JPH04142444A - Abrasion resistance evaluating method for magnetic disk medium surface - Google Patents

Abrasion resistance evaluating method for magnetic disk medium surface

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JPH04142444A
JPH04142444A JP26600090A JP26600090A JPH04142444A JP H04142444 A JPH04142444 A JP H04142444A JP 26600090 A JP26600090 A JP 26600090A JP 26600090 A JP26600090 A JP 26600090A JP H04142444 A JPH04142444 A JP H04142444A
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北本 善透
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Abstract

PURPOSE:To easily measure abrasion depth by bringing a lapping tape into contact and sliding it with the surface of a magnetic disk medium rotated at a constant speed, and measuring the abrasion depth after a preset period elapses. CONSTITUTION:A magnetic disk medium 5 is rotated at a constant speed. A lapping tape L is pressed into contact with the surface of the rotated magnetic disk medium 5. The preset load W is applied by the air force or a spring as the pressing force. The lapping tape L is kept in contact with the surface of the magnetic disk medium 5 at a fixed position. When the lapping tape L is pressed into contact with the surface of the rotated magnetic disk medium 5, the surface of the magnetic disk medium 5 is abraded in a true circular shape only at the position 9 where the lapping tape L is slid. The abrasion depth of the abrasion section 9 is measured after the sliding for a preset period.

Description

【発明の詳細な説明】 (概要) コンピュータシステムにおけるファイル装置として使用
される磁気ディスク装置の記録媒体である磁気ディスク
媒体の表面の耐摩耗性を評価する方法に関し、 極めて薄い膜を有する磁気ディスク媒体の表面の耐摩耗
性を、短時間に効率的にしかも正確に評価できる方法を
実現することを目的とし、定速で回転している磁気ディ
スク媒体の表面において、一定の位置に所定の圧力でラ
ッピングテープを圧接させて摺動させ、 所定時間経過した後に、磁気ディスク媒体表面のラッピ
ングテープにより摺動された部分の深さを測定すること
を特徴とする。
[Detailed Description of the Invention] (Summary) A method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium, which is a recording medium of a magnetic disk device used as a file device in a computer system, and a magnetic disk medium having an extremely thin film. The objective is to realize a method that can efficiently and accurately evaluate the wear resistance of the surface of a magnetic disk in a short period of time. The method is characterized in that the wrapping tape is pressed against the surface of the magnetic disk and then slid, and after a predetermined period of time has elapsed, the depth of the portion of the surface of the magnetic disk medium that has been slid by the wrapping tape is measured.

〔産業上の利用分野] 本発明は、コンピュータシステムにおけるファイル装置
として使用される磁気ディスク装置の記録媒体である磁
気ディスク媒体の表面の耐摩耗性を評価する方法に関す
る。
[Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium, which is a recording medium of a magnetic disk device used as a file device in a computer system.

磁気ディスク媒体は、高記録密度化に伴い、磁気ヘッド
の浮上量が微小化の傾向にあり、0.2μm以下となっ
ている。その結果、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体と摺
動接触し易くなり、摩耗粉によるヘッドクラッシュを招
く恐れがあるので、摩耗しにくく、耐久性の高い磁気デ
ィスク媒体が要求されている。そのため、磁気ディスク
媒体の製造段階において、磁気ディスク媒体の表面の耐
摩耗性を正1iiAこ評価できる方法の確立が求められ
ている。
In magnetic disk media, as recording density increases, the flying height of the magnetic head tends to become smaller, and is now 0.2 μm or less. As a result, the magnetic head tends to come into sliding contact with the magnetic disk medium, which may lead to a head crash due to abrasion particles.Therefore, there is a demand for a magnetic disk medium that is resistant to wear and has high durability. Therefore, there is a need to establish a method that can positively evaluate the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium at the manufacturing stage of the magnetic disk medium.

[従来の技術] 第6図は薄膜型の磁気ディスク媒体の断面図である。薄
膜型磁気ディスク媒体は、N1−Pメンキを施したAL
の基板lに、Cr等の下地膜2、CoCrTa等の磁性
膜3、C等の保護膜4の順に積層した構成になっている
[Prior Art] FIG. 6 is a sectional view of a thin film type magnetic disk medium. The thin film magnetic disk medium is AL with N1-P coating.
A base film 2 of Cr or the like, a magnetic film 3 of CoCrTa or the like, and a protective film 4 of C or the like are laminated in this order on a substrate l.

