving optical fibers are directed outward with respect to the central axis of the detection head. , characterized in that a drive device is provided for moving at least one of the detection head and the cylindrical object and inserting the detection head into the inside of the cylindrical object.

〔作用〕[Effect]

上記検出ヘッドを用いると、そこでは投光用および受光
用の各光ファイバが外側に向けられているため、筒状物
の内面であって当該検出ヘッドの近傍の狭い領域に集中
して光を照射して、検査領域を限定して筒状物の内面状
態の検査を行うことができる。
When the above detection head is used, the light emitting and light receiving optical fibers are directed outward, so the light is concentrated in a narrow area near the detection head on the inner surface of the cylindrical object. By irradiating it, the inner surface state of a cylindrical object can be inspected by limiting the inspection area.

その結果、筒状物の内面に存在する傷等に照射される光
量が多くなり、従ってそこからの反射光の光量も多くな
り、小さい傷等の検出も容易になる。
As a result, the amount of light irradiated to scratches and the like existing on the inner surface of the cylindrical object increases, and therefore the amount of light reflected therefrom also increases, making it easier to detect small scratches and the like.

そしてこのような検出ヘッドを、上記駆動装置によって
、筒状物の内部に挿入することで、筒状物の内面に対す
る検査領域を移動させることができ、それによって筒状
物の内面を広い領域に亘って検査することができる。
By inserting such a detection head into the inside of the cylindrical object using the drive device, it is possible to move the inspection area on the inner surface of the cylindrical object, thereby covering a wide area of the inner surface of the cylindrical object. It can be inspected throughout.

しかもその場合、上述したように検査領域を限定しつつ
検査を行うことができるので、傷等が筒状物の内面のど
の辺りに存在し、また何個位あるのかも分かりやすくな
る。
Furthermore, in that case, the inspection can be carried out while limiting the inspection area as described above, so it becomes easier to see where on the inner surface of the cylindrical object there are scratches, etc., and how many there are.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は、この発明の一実施例に係る筒状物の内面検査
装置を示す概略構成図である。第2図は、第1図中の検
出ヘッドの一例を示す拡大断面図である。第3図は、第
2図の検出ヘッドの正面図である。第8図等の先行例と
同等部分には同一符号を付し、以下においては当該先行
例との相違点を主に説明する。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an apparatus for inspecting the inner surface of a cylindrical object according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged sectional view showing an example of the detection head in FIG. 1. FIG. 3 is a front view of the detection head of FIG. 2. The same reference numerals are given to the same parts as those of the previous example shown in FIG. 8, etc., and the differences from the previous example will be mainly explained below.

この実施例の装置は、前述した検出ヘッド12に相当す
るものとして、次のような検出ヘッド22を備えている
The apparatus of this embodiment includes the following detection head 22, which corresponds to the detection head 12 described above.

即ち、この検出ヘッド22は、この例では、前述したよ
うな複数本(より具体的には第3図に示すように6本)
の投光用の光ファイバ8の一端側および複数本(より具
体的には第3図に示すように3本)の受光用の光ファイ
バ10の一端側が一つにまとめられて成り、しかも前述
した筒状物2の内部に挿入可能である。各光ファイバ8
.10は、例えば1mmφのものであるが、それより細
くても太くても良く、また細いものと太いものを組み合
わせても良い。
That is, in this example, the detection heads 22 include a plurality of detection heads as described above (more specifically, six as shown in FIG. 3).
One end side of the light emitting optical fiber 8 and one end side of a plurality of light receiving optical fibers 10 (more specifically, three as shown in FIG. 3) are combined into one, and the above-mentioned It can be inserted into the inside of the cylindrical object 2. Each optical fiber 8
.. 10 has a diameter of 1 mm, for example, but it may be thinner or thicker than that, or a combination of thin and thick ones may be used.

しかも、この検出ヘッド22においては、第2図を参照
して、上記各光ファイバ8.10の先端部が当該検出ヘ
ッド22の中心軸22aに対して所定の角度αで外側に
向けられている(第2図では、図示を簡略化するため、
光ファイバ8.10はそれぞれ1本ずつ示している)。
Furthermore, in this detection head 22, as shown in FIG. (In Figure 2, to simplify the illustration,
(One optical fiber 8.10 is shown.)