各層の膜厚は、下地膜2が500〜2000人程度、磁
性膜3が200〜600人程度、保護膜4が250〜4
00人程度である。
The film thickness of each layer is approximately 500 to 2000 for base film 2, approximately 200 to 600 for magnetic film 3, and 250 to 4 for protective film 4.
Approximately 00 people.

薄膜型の磁気ディスク媒体における耐摩耗性評価は、表
面の保護膜4の耐摩耗性を評価することにほかならない
。したがって、膜厚が500Å以下の保護膜4の耐摩耗
性を正確に評価できることが肝要である。
Evaluation of the wear resistance of a thin film type magnetic disk medium is nothing but evaluation of the wear resistance of the protective film 4 on the surface. Therefore, it is important to be able to accurately evaluate the wear resistance of the protective film 4 having a thickness of 500 Å or less.

従来の磁気ディスク媒体の耐摩耗性を評価する方法には
、■ピッカス硬度計による方法、■荷重をかけた触針の
圧痕深さを測定する方法、■触針による引きずり痕を観
察する方法、■実際の磁気ヘッドを摺動させて、摩耗状
態を観察する方法、などが知られている。
Conventional methods for evaluating the wear resistance of magnetic disk media include ■Method using a Pickus hardness tester, ■Method of measuring the depth of indentation of a stylus under load, ■Method of observing drag marks caused by a stylus. 2) A method of sliding an actual magnetic head and observing the state of wear is known.

〔発明が解決しようとする課題] ■のピッカス硬度計による方法は、四角錐の圧子を磁気
ディスク媒体に押しつけ、その時に生じた四角形の窪み
の対角線の長さを測定する方法である。ところが、保護
膜の厚さが前記のように500Å以下と極めて薄いため
、ピッカス圧子が磁性膜や下地膜まで届き、結局磁性膜
や下地膜の硬度も測定していることになる。また磁性膜
や下地膜まで届かないように微小圧を加えると、圧痕の
面積が小さく、対角線の長さが測定不可能となる。
[Problems to be Solved by the Invention] The method (2) using a Pickus hardness tester is a method in which a square pyramid indenter is pressed against a magnetic disk medium and the length of the diagonal line of the square depression created at that time is measured. However, since the thickness of the protective film is extremely thin, 500 Å or less, as described above, the Pickus indenter reaches the magnetic film and the underlying film, and ultimately measures the hardness of the magnetic film and the underlying film as well. Furthermore, if a minute pressure is applied so as not to reach the magnetic film or the underlying film, the area of the indentation will be small and the length of the diagonal line will be impossible to measure.

圧痕の大きさを測定するには、1〜2μm程度の膜厚が
必要である。
To measure the size of the indentation, a film thickness of about 1 to 2 μm is required.

■の荷重をかけた触針の圧痕深さを測定する方法は、前
記のピッカス硬度計の場合と圧子が異なるのみであって
、基本的には共通する問題をかかえている。したがって
、保護膜のように数百人程度の薄い膜の耐摩耗性の評価
には適しない。
The method (2) of measuring the indentation depth of a stylus under a load differs from that of the above-mentioned Pickus hardness tester only in the use of an indenter, and basically has the same problems. Therefore, it is not suitable for evaluating the abrasion resistance of a thin film such as a protective film that can be worn on the order of several hundred people.

■の触針による引きずり痕を観察する方法は、特願平1
−265514号にも記載されている方法であり、第7
図に示すように、所定荷重の重り6を載せた触針7を磁
気ディスク媒体5上で引きずった後に、媒体表面の引き
ずり痕を観察する。すなわち、引きずり痕におけるクラ
ックの有無などを判定する。クラックには、保護膜が貝
殻状に欠損するチッピングやメデイアンクラック、ヘル
ツクラック等がある。
■The method of observing the drag marks caused by the stylus is described in Japanese Patent Application No.
-265514, and is the method described in No. 7
As shown in the figure, after a stylus 7 carrying a weight 6 with a predetermined load is dragged over a magnetic disk medium 5, drag marks on the surface of the medium are observed. That is, the presence or absence of cracks in the drag marks is determined. Cracks include chipping, median crack, and Hertzian crack, in which the protective film is damaged in a shell-like manner.