この角度αは、特定のものに限定されるものではないが
、あまり小さいと後述する検査領域が広くなり過ぎ、あ
まり大きいと傷等がない場合でも反射光量が大きくなっ
てSN比が低下するので、例えば30度程度にするのが
好ましい。
This angle α is not limited to a specific value, but if it is too small, the inspection area (described later) will become too wide, and if it is too large, the amount of reflected light will increase even if there are no scratches, resulting in a decrease in the S/N ratio. , for example, preferably about 30 degrees.

より具体的には、検出ヘッド22の先端部には、第3図
も参照して、先端部が三角錐状をしたキャップ23が設
けられており、この例ではその三つの各面23a〜23
cに、1本の受光用の光ファイバ10とそれを挟む2本
の投光用の光ファイバ8とを組にしてそれぞれ配置して
いる。
More specifically, as shown in FIG. 3, a cap 23 having a triangular pyramid shape is provided at the tip of the detection head 22, and in this example, each of its three surfaces 23a to 23
At c, one light-receiving optical fiber 10 and two light-emitting optical fibers 8 sandwiching it are arranged as a set.

またこの実施例では、検出ヘッド22を固定しておき、
筒状物2を駆動装置24によって矢印Aのように上下に
動かすことによって、筒状物2の内部に検出ヘッド22
を挿入するようにしている。
Further, in this embodiment, the detection head 22 is fixed,
By moving the cylindrical object 2 up and down in the direction of arrow A using the drive device 24, a detection head 22 is installed inside the cylindrical object 2.
I am trying to insert .

もっともこれとは違って、筒状物2を固定しておいて検
出ヘッド22を動かすことによって、あるいは必要に応
じて検出ヘッド22と筒状物2の両方を動かすことによ
って、筒状物2の内部に検出ヘッド22を挿入するよう
にしても良い。
However, different from this, the cylindrical object 2 can be fixed by moving the detection head 22 while keeping the cylindrical object 2 fixed, or by moving both the detection head 22 and the cylindrical object 2 as necessary. The detection head 22 may be inserted inside.

上記のような検出ヘッド22を用いると、そこでは投光
用および受光用の各光ファイバ8.10が中心軸22a
に対して外側に向けられているため、例えば第2図に示
すように、筒状物2の内面2aであって当該検出ヘッド
22の先端部近傍の狭い領域に集中して光6を照射して
、検査領域を限定して筒状物2の内面状態(即ち傷の存
在やごみの付着の有無等)の検査を行うことができる。
When the detection head 22 as described above is used, each optical fiber 8.10 for light emission and light reception is aligned with the central axis 22a.
For example, as shown in FIG. 2, the light 6 is focused on a narrow area near the tip of the detection head 22 on the inner surface 2a of the cylindrical object 2. Thus, the inner surface condition of the cylindrical object 2 (ie, the presence of scratches, the presence of dust, etc.) can be inspected by limiting the inspection area.

その結果、筒状物2の内面2aに存在する傷やごみ等に
照射される光6の量が多くなり、従ってそこから反射さ
れる反射光の光量も多くなり、小さい傷やごみ等の検出
も容易になる。
As a result, the amount of light 6 irradiated to scratches, dirt, etc. existing on the inner surface 2a of the cylindrical object 2 increases, and therefore the amount of reflected light reflected from there also increases, allowing detection of small scratches, dirt, etc. It also becomes easier.

しかもこのような検出ヘッド22を、例えば駆動装置2
4によって、筒状物2の内部へ挿入するようにしている
ので、筒状物2の内面に対する検査領域を移動させるこ
とができ、筒状物2の内面を広いNMiに亘って、より
具体的には第3図のような検出ヘッド22では内面全体
に亘って検査することができる。
Moreover, such a detection head 22 is connected to, for example, a drive device 2.
4, the inspection area for the inner surface of the cylindrical object 2 can be moved, and the inner surface of the cylindrical object 2 can be inspected more specifically over a wide NMi. In this case, the detection head 22 shown in FIG. 3 can inspect the entire inner surface.

しかもその場合、上述したように検査領域を限定しつつ
検査を行うことができるので、傷等が筒状物2の内面の
どの辺りに存在し、また何個位あるのかも分かりやすく
なる。
Furthermore, in that case, the inspection can be carried out while limiting the inspection area as described above, so it becomes easier to see where on the inner surface of the cylindrical object 2 there are scratches, etc., and how many there are.