しかしながら、この方法では、重り6の荷重が保護膜4
と磁性膜3との界面8に加わって、触針7下部の該界面
8に引張力Fが生じ、該引張力Fがクランク発生の原因
となることがある。このように、保護膜4と磁性膜3と
の界面密着力の影響を受けるため、保護膜4の密着性の
評価には有効であるが、保護膜4の硬度を正確に評価す
るのは困難である。また、目視観察でクラックの種類や
程度を判定するため、個人差が発生し、定量化しにくい
という問題がある。
However, in this method, the load of the weight 6 is
In addition to the interface 8 between the stylus and the magnetic film 3, a tensile force F is generated at the interface 8 at the lower part of the stylus 7, and this tensile force F may cause cranking. As described above, since it is affected by the interfacial adhesion between the protective film 4 and the magnetic film 3, it is effective for evaluating the adhesion of the protective film 4, but it is difficult to accurately evaluate the hardness of the protective film 4. It is. In addition, since the type and degree of cracks are determined by visual observation, there is a problem that individual differences occur and it is difficult to quantify.

■の実際の磁気ヘッドを摺動させて、摩耗状態を観察す
る方法は、特願平1−296708号にも記載されてい
る方法であり、連続回転している磁気ディスク媒体に磁
気ヘッドを載せて摺動させ、摩耗状態を観察する。この
ように摺動させる方法は、摺動する相手の状態が変化す
ると、摩耗状態も変化するという問題がある。すなわち
、測定を行なうと磁気ヘッドの摩耗も進行するため、常
に正確な測定を行なうために、−度使用した磁気ヘッド
は、再使用しないとなると、測定のために大量の磁気ヘ
ッドを用意しなければならず、コスト高となる。たとえ
常に新しい磁気ヘッドを使用したとしても、磁気ヘッド
の状態は1個ずつ異なり、また薄板ばねで支持されてい
る磁気ヘッドと回転している磁気ディスク媒体との間の
加圧力のばらつきや不安定を皆無とすることもできない
ため、再現性に欠け、正確な測定は無理である。しかも
、磁気ヘッドのコアスライダによって磁気ディスク媒体
の表面が摩耗するまでには時間がかかり、能率が悪い。
The method (2) of sliding an actual magnetic head and observing its wear condition is also described in Japanese Patent Application No. 1-296708, in which the magnetic head is placed on a continuously rotating magnetic disk medium. Slide it and observe the wear condition. This method of sliding has a problem in that when the condition of the sliding object changes, the wear condition also changes. In other words, the wear of the magnetic head progresses as measurements are performed, so in order to always perform accurate measurements, a large number of magnetic heads must be prepared for measurement if used magnetic heads are not reused. Otherwise, the cost will be high. Even if a new magnetic head is always used, the condition of each magnetic head is different, and the pressure force between the magnetic head supported by a thin plate spring and the rotating magnetic disk medium is uneven and unstable. Since it is impossible to completely eliminate this, reproducibility is lacking and accurate measurement is impossible. Furthermore, it takes time for the surface of the magnetic disk medium to wear out due to the core slider of the magnetic head, resulting in poor efficiency.

また、■■の磁気ディスク媒体表面で触針をひきずった
り、コアスライダを摺動させる方法は、保護膜とその下
の磁性膜との密着性も評価できるのに対し、■■の硬度
測定方法では、局部の硬度のみしか測定できず、膜の密
着状態を評価することはできない。
In addition, the method of dragging a stylus or sliding a core slider on the surface of the magnetic disk medium described in ■■ can also evaluate the adhesion between the protective film and the magnetic film beneath it, while the hardness measurement method of ■■ With this method, only local hardness can be measured, and the state of adhesion of the film cannot be evaluated.

本発明の技術的課題は、このような問題に着目し°、極
めて薄い膜を有する磁気ディスク媒体の表面の耐摩耗性
を、短時間に効率的にしかも正確に評価できる方法を実
現することにある。
The technical problem of the present invention is to focus on such problems and to realize a method that can efficiently and accurately evaluate the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium having an extremely thin film in a short time. be.

(課題を解決するための手段〕 第1図は本発明による磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性
評価方法の基本原理を説明する断面図である。5は磁気
ディスク媒体であり、一定の速度で回転している。Lは
ラッピングテープであり、回転状態の磁気ディスク媒体
5の表面に圧接している。この場合の圧接力は、空気力
やハネによって、所定の荷重Wを加えることで、与えら
れる。
(Means for Solving the Problems) Fig. 1 is a sectional view illustrating the basic principle of the method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium according to the present invention. 5 is a magnetic disk medium, which rotates at a constant speed. L is a wrapping tape, which is in pressure contact with the surface of the rotating magnetic disk medium 5.The pressure contact force in this case is given by applying a predetermined load W by air force or springs. .

また、ラッピングテープLは、一定位置で磁気ディスク
媒体5の表面に接している。
Further, the wrapping tape L is in contact with the surface of the magnetic disk medium 5 at a certain position.

このように、回転状態の磁気ディスク媒体5の表面にラ
ッピングテープLを圧接させることで、磁気ディスク媒
体5の表面は、ラッピングテープLが摺動した位置9の
み真円状に摩耗する。本発明の方法は、所定時間摺動さ
せた後に、この摩耗部9の摩耗深さを測定する。
In this way, by pressing the wrapping tape L against the surface of the rotating magnetic disk medium 5, the surface of the magnetic disk medium 5 is worn in a perfect circle only at the position 9 where the wrapping tape L has slid. In the method of the present invention, the wear depth of the worn portion 9 is measured after sliding for a predetermined period of time.

〔作用] ラッピングテープLを、回転している磁気ディスク媒体
5上の一定位置に押しつけるため、ラフピングテープが
摺動した位置9のみが比較的短時間に摩耗する。しかも
、ラフピングテープLが圧接した領域全体が摩耗するた
め、摩耗深さは、段差測定器や膜厚計などによって、容
易にかつ正確に測定することができる。
[Operation] Since the wrapping tape L is pressed to a fixed position on the rotating magnetic disk medium 5, only the position 9 where the roughing tape has slid is worn out in a relatively short time. Moreover, since the entire area pressed by the roughening tape L is worn, the depth of wear can be easily and accurately measured using a step measuring device, a film thickness meter, or the like.

また、ラッピングテープして磁気ディスク媒体の表面を
摩耗させるので、摩耗速度が速く、短時間に効率的に耐
摩耗性を測定し評価できる。
In addition, since the surface of the magnetic disk medium is worn with a wrapping tape, the wear rate is fast and the wear resistance can be efficiently measured and evaluated in a short period of time.

(実施例〕 次に本発明による磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性評価
方法が実際上どのように具体化されるかを実施例で説明
する。第2図はラッピングテープを磁気ディスク媒体の
表面に摺動させる装置の平面図と断面図である。2枚の
側板10・10間に、ラッピングテープLの繰り出しロ
ール11の支軸12、巻取りロール13の支軸14、ガ
イドローラ15、(ラッピング)テープ送りローラ16
、ピンチローラ21が取り付は支持されている。また、
側板10・10間に取り付けられたガイド板17に、(
ラッピング)テープ押さえ18が固定された軸19が挿
通され、テープ押さえ18とガイド板17との間に圧縮
コイルスプリング20が挟まれている。
(Example) Next, how the method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium according to the present invention is actually implemented will be explained using an example. They are a plan view and a cross-sectional view of a sliding device.A support shaft 12 of a feeding roll 11 of a wrapping tape L, a support shaft 14 of a winding roll 13, a guide roller 15, a (wrapping ) tape feed roller 16
, the pinch roller 21 is mounted and supported. Also,
On the guide plate 17 attached between the side plates 10 and 10,
Wrapping) A shaft 19 to which a tape holder 18 is fixed is inserted, and a compression coil spring 20 is sandwiched between the tape holder 18 and the guide plate 17.

いま、モータMでテープ送りローラ16が回転駆動され
ると、繰り出しロール11から繰り出されたラッピング
テープLが、ガイドローラ15、テープ押さえ1日と磁
気ディスク媒体5間、テープ送りローラ16とピンチロ
ーラ21間を経由して、巻取りロール13に巻取られる
Now, when the tape feed roller 16 is rotationally driven by the motor M, the wrapping tape L fed out from the feed roll 11 is moved between the guide roller 15, the tape presser and the magnetic disk medium 5, and between the tape feed roller 16 and the pinch roller. 21 and then wound onto a winding roll 13.