上記実施例の装置を用いた検査結果の例を第4図ないし
第6図に示す。
Examples of test results using the apparatus of the above embodiment are shown in FIGS. 4 to 6.

いずれの図も、上記のような検出ヘッド22を筒状物2
内に挿入して1往復させた場合の反射光量のデータであ
り、図中のワーク外とは検出ヘッド22が筒状物2(ワ
ーク)を突き抜けた状態を示し、このときの反射光量が
ノイズレベルと言える。また図中両端部の大きなピーク
Pは、筒状物2の端面からの反射を示す。
In both figures, the detection head 22 as described above is connected to a cylindrical object 2.
This is the data on the amount of reflected light when it is inserted inside the tube and made one reciprocation. Outside the workpiece in the figure indicates the state where the detection head 22 has penetrated the cylindrical object 2 (workpiece), and the amount of reflected light at this time is due to noise. You can say it's level. Further, large peaks P at both ends in the figure indicate reflection from the end face of the cylindrical object 2.

第4図は、目視検査で合格した(即ち傷がないと判定さ
れた)筒状物2についての検査結果であり、筒状物2内
において反射光量に大きなピークは見られず、内面状態
が良好であることが分かる。
Figure 4 shows the test results for the cylindrical object 2 that passed the visual inspection (that is, was determined to have no flaws), and there was no large peak in the amount of reflected light within the cylindrical object 2, indicating that the inner surface condition was It can be seen that it is in good condition.

第5図は、これも目視検査で合格した他の筒状物2につ
いての検査結果であるが、筒状物2内の中央部やや入口
寄りにピークがあり、そこに目視では分からない位の傷
があることが分かる。
Figure 5 shows the test results for another cylindrical object 2 that also passed the visual inspection, but there is a peak in the center of the cylindrical object 2, slightly closer to the entrance, and there is a peak that cannot be seen visually. I can see that there is a scar.

第6図は、目視検査で不合格の筒状物2についての検査
結果であり、筒状物2内の中央部から入口寄りにかけて
2〜3個の大きなピークがあり、そこに大きな傷がある
ことが分かる。
Figure 6 shows the inspection results for the cylindrical object 2 that failed the visual inspection, and there are two to three large peaks from the center of the cylindrical object 2 toward the entrance, and there are large scratches there. I understand that.

このように、上記実施例の装置によれば、目視検査では
見つけられない位の小さな傷も明確に、しかもそのおお
よその位置および数も合わせて検出することができる。
In this way, according to the apparatus of the above embodiment, it is possible to clearly detect even small scratches that cannot be detected by visual inspection, as well as their approximate location and number.

従って、筒状物2の内面状態の検査を非常に正確に行う
ことができる。またこのようなデータを分析すれば、筒
状物2の内面の加工精度の検出や加工治具の消耗等の検
出も可能になる。
Therefore, the inner surface state of the cylindrical object 2 can be inspected very accurately. Furthermore, by analyzing such data, it becomes possible to detect the machining accuracy of the inner surface of the cylindrical object 2 and the wear and tear of the machining jig.

なお、検出ヘッド22における投光用および受光用の各
光ファイバ8.10の先端部には、例えば第7図に示す
実施例のように、凸レンズ部8a、10aをそれぞれ設
けても良い。そのようにすれば、投光用の光ファイバ8
について見れば、放射する光を凸レンズ部8aの作用で
絞ることができ、また受光用の光ファイバ10について
見れば、凸レンズ部10aの作用で反射光を集めること
ができるので、SN比がより向上して検出感度が一層向
上する。
Incidentally, convex lens portions 8a and 10a may be provided at the tips of each of the light emitting and light receiving optical fibers 8.10 in the detection head 22, respectively, as in the embodiment shown in FIG. 7, for example. In this way, the optical fiber 8 for light projection
If we look at it, the emitted light can be focused by the action of the convex lens part 8a, and if we look at the light-receiving optical fiber 10, the reflected light can be collected by the action of the convex lens part 10a, so the S/N ratio is further improved. This further improves detection sensitivity.