被測定磁気ディスク媒体5は、スピンドルモータによっ
て、所定の速度で定速回転される。このように回転して
いる磁気ディスク媒体5の表面に、テープ押さえ18の
表面のパッドでラッピングテープLを押しつけ、圧縮コ
イルスプリング20のハネ圧を予め設定しておき、ラッ
ピングテープLを一定圧で磁気ディスク媒体面に押圧す
る。そして、テープ押さえ18の位置は固定なため、磁
気ディスク媒体5の表面の一定位置9のみが真円状に摩
耗する。
The magnetic disk medium 5 to be measured is rotated at a constant speed by a spindle motor. The wrapping tape L is pressed onto the surface of the rotating magnetic disk medium 5 using the pad on the surface of the tape holder 18, and the spring pressure of the compression coil spring 20 is set in advance, so that the wrapping tape L is held at a constant pressure. Press against the magnetic disk medium surface. Since the position of the tape presser 18 is fixed, only a certain position 9 on the surface of the magnetic disk medium 5 is worn out in a perfect circle.

ラッピングテープしは、モータ駆動されるテープ送りロ
ーラ16とピンチローラ21との間を通過することで、
一定速度でテープ送りされ、巻取りロール13に巻取ら
れるので、常にラッピングテープLの新しい面で摩耗で
きる。そのため、テープ送り速度さえ一定に制御すれば
、摩耗の条件は常に一定となる。
The wrapping tape passes between a motor-driven tape feed roller 16 and a pinch roller 21,
Since the tape is fed at a constant speed and wound onto the take-up roll 13, the wrapping tape L can always be worn on a new surface. Therefore, as long as the tape feeding speed is controlled to be constant, the wear conditions will always be constant.

なお、圧縮コイルスプリング20に代えて、ノズルから
圧縮空気を噴出させ、空気圧でう、ピングテープLを磁
気ディスク媒体面に押しつけることもできる。
Note that instead of using the compression coil spring 20, compressed air may be ejected from a nozzle and the tape tape L may be pressed against the surface of the magnetic disk medium using air pressure.

ラッピングテープしは、磁気ディスク媒体の製造工程に
おいて、磁気ディスク媒体の表面のテープハニンシュ等
に使用されるものと同じで、SiO□、A1□03、S
iCやダイヤモンドなどのような硬質微粒子を、バイン
ダーでフィルムに固着したものである。
The wrapping tape is the same as that used for tape wrapping on the surface of magnetic disk media in the manufacturing process of magnetic disk media.
Hard particles such as iC or diamond are fixed to a film using a binder.

このように、ラッピングテープLの研磨材の微粒子が、
テープ押さえ18で磁気ディスク媒体面に圧接されるた
め、磁気ディスク媒体面が迅速に摩耗し、磁気ヘッドの
コアスライダを用いる場合に比べて短時間で効率的に摩
耗できる。
In this way, the fine particles of the abrasive of the lapping tape L are
Since the tape presser 18 presses the surface of the magnetic disk medium, the surface of the magnetic disk medium is quickly worn out and can be worn more efficiently in a shorter time than when using a core slider of a magnetic head.

こうして、ラッピングテープLを所定の時間摺動させる
ことで、磁気ディスク媒体面が摩耗すると、磁気ディス
ク媒体の回転を止めて、摩耗部9の摩耗深さを測定する
。この測定は、段差測定器や蛍光X線膜厚計などによっ
て、容易にかつ正確に測定することができ、耐摩耗性を
定量的に評価可能となる。
When the surface of the magnetic disk medium wears out by sliding the wrapping tape L for a predetermined period of time, the rotation of the magnetic disk medium is stopped and the depth of wear of the worn portion 9 is measured. This measurement can be easily and accurately performed using a step measuring device, a fluorescent X-ray film thickness meter, etc., and the wear resistance can be quantitatively evaluated.

第3図は、ラッピングテープで磁気ディスク媒体面を摩
耗させ、その摩耗深さを蛍光X線膜厚計で測定した結果
を示す図である。被測定磁気ディスク媒体は、表面がカ
ーボン保護膜で覆われたものであり、研摩材として3μ
mのアルミナ微粒子が固着された、幅12.7mmのラ
ッピングテープを、磁気ディスク媒体の半径約441m
の位置に圧縮空気圧で押しつけ、30分間回転させた。
FIG. 3 is a diagram showing the results of abrading the magnetic disk medium surface with a lapping tape and measuring the abrasion depth with a fluorescent X-ray film thickness meter. The surface of the magnetic disk medium to be measured is covered with a carbon protective film, and the abrasive material is 3 μm.
A wrapping tape with a width of 12.7 mm to which fine alumina particles of 50 m are fixed is placed on a magnetic disk medium with a radius of approximately 441 m.
It was pressed against the position using compressed air pressure and rotated for 30 minutes.