また、検出ヘッド22において、投光用の光ファイバ8
と受光用の光ファイバ10の配列は、上記例のような組
にするのが良好なSN比を得る上で好ましいが、それに
限られるものではなく、例えば投光用の光ファイバ8と
受光用の光ファイバ10とを上記例とは逆の関係に配置
しても良いし、あるいは組にせずに配置しても良い。
In addition, in the detection head 22, an optical fiber 8 for light projection is connected to the detection head 22.
The arrangement of the light emitting optical fiber 8 and the light receiving optical fiber 10 is preferably set as in the above example in order to obtain a good S/N ratio, but the arrangement is not limited to this. For example, the light emitting optical fiber 8 and the light receiving optical fiber 8 The optical fibers 10 may be arranged in the opposite relationship to the above example, or may be arranged without being paired.

また、上記例のように検出ヘッド22の先端部を3区分
してそこに光ファイバ8および10をそれぞれ配置すれ
ば、少ない数の光ファイバ8.10で筒状物2の内面の
全周を均一に検査することができるが、勿論それ以上の
数にしても良く、また筒状物2および検出ヘッド22の
少なくとも一方を回転させたり、必ずしも筒状物2の内
面全周を検査する必要がない等の場合は、検出ヘッド2
2には投光用の光ファイバ8と受光用の光ファイバ10
とが少なくとも1本ずつ配置されていれば良い。
Furthermore, if the tip of the detection head 22 is divided into three sections and the optical fibers 8 and 10 are arranged therein as in the above example, the entire circumference of the inner surface of the cylindrical object 2 can be covered with a small number of optical fibers 8 and 10. Although it is possible to inspect uniformly, it is of course possible to use a larger number of sensors, and it is not necessary to rotate at least one of the cylindrical object 2 and the detection head 22, or to inspect the entire inner circumference of the cylindrical object 2. If there is no detection head 2
2 has an optical fiber 8 for transmitting light and an optical fiber 10 for receiving light.
It is only necessary that at least one of the and is arranged.

また、この発明に係る内面検査装置の検査対象となる筒
状物は、必ずしも円筒状のものに限られるものではなく
、角筒状のものでも良い。また、切削加工物に限られる
ものではなく、樹脂の成形品等でも良い。
Further, the cylindrical object to be inspected by the inner surface inspection apparatus according to the present invention is not necessarily limited to a cylindrical object, but may be a rectangular cylindrical object. Further, the material is not limited to a cut product, but may be a resin molded product or the like.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のようにこの発明によれば、先行例の装置に比べて
、筒状物の内面に存在する小さい傷やごみ等の検査が容
易になり、しかもその傷等が内面のどの辺りに何個位存
在するかも分かりやすくなる。従って、筒状物の内面状
態の検査をより正確に行うことができる。またそれによ
って、筒状物の内面の加工精度や加工治具の消耗等の検
出も可能になる。
As described above, according to the present invention, it is easier to inspect small scratches, dirt, etc. on the inner surface of a cylindrical object than with the prior art device, and how many such scratches, etc. are present on the inner surface? It becomes easier to understand if there are any. Therefore, the inner surface state of the cylindrical object can be inspected more accurately. This also makes it possible to detect the machining accuracy of the inner surface of the cylindrical object, the wear and tear of the machining jig, and the like.

また、検出ヘッドにおける投光用の光ファイバと受光用
の光ファイバとを組にして配置したり、それらの先端部
に凸レンズ部を設けたりすると、SN比がより向上する
ので一層正確な検査が可能になる。
In addition, by arranging the light emitting optical fiber and the light receiving optical fiber in the detection head as a pair, or by providing a convex lens section at their tips, the S/N ratio will be further improved and more accurate inspection will be possible. It becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、この発明の一実施例に係る筒状物の内面検査
装置を示す概略構成図である。第2図は、第1図中の検
出ヘッドの一例を示す拡大断面図である。第3図は、第
2図の検出ヘッドの正面図である。第4図ないし第6図
は、それぞれ、実施例の装置で筒状物の内面を検査した
結果の例を示す図である。第7図は、検出ヘッドの他の
例を示す拡大断面図である。第8図は、この発明の背景
となる筒状物の内面検査装置の一例を示す概略構成図で
ある。第9図は、第8図中の検出ヘッドを線1=1方向
に見て示す拡大断面図である。第10図は、筒状物の内
面での光の状態を模式的に示す図であり、(A)は傷が
ない場合を、(B)は傷がある場合を示す。 2・・・筒状物、2a・・・内面、4・・・光源、6、
・・光、8・・・投光用の光ファイバ、8a・・・凸レ
ンズ部、10・0.受光用の光ファイバ、10a・・・
凸レンズ部、14・・・反射光、16・・・受光器、1
8・・・比較回路、22・・・検出ヘッド、24・・・
駆動装置。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an apparatus for inspecting the inner surface of a cylindrical object according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged sectional view showing an example of the detection head in FIG. 1. FIG. 3 is a front view of the detection head of FIG. 2. FIGS. 4 to 6 are diagrams each showing an example of the results of inspecting the inner surface of a cylindrical object using the apparatus of the embodiment. FIG. 7 is an enlarged sectional view showing another example of the detection head. FIG. 8 is a schematic diagram showing an example of an apparatus for inspecting the inner surface of a cylindrical object, which is the background of the present invention. FIG. 9 is an enlarged sectional view showing the detection head in FIG. 8 as viewed in the line 1=1 direction. FIG. 10 is a diagram schematically showing the state of light on the inner surface of a cylindrical object, in which (A) shows the case where there is no scratch, and (B) shows the case where there is a scratch. 2... Cylindrical object, 2a... Inner surface, 4... Light source, 6,
...Light, 8... Optical fiber for light projection, 8a... Convex lens portion, 10.0. Optical fiber for light reception, 10a...
Convex lens portion, 14...Reflected light, 16... Light receiver, 1
8... Comparison circuit, 22... Detection head, 24...
Drive device.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)光を発する光源と、この光源からの光を導いて検
査対象である筒状物の内面に照射する1本以上の投光用
の光ファイバと、前記筒状物の内面からの反射光を導く
1本以上の受光用の光ファイバと、この受光用の光ファ
イバの一端側および前記投光用の光ファイバの一端側が
一つにまとめられて成り前記筒状物の内部に挿入可能な
検出ヘッドであって、各光ファイバの先端部が当該検出
ヘッドの中心軸に対して外側に向けられたものと、この
検出ヘッドおよび前記筒状物の少なくとも一方を動かし
て当該検出ヘッドを前記筒状物の内部に挿入する駆動装
置と、前記受光用の光ファイバで導かれた光を受けてそ
れを電気信号に変換する受光器と、この受光器からの電
気信号またはそれに基づく電気信号を所定の基準値と比
較する比較回路とを備えることを特徴とする筒状物の内
面検査装置。
(1) A light source that emits light, one or more optical fibers for projecting light that guides the light from the light source and irradiates it onto the inner surface of the cylindrical object, and reflection from the inner surface of the cylindrical object. One or more light-receiving optical fibers that guide light, one end of the light-receiving optical fiber, and one end of the light-emitting optical fiber are integrated into one, and can be inserted into the cylindrical object. A detection head in which the tip of each optical fiber is directed outward with respect to the central axis of the detection head, and at least one of the detection head and the cylindrical object is moved to move the detection head to the A driving device inserted into the cylindrical object, a light receiver that receives the light guided by the light receiving optical fiber and converts it into an electrical signal, and an electrical signal from the light receiver or an electrical signal based thereon. An apparatus for inspecting the inner surface of a cylindrical object, comprising a comparison circuit for comparing with a predetermined reference value.
(2)前記検出ヘッドにおいて、1本以上の投光用の光
ファイバと1本以上の受光用の光ファイバとを組にして
配置している請求項1記載の筒状物の内面検査装置。
(2) The inner surface inspection device for a cylindrical object according to claim 1, wherein in the detection head, one or more light emitting optical fibers and one or more light receiving optical fibers are arranged as a set.
(3)前記検出ヘッドにおける投光用および受光用の各
光ファイバの先端部に凸レンズ部をそれぞれ設けた請求
項1または2記載の筒状物の内面検査装置。
(3) The inner surface inspection device for a cylindrical object according to claim 1 or 2, wherein a convex lens portion is provided at the tip of each optical fiber for light projection and light reception in the detection head.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006300772A (en) * 2005-04-21 2006-11-02 Sakura Seiki Kk Instrument and method for measuring cleanliness of tube inner wall face

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