また、磁気ディスク媒体の回転速度は、周速換算で58
0m/min(250Orpm) 、圧縮空気流量は4
51 /min、ラッピングテープ送り速度40mm/
minとし、摩耗後の摩耗深さを、スポット径が15+
nmの蛍光X線膜厚計で測定した。黒丸が摩耗深さの測
定値であり、摩耗部の膜厚が薄くなっており、他の摩耗
していない面の膜厚との差の値75人が摩耗深さとなる
。なお、白丸は、ラッピングテープによる摩耗前のカー
ボン保護膜の膜厚である。
Also, the rotational speed of the magnetic disk medium is 58 in terms of circumferential speed.
0m/min (250Orpm), compressed air flow rate is 4
51/min, wrapping tape feed speed 40mm/
min, and the wear depth after wear is set to 15+ when the spot diameter is 15+.
The thickness was measured using a fluorescent X-ray film thickness meter. The black circle is the measured value of the wear depth, and the film thickness on the worn part is thinner, and the difference from the film thickness on other non-worn surfaces (75 people) is the wear depth. Note that the white circle indicates the thickness of the carbon protective film before being abraded by the wrapping tape.

この膜厚測定では、ラッピングテープの幅より蛍光X線
の検出径の方が大きいので、磁気ディスク媒体の半径方
向にカーボン膜厚分布を測定した場合、第3図に黒丸で
示すように、段差付近の状態が正確に現れない。段差部
分も正確に知りたい場合は、第3図の値とラッピングテ
ープ幅を元にして計算するだけで足りる。第4図は計算
結果であり、白丸が実測値、黒丸が計算結果(実際の膜
厚)である。この計算結果から明らかなように、ラッピ
ングテープが摺動した部分は、カーボン膜がかなり均一
に摩耗している。
In this film thickness measurement, the detection diameter of fluorescent Nearby conditions are not accurately displayed. If you want to know the difference in level accurately, just calculate it based on the values in Figure 3 and the width of the wrapping tape. FIG. 4 shows the calculation results, where the white circles are actual measured values and the black circles are the calculation results (actual film thickness). As is clear from this calculation result, the carbon film is worn fairly uniformly in the area where the wrapping tape has slid.

第5図はラッピングテープの摺動時間と摩耗深さとの関
係を示す図であり、第3図の場合と同じ条件でラッピン
グテープを摺動させた結果である。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the sliding time of the wrapping tape and the abrasion depth, and shows the results of sliding the wrapping tape under the same conditions as in FIG. 3.

図の黒丸は、非磁性基板面に円周方向の微細筋を入れる
テクスチャ加工を行なった面に磁性膜およびカーボン保
護膜を積層した磁気ディスク媒体であり、自腹はテクス
チャ加工を施さない平坦な非磁性基板に磁性膜およびカ
ーボン保護膜を積層した磁気ディスク媒体である。いず
れの場合も、摺動時間に比例して摩耗深さが深くなって
いる。
The black circle in the figure is a magnetic disk medium in which a magnetic film and a carbon protective film are laminated on a non-magnetic substrate surface that has been textured with fine lines in the circumferential direction. This is a magnetic disk medium in which a magnetic film and a carbon protective film are laminated on a magnetic substrate. In either case, the depth of wear increases in proportion to the sliding time.

ラッピングチーブLを一定速度で繰り出して常に新しい
研摩面を摺動させているため、常に摺動条件が一定とな
り、その結果摩耗深さが摺動時間に比例して増大してい
ることが認められる。
Because the lapping chive L is fed out at a constant speed to constantly slide a new polished surface, the sliding conditions are always constant, and as a result, it is observed that the wear depth increases in proportion to the sliding time. .

このような本発明の方法によれば、磁気ディスク媒体面
の耐摩耗性を正確にかつ定量的に測定できるため、カー
ボン保護膜のスパッタ条件や熱処理条件と摩耗深さとの
関係、スパッタパワーと摩耗深さとの関係等を測定する
ことで、最適な製造条件を求めたりするのにも有効であ
る。
According to the method of the present invention, the wear resistance of the magnetic disk medium surface can be measured accurately and quantitatively, so that the relationship between the sputtering conditions of the carbon protective film, the heat treatment conditions, and the wear depth, and the relationship between the sputtering power and the wear By measuring the relationship with depth, etc., it is also effective for determining optimal manufacturing conditions.

〔発明の効果] 以上のように本発明によれば、定速で回転している磁気
ディスク媒体の表面にラッピングテープを圧接させて摺
動させ、所定時間経過した後の摩耗深さを測定するため
、短時間摺動させるだけで、容易に深さ測定できる程度
の摩耗深さを得ることができ、効率的に耐摩耗性評価を
行なうことができる。また、ラッピングテープを繰り出
しながら摺動させるため、摺動条件が常に一定となり、
耐摩耗性を正確かつ定量的に測定し評価できる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a wrapping tape is brought into pressure contact with the surface of a magnetic disk medium rotating at a constant speed and slid, and the wear depth is measured after a predetermined period of time has elapsed. Therefore, a wear depth that can be easily measured can be obtained just by sliding for a short time, and wear resistance can be evaluated efficiently. In addition, since the wrapping tape is slid while being fed out, the sliding conditions are always constant.
Wear resistance can be measured and evaluated accurately and quantitatively.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明による磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性
評価方法の基本原理を説明する断面図、第2図は本発明
によるラッピングテープの摺動装置を例示する平面図と
断面図、 第3図はラッピングテープによる摺動部の摩耗深さを蛍
光X線で測定した結果を示す図、第4図は同測定結果か
ら計算で得られた摩耗深さを示す図、 第5図は摺動時間と摩耗深さとの関係を示す図、第6図
は薄膜型磁気ディスク媒体の積層構成を示す図、 第7図は従来の磁気ディスク媒体表面の耐摩耗性評価方
法を例示する断面図である。 図において、1は非磁性基板、2は下地膜、3は磁性膜
、4は保護膜、5は磁気ディスク媒体、6は重り、7は
触針、8は界面、9は摺動部、Lはラッピングテープ、
Wはラッピングテープの加圧力、IOは側板、11は繰
り出しロール、13は巻取りロール、15はガイドロー
ラ、16はテープ送りローラ、Mはテープ送りモータ、
18はテープ押さえ、20は圧縮コイルスプリング、 21はピンチローラを それぞれ示す。
FIG. 1 is a sectional view illustrating the basic principle of the method for evaluating wear resistance of a magnetic disk medium surface according to the present invention, FIG. 2 is a plan view and a sectional view illustrating a wrapping tape sliding device according to the present invention, and FIG. The figure shows the results of measuring the wear depth of the sliding part due to wrapping tape using fluorescent X-rays. Figure 4 shows the wear depth calculated from the same measurement results. Figure 5 shows the wear depth of the sliding part due to the wrapping tape. Figure 6 is a diagram showing the relationship between time and wear depth, Figure 6 is a diagram showing the laminated structure of a thin-film magnetic disk medium, and Figure 7 is a cross-sectional view illustrating a conventional method for evaluating the wear resistance of the surface of a magnetic disk medium. . In the figure, 1 is a non-magnetic substrate, 2 is a base film, 3 is a magnetic film, 4 is a protective film, 5 is a magnetic disk medium, 6 is a weight, 7 is a stylus, 8 is an interface, 9 is a sliding part, L is wrapping tape,
W is the pressing force of the wrapping tape, IO is the side plate, 11 is the feed roll, 13 is the take-up roll, 15 is the guide roller, 16 is the tape feed roller, M is the tape feed motor,
18 is a tape holder, 20 is a compression coil spring, and 21 is a pinch roller.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 定速で回転している磁気ディスク媒体(5)の表面にお
いて、一定の位置に所定の圧力(W)でラッピングテー
プ(L)を圧接させて摺動させ、 所定時間経過した後に、磁気ディスク媒体表面のラッピ
ングテープ(L)により摺動された部分(9)の深さを
測定することを特徴とする磁気ディスク媒体表面の耐摩
耗性評価方法。
[Claims] On the surface of a magnetic disk medium (5) rotating at a constant speed, a wrapping tape (L) is pressed and slid at a certain position with a certain pressure (W), and a certain period of time elapses. 1. A method for evaluating wear resistance of a magnetic disk medium surface, comprising: measuring the depth of a portion (9) of the surface of the magnetic disk medium slid by a wrapping tape (L).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2019038925A1 (en) * 2017-08-25 2019-02-28 日新製鋼株式会社 Filament path wear tester and filament path wear testing method

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